Файл: Аммер, С. А. Нитевидные кристаллы (получение, механизмы и кинетика роста) учеб. пособие.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 19.10.2024
Просмотров: 61
Скачиваний: 0
|
|
-1 0 - |
|
|
серебра на |
аргентите |
в присутствии |
C O q |
при нагревании до |
3<ХМОО°С, НК металлов при восстановлении |
их солей, нитей |
|||
меди при нагревании |
сернистой меди до 1000°0 в водороде, |
|||
в атмосфере |
С0$ |
на воздухе или |
в водяном паре, при |
електроосшдешм и т .д .
Возросшие потребности науки и техники в кристаллах с особенными свойствами побудили исследователей в последние
лет вести интенсивный поиск новых и совершенствовать
имевшиеся методы выращивания кристаллов в тем числе и ните видных ,
Вывашивание НК из газовой фазы
Получение твердых конденсатов из газовой фазы нашло в
настоящее время широкое промышленное применение, а материалы гавофазнего осаждения играют все большую роль в современной
технике, Теория этого процесса достаточно |
хорошо разработана |
[|ё ,8 б - 9 0 ] , технология его такие часто |
оказывается неслож |
ной.
Нитевидная форма кристаллов является частной формой кристаллических конденсатов и реализуетоя при определенной температуре, давлении, пересыщении пара и некоторых других факторах, определяющих специфические геометрические особен ности осадка. Рост кристаллов идет, как правило, при тем пературах более низких, чем их точки плавлении; кристаллы формируются по существу из отдельных атомов (молекул) или их асооцяацяй и это дает возможность подучать материалы о плот ностью, близкой к теоретической. Такие материалы обладают
- I I -
более совершенной поверхностной и объемной структурой, сле довательно, и некоторые свойства их должны быть иныии, чей
у материалов, получаемых другими методами.
При использовании методов осаждения можно также опреде ленным образом регулировать стехиометрический состав соеди нений, производить дистилляцию материала и т .п . Именно по этим причинам выращиванию НК из газовой фазы часто отдают предпочтение, С их помощью уже в настоящее время получают НК высокопрочных.„материалов, материалов для полупроводнико-
вых, люминесцентных, радиационночувствительных и некоторых других приборов. Недостатком является то, что кристаллы, по лучаемые из газовой фазы, имеют сравнительно небольшие разме ры (хотя в отдельных случаях,- в век миниатюризации приборов,-
вто может быть и их достоинством).
Различают два основных метода выращивания НК из газовой
фазы:
1)путем испарения исходного материала с последующей конденсацией его пересыщенных паров (физическое осаждение) и
2)посредством химических реакций (химическое осаждение).
Выращивание НК при физическом переносе и осаждении
При физическом осаждении конденсат имеет тот же состав,
что и его пар. В этом случае атомы (молекулы) распространя ются от источника до соударения со стенками оосуда или под ложкой. Адсорбируясь на них, они могут затем мигрировать по их поверхности. Если за среднее время жизни в адсорбирован ном состоянии атомы (молекулы) или их ассоциации встречают
- 12
активные участки роста на поверхности, то они встраиваются
в кристаллическую решетку. Таким образом, физическое осажде ние из газовой фазы есть нечто иное, как массоперенос лишь физическими средствами. Физический массоперенос дает наилуч шие результаты и в смысле получения кристаллов выоокой чис тоты и однородности.
Осаждением из газовой фазы наиболее легкомхорошо полу
чаются кристаллы различных (органических и неорганических)
материалов, обладающих прежде всего высоким давлением собст венных паров при не очень высокой температуре (таблица I ) .
Выращивание кристаллов может производиться как в зак рытой системе (вакуумированной или газозаполнеиной), так и
В проточной системе (обычно с использованием инертного газа-
носителя).
Рост НН в вакуумированиях системах
На рис.1 показаны примеры аппаратурного исполнения
различных экспериментальных установок для получения НК из
газовой |
фазы. |
|
|
Впервые НК методом физического осаждения были выращены |
|||
Фольмером и Эстерманом [9 2 ] |
. Они, а затем и |
Сирс [ 93-95] |
|
получали |
усы и пластинки ртути, используя установку, схема |
||
которой |
показана на рисЛ а. |
Ртуть нагревалась |
в резервуаре |
Р и конденсировалась на поверхности стеклянного выступа |
|||
Колбы К, |
температура которого поддерживалась |
постоянной |
-6Э°С. С этой целью выступ охлаждался жидким азотом. Темпе ратура зоны испарения изменялась от -14 до -50°С. Колба
- 13
Таблица I.
Давление пара в тройной точке для некоторых веществ по данным Дзшиана [9 1 ) .
Материал |
; |
Давление |
пара |
1 |
р |
uu рт.от. |
|
|
1 |
Ын/и* |
|
Сг ' |
I |
|
|
|
8500000 |
63,5 |
|
Ид |
|
295000 |
2 , 2 |
Z п |
|
21000 |
0 ,1 6 |
0с( |
|
13000 |
0 ,1 0 |
т, |
|
m oo |
8 ,4 Д 0 ~ а |
За |
|
5000 |
3,7 ДО-2 |
/V/ |
|
590 |
4 ,4 .1 0 _3 |
Лд |
|
240 |
1,8. Ю"3 |
V |
|
87 |
6 ,5 .1 0 “^ |
Си |
|
42 |
ЗДДО - '4 |
Я |
|
21 |
I .6 - I 0 - J |
Ли |
|
0,8 |
6,0*10-6 |
1C |
|
0,13 |
9 , е д о - 7 |
вакуумировалась до давления КГ^мм рт.ст . Давление паров ртути в колбе регулировалось изменением температуры в преде
лах от 25 до -50°С. Наблюдения за ростом кристаллов велись |
|
в микроскоп. Максимальная длина кристаллов достигала 2,5 мм |
|
при толщине |
0,02 мкм. Время осевого роста составляло 30 мин. , |
после чего |
кристаллы начинали утолщаться. Важным результатом |
опытов было обнаружение того,, что НК зарождаются и растут |
|
при меньших |
пересыщениях, чем пластинки и 1фисталлы других |
форм. Это впоследствии было подтверждено много раз и другими авторами.
Осаждением из паров в условиях вакуума получают НК мно
гих металлов, |
полупроводников, окислов |
и других |
соединений |
||||
(таблица 2). |
Мелмед и Гомер [ 96j , а впоследствии |
и другие |
|||||
использовали для этой цели установку, представленную на |
|||||||
рио.16, |
позволяющую |
изучать рост и свойства кристаллов |
в |
||||
электронном проекторе. Вольфрамовая петля-нагреватель А |
|||||||
диаметром I см обвивается спиралью из исходного |
материала |
||||||
и помешается на расстоянии 1-3 мм от катода-подложки К, |
|
||||||
Усы вырастали |
на подложке в вакууме за |
5-10 мин., |
длина |
Их |
|||
|
|
|
о |
|
|
оси |
роста |
не превышала 15 мкм, толщина 50-200 А (таблица 2), |
|||||||
были параллельны направлениям с малыми.индексами |
(в ГЦК - 1фн- |
||||||
сталлах |
преобладало |
направление {_Л О ] , |
в ОЦК - |
[ 100j ). |
|||
Полученные в высоком вакууме усы имели атомно гладкие по |
|||||||
верхности и обладали высокой упругостью. |
|
|
|
||||
Более подробно условия роста усов и их свойства иссле |
|||||||
дованы в работах Морелока [97,115,132] |
. Рост производился |
||||||
в трубе из пирекса I |
(рис.1в) в вакууме |
Ю^мм |
рт.ст . из |
Рио.1 Аппараты Для внрадивания НК при
фкзичеокои осаидений из газовой фазы Пояснения в тексте)
-16 -
Таблица 2.
УСЛОВИЯ РОСТА УСОВ ПРИ ФИЗИЧЕСКОМ ОСАВДНИИ В ВАКУУМЕ
[температура; °С [Вакуум |
|
|
||||
Материал ;й(зпаре- !подлот- |
! |
^ |
|
длина |
||
! |
ния |
! ки |
! |
ip0CTa ( |
||
I |
I |
|
i |
j |
j |
UKU |
Цд |
, -50 |
- 63,5 |
N< 1050-1270 -700-900 |
||
Си |
> 900 |
-600-700 |
Sq |
I 1200 |
-660-750 |
Я |
: 1620 |
750-1000 |
п |
-1250 |
760 |
Ли |
-И 00 |
650-630 |
Со |
>900 -750-800 |
|
fig |
>800 -600-650 |
|
Сг |
1050 |
|
Сг |
900 |
<o |
к |
1200 |
M |
Ш |
||
fsfi |
1050 |
*0 |
Ли |
1050 |
И |
|
к875
Си |
|
830 |
s |
|
|
s |
i |
||
Си |
|
930 |
m v |
|
Си |
|
950 |
I |
f |
i |
о |
§ |
||
S q |
1080 |
3 |
и |
|
|
<3 |
я |
||
Sq |Ю 60 |
ft ft |
|||
и |
и |
|||
я |
я |
|||
So |
]II30 |
ё |
в |
|
So |
11060 |
9 |
9 |
|
t -t |
»■ |
t*
О
Pi
з
9
ч
о
2.5
&
м
я
О
1
1Г> g
t 16 час 70
50 час ■ -
16 час 100
48 час |
- |
16 час 300
120 час 150
70 час |
- |
16 час 200
50 час 300
16 час |
- |
16 час 200
I час 15
50 час 200
Матери- ^итера- |'ал |турн. родложлоточник
i ки |
|
i |
в |
|
|
I |
|
|
|
|
[93-95] |
|
|
|
[96 J |
|
|
|
[96 j |
Й |
|
[96] |
|
О |
|
|
|
*4 |
|
[96] |
|
о |
|
|
|
д |
|
** |
|
о |
4 |
[96] |
|
g |
|
||
|
|
[96 | |
|
|
|
|
|
|
|
|
[96] |
Мо |
|
|
[97] |
Но |
|
л |
[97] |
Мо |
|
[97] |
|
|
|
||
Мо |
|
|
[97] |
|
|
Ли |
[ЭТ] |
|
|
Ли |
[97] |
я |
|
Си |
[97] |
§ |
|
Си |
|
в |
|
[97] |
|
а |
|
Си |
[97] |
с |
|
||
|
|
ы |
[97] |
|
|
to |
[97]' |
|
|
No |
[97] |
|
|
Fq , |
[97] |
17 |
Продолжение таблицы 2. |
~ ~ т |
1 |
8 |
! ' j |
iV 4 |
1 |
3 |
L___£ __ |
||||||
S / |
’ |
1000-1250 |
1000-1250 |
|
|
|
800чае |
~100 |
|||||
I n |
! |
|
418 |
415 |
1 |
|
|
|
1 |
2ИНН -v %оо |
|||
7 |
п |
! |
|
375 |
350-375 1 |
|
|
|
; |
|
- |
!03 |
|
|
|
|
|
j |
~ |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
c d : |
| |
|
330 |
250-321 |
|
|
|
|
! |
_ |
- |
10Э |
|
Cd! |
! |
|
Tucn. |
48-400 |
!1<Г5 - И Г » |
- |
|
- |
|||||
10 |
1 |
55-60 |
55 |
; 5. Ю-7 |
- |
- з л о 3 |
|||||||
ю с е |
740-776 |
740-776 |
1 |
|
|
|~2;5час |
|
- |
|||||
L , $ |
Нагрев в вяектр.микроскопе |
5-Х0сзк |
|
30 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
I |
|
|
|
ЛОсвк |
|
-1 0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
H q O |
|
2000 |
-1000 |
10" I |
|
- |
|
13 |
|||||
к |
|
|
|
940 |
850-940 |
|
|
|
|
|
- |
|
100 |
Tq |
|
|
250 |
90-200 |
! |
|
|
|
’ |
|
|
- |
|
и |
м |
|
|
2200 |
1550-1700 |
10‘-9 |
i |
|
|
- |
|||
|
|
|
|
|
|||||||||
P b S |
|
800 |
|
|
10 -5 |
20мкн |
|
400 |
|||||
M V S |
|
- |
220-600 |
|
10'-5 |
1 |
|
|
150 |
||||
S i |
|
~ |
1900 |
<1900 |
|
10 |
-10 |
1 |
|
|
10 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
& |
< |
?o |
|
1150 |
- 1 0 0 0 |
|
|
|
|
|~10чао |
-1 0 0 |
||
Zb |
|
|
- |
17 |
|
10'-6 |
1 2-5час - 2 0 0 |
||||||
b & |
|
1365-1600 |
770-950 |
|
- |
|
|
1 |
- |
|
10* |
||
|
|
|
1320-1460 |
1050-1200* |
- |
|
|
) |
|
|
10* |
||
O n |
|
|
|
i |
|
|
|||||||
b |
|
|
1800-1900 |
|
|
- |
|
|
|
|
|
20* |
|
!Л |
( |
Ф |
80 |
12 |
1 |
- |
|
|
|
|
зло* |
||
|
|
|
|
|
|
) |
10--6 |
|
|
|
|
||
0 i |
|
400 |
300-350 |
|
|
|
5 :1 0 * |
||||||
S 4 |
|
700-750 |
350-530 | |
Ю" |
3 |
|
- |
2?Ю * |
|||||
|
|
|
|
||||||||||
C a P |
1200 |
2000 |
|
10' 6 |
|
- |
зло* |
||||||
b4e |
1950 |
1850 |
|
- |
|
|
5-8чао |
|
10* |
||||
C-Q S |
930 |
750-910 |
|
10“5 |
ХООчао |
|
10* |
||||||
|
|
|
|
|
|
i |
|
|
|
Ч |
"1.. ■' ■ |
|
|
|
|
|
|
|
_____ i_ |
|
|
|
|
{ |
7 |
1 |
1 |
|
$/' |
[99,100Л |
|
|
- |
|
[ i o i ] |
кварц ! [102]
кварц [102]
W ! [юз]
Щ и л и Ю |
[104] |
|
ю с е |
[105] |
|
U |
F |
[Ю6] |
МдО |
[106] |
|
|
|
[107] |
кварц |
[94,05] |
|
P |
i |
108,109] |
|
- |
[но] |
n |
s |
[ ш ] |
M o , С |
112,113] |
|
Si |
[114] |
|
! M o |
[215] |
к ; * * ч « М
!M o 117,118]
M o 118,119]
-[120]
кварц [EJ]
оталь [122]
кварц [123]
кварц 124,125]
граф » |
[126] |
|
|
|
кварц |
[127] |
|
|
|
Г• - ч |
’’ |
сг |
- |
• |
р. |
V . |
. , ‘ |
||
; |
.. - : |
. |
•> |
ЧИТА/IbHOi О ЗАЛА