Файл: Войтович Р.Ф. Окисление тугоплавких соединений справочник.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 07.04.2024
Просмотров: 95
Скачиваний: 0
|
|
|
|
Продолжение табл. 65 |
||
|
|
|
Толщина окалины, мк/ см2 |
|
|
|
Время, |
|
|
|
|
|
|
мин |
500° С |
600° с |
700° С |
800° С |
900° С |
1000° с |
|
||||||
60 |
7,0 |
8,4 |
19,9 |
40,3 |
57,0 |
60,8 |
80 |
8,0 |
9,5 |
22,8 |
46,4 |
64,6 |
67,6 |
100 |
9,1 |
10,4 |
25,1 |
52,8 |
74,1 |
75,2 |
120 |
9,9 |
11,4 |
27,9 |
57,0 |
77,9 |
81,9 |
140 |
10,6 |
11,8 |
31,3 |
59,5 |
81,3 |
88,4 |
160 |
11,0 |
12,0 |
33,4 |
61,6 |
83,7 |
93,7 |
|
|
|
|
Т а б л и ц а 66 |
|
Окисление TIN (спираль, |
кислород, |
Р = 1 |
атм [30]) |
|
|
|
Привес , мг/см1 |
|
Привес мг/см'1 |
||
Время, |
|
|
Время, |
|
|
мин |
625° С |
675° С |
мин |
625° С |
675° С |
|
|
||||
100 |
0,06 |
0,14 |
2200 |
0,32 |
0,70 |
200 |
0,08 |
0,18 |
2400 |
0,33 |
0,74 |
300 |
0 ,1 0 |
0,23 |
2600 |
0,35 |
0,77 |
400 |
0 ,1 1 |
0,27 |
2800 |
0,36 |
0,81 |
500 |
0,13 |
0,30 |
3000 |
0,37 |
0,84 |
600 |
0,14 |
0,34 |
3200 |
0,39 |
0 ,8 6 |
700 |
0,16 |
0,37 |
3400 |
0,40 |
0,90 |
800 |
0,18 |
0,41 |
3600 |
0,42 |
— |
900 |
0,18 |
0,43 |
3800 |
0,43 |
— |
1000 |
0 ,2 0 |
0,46 |
4000 |
0,44 |
— |
1200 |
0,23 |
0,51 |
4200 |
0,46 |
— |
1400 |
0,25 |
0,54 |
4400 |
0,46 |
— |
1600 |
0,25 |
0,58 |
4600 |
0,47 |
— |
1800 |
0,28 |
0,63 |
4800 |
0,48 |
— |
2000 |
0,31 |
0,67 |
5000 |
0,50 |
|
62
ОКИСЛЕНИЕ СИЛИЦИДОВ
Т а б л и ц а 67
Окисление силицида тантала (воздух, 1400° С, [32])
|
|
|
|
|
Привес, мг/см2 |
|
|
|
|
|
Время |
1250° С, |
1300° с , |
1300° с , |
1250° С, |
1350° С, |
1350° С, |
|
|
|
100 ч |
100 ч |
0 ч |
0 ч |
0 н |
100 ч |
1 |
ч |
|
0,24 |
0,16 |
0,07 |
0,03 |
0,03 |
0,01 |
1 |
ч 15 мин |
0,29 |
0,22 |
0,14 |
0,07 |
0,05 |
0,02 |
|
1 |
ч 30 мин |
0,36 |
0,29 |
0,19 |
0,12 |
0,05 |
0,02 |
|
1 |
« |
45 мин |
0,44 |
0,36 |
0,26 |
0,17 |
0,07 |
0,02 |
2 ч |
|
0,52 |
0,46 |
0,32 |
0,23 |
0,08 |
0,03 |
|
2 |
ч 15 мин |
0,61 |
0,61 |
0,39 |
0,29 |
0,09 |
0,03 |
|
2 ч 30 мин |
0,71 |
0,74 |
0,48 |
0,37 |
0,09 |
0,03 |
||
2 |
ч 45 мин |
0,80 |
0,85 |
0,56 |
0,43 |
0,11 |
0,04 |
|
3 |
ч |
|
0,92 |
1,02 |
0,63 |
0,53 |
0,12 |
0,05 |
3 |
ч 15 мин |
1,04 |
1,16 |
0,70 |
0,57 |
0,13 |
0,05 |
|
3 |
ч 30 мин |
1,16 |
1,29 |
0,76 |
0,65 |
0,13 |
0,07 |
|
3 ч 45 мин |
1,29 |
1,42 |
0,84 |
0,73 |
0,15 |
0,07 |
||
4 ч |
|
1,43 |
1,58 |
0,88 |
0,83 |
0,15 |
0,08 |
|
4 |
ч 15 мин |
1,56 |
1,71 |
0,93 |
0,93 |
0,17 |
0,09 |
|
4 ч 30 мин |
1,69 |
1,83 |
1,00 |
1,06 |
0,17 |
0,10 |
||
4 ч 45 мин |
1,83 |
1,94 |
1,07 |
1,18 |
0,18 |
0,10 |
||
5 ч |
|
1,95 |
— |
1,16 |
1,28 |
0,19 |
0,12 |
|
5 |
ч 15 мин |
2,10 |
— |
1,25 |
1,39 |
0,20 |
0,12 |
|
5 |
ч 30 мин |
2,24 |
— |
1,34 |
1,50 |
0,21 |
0,13 |
|
5 ч 45 мин |
2,37 |
— |
1,42 |
1,61 |
0,22 |
0,14 |
||
6 |
ч |
|
2,51 |
- |
1,54 |
1,74 |
0,23 |
0,15 |
6 ч 15 мин |
2,65 |
— |
1,64 |
1,87 |
0,24 |
0,15 |
||
6 |
ч 30 мин |
2,80 |
— |
1,76 |
2,00 |
0,26 |
0,16 |
|
6 |
ч 45 мин |
2,95 |
— |
1,85 |
2,12 |
0,27 |
0,17 |
|
7 |
ч |
|
— |
— |
1,98 |
2,23 |
0,30 |
— |
63
Окисление силицида тантала (воздух, 1500° С, [32])
|
|
Привес, мг1см1 |
|
|
|
|
; |
Время |
|
1300° с |
СО оСЛо О |
1300° С |
1250° С |
||
Т а б л и ц а 68
1350° С * 1250° С *
1 |
ч |
0,49 |
1 |
ч 15 мин |
0,60 |
1 |
ч 30 мин |
0,72 |
1 |
ч 45 мин |
0,83 |
2 |
ч |
0,93 |
2 |
ч 15 мин |
1,10 |
2 |
ч 30 мин |
1,21 |
2 |
ч 45 мин |
1,39 |
3 |
ч |
1,46 |
3 |
ч 15 мин |
1,62 |
3 |
ч 30 мин |
1,75 |
3 |
ч 45 мин |
1,88 |
4 |
ч |
2,03 |
4 |
ч 15 мин |
2,26 |
4 |
ч 30 мин |
2,51 |
4 |
ч 45 мин |
2,78 |
5 ч |
2,90 |
|
5 |
ч 15 мин |
3,48 |
0,39 |
0,33 |
0,48 |
0,42 |
0,61 |
0,48 |
0,72 |
0,58 |
0,84 |
0,67 |
0,97 |
0,76 |
1,10 |
0,84 |
1,22 |
0,93 |
1,36 |
1,03 |
1,51 |
1,10 |
1,67 |
1,19 |
i ,84 |
1,27 |
2,03 |
1,36 |
2,31 |
1,43 |
2,60 |
1,54 |
2,84 |
1,62 |
3,21 |
1,70 |
3,72 |
1,79 |
|
1,88 |
* Время отжига 100 ч, остальных—0 ч.
0,35 |
0,27 |
0,22 |
0,37 |
0,28 |
0,24 |
0,40 |
0,30 |
0,30 |
0,43 |
0,31 |
0,31 |
0,46 |
0,31 |
0,32 |
0,49 |
0,32 |
0,33 |
0,52 |
0,33 |
0,34 |
0,56 |
0,34 |
0,34 |
0,60 |
0,36 |
0,36 |
0,63 |
0,37 |
0,39 |
0,68 |
0,37 |
0,41 |
0,74 |
0,39 |
0,43 |
0,81 |
0,40 |
0,44 |
0,93 |
0,41 |
0,46 |
1,04 |
0,42 |
0,48 |
1,18 |
0,43 |
0,51 |
1,31 |
0,44 |
0,52 |
1,48 |
0,45 |
0,54 |
1,79 |
0,46 |
0,55 |
1,88 |
|
|
64
|
|
|
|
Т а б л и ц а 69 |
Окисление силицида тантала |
(воздух, [32]) |
|
||
|
|
Привес, |
мг/смг |
|
Время |
1350° С |
1350° С* |
1250° С |
1250° С* 1300° с * |
1300° С |
||||
|
30 мин |
0,26 |
0,23 |
0,20 |
0,17 |
0,16 |
0,14 |
|
45 мин |
0,29 |
0,26 |
0,22 |
0,20 |
0,19 |
0,16 |
1 ч |
0,35 |
0,29 |
0,26 |
0,22 |
0,21 |
0,19 |
|
1 ч 15 мин |
0,46 |
0,33 |
0,29 |
0,26 |
0,24 |
0,22 |
|
1 |
ч 30 мин |
0,51 |
0,35 |
0,33 |
0,28 |
0,27 |
0,25 |
1 ч 45 мин |
0,68 |
0,37 |
0,36 |
0,30 |
0,29 |
0,28 |
|
2 |
ч |
1,00 |
0,44 |
0,40 |
0,33 |
0,32 |
0,31 |
2 |
ч 15 мин |
1,17 |
0,52 |
0,43 |
0,35 |
0,35 |
0,34 |
2 |
ч 30 мин |
1,36 |
0,64 |
0,46 |
0,37 |
0,37 |
0,37 |
2 |
ч 45 мин |
1,56 |
0,80 |
0,49 |
0,40 |
0,40 |
0,40 |
3 |
ч |
1,77 |
1,00 |
0,52 |
0,43 |
0,43 |
0,43 |
3 |
ч 15 мин |
1,97 |
1,19 |
0,56 |
— |
0,46 |
— |
3 |
ч 30 мин |
— |
1,39 |
0,59 |
— |
0,48 |
— |
3 |
ч 45 мин |
— |
1,62 |
0,62 |
— |
0,51 |
— |
4 |
ч |
— |
1,92 |
— |
— |
0,54 |
— |
4 |
ч 15 мин |
— |
— |
— |
— |
0,56 |
— |
4 |
ч 30 мин |
— |
— |
— |
— |
0,59 |
— |
4 |
ч 45 мин |
— |
— |
— |
— |
0,62 |
— |
5 |
ч |
— |
— |
|
|
0,64 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
* Время отжига 100 ч, остальное—0 ч.
65
