Файл: Войтович Р.Ф. Окисление тугоплавких соединений справочник.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 07.04.2024
Просмотров: 94
Скачиваний: 0
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а 60 |
|
Окисление нитрида титана |
(спираль, кислород, Р = |
1 атм. [30]) |
||||
|
|
|
Привес, mzJcm3 |
|
|
|
Время, |
|
|
|
|
|
|
мин |
725° С |
775° С |
825° С |
875° С |
925° С |
975° С |
|
||||||
10 |
0 ,0 4 |
0,11 |
0,21 |
0,3 7 |
0 ,6 8 |
1 ,0 |
20 |
0 ,0 8 |
0 ,1 9 |
0 ,2 9 |
0 ,5 2 |
0,9 7 |
1,42 |
30 |
0,11 |
0 ,2 5 |
0,3 7 |
0 ,6 6 |
1,21 |
1,83 |
40 |
0 ,1 3 |
0,31 |
0 ,4 3 |
0 ,7 9 |
1,46 |
2,2 5 |
50 |
0 ,1 6 |
0 ,3 5 |
0 ,4 9 |
0 ,9 2 |
1,72 |
2 ,9 2 |
60 |
0,1 7 |
0,3 8 |
0 ,5 4 |
1,03 |
2 ,0 0 |
— |
70 |
0 ,1 9 |
0 ,4 3 |
0,5 8 |
1,87 |
2 ,2 5 |
— |
80 |
0,21 |
0 ,4 5 |
0 ,6 2 |
1,20 |
2 ,3 3 |
— |
90 |
0 .2 2 |
0 ,4 9 |
0,67 |
1,31 |
2,5 2 |
— |
100 |
0,2 4 |
0 ,5 2 |
0,71 |
1,43 |
- |
— |
120 |
0,2 7 |
0,5 7 |
0 ,7 8 |
1,55 |
— |
---- |
140 |
0 ,3 2 |
0,6 2 |
0 ,8 6 |
1,70 |
— |
— |
160 |
0 ,3 4 |
0 ,6 7 |
0 ,9 4 |
1,83 |
— |
— |
180 |
0,3 7 |
0 ,7 2 |
1,01 |
1,97 |
— |
— |
200 |
0,41 |
0,7 7 |
1,09 |
2 ,0 9 |
— |
— |
220 |
0 ,4 3 |
0 ,8 2 |
1,16 |
2 ,3 3 |
— |
— |
240 |
0 ,4 6 |
0,8 7 |
1,24 |
2 ,4 0 |
— |
— |
260 |
0,4 8 |
0 ,9 2 |
1,32 |
2 ,5 4 |
— |
— |
280 |
0,5 2 |
0 ,9 9 |
1,37 |
2 ,5 6 |
— |
— |
300 |
0 ,5 4 |
1,02 |
1,42 |
— |
— |
— |
57
Т а б л и ц а 61 Окисление TiN, нанесенного на подложку из А120 3
(кислород, |
Р = 1 а т м , d = b , 2 |
г / с м \ [30]) |
|
|
|
Привес, мг1см:а |
|
Время, |
мин |
875° С |
975° С |
|
775° С |
||
10 |
0,06 |
0,225 |
0,405 |
20 |
0,09 |
0,345 |
0,645 |
30 |
0,135 |
0,500 |
1,080 |
40 |
0,165 |
0,555 |
1,275 |
50 |
0,210 |
0,645 |
1,500 |
60 |
0,225 |
0,705 |
1,650 |
80 |
0,285 |
0,870 |
2,025 |
100 |
0,330 |
0,990 |
2,500 |
120 |
0,375 |
1,110 |
- |
140 |
0,420 |
1,222 |
— |
160 |
0,460 |
1,335 |
— |
180 |
0,495 |
1,440 |
— |
200 |
0,540 |
1,575 |
— |
220 |
0,585 |
1,650 |
- - |
240 |
0,600 |
1,740 |
— |
260 |
0,645 |
1,845 |
— |
280 |
0,667 |
1,905 |
— |
300 |
0,705 |
1,995 |
— |
58
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
62 |
|
Окисление нитрида титана (спираль, |
кислород, |
Р —1 а т м , [30])* |
|||||||
|
|
|
|
Привес, м г /с м 2 |
|
|
|
||
Время, |
|
|
|
|
|
|
|
|
1075° С |
м и н |
675° С |
725° С |
775° С |
825° С 875° С |
900° С |
925° С |
975° С |
||
|
|||||||||
10 |
|
_ |
0,02 |
0,04 |
0,14 |
0,14 |
0,17 |
0,34 |
0,87 |
20 |
0,02 |
0,03 |
0,07 |
0,14 |
0,29 |
0,30 |
0,38 |
0,62 |
1,5 |
30 |
0,03 |
0,06 |
0,12 |
0,22 |
0,40 |
0,46 |
0,61 |
0,90 |
2,08 |
40 |
0,04 |
0,08 |
0,16 |
0,29 |
0,49 |
0,69 |
0,87 |
1,17 |
— |
50 |
0,06 |
0,10 |
0,20 |
0,36 |
0,59 |
0,71 |
0,94 |
1,46 |
— |
60 |
0,07 |
0,12 |
0,23 |
0,41 |
0,67 |
0,85 |
1,10 |
1,67 |
— |
70 |
0,07 |
0,14 |
0,27 |
0,46 |
0,77 |
1,00 |
1,25 |
1,90 |
— |
80 |
0,08 |
0,16 |
0,39 |
0,51 |
0,86 |
1,08 |
1,40 |
2,12 |
— |
90 |
0,09 |
0,17 |
0,34 |
0,56 |
0,94 |
1,17 |
1,55 |
2,35 |
— |
100 |
0,10 |
0,18 |
0,37 |
0,61 |
1,03 |
1,29 |
1,71 |
2,57 |
— |
120 |
0,12 |
0,22 |
0,43 |
0,70 |
1,18 |
1,49 |
1,96 |
— |
- |
140 |
0,12 |
0,24 |
0,48 |
0,79 |
1,33 |
1,69 |
2,22 |
— |
— |
160 |
0,13 |
0,27 |
0,52 |
0,87 |
1,46 |
1,87 |
2,47 |
— |
— |
180 |
0,15 |
0,30 |
0,56 |
0,94 |
1,60 |
2,05 |
— |
— |
— |
200 |
0,16 |
0,32 |
0,60 |
1,03 |
1,71 |
2,20 |
— |
— |
— |
220 |
0,17 |
0,34 |
0,64 |
1,10 |
1,85 |
2,36 |
— |
— |
— |
240 |
0,17 |
0,36 |
0,68 |
1,18 |
1,98 |
2,52 |
— |
— |
— |
260 |
0,18 |
0,37 |
0,72 |
1,25 |
2,26 |
— |
— |
— |
— |
280 |
0,20 |
0,39 |
0,77 |
1,32 |
2,25 |
— |
— |
— |
— |
300 |
0,21 |
0,42 |
0,81 |
1,40 |
2,38 |
— |
— |
— |
— |
* Данные приведены с учетом истинной поверхности образцов.
59
Т а б л и ц а 63 Окисление нитрида титана (спираль, кислород, Р = 1 атм,
й—5,1—5,2 г/см3, [30])
|
Привес, мг{сма |
Время, |
|
мин |
875° С 900° С |
725° С 775° С 825° С |
|
8 О |
О |
925° С 975° С
10 |
0,02 |
0,04 |
0,09 |
0,20 |
0.21 |
0,24 |
0,47 |
0,90 |
20 |
0,04 |
0,08 |
0,17 |
0,35 |
0,38 |
0,43 |
0,75 |
1,52 |
30 |
0,05 |
0,11 |
0,25 |
0,46 |
0,50 |
0,57 |
1,04 |
1,54 |
40 |
0,07 |
0,15 |
0,35 |
0,55 |
0,60 |
0,70 |
1,30 |
2,28 |
50 |
0,08 |
0,18 |
0,39 |
0,63 |
0,70 |
0,83 |
1,61 |
2,75 |
60 |
0,10 |
0,21 |
0,46 |
0,70 |
0,80 |
0,93 |
1,88 |
— |
70 |
0,11 |
0,24 |
0,50 |
0,78 |
0,88 |
1,02 |
2,16 |
— |
80 |
0,13 |
0,26 |
0,57 |
0,84 |
0,96 |
1,13 |
— |
— |
90 |
0,14 |
0,29 |
0,63 |
0,89 |
1,04 |
1,24 |
— |
— |
100 |
0,16 |
0,31 |
0,67 |
0,95 |
1.11 |
1,34 |
— |
— |
120 |
0,18 |
0,36 |
0,77 |
1,08 |
1,27 |
1,59 |
— |
— |
140 |
0,20 |
0,39 |
0,84 |
1,19 |
1,43 |
1,83 |
— |
— |
160 |
0,21 |
0,42 |
0,91 |
1,38 |
1,59 |
2,07 |
— |
— |
180 |
0,23 |
0,45 |
0,99 |
1,41 |
1,76 |
2,30 |
— |
— |
200 |
0,25 |
0,47 |
1,07 |
1,54 |
1,96 |
— |
— |
— |
220 |
0,26 |
0,50 |
1,13 |
1,65 |
2,14 |
— |
— |
— |
240 |
0,27 |
0,53 |
1,20 |
1,80 |
2,36 |
— |
— |
— |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
260 |
0,29 |
0,56 |
1,23 |
1,93 |
— |
— |
— |
•--- |
280 |
0,30 |
0,59 |
1,33 |
2,11 |
— |
— |
— |
---- |
300 |
0,31 |
0,61 |
1,39 |
2,27 |
— |
— |
---- |
— |
320 |
0,32 |
0,63 |
1,46 |
— |
— |
— |
---- |
— |
340 |
0,34 |
0,65 |
1,53 |
— |
— |
— |
— |
— |
60
Т а б л и ц а 64
Давление (мм. рт. ст.) газообразных продуктов окисления нитрида титана, нанесенного на различные подложки [31]
|
TIN на Та |
TIN на W |
TIN на Мо |
TIN на W |
TIN на Pt |
W-npo- |
|
Время, |
волока |
||||||
|
|
|
|
|
|||
мин |
1200° С |
1450° С |
1200° С |
1200° С |
1200° С |
1200° С |
|
|
|||||||
5 |
0,21 |
0,15 |
0,1 |
0,07 |
0,05 |
0,018 |
|
10 |
0,35 |
0,30 |
0,2 |
0,14 |
0,10 |
0,03 |
|
15 |
0,42 |
0,35 |
0,24 |
0,18 |
0,12 |
0,03 |
|
20 |
0,43 |
0,38 |
0,26 |
0,22 |
0,14 |
0,03 |
|
30 |
0,46 |
0,41 |
0,31 |
0,25 |
0,16 |
0,03 |
|
40 |
0,48 |
0,44 |
0,32 |
0,27 |
0,17 |
0,03 |
|
50 |
0,50 |
0,46 |
0,33 |
0,30 |
0,18 |
0,03 |
|
60 |
0,52 |
0,46 |
0,35 |
0,31 |
0,18 |
0,03 |
|
70 |
0,52 |
0,46 |
0,36 |
0,32 |
0,20 |
0,03 |
|
80 |
0,53 |
0,45 |
0,37 |
0,33 |
0,21 |
0,03 |
|
90 |
0,53 |
0,44 |
0,37 |
0,33 |
0,21 |
0,03 |
|
100 |
0,53 |
0,43 |
0,38 |
0,33 |
0,21 |
0,03 |
Т а б л и ц а 65
Скорость окисления нитрида титана (воздух, пористость 2—3%, [2])
Толщина окалины, мк}смг
Время,
|
500° С |
600° с |
700° с |
800° С |
900° с |
1000° с |
10 |
1,9 |
2,8 |
4,9 |
10,0 |
26,6 |
28,5 |
20 |
3,0 |
4,9 |
9,5 |
21,7 |
30,4 |
39,5 |
30 |
4,6 |
6,3 |
12,5 |
26,6 |
45,6 |
46,4 |
40 |
5,7 |
7,0 |
16,0 |
30,8 |
48,6 |
50,5 |
50 |
6,5 |
8,0 |
18,2 |
36,1 |
53,2 |
55,9 |
61
