Промышленное производство мельчайших, устойчивых в работе транзисторов на основе монокристаллов — это триумф методов твердотельного химического синтеза.

1. 
   Маленькую пластинку монокристаллического кремния n-типа окисляют путем нагревания в О₂ или парах Н₂О, при этом на поверхности образуется тонкий слой SiO₂.
   
2. 
   Этот оксидный слой покрывают фоточувствительной пленкой, называемой фоторезистом.
   
3. 
   На фоторезист помещают маску и подвергают его облучению ультрафиолетом, при этом облучению подвергается только открытая часть фоторезиста; облученный фоторезист затем удаляют действием кислоты, в результате остается требуемая часть прочного оксидного покрытия.
   
4. 
   Незащищенные участки Si подвергают травлению плавиковой кислотой (HF), оставшийся фоторезист также удаляется.
   
5. 
   Поверхность обрабатывают парами элемента 13-й группы, примесные атомы диффундируют в незащищенные участки и образуют слой Si р-типа.
   
6. 
   Стадии 1-5 повторяют с другой маской, и новые участки обрабатывают парами элемента 15-й группы, при этом образуется слой Si n-типа.
   
7. 
   Наконец, поверхность подвергается повторному окислению с новой маской и затем повторному травлению, на образующиеся открытые участки осаждают металл, чтобы соединить п- и р-участки в интегральную схему.
   

Этим методом можно производить невероятно маленькие p-n-диоды и n-p-n-транзисторы. Например, в запоминающих устройствах компьютеров микрочип может хранить свыше 10⁵ бит информации.

Применение кремния в современной микроэлектронике

Кремний основной материал современной электронной техники. Он идёт на изготовление практически всех существующих в настоящее время полупроводниковых приборов (транзисторов, тиристоров, диодов и др.) и изделий микроэлектроники – интегральных устройств. Интегральные микросхемы (ИМС) – основное изделие в использовании кремния в настоящее время. Кремниевые ИМС и микропроцессоры являются основными компонентами вычислительной техники и автоматики. Кремний активно используется в солнечных батареях, непосредственно трансформирующих излучение солнца в электричество. Так же используется в кварцевых резонаторах, кварцевых часах и во многих других приборах.

Список использованных источников:

---

1. Химическая энциклопедия: в 5-ти тт. / Редкол.:Кнунянц И. Л. (гл. ред.). — Москва: Советская энциклопедия, 1990.
2. Общая химия: Учебник для вузов. — 4-е изд., исправл. – СПб: Химиздат.
3. Ежовский Ю. К. Введение в технологию материалов электронной техники: учебное пособие.
4.Жаркой М.Ф. Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем: учебное пособие.
5. Интернет – ресурс Википедия https://ru.wikipedia.org/wiki/Кремний . 6. Интернет – ресурс Wikia.org https://science.wikia.org/ru/wiki/Кремний .

---

Смотрите также файлы

• Анализ результатов огэ по математике.docx

• Протокол от 20 г. Утверждаю заместитель директора по учебной работе.doc

• Лабораторная работа 1 применение законов сохранения для определения скорости полета пули цель работы проведение экспериментального определения скорости полета пули с использованием законов сохранения импульса и полной механической энергии..pdf

• Тип членистоногие. Класс ракообразные.pptx

• Проекции морских карт.docx