Файл: Самсонов, Д. Е. Основы расчета и конструирования магнетронов. (Настройка. Стабилизация. Вывод энергии. Холодные измерения).pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 16.10.2024

Просмотров: 176

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

этом около 80% всей мощности потерь рассеивается на участке, равном половине широкой стенки волновода. В круглом волноводе максимум плотности потерь для волны типа Нц также лежит в центре.

Расчет температурных полей для некоторых конструкций окон

приведен в

работах

[125, 126, 128,

130]. Эти

расчеты показывают,

в частности,

что при

росте потерь

возможно

катастрофическое на­

растание температуры, в результате которого происходит темпера­ турный пробой диэлектрика (прожигание).

При малых толщинах окна рассеянием тепла па стенки волно­ вода можно пренебречь. В основном тепло рассеивается на конвек­ ционный теплообмен с газом и тепловое излучение. Мощность, рас­ сеиваемая па излучение, определяется по формуле

 

^ H 3 » ^ « ( 7 l - ^ ) 2 S ,

 

(VII.33)

где о — постоянная Стефана — Больцмана;

Те —- температура диэлек­

трической перегородки; То — температура

окружающего

простран­

ства; S — площадь

окна.

 

 

Коэффициент

2 учитывает излучение

перегородки

(пленки)

с двух

сторон. Мощность, отводимая от окна в процессе конвекци­

 

онного

охлаждения, определяется по формуле

 

 

 

/ , „ O H B « X ( 7 ' , - 7 V ) S ,

(VII.

34)

где — коэффициент теплоотдачи.

 

 

Предельная мощность (удельная), которую может

пропустить

окно, рассчитывается из условия баланса мощности допустимых по­ терь и отводимой мощности по формуле

 

а)

 

ЫТТ

 

 

[Вт/см2 ]

 

 

 

 

 

 

(VII.35)

где

Т'впред — предельно

допустимая температура

для окна.

 

Так,

например,

окно из полиимидной

пленки

[131]

(в = 3,5, tg8=

= 0,007 при 7", = 473К)

способно

выдерживать

кратковременный на­

грев

до

Тг = 873К

в

течение

1—2 ч

и до Тг = 723К в течение

4—5 ч. При температуре

же Ts

= 523К

эти пленки

могут работать

в течение

10 000 ч с удельной нагрузкой

в несколько

десятков кило­

ватт

средней мощности.

 

 

 

 

 

 

Механизм нагрева окна вследствие вторично-электронного раз­

ряда чрезвычайно сложен и до

сих пор до конца не изучен. Наи­

более интересными отечественными и зарубежными работами, посвя­ щенными этому вопросу, являются работы [132—142].

Сущность этого явления состоит в следующем. Первичные элек­ троны, ускоренные ВЧ полем, приобретают большие энергии. Уда­ ряясь о диэлектрик, они выбивают вторичные электроны, которые, в свою очередь, ускоряясь полем, вновь выбивают из диэлектрика электроны и т. д. В результате такого процесса в вакууме возни­ кает высокочастотный вторично-электронный разряд. Энергия удара

электронов о

диэлектрик частично

преобразуется

в тепло, идущее

на его нагрев,

частично — в энергию

видимого и

рентгеновского из-

261


лучении [121, 127]. Вследствие эмиссии электронов поверхность ди­ электрика заряжается. Процесс стекапия заряда с поверхности со­ провождается дополнительным нагревом диэлектрика.

Интенсивность вторично-электронного разряда зависит от физи­ ческих свойств диэлектрика, от степени чистоты его поверхности, ве­ личины коэффициента вторичной эмиссии, степени вакуума, степени обезгаженности диэлектрика, наличия свободных электронов, от фор­ мы поверхности, структуры и интенсивности электромагнитных ВЧ и статических полей. Вторично-электронный разряд в СВЧ поле может иметь место и при больших углах пролета между поверхно­

стями [140].

 

 

 

Воздух

Жидкость

Насос

Газ

 

или газ

 

 

Рис. VII.19. Способы охлаждения плоских и выпуклых окон:

а — о т в о д т е п л а в о з д у ш н о й к о н в е к ц и е й ; б — в о д я н о е о х л а ж д е н и е ; в — к о н в е к ­ т и в н ы й т е п л о о т в о д с п о м о щ ь ю с п е ц и а л ь н о й к а м е р ы ; г — к о н в е к т и в н ы й г а з о ­ в ы й т е п л о о т в о д с п о м о щ ь ю з а м к н у т о й с и с т е м ы .

При прочих равных условиях вторично-электронный разряд лег­ че возникает в окнах выпуклой и плоской наклонной конструкции, труднее — в плоских поперечных окнах. В последнем случае может наблюдаться «одноповерхностный» разряд. Среди многих способов предотвращения вторично-электронного разряда наиболее эффектив­ ным считается нанесение па поверхность диэлектрика различного рода аптиэмиссионных покрытий. В качестве аптиэмиссиониых по­ крытий используются золото [4], титан, окись титана, нитрид бора [143], пятиокись ванадия [144] и некоторые виды высокотемператур­ ных глазурей [186].

Для повышения пропускной способности и надежности узла вакуумного уплотнения па практике принимают специальные меры по повышению эффективности теплоотвода от окна, т. е. применяют различные способы естественного и принудительного охлаждения окна. На рис. VII.19 показаны лишь некоторые из них.

Принудительный конвективный отвод тепла применяют в основ­

ном в узлах

вакуумного уплотнения с выпуклыми окнами, так как

в них отвод

тепла за счет теплопроводности к стенкам затруднен

из-за больших расстояний от наиболее нагретых участков окна до металлических стенок волновода. При этом замкнутую систему при­

нудительного конвекционного

охлаждения применяют

тогда, когда

в волноводном тракте имеется избыточное давление

относительно

атмосферного. В большинстве случаев горячий воздух

стравливается

через специальные отверстия

в волноводах.

 

262


9. Электрическая прочность выходных устройств

Электрический пробой в т о л щ е керамики выходных устройств импульсных магнетронов (внутренний пробой)

или

по ее поверхности

(поверхностный пробой)

м о ж е т

быть

вызван самыми

различными причинами,

порой

у с к о л ь з а ю щ и м и от внимания р а з р а б о т ч и к а . Д а ж е

такой

мало заметный технологический дефект керамики, к а к наличие в ней микропусгот, может снизить ее электри ­

ческую прочность

в 1,5—2,0 р а з а [142]. Вторично-элек­

тронный

р а з р я д

т а к ж е

может

в ы з в а т ь электрический

пробой [132]. П о д р о б н о

вопросы

электрической прочности

различных волноводных элементов рассмотрены в

ра­

боте

[145].

 

 

 

 

 

 

 

С

целью

п р е д о т в р а щ е н и я

внутренних

пробоев

на

практике

стремятся использовать д л я

окна

однородные

м а т е р и а л ы

с высокой

электрической

прочностью.

По ­

верхностный пробой диэлектрического окна, часто пере­ ходящий в непрерывный поверхностный р а з р я д , м о ж е т

быть вызван наличием на поверхности окна

загрязнений,

трещин, шероховатостей, следов

м е т а л л и з а ц и и

и т. д.

К а к правило, этот вид р а з р я д а

происходит

с

невакуум ­

ной стороны окна, но может возникнуть и с внутренней (вакуумной) стороны окна. В работе [137], например, отмечается, что развитие поверхностного пробоя сущест­ венно зависит от свойств металлизации, т. е. от сопро­

тивления,

толщины,

плотности

и

шероховатости

метал ­

лизированного

 

слоя

керамики .

У к а з ы в а е т с я , что

при

большой

толщине

слоя

м е т а л л и з а ц и и

дисковое

окно

в одной

из конструкций

узла

вакуумного

уплотнения

в ы д е р ж и в а е т

12

МВт, при

малой

т о л щ и н е 80

М В т и

при

отсутствии

м е т а л л и з а ц и и

и

пайки — до

150

М В т .

З а м е ч е н о

т а к ж е ,

что

электрическая прочность

окна

рас ­

тет

с

укорочением

длительности

высокочастотного

импульса .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Следует особо подчеркнуть, что поверхностные

про­

бои

и

искрения

в

спае я в л я ю т с я

тем фактором,

который

ограничивает

сверху

импульсную

мощность,

пропускае ­

мую

окном без

разрушения,

если

д а ж е

все другие

фак ­

торы (паразитные резонансы, вторично-электронный раз ­ ряд) устранены .

Д л я уменьшения вероятности поверхностного пробоя на практике стремятся увеличить длину пути д л я воз­

можного

р а з р я д а по поверхности,

что

достигается

при­

менением

окон выпуклой формы;

з а щ

и т и т ь место

спая

263


к е р а м и ки с металлом от сильных высокочастотных по­ лей, что достигается расположение м спая в узле напря ­ жения или выносом его из зоны действия В Ч поля; улуч­ шить технологию спая или вовсе отказатьс я от спая ке­ рамики с металлом через металлизированны й слой, за­ менив его вакуумноплотным высокотемпературным клеем.

В некоторых случаях электрическую прочность кера­ мики удается повысить использованием специальных за­ щитных покрытий. Пр и наличии избыточного давлени я в волноводном тракте электрическая прочность выходно­ го устройства резко повышается .

Приведем несколько примеров из опыта разработки

магнетро­

нов [107], иллюстрирующих явление электрических пробоев

в выход­

ном устройстве

магнетрона.

 

1-й пример.

В конструкции одного из магнетронов

применен

коаксиально-волноводный переход. В процессе динамических испы­ таний выяснилось, что слабым местом у этого магнетрона является

Расстояние вдоль коаксиальной пинии

Рис. VII.20. К явлению электрического пробоя в выходном устрой­ стве магнетрона:

/ — ш т ы р ь т р а н с ф о р м а т о р а ;

2 — в а к у у м н о е у п л о т н е н и е ;

3 — в н у т р е н н и й про ­

в о д н и к к о а к с и а л ь н о й л и н и и ;

4—коаксиально-волноводный

п е р е х о д ; 5 — регу­

 

л я р н ы й в о л н о в о д .

 

узел соединения штыря петлевого трансформатора с внутренним проводником коаксиальной линии ((рис. VII. 20): в месте соединения наблюдались пробои и подгорали контакты.

Тщательные исследования причин пробоев помогли установить, что в непосредственной близости к месту соединения указанных элементов отмечается резкое возрастание («всплеск») относитель­ ной величины электрического поля, приходящееся на спай стекла

2 6 4


с вольфрамовым штырем /. Пробои не наблюдались, когда рас­ стояние от места соединения до места спая d равнялось нулю.

Подгорание же контактов удалось устранить, применив пружиня­ щий контакт с более развитой поверхностью.

2-й пример. При разработке магнетрона у большинства испытан­ ных образцов наблюдались электрические пробои в узле вакуум­ ного уплотнения на одной из волн в средней части диапазона пере­ стройки. Иногда пробои возникали уже при уровнях мощности, в три раза меньших, чем номинальная. На остальных же волнах диа­ пазона перестройки выходное устройство пропускало без пробоев полуторакратные уровни мощности по отношению к номинальной. Полоса частот, в которой наблюдались высокочастотные пробои, составляла всего '1—2 МГц.

По предположению, пробои возникали вследствие резонансного возбуждения полости узла вакуумного уплотнения, конструкция которого показана на рис. VII.11. Поскольку в этой полости про­ исходит «деформация» основного типа волны Ню, то возбуждение высших типов волн в ней не исключено. В данном случае наиболее опасным типом волны (в смысле электрических пробоев) является волна типа E 0 i , имеющая продольную составляющую электрического поля.

Действительно, на возбуждение в полости именно волны типа Eoi указывал сам характер пробоев: пробои носили характер лавин­ ного искрового разряда, переходящего в дуговой разряд и остав­ лявшего на закругленной части волноводной насадки 5 следы под-

гара. Присутствие в искаженном поле волны типа Еп также не исключено.

Предположение о резонансном возбуждении полости в даль­ нейшем подтвердилось: после того, как объем полости был умень­ шен путем уменьшения радиуса закругления патрубка / и насад­ ки 5, электрические пробои в узле вакуумного уплотнения прекрати­

лись (собственная волна полости сместилась за диапазон настройки магнетрона со стороны короткой волны)-.

3-й пример. Еще более запутанным оказалось явление электриче­ ского пробоя и лавинного разряда в выходном устройстве мощного импульсного магнетрона, в котором пробой развивался с вакуумной стороны стеклянного окна куполообразной формы (рис. VII.21). Чаще всего пробои развивались с концов экспоненциальных «крыль­

ев»

/.

Установлено, что

пробои возникали в результате возбужде­

ния

на

фронте и спаде

импульса напряжения так называемого

«разгруженного дублета» ближайшего к Jt-виду паразитного вида

колебаний, благодаря чему на щели связи

выходного резонатора

действовало высокое напряжение (связь по

напряжению),

которое

к концам крыльев повышалось приблизительно в 100 раз

[107].

Независимыми измерениями относительной величины напря­ женности поля вблизи концов крыльев удалось установить, что она приблизительно на порядок больше для частоты разгруженного дублета, чем для частоты я-вида колебаний.

При испытании магнетрона в

динамическом режиме пробои

в выходном устройстве наблюдались

всякий раз, когда волномером

фиксировалась частота разгруженного дублета. При этом стеклян­ ный колпак не выходил из строя до тех пор, пока уровень мощ­ ности, генерируемой на частоте я-вида, оставался в несколько раз меньше номинального уровня. При номинальном же уровне мощно­ сти на частоте я-вида возбуждение разгруженного дублета всякий

265