ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 20.03.2024
Просмотров: 4
Скачиваний: 0
Сумський державний університет
Факультет електроніки та інформаційних технологій
Кафедра прикладної фізики
РОЗРАХУНКОВО-ГРАФІЧНА РОБОТА
з дисципліни
“ТЕХНОЛОГІЧНІ ОСНОВИ ЕЛЕКТРОНІКИ”
Варіант №15
Виконав: Матвієнко Б.І.,
студент групи ФЕ-31
Перевірив: Опанасюк Н.М.,
доцент
Завдання 3. Зобразити графічно залежність концентрації різних легуючих елементів з глибиною при дифузії їх у кремній протягом 1 години при початковій концентрації N0, якщо дифузія відбувається при температурі Т, зазначеній в таблиці 2.
|
Елемент |
D0 , см2/с |
Ea, еВ |
T |
|
As |
60 |
4,2 |
1000 K |
Будуємо графік залежності:
|
N*1016, см-3 |
x*10-8, см |
|
5 |
0 |
|
4,791518 |
0,5 |
|
4,216796 |
1 |
|
3,407991 |
1,5 |
|
2,529418 |
2 |
|
1,724046 |
2,5 |
|
1,079155 |
3 |
|
0,620333 |
3,5 |
|
0,32747 |
4 |
|
0,158754 |
4,5 |
|
0,070678 |
5 |
|
0,028897 |
5,5 |
|
0,01085 |
6 |
|
0,003741 |
6,5 |
|
0,001185 |
7 |
|
0,000344 |
7,5 |
|
9,2E-05 |
8 |
Рис.2 Залежність N(x)
СПИСОК ВИКОРИСТАНОЇ ЛІТЕРАТУРИ
1. Опанасюк Н.М. Технологічні основи електроніки (практикуми): навчальний посібник / Н.М.Опанасюк, Л.В.Однодворець, А.О.Степаненко, С.І.Проценко. - Суми: Сумський державний університет, 2013.- 105 с.
2. Готра З.Ю. Технологія електронної техніки: навч. посібник в 2 т. / З.Ю.Готра. - Львів: Видавництво Національного університету «Львівська політехніка».-Т.1.- 2010.- 888 с.
3. . Готра З.Ю. Фізичні основи електронної техніки: навч. посібник в 2 т. / З.Ю.Готра.- Львів: Видавництво Національного університету «Львівська політехніка» -Т.2.- 2010.- -884 с.
4. Готра З.Ю. Технологія електронної техніки: / З.Ю.Готра, І.Є. Лопатинський, Б.А. Лукіянець та ін.; за ред.З.Ю.Готри.- Львів: Видавництво «Бескид Біт» , 2004.- -880 с.
5. Прищепа М.М. Мікроелектроніка: в 3 ч. / М.М. Прищепа, В.П. Погребняк. - Київ: Вища школа. - Ч.1.
Суми 2015
