ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 09.04.2024
Просмотров: 158
Скачиваний: 0
манометров ничего не говорят о составе и парциальном давлении отдельных составляющих газовой смеси. Парциальные давления компонентов остаточного газа зависят при проведении техноло гического процесса в вакууме от количественного состава газов.
Знание парциальных давлений отдельных компонентов газо вых смесей, присутствующих в вакуумных камерах прокатных станов, значительно важнее, чем знание полных давлений, так как величина парциальных давлений активных газов определяет кинетику реакции металл—газ, характер изменения всех пока зателей процесса и, в конечном счете, эффективность обработки металлов в средах регулируемого состава.
В связи с этим, основным параметром вакуумных систем, при меняемых при различных технологических процессах (плавка, литье, спекание, горячая обработка давлением), должно быть не только полное давление остаточных газов, но и парциальные да вления всех компонентов газовой смеси.
Для измерения парциальных давлений наиболее совершенными приборами являются масс-спектрометрические газоанализаторы, отличающиеся высокой чувствительностью, простотой и надеж ностью. Масс-спектрометрический метод основан на ионизации
анализируемых газов, разделении образовавшихся |
положительных |
||||||||
ионов на компоненты в зависимости от массового |
числа M = — |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
е |
(отношение массы |
иона к его заряду) и измерении |
интенсивности |
|||||||
ионных |
пучков. |
|
|
|
|
|
|
|
|
В |
зависимости от метода разделения |
ионов все масс-спектро |
|||||||
метры |
делятся на |
статические |
и динамические. |
В статических |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а |
16 |
|
Основные |
характеристики динамических масс-спектрометров |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
Т и п |
и марка м а с с - с п е к т р о м е т р а |
|
|
||
Х а р а к т е р и с т и к а |
в р е м я - п р о л е т н ы й |
( х р о н о т р о н ) |
р а д и о |
о м е г а т р о н |
|
|
|||
ч а с т о т н ы й |
фарви - |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
т р о н |
|
|
|
M C X - 3 A |
M C X - 2 M |
MX-5201 |
МХ - 6401 |
И П Д О - 1 |
|
|
|
Диапазон измере |
1—250 |
1—250 |
12—56 |
2—8; |
2—100 |
|
|
||
ния по массам |
|
|
|||||||
Разрешающая |
|
|
|
12—56 |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|||
способность |
20 |
20 |
40 |
45 |
20 |
20 |
|||
Чувствительность |
|
|
|
|
|
|
|||
к |
примесям |
|
|
0,05 |
|
|
|
|
|
в % |
|
l u " 9 |
l u " 9 |
0,1 |
1 0 - ю |
Ю - 9 |
|||
в мм рт. ст. |
|
||||||||
Рабочий |
диапа |
|
|
|
|
|
|
|
|
зон давлений в |
ю - в — |
10"5— |
Ниже |
ю - * — |
ю - 6 — |
ю - 5 |
— |
||
мм |
рт. ст. • • |
||||||||
|
|
— Ю - 9 |
— I Q " 9 |
ю - * |
—10"8 |
— ю - 1 0 |
—10"8 |
•59
масс-спектрометрах отклонение ионного луча происходит в маг
нитном |
поле, в динамических — в |
переменном электрическом |
поле. |
|
|
Статические масс-спектрометры из-за сложности и необходи |
||
мости |
предварительного отбора проб |
мало перспективны для |
применения в вакуумных прокатных станах. Для непрерывного контроля состава остаточных газов в вакуумных камерах более целесообразно использовать простые и портативные динамические масс-спектрометры. Промышленностью выпускаются динамиче ские масс-спектрометры: фарвитрон, омегатрон, радиочастотный и время-пролетный. Основные характеристики динамических массспектрометров приведены в табл. 16.
5. НАТЕКАНИЕ И МЕТОДЫ ЕГО ОБНАРУЖЕНИЯ
Общая характеристика натекания
Натекание является чрезвычайно важной характеристикой вакуумной системы прокатного стана.
Скорость натекания более точно характеризует количество га зов в камере, чем величина общего давления. Система откачки может иметь большую мощность, обеспечивающую очень низкое давление, но общее количество газа, проходящего над прокаты ваемым металлом, останется значительным, если натекание будет большим. Это вызовет интенсивное окисление металла и пони жение механических свойств [21].
Натекание обусловлено наличием неплотностей в оболочке камеры, трещин, отверстий, сообщающих ее внутреннюю полость с внешним пространством. Кроме того, натекание происходит за счет недостаточной герметичности вакуумных соединений. При этом газ поступает в камеру как через уплотнения, так и за счет десорбции с поверхности уплотнения, соприкасающейся с вакуум ным объемом.
Как показывает опыт, натекание зависит от отношения суммы периметров всех уплотнений вакуумной системы к ее объ ему. В связи с этим, важное значение имеет количество вакуум ных соединений системы.
Для измерения величины натекания пользуются следующим методом: откачанную до давления Pï вакуумную камеру с помощью затворов отсоединяют от вакуумных насосов и фиксируют зна
чение давления Р2 в системе |
через |
время т. |
||
Скорость натекания |
цн |
(в |
мкм |
рт. ст.-л/сек) для системы |
объемом V определяют |
по |
следующей формуле: |
||
|
п |
- |
У ( Р 2 - Р г ) |
|
|
Чн — |
т |
|
Определенная скорость газопоступлений может учитывать не только натекание в вакуумную камеру атмосферного воздуха, но
60
также и десорбцию газов с поверхности конструкций и газовыделе ния из нагретых материалов. Все эти составляющие учитываются уравнением (24), где скорость газовыделений и скорость десорбции являются переменными величинами. По мере откачки они умень шаются и через некоторое время, зависящее от условий эксплуа тации стана, становятся равными нулю. После этого скорость газопоступлений определяется только скоростью натекания qH, которое обусловливается конструкцией системы и тщательностью ее выполнения и обычно яв ляется постоянной величиной.
Дальнейшее |
уменьшение га |
ri |
, |
|
зопоступления |
возможно |
путем |
||
устранения имеющихся в |
ваку |
|
|
|
умной системе |
неплотностей. |
7І \ |
|
В" связи |
с |
этим |
определение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
истинного |
натекания |
|
должно |
6 •=>- |
1 — ъ |
|
|
|
|
|
||||||
проводиться |
после |
длительной |
|
|
k 1 |
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
тренировки |
системы, |
|
когда |
|
|
|
2 |
~ |
|
|
|
|||||
исчезнут |
десорбция |
газа |
со сте |
|
|
о |
20 |
ЬО |
|
60 |
V |
|||||
нок |
и газовыделения |
из |
нагре |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
Время |
откачки |
|
|||||||||||
тых |
в |
вакууме |
материалов. |
|
|
|
|
|||||||||
Рис. |
29. Зависимость |
скорости |
газо |
|||||||||||||
Твердых |
норм |
натекания |
||||||||||||||
поступлений от времени откачки (ва |
||||||||||||||||
пока нет. Допустимым натека- |
куумный стан МИСиС-210) |
после |
раз- |
|||||||||||||
нием |
в вакуумные |
печи |
|
объе |
|
|
вакуумирования: |
|
|
|||||||
мом 12 м3, |
работающие |
при |
1 |
— в |
течение |
н е д е л и ; |
2 |
— в |
течение 1 ч |
|||||||
давлении 10"" 3 — Ю - 4 мм |
рт. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
ст., |
считается 10 мкм |
рт. ст.-л/сек; |
при |
объеме |
1—2 м3 |
до |
||||||||||
пускается натекание 2—3 |
мкм |
рт. |
ст.-л/сек |
[45, |
49]. |
|
|
Для вакуумной системы прокатного стана Московского инсти тута стали и сплавов характерны зависимости скорости газопоступ лений от времени откачки, представленные на рис. 29.
Авторы изучали влияние скорости натекания (десорбция и газо выделение были сведены к нулю), изменяемой искусственно в ши
роких пределах при различных остаточных давлениях |
в камере, |
на интенсивность взаимодействия одного из наиболее |
химически |
активных металлов — циркония с газами [36]. Исследование про водили в реальных условиях прокатки при нагреве циркония до
1000° С в течение 15 мин. |
Скорость натекания в интервале от 20 |
|
до 340 мкм рт. ст.-л/сек |
регулировали с помощью специального |
|
натекателя, вмонтированного в вакуумную |
печь прокатного стана. |
|
Остаточное давление изменяли в пределах |
Ю - 1 — Ю - 4 мм рт. ст. |
Интервал изменения скорости натекания определялся совер шенством вакуумной системы стана и мощностью системы откачки. Превышение максимальной скорости натекания, равной 340 мкм рт. ст-лісек, в вакууме 1 0 ~ 4 л ш рт. ст. приводило к повышению давления в камере. Из рис. 30, а следует, что общее количество газов, поглощенных цирконием в процессе обработки, существенно возрастает с увеличением скорости натекания, причем влияние
61
этой скорости'на интенсивность взаимодействия циркония с га
зами возрастает по мере увеличения степени вакуума. |
Например, |
|||||||||||
при увеличении скорости натекания от 20 до 300 мкм |
рт.ст.-л/сек |
|||||||||||
в |
вакууме |
|
Ю - 1 |
мм |
рт. |
ст. |
масса |
циркония |
увеличи |
|||
вается |
в 1,22 |
раза; |
в вакууме 10"2 |
мм |
рт. |
ст. •— увеличивается |
||||||
в |
1,46 |
раза; |
в |
вакууме 10"3 |
мм |
рт. ст. — в 2,5 раза; |
в вакууме |
|||||
Ю - 4 мм рт. |
ст. — в 6,3 |
раза. |
Подобным |
образом |
изменяется |
|||||||
и |
толщина |
окисной |
пленки |
(рис. 30, |
б). |
|
|
мкм
9
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
а; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ч. 4 |
|
2 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
«5 |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
ез 3 |
|
3 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
20 50 100 150 200 250 300 350£ 120 50 100 150 200 250 300 350 |
|||||||||||||
Скорость |
натекания, мкм |
|
Скорость натекания, |
|
|
||||||||
рт. ст.-л/сек |
|
|
мкм рт. ст. • л/сек |
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
S) |
|
|
|
|
Рис. 30. Влияние скорости натекания |
при |
различной глубине |
вакуума: |
|
|||||||||
а — на у в е л и ч е н и е |
массы ц и р к о н и я ; б — на т о л щ и н у о к и с н о й |
п л е н к и ; г л у б и н а |
в а к у у м а |
||||||||||
в |
мм |
рт. |
ст.: |
1 — Ю - 1 ; 2 — |
I 0 ~ 2 ; |
3 — 10~3 ; |
4 — 10-* |
|
|
|
|
||
Как показывают |
исследования, |
обработка в вакууме Ю - 4 и |
|||||||||||
10"2 мм рт. ст. при |
большой |
скорости натекания |
(от |
100 |
до |
||||||||
340 мкм рт. ст.-л/сек) |
по своим результатам |
практически |
равно |
||||||||||
ценна обработке в вакууме соответственно Ю - 3 и Ю - 1 мм рт. |
|
ст., |
|||||||||||
но при более низких значениях скорости |
натекания |
(от |
20 |
до |
|||||||||
170 мкм рт. ст. • л/сек). |
Например, |
привес |
циркония |
при |
обра |
||||||||
ботке в вакууме Ю - 4 |
мм рт. |
ст. |
и |
скорости натекания |
|
qH |
= |
||||||
— 10 мкм рт. |
|
ст.-л/сек |
равен |
увеличению |
массы циркония |
при |
|||||||
обработке в более низком вакууме 10"3 |
мм рт. cm; но с минималь |
ным значением скорости натекания, равным 20 мкм рт. ст. • л/сек. При больших значениях скорости натекания эффективность применения вакуума определенной степени может быть значи тельно ниже, чем влияние более низкого вакуума, но с минималь ным натеканием. Так, общее количество поглощенных газов в ва-
62