Файл: Вакуумные прокатные станы..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 158

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

манометров ничего не говорят о составе и парциальном давлении отдельных составляющих газовой смеси. Парциальные давления компонентов остаточного газа зависят при проведении техноло­ гического процесса в вакууме от количественного состава газов.

Знание парциальных давлений отдельных компонентов газо­ вых смесей, присутствующих в вакуумных камерах прокатных станов, значительно важнее, чем знание полных давлений, так как величина парциальных давлений активных газов определяет кинетику реакции металл—газ, характер изменения всех пока­ зателей процесса и, в конечном счете, эффективность обработки металлов в средах регулируемого состава.

В связи с этим, основным параметром вакуумных систем, при­ меняемых при различных технологических процессах (плавка, литье, спекание, горячая обработка давлением), должно быть не только полное давление остаточных газов, но и парциальные да­ вления всех компонентов газовой смеси.

Для измерения парциальных давлений наиболее совершенными приборами являются масс-спектрометрические газоанализаторы, отличающиеся высокой чувствительностью, простотой и надеж­ ностью. Масс-спектрометрический метод основан на ионизации

анализируемых газов, разделении образовавшихся

положительных

ионов на компоненты в зависимости от массового

числа M = —

 

 

 

 

 

 

 

 

 

е

(отношение массы

иона к его заряду) и измерении

интенсивности

ионных

пучков.

 

 

 

 

 

 

 

В

зависимости от метода разделения

ионов все масс-спектро­

метры

делятся на

статические

и динамические.

В статических

 

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а

16

Основные

характеристики динамических масс-спектрометров

 

 

 

 

 

 

 

Т и п

и марка м а с с - с п е к т р о м е т р а

 

 

Х а р а к т е р и с т и к а

в р е м я - п р о л е т н ы й

( х р о н о т р о н )

р а д и о ­

о м е г а т р о н

 

 

ч а с т о т н ы й

фарви -

 

 

 

 

 

 

 

 

т р о н

 

 

M C X - 3 A

M C X - 2 M

MX-5201

МХ - 6401

И П Д О - 1

 

 

Диапазон измере­

1—250

1—250

12—56

2—8;

2—100

 

 

ния по массам

 

 

Разрешающая

 

 

 

12—56

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

способность

20

20

40

45

20

20

Чувствительность

 

 

 

 

 

 

к

примесям

 

 

0,05

 

 

 

 

в %

 

l u " 9

l u " 9

0,1

1 0 - ю

Ю - 9

в мм рт. ст.

 

Рабочий

диапа­

 

 

 

 

 

 

 

зон давлений в

ю - в

10"5

Ниже

ю - * —

ю - 6

ю - 5

мм

рт. ст. • •

 

 

— Ю - 9

— I Q " 9

ю - *

—10"8

— ю - 1 0

—10"8

•59



масс-спектрометрах отклонение ионного луча происходит в маг­

нитном

поле, в динамических — в

переменном электрическом

поле.

 

 

Статические масс-спектрометры из-за сложности и необходи­

мости

предварительного отбора проб

мало перспективны для

применения в вакуумных прокатных станах. Для непрерывного контроля состава остаточных газов в вакуумных камерах более целесообразно использовать простые и портативные динамические масс-спектрометры. Промышленностью выпускаются динамиче­ ские масс-спектрометры: фарвитрон, омегатрон, радиочастотный и время-пролетный. Основные характеристики динамических массспектрометров приведены в табл. 16.

5. НАТЕКАНИЕ И МЕТОДЫ ЕГО ОБНАРУЖЕНИЯ

Общая характеристика натекания

Натекание является чрезвычайно важной характеристикой вакуумной системы прокатного стана.

Скорость натекания более точно характеризует количество га­ зов в камере, чем величина общего давления. Система откачки может иметь большую мощность, обеспечивающую очень низкое давление, но общее количество газа, проходящего над прокаты­ ваемым металлом, останется значительным, если натекание будет большим. Это вызовет интенсивное окисление металла и пони­ жение механических свойств [21].

Натекание обусловлено наличием неплотностей в оболочке камеры, трещин, отверстий, сообщающих ее внутреннюю полость с внешним пространством. Кроме того, натекание происходит за счет недостаточной герметичности вакуумных соединений. При этом газ поступает в камеру как через уплотнения, так и за счет десорбции с поверхности уплотнения, соприкасающейся с вакуум­ ным объемом.

Как показывает опыт, натекание зависит от отношения суммы периметров всех уплотнений вакуумной системы к ее объ­ ему. В связи с этим, важное значение имеет количество вакуум­ ных соединений системы.

Для измерения величины натекания пользуются следующим методом: откачанную до давления Pï вакуумную камеру с помощью затворов отсоединяют от вакуумных насосов и фиксируют зна­

чение давления Р2 в системе

через

время т.

Скорость натекания

цн

мкм

рт. ст.-л/сек) для системы

объемом V определяют

по

следующей формуле:

 

п

-

У ( Р 2 - Р г )

 

Чн —

т

 

Определенная скорость газопоступлений может учитывать не только натекание в вакуумную камеру атмосферного воздуха, но

60


также и десорбцию газов с поверхности конструкций и газовыделе­ ния из нагретых материалов. Все эти составляющие учитываются уравнением (24), где скорость газовыделений и скорость десорбции являются переменными величинами. По мере откачки они умень­ шаются и через некоторое время, зависящее от условий эксплуа­ тации стана, становятся равными нулю. После этого скорость газопоступлений определяется только скоростью натекания qH, которое обусловливается конструкцией системы и тщательностью ее выполнения и обычно яв­ ляется постоянной величиной.

Дальнейшее

уменьшение га­

ri

,

зопоступления

возможно

путем

устранения имеющихся в

ваку­

 

 

умной системе

неплотностей.

7І \

 

В" связи

с

этим

определение

 

 

 

 

 

 

 

 

истинного

натекания

 

должно

6 •=>-

1 — ъ

 

 

 

 

 

проводиться

после

длительной

 

 

k 1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тренировки

системы,

 

когда

 

 

 

2

~

 

 

 

исчезнут

десорбция

газа

со сте­

 

 

о

20

ЬО

 

60

V

нок

и газовыделения

из

нагре­

 

 

 

 

 

 

Время

откачки

 

тых

в

вакууме

материалов.

 

 

 

 

Рис.

29. Зависимость

скорости

газо­

Твердых

норм

натекания

поступлений от времени откачки (ва­

пока нет. Допустимым натека-

куумный стан МИСиС-210)

после

раз-

нием

в вакуумные

печи

 

объе­

 

 

вакуумирования:

 

 

мом 12 м3,

работающие

при

1

— в

течение

н е д е л и ;

2

— в

течение 1 ч

давлении 10"" 3 — Ю - 4 мм

рт.

 

 

 

 

 

 

 

 

ст.,

считается 10 мкм

рт. ст.-л/сек;

при

объеме

1—2 м3

до­

пускается натекание 2—3

мкм

рт.

ст.-л/сек

[45,

49].

 

 

Для вакуумной системы прокатного стана Московского инсти­ тута стали и сплавов характерны зависимости скорости газопоступ­ лений от времени откачки, представленные на рис. 29.

Авторы изучали влияние скорости натекания (десорбция и газо­ выделение были сведены к нулю), изменяемой искусственно в ши­

роких пределах при различных остаточных давлениях

в камере,

на интенсивность взаимодействия одного из наиболее

химически

активных металлов — циркония с газами [36]. Исследование про­ водили в реальных условиях прокатки при нагреве циркония до

1000° С в течение 15 мин.

Скорость натекания в интервале от 20

до 340 мкм рт. ст.-л/сек

регулировали с помощью специального

натекателя, вмонтированного в вакуумную

печь прокатного стана.

Остаточное давление изменяли в пределах

Ю - 1 — Ю - 4 мм рт. ст.

Интервал изменения скорости натекания определялся совер­ шенством вакуумной системы стана и мощностью системы откачки. Превышение максимальной скорости натекания, равной 340 мкм рт. ст-лісек, в вакууме 1 0 ~ 4 л ш рт. ст. приводило к повышению давления в камере. Из рис. 30, а следует, что общее количество газов, поглощенных цирконием в процессе обработки, существенно возрастает с увеличением скорости натекания, причем влияние

61


этой скорости'на интенсивность взаимодействия циркония с га­

зами возрастает по мере увеличения степени вакуума.

Например,

при увеличении скорости натекания от 20 до 300 мкм

рт.ст.-л/сек

в

вакууме

 

Ю - 1

мм

рт.

ст.

масса

циркония

увеличи­

вается

в 1,22

раза;

в вакууме 10"2

мм

рт.

ст. •— увеличивается

в

1,46

раза;

в

вакууме 10"3

мм

рт. ст. — в 2,5 раза;

в вакууме

Ю - 4 мм рт.

ст. — в 6,3

раза.

Подобным

образом

изменяется

и

толщина

окисной

пленки

(рис. 30,

б).

 

 

мкм

9

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/

 

 

 

 

 

 

 

 

 

а;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ч. 4

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

«5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ез 3

 

3

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

V

 

 

 

 

20 50 100 150 200 250 300 350£ 120 50 100 150 200 250 300 350

Скорость

натекания, мкм

 

Скорость натекания,

 

 

рт. ст.-л/сек

 

 

мкм рт. ст. • л/сек

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

S)

 

 

 

 

Рис. 30. Влияние скорости натекания

при

различной глубине

вакуума:

 

а — на у в е л и ч е н и е

массы ц и р к о н и я ; б — на т о л щ и н у о к и с н о й

п л е н к и ; г л у б и н а

в а к у у м а

в

мм

рт.

ст.:

1 — Ю - 1 ; 2 —

I 0 ~ 2 ;

3 — 10~3 ;

4 10-*

 

 

 

 

Как показывают

исследования,

обработка в вакууме Ю - 4 и

10"2 мм рт. ст. при

большой

скорости натекания

(от

100

до

340 мкм рт. ст.-л/сек)

по своим результатам

практически

равно­

ценна обработке в вакууме соответственно Ю - 3 и Ю - 1 мм рт.

 

ст.,

но при более низких значениях скорости

натекания

(от

20

до

170 мкм рт. ст. • л/сек).

Например,

привес

циркония

при

обра­

ботке в вакууме Ю - 4

мм рт.

ст.

и

скорости натекания

 

qH

=

— 10 мкм рт.

 

ст.-л/сек

равен

увеличению

массы циркония

при

обработке в более низком вакууме 10"3

мм рт. cm; но с минималь­

ным значением скорости натекания, равным 20 мкм рт. ст. • л/сек. При больших значениях скорости натекания эффективность применения вакуума определенной степени может быть значи­ тельно ниже, чем влияние более низкого вакуума, но с минималь­ ным натеканием. Так, общее количество поглощенных газов в ва-

62