Файл: Балицкий А.В. Технология изготовления вакуумной аппаратуры.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 09.04.2024
Просмотров: 559
Скачиваний: 2
ли какая бы то ни было течь, а 'потом уже, если она имеется, методом обдувания май™, в каком именно месте ома расположена. Если же испытание в камере покажет хорошую вакуумную плотность, то не обходимость обдувания отпадает сама собой.
14-5. ИСПЫТАНИЯ МЕТОДОМ Щ УПА
Если проверяемую на герметичность систему по каким-либо соображениям нельзя откачивать, то ее можно проверить при помо щи того же масс-спектрометрического течеискателя, заполняя прове ряемый объем смесыо воздуха с гелием под избыточным давлением и отыскивая место течи. Такой метод испытания называется мето дом щупа.
Для осуществления этого метода к входному фланцу течеискате ля присоединяется гибкий вакуумный трубопровод, на конце которо го имеется щуп-натекатель. Всасывающее отверстие щупа должно быть настолько мало, чтобы при полностью открытом дросселирую щем вентиле течеискателя в последнем устойчиво сохранялось давле ние 2-10~4, необходимое для нормальной работы прибора.
Медленно проводя щупом вдоль всех мест, в которых может быть течь, можно обнаружить ее, так как в точке вытекания гелие вой смеси щуп засосет его и течеискатель отметит повышение кон центрации гелия в его вакуумной системе.
Решающую роль в эффективности этого метода играют конструк ция щупа п качество гибкого трубопровода. Последний должен быть достаточно гибким; чтобы ощупывание им поверхности проверяемого аппарата происходило равномерно, он должен быть нечувствитель ным к внешнему давлению атмосферы и его собственное газовыделение должно быть минимальным.
Обычные резиновые вакуумные шланги непригодны для присо единения щупа. Металлические гофрированные вакуумные шланги следует тщательно промывать и просушивать.
Конструкция щупа должна позволять регулировать величину вса сывающего отверстия и выдерживать минимальное расстояние между проверяемым изделием и входным отверстием щупа. В противном случае концентрация гелия, особенно при малых течах, будет резко снижаться еще до засасывания в щуп. В то же врем? необходимо предотвратить возможность засорения входного отверстия, а потому щуп не должен соприкасаться со стенкой проверяемого изделия. В этих целях на конец щупа надевается слегка углубленный колпа чок, выдерживающий в работе, постоянное минимальное расстояние между щупом и изделием и позволяющий щупу засасывать газ с большой поверхности.
Чувствительность метода зависит от нескольких факторов: дав ления пробного газа внутри изделия, скорости перемещения щупа, собственного газовыделения шланга и т. п. При всех условиях чув ствительность в этом случае меньше по сравнению с ранее описан ными испытаниями.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Королев Б. И. Основы вакуумной техники. Иэд. 4-е. М., «Энергия», 1964.
2.Векшинский С. А. Новый метод металлографического исследо вания сплавов. М,— Л., ГоСтехиздат, 1944.
3.Машиностроение. Энциклопедический справочник. Т. 4. М.,
Машгиз, 1947.
4. |
Бабаков А. А. Нержавеющие стали. М., Госхимиздат, 1956. |
5. |
Нехендзи Ю. А. Стальное лнтье. М., Металлургиздат, 1956. |
6. |
Повышение качества легированных сталей путем электрошла- |
кового |
переплава. Под рсд. акад. Б. Е. Патона. Москва — Киев, |
Машгиз, 1960.
7.Эспе В. Технология электровакуумных материалов. Т. 1, М., Госэнергоиздат, 1960.
8.Смирягин А. П. Промышленные цветные металлы и сплавы.
М., Металлургиздат, 1956.
9.Справочник машиностроителя. Т. 2. М., Машгиз, 1952.
10.Неметаллические материалы (справочник). Москва — Сверд ловск, Машгиз, 1962.
И. Богородицкий Н. П. и др. Раднокерамика. М., Госэнергоиз
дат, 1963.
12. Керамика и ее спаи с металлом в технике. Под ред. проф. В. А. Преснова и канд. техн. наук Н. С. Иофнса. М., Атомнздат, 1969.
13.Справочник по пластическим массам. М,, «Химия», 1967—
1969.
14.Фторопласты. Под ред. Гарбар. М, Госхимиздат, 1954.
45.Hait Р.— «Wacuum», 1967, № 10.
46.Плещенко Е. Г. Исследование газопроницаемости и газоот-
деления материалов в вакууме.— «Электроника». Вып. 8, 1962, с. 90—96.
'17. Фарк!аш И., Берри Е. Эластомерные уплотнения для боль ших сверхвысоковакуумных установок. Современная вакуумная тех ника. Пер. с англ. М., Изд-во иностр. лит., 1960, с. 121. -
18. Иванов А. А. Электровакуумная технология. М., Госэнерго издат, '1944.
19.Цейтлин А. В. Вакуумные пароструйные насосы. М., «Энер гия», 1965.
20.Грошковский Я. Технология высокого вакуума. Пер. с полыск.
М., Изд-во иностр. лит., 1957.
21.Спектор О. Ш.. Разделительная н поверхностная кислороднофлюсовая резка. М., Машгиз, 4963.
22.Таран В. Д., Калачев Ю. А. Резка нержавеющей стали стан
дартными резаками.— «Сварочное производство», 1962, № 1, с. 34.
306
23 Васильев К. В. Газоэлектрическая резка металлом. М., Машгиз, 1963.
24.Вершинин Б. Д. Охладитель для резака УДР-2-58.— «Сва рочное производство», 1963, № '1, с. 141.
25.Технология электрической сварки плавлением. Под ред. акад. Б. Е. .Патона. М., Машгиз, 1962.
26.Бродский А. Я. Аргонодуговая сварка вольфрамовым элек
тродом. М., Машгаз, 1966.
27. Чернаков Ф. А., Богданов Ф. А. Аргонодуговая сварка и ее применение. Л., Судпромгиз, '1956.
28. Берсон Л. М. Мягкая камера для сварки титана и его сплавов.— «Сварочное производство», 1962, № 10, с. 36.
29.Башенко В. В. Сварка металлов электронным лучом. — «Сва рочное производство», 1901, № 1, с. 34.
30.Козлов Ю. М. Электроннолучевые пушки для сварки метал
лов в вакууме.— «Сварочное производство», 1961, № 1, с. 38.
31. Костюк В. А., Козлов Ю. М., Шувалов А. В., Герасимен ко А. В. Промышленные установки для сварки электронным лу чом.— «Сварочное производство», '1961, № 1, с. 41.
32. Казаков Н. Ф. Диффузионная сварка в вакууме. М., «Ма шиностроение», 1968.
33.Хренов К. К., Гурский П. И., Корниенко Ю. А. Вакуумно плотные швы, выполненные холодной сваркой.— «Автоматическая сварка», 1968, № 5, с. 56.
34.Хренов К. К. Холодная сварка.— «Автоматическая сварка»,
1963, № 8, с. 4—14.
35.Балакин В. И., Хренов К. К. Роль вакуума при холодной сварке.— «Автоматическая сварка», .1966, № 2, с. 7—9.
36.Лашко Н. Ф., Лашко-Авакян С. В. Пайка металлом. М., «Машиностроение», 1967.
37. Любимов М. Л. Спаи металла со стеклом. М.— Л., «Энер гия», 1968.
38. Батыгин В. Н. Вакуумноплотные алюмооксидные керамиче ские материалы. — «Электроника», Вып. 4, 1959, с. 3—15.
39. Казанцева К. Е., Кириллова Г. К., Полякова Н. Л. Вакуум ноплотные керамические материалы для спаев с металлами.— «Элек троника». Вып. 4, 1959, е. 52—59.
40. Бравинский В. Г., Иванов В. П., Метлин Г. А. Сравнитель ная оценка основных способов металлизации.— «Электроника». Вып. 4, 1959, с. 76—85.
41.Denton Е, Р., Rawson Н. The metallizing of high А120з cera mics, Transaction of the British Ceramic Society, 1960, № 2.
42.Метелкин И. И., Макаркин А. Я. Новый метод получения
металлокерамических узлов.— «Электроника». Вып. 9, 1962, с. 68.
43.Метелкин И. И., Макаркин А. Я., Афанасьев И. В. Сварка металлизированной керамики с металлами термокомпрессионным спо собом. — «Электроника». Вып. 10, 1961, с. 96—106.
44.Эдис Р., Пенсак Л., Скотт Н. Уплотнение из фторэластомера для высоковакуумных систем. Современная вакуумная тех ника. Пер. с англ. М., Изд-во иностр. лит., 1960, с. '126.
45.Шнякин Н. С., Илышев В. С. Роликовая сварка сильфон
ных узлов из нержавеющей сталей. М., «Дом техники», '1962.
46. Ланис В. А., Левина Л. Е. Техника вакуумных испытаний. М.—Л., Госэнергоиздат, 1963.
307
47. Балковец Д. С., Орлов Б. Д., Чулочишков П. Л. Точечная м роликовая сварка специальных сталей и сплавов. М., Обороигмз, 1957.
48. Штернин Л. А., Прокофьев С. Н. Сварка трением алюминия со сталью и медью,— «Сварочное 'производство», 1961, № 11, с. 30.
49.Баранов И. Б. Холодная сварка пластичных металлов. Изд. 3-е. М.— Л., Ма'Шгиз, 1969.
50.Василевский Л. В., Сидорук В. С., Шатайло Д. В. Электро-
шлаковая сварка |
фланцев. — «Сварочное |
производство», 1961, № 5, |
||
с. 31. |
|
М. |
Л., Мишкин А. Г., |
Федченко Г. Ф. Отпайка |
51. Любимов |
||||
медных |
штенгелей |
методом холодной |
сварки.— «Электроника». |
|
Вы-п. 3, |
1959, с. 95—100. |
|
||
52.Лайнер В. И. Справочное руководство по гальваностегии. Хи мическое и электрохимическое полирование. М., «Металлургия», 1969.
53.Рот А. Вакуумные уплотнения. Пер. с англ. М., «Энергия»,
1971.
54.Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. Пер. с англ.
М-, «Мир», 1964.
55. Электроды для дуговой сварки и наплавки. М., Внешторгнздат, 1966.
56.Шумский К. П. Вакуумная аппаратура и приборы химиче ского машиностроения. М., Машгпз, 1963.
57.Кузнецов В. И. Механические вакуумные насосы. М., Гос-
энергоиздат, 1959.
58.Лакедемонский А. В., Хряпин В. Е. Справочник паяльщика. М., «Машиностроение», 1967.
59.Вишенков С. А. Применение химического никелирования для
защиты от коррозии и повышения износостойкости деталей. — ВСНТО. 1958, № 4.
60.Лебединский М. А. Электровакуумные материалы. М.— Л., «Энергия», 1966.
61.Щиголев П. В. Электролитическое и химическое полирова ние металлов. М., Изд-во АН СССР, 1959.
62.Медовар Б. И. Сварка храмоникелевых аустенитных сталей.
Киев — Москва, Машгиз, 1958.
63.Коль В. Технология материалов для электровакуумных при боров. Пер. с англ. М., Госэнергоиздат, 1957.
64.Кулагин И. Д., Петруничев В. А., Николаев А. В. Исследо
вание резки дуговой плазменной струей, выделенной из столба ду ги.— «Сварочное производство», 1961, № 5, с. 1—4.
65.Бельчук Г. А. Исследование некоторых особенностей тех нологии аргонодуговой сварки алюминия и его сплавов со сталыо. — «Сварочное производство», 1961, № 5, с. 8.
66.Пивоваров Г. Я. Технохнмнческне процессы электровакуум ного производства. М., «Энергия», 1964.
67.Александрова А. Т. и др. Технологическое оборудование
электровакуумного производства. М.— Л., Госэнергоиздат,.. 1962.
68.Липко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструиро вание и расчет вакуумных систем. М., «Энергия», 1970.
69.Данилин Б. С., Минайчев В. Е. Основы конструировалия ва
куумных систем. М., «Энергия», 1971.
70. Wheeler W. R., Carlson М. Ultra-high vacuum flanges. Tran sactions of the 8th Vacuum Symposium, 1962, v. 2.
308
71. Wheeler W. R. Theory and application -oF metal gasket seal. Transactions of the 10th National Vacuum Symposium, 1964.
7Й. Лоташ Ю. В., Медовар Б. И. Электрошлаковый переплав. М., «Металлургия», 1970.
73. Александрова А. Т. и др. Оборудование для обработки туго плавких металлов в электровакуумном .производстве. М.— Л., Госэиергонздат, 1963.
74Медовар Б. И. Сварка жаропрочных аустенитных сталей и сплавов. М., «Машиностроение», 1966.
75.Нанесение твердых смазочных покрытии, содержащих ди сульфид молибдена, на поверхности трения, М., «Химия», 1967.
76.Плазменная резка. — «Новости науки и техники». М., Ииформстандартэлектро, 1968.
77.Ковалевский Р. Е., Чекмарев А. А. Конструирование и тех
нология вакуумноплотных паяных соединений. М., «Энергия», 1968.
78.Черепнин Н. В. Вакуумные свойства материалов для элек тронных приборов. М., «Советское радио», 1966.
79.Балицкий А. В., Филатовский Л. А., Шувалов А. С. Круп
ногабаритные высоковакуумные соединения.— «Приборы и техника
эксперимента», 1971, № 1.
80. Балицкий А. В., Филатовский Л. А., Шувалов А. С. Секци
онные фланцы для крупных |
высоковакуумных соединений.— «При |
боры и техника эксперимента», |
1970, № 6. |
81.Балицкий А. В., Филатовский Л. А. Прогреваемые высоковакуумные фланцевые соединения.— «Приборы н техника эксперимен та», 1970, № 6, с. 219.
82.Вакуумные системы и их элементы (атлас). jM., «Машино
строение», 1968.
О Г Л А В Л Е Н И Е |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Предисловие к третьему |
и зд а н и ю ............................... |
|
|
|
|
3 |
|
||||||||
Глава |
первая. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ |
О ВАКУУМНОЙ АП |
4 |
||||||||||||
|
ПАРАТУРЕ |
................................................................................ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
1-1. В в е д е н и е .................................................................. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
||||
|
1-2. |
Остаточное |
д а в л е н и е |
........................................... |
|
|
|
|
вакуум |
6 |
|||||
|
1-3. |
Низкий, средний, высокий и сверхвысокий |
|
6 |
|||||||||||
|
1-4. |
Определение |
вакуума |
в |
зависимости |
от |
способов |
|
|||||||
|
1-5. |
его п о л у ч е н и я ............................................... |
|
|
высоковакуумной |
|
8 |
8 |
|||||||
|
Вакуумная |
плотность |
|
системы |
|||||||||||
|
1-6. Газавыделение |
с поверхностей. Понятие о |
вакуум |
|
|||||||||||
|
1-7. |
ной г и г и е н е |
...................................................................при |
низких температурах . |
10 |
11 |
|||||||||
|
Работа узлов |
. . |
|||||||||||||
|
1- |
8. |
Особенности работы движущихся'механизмов |
11 |
|||||||||||
|
|
в |
вакууме |
.............................................................................. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Глава |
вторая. МЕТАЛЛЫ И С П Л А В Ы ...................... |
|
|
|
12 |
|
|||||||||
|
2- |
1. |
Общие |
т р е б о в а н и я ................................................. |
|
|
|
|
|
12 |
|
||||
|
2-2. |
Металлическое |
л и т ь е |
.................................................... |
|
|
|
|
|
15 |
|
||||
|
2-3. |
Прокатные м е т а л л ы .................................................... |
|
|
|
|
|
|
16 |
|
|||||
|
2-4. |
Черные м е т а л л ы .......................................................... |
|
|
|
|
|
|
|
20 |
|
||||
|
2-5. |
Цветные |
м е т а л л ы ...................................................... |
|
и |
|
|
|
|
31 |
39 |
||||
|
2- |
6. |
Прецизионные сплавы |
тугоплавкие металлы . |
|||||||||||
Глава |
третья. НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИЕ |
МАТЕРИАЛЫ |
. . |
44 |
|||||||||||
|
3- |
1. |
С т е к л о |
....................................................................... |
|
|
|
|
|
|
|
|
44 |
|
|
|
3-2. К е р а м и к а .................................................................... |
|
|
|
|
|
|
|
|
47 |
|
||||
|
3-3. П л а с т м а с с ы |
.................................................................. |
|
|
|
|
|
|
|
50 |
|
||||
|
3-4. |
Р е з и н ы .......................................................................... |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
57 |
59 |
||
|
3-5. |
Пасты, замазки, застывающие уплотнители |
. . |
||||||||||||
|
3-6. |
К л е и ............................................................................... |
|
|
м а с л а |
|
|
|
|
|
60 |
|
|||
|
3- |
7. |
Вакуумные |
|
|
|
|
|
61 |
|
|||||
Глава |
четвертая. ГАЗОПРОНИЦАЕМОСТЬ И ГАЗОВЫДЕ- |
62 |
|||||||||||||
|
ЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ |
В |
ВАКУУМЕ . . |
. . |
|||||||||||
|
4- |
1. |
Общие с в е д е н и я ....................................................... |
|
|
|
|
|
|
62 |
|
||||
|
4-2. |
Газопроницаемость |
м .................................е т а л л о в |
|
|
|
64 |
67 |
|||||||
|
4-3. |
Газопроницаемость |
неметаллических |
материалов . |
|||||||||||
|
4-4. |
Газовыделение |
м е т а .......................................л л о в |
|
|
|
67 |
75 |
|||||||
|
4- |
5. |
Газовыделение неметаллических |
материалов . . |
|||||||||||
Глава |
пятая. ЗАГОТОВКИ И Д .....................Е Т А Л И |
|
|
|
77 |
|
|||||||||
|
5- |
1. |
Общие |
з а м е ч а н и ................................................я |
|
|
|
|
|
77 |
|
||||
|
5-2. |
Методы |
резки з а г о т .......................................о в о к |
|
|
|
78 |
|
|||||||
|
5-3. |
Обработка |
к р о м о к .................................................... |
|
|
|
|
|
|
87 |
|
||||
|
5-4. |
Ковка з а г о т о в о к ..................................................... |
|
|
|
|
|
|
87 |
|
|||||
|
5-5. |
Давильные |
р а б о т ы .................................................... |
|
и |
прочность |
|
|
88 |
92 |
|||||
|
5-6. |
Механические |
нагрузки |
оболочек . |
|||||||||||
|
5-7. |
Обечайки |
и |
ф л а н ц ..............................................ы |
|
|
|
|
|
94 |
|
||||
|
5-8. |
Днища и к р ы ш к и ..................................................... |
|
|
|
|
|
|
98 |
|
|||||
|
5-9. |
Горловины |
и п а т р у б ............................................к и |
|
|
|
|
102 |
|
||||||
|
5-10. |
Т рубопроводы ................................................ |
|
|
со |
стеклом . . |
103 |
105 |
|||||||
|
5-11. |
Детали |
для |
спаивания |
. . |
||||||||||
|
5-12. |
Охлаждающие з м е е ......................в и к и |
|
|
|
106 |
|
||||||||
3 1 0
