Файл: Слабкий Л.И. Методы и приборы предельных измерений в экспериментальной физике.pdf

Скачать файл (12,09Мб)

Заказать решение

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 11.04.2024

Просмотров: 86

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

жен быть Достаточно прочным, толщиной не менее 10— 12 мк. Рецепт никелевой ванны [4] (в г/л): NiSOj — 140, NaSOj — 50, NaCl — 5, M gS04 ■— 30, кислота борная'— 20.

Никелирование проводится путем электролиза в никелевой ванне. Перед ни келированием поверхность с задубленным изображением кратковременно (30 с — 1 мин) прополаскивают сначала в 10%-ном растворе H N 03, потом в воде, затем протирают венской известью и в течение 1—2 с промывают в растворе персульфа та аммония (300 г/л) с серной кислотой (40 г/л).

Для того чтобы слой никеля ложился только на ту поверхность маски, на которой получено фотоизображение структуры, противоположную сторону по

крывают лаком.
	Процесс никелирования ведется при напряжении на электродах U = 2,5-4-
-т- 3,5 В и плотности тока / =		0,8 -4- 1 Л/дм2 при комнатной температуре. На
несение слоя никеля толщиной		в 12 мкм достигается в течение 1 часа при / =
=	1 А/дм2.
	Удаление задубленных участков фоторезиста производят в растворе щавеле
вой кислоты (250 г/л) и NaCl		(30 г/л) при температуре 50—60° С в течение 2—
3	мин.
	Травление маски можно проводить в 30—50%-ной азотной кислоте.
	Полученные таким путем маски имеют несколько выгнутую форму ввиду од

ностороннего натяжения за счет слоя никеля. В принципе, это не имеет особого значения, поскольку маска при напылении плотно прижимается к подложке по возможности по всей своей площади. Можно получить совершенно ровные маски, если применить двустороннее фотографирование и двустороннее никелевое покры тие, однако это в значительной мере усложнит процесс изготовления масок.

Описанным способом можно делать маски, точность размеров которых выдер живается в пределах 5— 10 мкм.

Для крепления маски целесообразно применять короткие штыри (3—5 мм), которые должны плотно входить в специальные отверстия по краям маски (их можно получить либо травлением по рисунку, либо механическим способом). Для того чтобы элементы крепления не мешали наложению стеклянной подложки, раз мер маски должен выбираться несколько больше, чем размер стеклянной под ложки, по ширине и меньше, чем длина подложки.

Л И Т Е Р А Т У Р А

К р а з д е л у 1

1.А. Хальд. Математическая статистика с техническими приложениями. ИЛ, 1966.

2.А. К. Митропольский. Техника статистических вычислении. М., Физмат - гиз, 1961.

3.Г. С. Гутер, Б. В. Овчинский. Элементы численного анализа и математической обработки результатов измерении. М., Физматгиз, 1962.

4.Н. П. Клепиков, С. Н. Соколов. Анализ и планирование экспериментов ме тодом максимума правдоподобия. М., изд-во «Наука», 1964.

5.М. Г. Серебренников, А. Л. Первозванский. Выявление скрытых периодич ностей. М., изд-во «Наука», 1965.

6.Л. Яноши. Теория и практика обработки результатов измерений. М., изд-во «Мир», 1968.

7.В. В. Налимов, Н. А. Чернова. Статистические методы планирования экспе риментов. М., изд-во «Наука», 1965.

8.Б. В. Гнеденко. Курс теории вероятностей, М., Физматгиз, 1961.

9.Е. С. Вентцель. Теория вероятностей. М., Физматгиз, 1962.

10.Б. Л. Ван дер Варден. Математическая статистика. ИЛ, 1960.

11.Г. Крамер. Математические методы статистики. ИЛ, 1948.

12.Р. А. Фишер. Статистические методы для исследователей. М., Госстатиздат, 1958.

13.А. Вальд. Последовательный анализ. М., Физматгиз, 1960.

14.ІО. В. Линник. Метод наименьших квадратов и основы математико-статисти ческой теории обработки наблюдений. М., Физматгиз, 1958.

15.R. Fisher. Contributions to mathematical statistics. N. Y., 1950.

16.R. Fisher. Statistical methods and scientific inference. Edinburgh, 1956.

17.E. И. Пустыльник. Статистические методы анализа и обработки наблюдений. М., Физматгиз, 1968.

18.Д. Худсон. Статистика для физиков. Пер. с англ. М., изд-во «Мир», 1967.

19.«Student's» collected papers. London, 1947.

20.А. В. Лебедев, P. M. Федорова. Справочник по математическим таблицам. М., Изд-во АН СССР, 1956.

21.А. К- Митропольский. Краткие математические таблицы. М., Физматгиз, 1969.

22.Г. Г. Абезгауз, А. П. Тронь и др. Справочник по вероятностным расчетам. М., Воениздат, 1966.

23.А. М. Заездный. Основы расчетов по статистической радиотехнике. М., изд-во «Связь», 1969.

24.В. Б. Брагинский. Физические эксперименты с пробными телами. М., Физ матгиз, 1970.

25.Э. Уиттекер, Г. Робинсон. Математическая обработка результатов наблю дений. М., ГТТИ, 1933.

26.В. В. Налимов. Применение математической статистики при анализе вещест ва. М., 1960.

264

27. Д. МиддліАЬн. Введение в статистическую теорию связи, т. I. М., 1961;

т. 2,' 1962.

28.- Б. Р\ Левин. Теоретические основы статистической радиотехники. М., изд-во «Сов. Радио», 1969.

29.В. С. Пугачев. Теория случайных функций и ее применение к задачам авто матического управления. Изд. 3. М., Физматгиз, 1962.

30.А. А. Красовский. Статистическая теория переходных процессов в системах управления. М., изд-во «Наука», 1968.

31.С. И. Вавилов. Собрание сочинении, т. 4. М. — Л., 1956.

К р а з д е л у 2

1.Н. Nyquist. Phys. Rev., 32, ПО, 1928.

2.С. М. Рытое. Теория электрических флуктуаций и теплового излучения. М., 1963.

3.А. А. Абрикосов, Л. П. Горьков, И. Е. Дзялошинский. Методы квантовой те ории поля в статистической физике. М., 1962.

4.Н. Н. Боголюбов. Проблемы динамической теории в статистической физике.

М.— Л., 1946.

.5. Л. Д: Ландау, Е. М. Лифшиц. Статистическая физика. Изд. 2. Переработан ное. Ml, изд-во «Наука», 1964.

6.В. Б. Брагинский. Физические эксперименты с пробными телами. М., Физ матгиз, 1970.

7:П. Круз, Л. Макглоулин, Р. Макквистан. Основы инфракрасной техники.

	М., 1964.
8.	Д. Стронг. Техника физического эксперимента. Лениздат,		1948.
9.	А. Н. Ткаченко, П. И. Цветков.	Измерительная техника,	№	6, 1966.
10.	Б.. В. Васильев, Б. П. Козырев.	Измерительная техника, №	6,	1966.

11.В. Л. Лебедев. Случайные процессы в электрических и механических систе мах. М., Физматгиз, 1958. '

12.И. В. Суходоев. Шумовые параметры транзисторов. М., изд-во «Связь», 1967.

13.Л. М. Бонч-Бруевич. Применение электронных ламп в экспериментальной физике. Изд. 3. М. — Л ., 1955.

14.Д. Макдональд. Введение в физику шумов и флуктуаций. Пер. с англ. М.,

1964,

15.А. Ван-дер-Зил. Флуктуационные явления в полупроводниках. Пер. с англ. М., 1961.

16.Р. А. Валитов, К. И. Палатов,. А. Е. Черный. Методы измерения основных характеристик флуктуационных сигналов. Харьков, 1961.

17.	Б. А. Демидов и др. ПТЭ, № 3, 177,	1965.
, 18.	Т. А. Ковалева, А. Е. Меламид и др.	ПТЭ, № 5, 5, 1966.
19.	С. Н. Jones, Н. L. Schenk. Advances	in Cryogenics Eng., 8, 574, 1963.
20.	К. Хельстром. Статистическая теория обнаружения сигналов. ИЛ, 1963.

21.А. В. Потапов, В. В. Чекалов, А. Ф. Чернявский. ПТЭ, № 5, 1968.

22.Л. А. Ванштейн, В. Д. Зубаков. Выделение сигналов на фоне случайных по мех. М., изд-во «Сов. радио», 1960.

23.В. А. Котельников. Теория потенциальной помехоустойчивости. Госэнергоиздат, 1956.

24.А. А- Абрамян. Асинхронное детектирование и прием импульсных радио

сигналов. М., изд-во «Сов. радио», 1966.

25. Е. Б. Александров, А. М. Бонч-Бруевич, В. П. Козлов.' ПТЭ, № 5, 1965.

26.R. Н. Frater. Rev. Scient. Instrum., 36, № 5, 634, 1965.

27.А. M. Бонч-Бруевич. Радиоэлектроника' в экспериментальной физике. М., изд-во «Наука», 1966.

28.А. Н. Серьезное, М. П. Цапенко. Методы уменьшения влияния помех в тер мометрических цепях. М., изд-во «Энергия», 1968.

29.5. Коерр. Hochfrequenztechn. und Electroaeust., 64, 124, 1956.

30.К. П. Станюкович. Гравитационное поле и элементарные частицы. М.,

1965.

265

31.В. Б. Брагинский, Я- Б. Зельдович, В. Н. Руденко. Письма в ЖЭТФ, 10, 437, вып. 9, 1969.

32.В. Б. Брагинский. Вестник МГУ, сер. III, Физика, астрономия, № 2, 65, 1965.

32.Н. С. Шестов. Выделение оптических сигналов на фоне случайных помех.

М., изд-во «Сов. радио», 1967.

34.Д. Миддлтон. Введение в статистическую теорию связи, т. 1. М., 1961; т. 2, 1962.

	К р а з д е л у		3
1 . А . Лете. Ядерная индукция. ИЛ, 1963.
2.	J. Н. Nelson. J. Geophys. Res., 63, 880,	1958.
3.	М. Е. Packard. Rev. Scient. Instrum.,	19,	435, 1948.

4.В. И. Рыжков, 0. 0. Бронзов, А. П. Степанов. ПТЭ, № 5, 41, 1960.

5.Р. Б. Иванов, А. И. Попов, П. В. Сорокин. ПТЭ, № 3, 167, 1961.

6.А. И. Филатов, А. П. Степанов, В. М. Стоцкий. ПТЭ, № 1, 1965.


7.	А. И. Козлов. Квантовые магнитометры для		геомагнитных исследований.
	М-, ИЗМИРАН СССР, 1965.
8.	В. Sagnac, J. Brossel. Compt. Rend. Acad.,		249, 77, 253,	1959.
9.	E. И. Дашевская.	Физические исследования квантовых		магнитометров.

М., ИЗМИРАН СССР, 1965.

10.Н. М. Невская, Р. М. Умарходжаев. Электричество, № 7, 57, 1965.

11.В. Josephson. Phys. Letters, 1, 251, 1962.

12.В. Josephson. Rev. Mod. Phys., 36, 216, 1964.

13.Г. Ф. Жарков. УФН-, 88, вып. 3, 419, 1966.

14.Д. Лангенберг, Д. Дж. Скалапино, Б. Н. Тейлор. УФН, 91, вып. 2, 318,

	1967.
15.	R. Jaklevic, J. Lambe et al. Phys. Rev. Letters, 12,		159, 274, 1964.
16.	И. 0. Кулик, И. К- Днсон.	Эффект Джозефсона в	сверхпр сводящих тун
	нельных структурах. М.,	Физматгиз, 1970.

17.J. Е. Zimmerman, А. Н. Silver. Phys. Rev., 141, № 1, 367, 1966.

18.Р. W. Anderson, J. M. Rowell. Phys. Rev. Letters, 10, 230, 1963.

19.	J. Lambe, A. H. Silver, et. al. Phys. Letters,						II,	15,	1964.
20.	И. M. Дмитренко, А. А. Шабло, Л. E. Колинько.							LT-10, S 60, p. 355, 1967.
21.	J. Clarke. LT-10,		S 26, p. 211,	1967; Phill. Mag.,				13,	115, 1966.
22.	R. de Ouboler et al. LT-10, S 36,			p. 246,		1967.
23.	Ф. Я ■Надь,	О. Ю. Полянский. ПТЭ,			№	6, 210, 1970.
24.	W. Seltnen. J. Appl. Phys., 39,			№	6,	2671,	1968.
25.	В. N. Tailor.	J.	Appl. Phys.,	39,	№	6,2490,	1968.

26.ДжБремер. Сверхпроводящие устройства. Пер. с англ. М., 1964.

27.J. Т. Harding, J. Е. Zimmerman. Phys. Letts., 27А, N 10, 670, 1968.

28.М. Л. Алашкевич, В. И. Мириманов. ПТЭ, № 6, 157, 1966.

29.В. И. Волосов, А. А. Забродов и др. ПТЭ, № 6, 155, 1966.


30.	Г. А. Васильев.	ПТЭ, № 1, 147, 1965.					2,	108,	1966.
31.	М. И. Виноградов, Е. М. Рудницкий.				ПТЭ, №		2,	108,	1966.
32.	А . С. Назаров,	Г. Ф. Ивановский,		М. В. Кузнецов.				ПТЭ,	№ 2,		102,	1966.
33.	О. К- Николаенко,		Ю. В. Булгаков,		М. В.	Тихомиров.			ПТЭ,		№ 6,	205,
	1965.	С. Ф. Гришин, Б. Г. Лазарев. ПТЭ,
34.	Е. С. Боровик,	С. Ф. Гришин, Б. Г. Лазарев. ПТЭ,						№ 1,	115,	1960.
35.	Л. Л. Герасимов,		Н. П. Данилова,	А. И. Шальников. ПТЭ, №						4,	155,	1964.
36.	D. Alpert. J. Appl. Phys., 24, 860,			1953.
37.	Е. С. Боровик,	С. Ф. Гришин. ЖТФ,			29,	1110,	1959.

38.Г. А. Ничипорович. ПТЭ, № 6, 150; № 5, 186, 1966.

39.С. Дэшман. Научные основы вакуумной техники. М., изд-во «Мир», 1964,

40.А . В. Балицкий. Технология изготовления вакуумной аппаратуры. М.—Л .,

«Энергия», 1966.

41.А . В. Арефьев. ПТЭ, № 4, 138, 1966.

42.Д. Н. Астров, Л. Б. Белянский. ПТЭ, № 2, 226, 1966.

43.J. Е. Zimerman et al. J. Appl. Phys., 41, 1572, 1970.

266

44.	J. M. Goödkind, D. L. Stolfa. Rev. Sei.							Instr., 41,		799, 1970.
45.	И. О. Кулик,	И. К- Я неон.				Эффект Джозефсона				в сверхпроводящих, тун
	нельных структурах. Физматгиз,						1970.
					К р а з д е л у				4
1.	В. Б. Брагинский.			ПТЭ,	№ 3,		160,	1964.
2.	В. Б. Брагинский,			Г. И. Рукман.			Вестник		МГУ, серия III, Физика, астро
3.	номия, № 4, 79, 1963.
	В. Б. Брагинский,			ЖЭТФ, 44, № 5, 1562, 1963.
4.	J. W. Beams,	J. I.		Joung,J. W. Moore.					J. Appl. Phys., 17, 886, 1946.
5.	J. W. Beams	et	al.	Phys. Rev., 100, 1657, 1955.
6.	В. H. Понизовский.			ПТЭ,	№ 4,		69, 1957.
7.	В. H. Понизовский.			ПТЭ,	№	5,	234, 1965.
8.	Л. Н. Медведев,		Л. Б. Пец.			В сб. «Гравитация и теория относительности».
9.	Изд. Казанского гос. ун-та, 1963, стр. 109.
	В. Б. Брагинский,			И. И.	Минакова. Вестник МГУ, серия III, Физика,
	астрономия,	№	1,	83, 1964.

10.Р. Дитчберн. Физическая оптика. М., изд-во «Наука», 1965.

11.R. V. Jones. J. Scient. Instrum., 36, 90, 1959.

12.Ю. Е. Орлов. Измерительная техника, № 11, 1, 1965.

13.В. Б. Брагинский. Физические эксперименты с пробными телами. М., Физ матгиз, 1970.

14.В. Б. Брагинский, В. И. Панов. ПТЭ, № 5, 136, 1968.

15.Ф. А. Королев. Спектроскопия высокой разрешающей силы. М , ГИТТЛ, 1953.

16.А. И. Александров. Генераторы высокостабильных колебаний. М , изд-во

«Связь», 1967.

17.Г. А. Елкин, Л. П. Елкина, Э. М. Липшиц. Измерительная техника, № 7, 44, 1965.

18.Ф. Ф. Менде, В. М. Дмитриев и др. ПТЭ, № 3, 102, 1967.

19.Р. А. Амбарцумян, Н. Г. Басов и др. Письма в ЖЭТФ, 3, 261, 51, 724, 1966.

20. Р. А. Амбарцумян, П. Г. Крюков, В. С. Летохов. ЖЭТФ, 51, 1669, 1966.

21.С. А. Ахманов, Р. В. Хохлов. УФН, 88, 439, 1966.

22.А. М. Прохоров. УФН, 85, 599, 1965.

	К р а з д е л у	5
1.	А. П. Ложников, Е. К■Сонин. Каскодиые	усилители. М., «Энергия», 1963.
1 2.	Я ■Будинский. Усилители низкой частоты на транзисторах. М., изд-во «Связь»,
	1963.