Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 24.07.2024
Просмотров: 105
Скачиваний: 0
- 8 -
ронныи нагревэм для получения пленок, мотод удалениг з а - гряавений посредством ионной бомбардировки, метод полу чения пяенот ка-одным распыленгем, метод изготовления отверстая и пазов войной бомбардировкой й другие.
3. Йетоды, использующие радиационное действие элект ронных > гонных иуч::ов, в результате которого изменяется строение кристаллов, возникаю? дефекты в твердом теле. В ату группу входят методы ускорения диффузии, методы изме
нения |
фвзичесгнх свойств поверхности |
я |
т . д . |
|
|
4 |
. Метода, основную роль в которых |
играет |
химическое |
||
действьё глектронных и ионных пучк'в, |
|
проявляющееся |
в |
||
стимулировании процессов диссоциации |
сложных |
химических |
|||
соедянесий, ускоренна процессов полимеризация при элект ронной бомбардировке, а также в химическом взаимодействий аовов о молекулами бомбардируемого вещества. Эти процессы составляют освоь/ электроннолучевых методов обеэгаяиванил поверхностей, электронно-лучевых и ионно-ппазмейных методы получения металлических и полинервнх пленек, а также некоторых видов ионной размерной обработки и электроноллографии.
5. методы внедрения ионов в твердое |
тело, |
в результате |
||
которого достигается |
аффект |
аегвроваш'я |
поверхностного |
|
слоя вещества. Этот |
аффект |
известен как |
детод |
ионного ле |
гирования при изготовлений солнечных батарей й других по лупроводниковых приборов.
Некоторые из Осьовных технологических операций (отжиг я обезгаживгчие, очистка детале'', плавка я сварка, фрезе рование в сверление, поду^нне пленок и изготовлегие млкросхем, легьровгнно и получение переходов, ускорение про цессов диффузии, aaiiHCB информации и контроль за ходом процесса обработки) могут выполняться одним или несколь кими методами, вьюор которых определяется усло?ияы.|, в которых осуществляется операция, в возможностями оборудова ния. "
1-3. Классификация электренно-йо.чного оборудования
Для выполнения 6О."ЬШИНСТЕ.. технологических операций раэработЕНы спёцяалиЕйрова;шые устечоьки и несколько ти-
- 9 -
пов универсальных установок, предназначенных для выполне ния целого комплекса операций. По иере изучения аакономерностей взаимодействия пучков наряженных чосхрц с вевдством открываются аогые вгзможности электронно-ионних методов я расширяется круг их использования. Вследствие расширения об ластей применения электронно-но:;ных методов ра&рабатыгаютсн новые образцы оборудования leraoлогического назначения.
В связи |
с быстрым увеличением общего количестве у л а - |
ногок и их |
типов изучение эхзктронно-ионного оборудования |
целесообразно начать г. тслассификацин оборудования и озн~- коиления с принципом устройства основных узлов. За основ ные признал классификации мояно принчть вид заряженных частиц, используеыых в установке в качестве технологичес кого средства, назначение установки и характер выполняемой технологической операции по способу «доучемя .1 управления электронный "отоком. Кроме осноьлых признаков хлассифика-
ц'<и можно использовать ряд дополнительных, |
подчеркивающих |
||
ту или |
иную особенность, например харг:стер |
взаимодействия |
|
частиц |
с вещество, характер атьосферы и давление в |
рабо |
|
чей камере, конструкция электронно-огтлческнх систем, |
ве |
||
личина |
ускоряющего напряжения л мощностг луча и т . д . |
Поль |
|
зуясь дополнительными признаками классификации,модно груп пировать установки, отчесерны? к определенному классу, на
билее мел«0!е группы в соответотвги |
с тем и^и |
другии 'при |
знаком, что облегчает их ге-адьное |
изучение. |
|
По виду заряженных частиц, используемых в качестве основного технологического средства, раагччают:
1)электронные установки;
2)ионные установки;
3)комбинированные уствноиш.
По характеру взаимодействия |
зарях-знных ч а с и ц с гэще»- |
||
ством |
который положен в основу |
т о и или ик,ги |
технологи |
ческого |
процесса, установки подразделвтег н |
сле.'луюаде |
|
группы* |
|
|
|
1. Элслтронно-нагревате._ьяые установки, и лгчьзуюцие |
|||
нагрев |
вещества при бсба^диров е заряженными часгицами. |
||
2. |
УСТАНОВКУ катодного распыления, в которых основным |
||
дроцепаоы является распыление вещества п,.и минь.fl doulsp-
Д И Г и В И ' - .
- 10 -
4
3.Установки легирования й осаждения пленок, работаю щие на принципе переноса вещества в виде ионов и осажде ния его не оонбардируеной поверхности или внедрения ионов ? кристаллическую структуру вещества.
k. Ионно-пдазненные установки, в KOTopi-t для выпол нения технологической операции используются процессы в плазые газового разряда и процессы взаимодействия плаз мы с веществом.
5.Установки, ? которых попользуется химическое действие электронов и ионов.
Од:ш из возможных вариантов классификации ..риведен на рнс . 1 - 3 - 1 .
Согласно данной охеме классификации наиболее деталь ная разбавка установок сделана по группам, соптветствую- щ|м назначению и характеру технологических операций.
Приеденная классгфикациь не является всеобьемлс-• щей. Отдельные группы установок могут быть расчленены н^ более мелкие в соответствии с основными и дзполнительнымж признаками. Чапример, группа электронно-ионных уста новок для получения пленок может подразделяться по виду
заряженных частиц п способу формирования пучков на |
сле |
|||
дующие подгруппы: |
|
|
|
|
1 . Элептроннс-лучевые установки, в которых гля испа |
||||
рения |
вещества используется тонкий |
электронный луч. |
|
|
2 |
. Ионные установки, в которых |
пленка создается |
пу |
|
тем осаждения ионов. |
|
|
|
|
3; йонно-шазменньз установки, |
получение пленок |
в |
||
которых происходит га счет катодного распыгеняя. |
|
|||
4 |
. Электронные установка, работающие не принципе дис |
|||
социации химических |
соединений, |
|
|
|
5« Газоразрядные |
установки для |
получечия полимерных |
||
пдевог в условиях бомбардировки электронами и зонами ив плазмы газового разряда.
|
Данная классификация мохет уточняться и изменяться |
в |
соответствии с разлитием олектринно-ионьой технологии |
* |
разработкой новых типов оборудовагия. |
Рис. |
l . i s . i . Классификация |
злектронно-ионного |
оборудования. |
|
|
•а |
|
|
^ШгОННО-уЮНИьК УСТАНОВКИ |
4 |
|
электронные |
|
|
комбинир"ванные |
ио характеру получения |
и форми^юзания пучков^ |
з^рязеш:ах частиц |
|
эл.иинно-лучевые |
|
•'Л.ионно-оптические |
|
|
|||
по |
хар^кте^у ат»->сфвр! ' |
"ь давлению 5 |
рабочей'4 4 |
каме): |
|||
|
|
^ |
Z |
I |
i |
|
\ |
низкого вак. |
высокого вак . |
|
•верхшсок . вак . Л |
к: |
инертн.газ |
||
|
~ 7 — |
по |
виду |
э л е к т р т |
нания |
систем ускорени!. |
|
|
|
||||||
ш т . ^ о с т о я н « н а п р я « . | |
|
|
|
и», т . высок, |
ишг/дьс. |
||
|
|
|
|
|
|||
эл.ионно—плазменные
с перепелом давления
иит.дрремен.ки. р .
