Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

Скачать файл (4,43Мб)

Заказать решение

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 24.07.2024

Просмотров: 104

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

			-	и з -
					пульс высокого					на
					пряжения			подается
					на	катод		л ш к и .
					Для обеспечения
					условий			фокусиров
					ки	пучкв		импульс
					ускоряющего				напря
					жения должен				иьеть
					прямоугольную					фор
	a	i			му	или	плоскую
					вершину. Для					ста
Рис.6-3-4. Принципиальные
					билизации плоеной
схемы	генерирования импульсов:
					части		импульса			при
а)- о	частичным разрядом		емкости}
					меняю!		корректирую
о б)-с	разрядом	формирующей		линии
					щие цепи			и схемы

					электронной				стаби
лизации. В простейшем случае цепь состоит						чз последователь
но соединенных		ёмкости	и сопротивления,		подключенных				парал
лельно к первичной обмотке трансформатора.						Стабилизация
плоской части		импульса	использует схемы		с	регулирующей				ЛБМ-

пой, принцип работы которых основан на сравнении выходного

напрятения	с эталонным и усилений сигнала ошибки, в	соот
ветствии с	которым изменяется сопротивление регулирующей

лляпы» Изменение падения напряжения на лампе компенсирует


отклонение	выходного	напряже Нин от воыйнальното.Принцйпиаль-
чая схема	генератора	с цепью коррекции импульса приведена
на рис . 6 - 3 - 5 . В качестве			лаыпы-клточа используется импульс
ная модуляторная лампа ГМЙ -90. Цепь норревцт состоит				из
емкости и сопротивления^			Вторичная об'-отка импульсного
трансф_рматора намотана			двойным проводом,0 по которому	по

дастся напряжение на накальный трансформатор. При хорошей стабильности зарядного напряжения схемь позволяет в широ ких . редалач регулировать длительность и Чгстоту следования импульсов.

- 114 -

Рис.6-3-5. Принципиальная cxtja генератора

	импульсов
Схемы с разрядом формирующьй линии				целесообразно приме
нять для	питания п^шак	с	фиксированной	частотой исследоиа-
аия импульсов,так как при		полном разряде		линчи, напрягэнйв го
которого	винив заряжается		к моменту'разряда, зависит от

значения ьащ-джения " даышй момент на зарядном источнике. При фиксированной частоте (50 или Г00 гц) периодические пудгзации напряжения источника аарядногг напрнжлшя не при водят к колебаниям амплитуды иыпупьоа, Грн равенстве частот переменного напргхения в частоты следования импульсов можно построить схему без выаранвтеая, разряжая линию в тот момент, когда напряжение заряда достигает амплитудного значения.

С О Д Е Р Ж А Н И Е

								Стр.
П Р Е Д И С Л О В И Е							3
ГЛАВА I . BJIEKTPOHHO-ИОННЫЕ МЕТОДЫ ОБРАБОТКИ						МАТЕ
	РИАЛОВ И КЛАССИШАЩШ ЭЛЕКТР0НН0-И0ННСГ9
	ОБОРУДОВАНИЯ. •.						5
T - I .	Процессы, протекающие в твердом теле					при
	электронной	и ионной		бомбардировке				• 5
1-2.	Технологические		операции, выполнкзмые
	электпоино-ионяыми методами							7
1- 3.	Классификация электронно-ионного оборудо
	вания						8
•1-4.	Принцип устройства и основнче уэлы элек
	тронно-ионных установок						12.
ГЛАВА П. ИСТОЧНИКИ ЗАРЯЯЁННЫХ ЧАСТИЦ							•	1J ,
2- 1.	Териочагсды	как эмиттеры электронов				в
	технологических		установках.					К
2-2.	П;1а?"^н5»и	источники		электронов			..	20
2 - 2 - 1 . Источники HP основе				отбора	электронов		из
	пказмы			. ,			21
2-2-2. Электронике		пушки на		основе	высоковольт
	ного разряда в		разреженном		г а з е . . . . . . . . . .			2Э
2-3.	Источники ионов						54
2-3-1. Ионные источник» с поверхностной човиза-
	цией паров			, . . .		, .	36
2-3-2- Ш.азыенние		источники		ионов	с использова
	нием испарения		ччстых вещесзв					38
2-3-3. Плазменное		источники		ионов	тугоплавких
	элементов с катод.шм распылением рабочего
	вещества						42
2-3-ц. Источники ио\.ов			с использованием"процес
	сов диссоциации		химических		соединений
	твердых веществ						45
ГЛАВА Ш.ИОННО- И ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ...								48
3-1 .	Структура электронно- и йонно-оптических
	сисгем						48
3—1—I. ЭОС для получешя эдектроиных пучков								49

								Стр.
3	-1-2.	ЭОС для получения ионных				пучков		57 •
3	-2.	Ионные	и электронные пушки					55
. 3-3.		Электронные		лиьзы				62
3-3-1. Электромагнитные линзы								62
3	-3-2. Электростатические линзы							65
3-3-3. КвмрУ"°льные Л1.нзы								,68
3-4.		Отклоняющие		системы	эдектрон!:э-ионных .
		установок						70
3	-5.	Массфильтры		ионных	установок			76
3	-5-1. Мегнитные массфильтры...							76
3	-5-2. Динамический квадрупольный массфильтр.							78
ШВА	1У.	РАБОЧИЕ КАМЕРЫ ЭЛЕКТРОННЫХ И ИОННЫХ
		УСТРОЙСТВ						80
4- 1.		Основные типы рабочих камер						81
4-2.		Загрузочные		устройства				84
4-3.		Cue яровые окна				"		87
4 -4.		Системы контроля процессов микрообра-
		ботки						90
Г Л Ш	У.	ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ ЭДТКТРОННО-ИОННЫХ
		УСТАНОВОК						94
5- 1 .		Вакуунгче системы с обводкой откачкой
		объемов						95
		Вакуумные системы для сверхвысокова-
		куумных уст^ ново.						97
э - 3 .		Вакуумны'- системы установок с выводом
		пучка	в атмогфчру					100
ГЛАВА У1.		aiFUk	ПИТАНИЯ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ
		СИСТЕМ					103
6	- 1.	.Бдок~~хеыы		питалия эдектронно-оптичес-
		ских	с и л е ы					105
6	-2.	Источники постоянного нап^Яо-ания						106
6	-3.	Схемы	питания импульсных			установок		109
С о д а р к а н и			е				115