Файл: ТОЕ2м ответ.docx

Скачать файл
Заказать решение

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 20.03.2024

Просмотров: 16

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

(рис. 1, І), а плівки негативних фоторезистів, навпаки, під дією світла стають нерозчинними, у той час коли неосвітлені ділянки при проявленні розчиняються (рис. 1, II).У негативних фоторезистах на основі полівінілцинамату (ПВЦ) полімерною основою є ефір полівінілового спирту, з молекулами якого хімічно зв'язані молекули ефіру цинамоїльної кислоти. Ця кислота є світлочутливим компонентом, до структури якого входять групи з відносно енергією зв’язку Під час дії випромінювання з

енергією кванта відбувається розрив цих зв'язків (фотоліз) та утворення зовнішніх зв'язків між молекулами ПВЦ. У результаті цього молекулярні ланцюжки ПВЦ утворюють тривимірну структуру. Максимум власної чутливості відповідає довжині хвилі 280 нм. Фоторезисти на основі каучуку мають максимальну чутливість на хвилі 370 нм і є стійкими до кислот та лугів. У позитивних резистах як світлочутливий матеріал використовують нафтохінонциазід (НХД). Унаслідок випромінювання і розриву зв'язків утворюється індикарбонова кислота. Для переведення цієї кислоти у

розчинну сіль необхідно подіяти на неї проявником із властивістю лугу. Позитивні фоторезисти мають підвищену роздільну здатність. Максимум поглинання припадає на 450 нм.

  1. Фоторезисти. Означення, порівняльна характеристика негативних та позитивних фоторезистів.

Фоторезисти. На кожній стадії літографічного процесу діють фактори, які спотворюють рисунок фотошаблону. Такі фактори дуже чітко виявляються у товстих фотошарах. Практично встановлено, що товщина фотошару повинна в 3-4 рази бути меншою від мінімальних розмірів елементів рисунка. Крім цього, набухання товстих плівок у водних розчинах викликає внутрішні напруження та знижує адгезію. З іншого боку, товщина фотошару повинна бути достатньою, щоб протидіяти дії реактивів та перекривати локальні дефекти у структурі фотошару. Товщину фотошару вибирають у межах 0,5 - 1,5 мкм. Залежності від механізму фотохімічних процесів, що проходять під дією випромінювання, розчинність експонованих ділянок фоторезисту може зростати або зменшуватись. У першому випадку фоторезисти мають назву позитивних, у другому – негативних. Таким чином, плівки позитивних фоторезистів під дією випромінювання стають нестійкими і розчиняються у процесі проявлення

(рис. 1, І), а плівки негативних фоторезистів, навпаки, під дією світла стають нерозчинними, у той час коли неосвітлені ділянки при проявленні розчиняються (рис. 1, II).У негативних фоторезистах на основі полівінілцинамату (ПВЦ) полімерною основою є ефір полівінілового спирту, з молекулами якого хімічно зв'язані молекули ефіру цинамоїльної кислоти. Ця кислота є світлочутливим компонентом, до структури якого входять групи з відносно енергією зв’язку Під час дії випромінювання з

енергією кванта відбувається розрив цих зв'язків (фотоліз) та утворення зовнішніх зв'язків між молекулами ПВЦ. У результаті цього молекулярні ланцюжки ПВЦ утворюють тривимірну структуру. Максимум власної чутливості відповідає довжині хвилі 280 нм. Фоторезисти на основі каучуку мають максимальну чутливість на хвилі 370 нм і є стійкими до кислот та лугів. У позитивних резистах як світлочутливий матеріал використовують нафтохінонциазід (НХД). Унаслідок випромінювання і розриву зв'язків утворюється індикарбонова кислота. Для переведення цієї кислоти у

розчинну сіль необхідно подіяти на неї проявником із властивістю лугу. Позитивні фоторезисти мають підвищену роздільну здатність. Максимум поглинання припадає на 450 нм.

  1. Практичнi методи проведення iонної iмплантацiї

Іонне легування широко застосовується при створенні напівпровідникових мікросхем та транзисторних приладів. На відміну від дифузії, іонне легування дозволяє створювати шари з товщиною меншою 0,1 мкм з високою відтворюваністю параметрів.

Іони елементів, які використовуються зазвичай для створення домішкової провідності, проникаючи у кристал напівпровідника, займають у його ґратці положення атомів заміщення і створюють відповідний тип провідності. Легуючи в монокристал кремнію іони III і V груп, можна отримати p-n перехід в будь-якому місці і на будь-якої площі кристалу.

При виготовленні біполярних транзисторів іонну імплантацію використовують для отримання емітера, бази, колектора, сильнолегованих областей для колекторного і базового контактів, розподільної дифузії, прихованих n+-шарів тощо.

Іони азоту застосовуються для зміцнення поверхні сталевих ріжучих інструментів (фрези, свердла та ін). Імплантація цих іонів запобігає утворенню тріщин на поверхні металу і зменшує коррозійні та фрикційні властивості сталі, що є важливим у медицині при виготовлення протезів, авіа- і космобудованні.

Технологія іонної імплантації дозволяє обробляти робочі лопатки парових турбін розміром до 1700 мм.

Іонна імплантація використовується як один з методів для надання верхньому шару металу аморфної структури.

  1. Молекулярно-променева епiтаксiя.

Молекулярно-пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) — эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Позволяет выращивать гетероструктуры заданной толщины с моноатомно гладкими гетерограницами и с заданным профилем легирования. В установках МПЭ имеется возможность исследовать качество плёнок «in situ» (то есть прямо в ростовой камере во время роста). Для процесса эпитаксии необходимы специальные хорошо очищенные подложки с атомарногладкой поверхностью.

Молекулярно-променева епітаксія, МПЕ (англ. Molecular-beam epitaxy, MBE) — метод епітаксіального росту кристалів в умовах надвисокого (10−8 Па) вакууму.

Основою методу є осадження випаруваної з молекулярного джерела речовини на кристалічну підкладку. Незважаючи на просту ідею, метод вимагає складних технологічних рішень, а саме:

  • підтримання в робочій камері надвисокого (порядку 10−8 Па);

  • високу чистоту матеріалів, що випаровуються (має складати 99,999999%).

Смотрите также файлы