Файл: Вакуумные прокатные станы..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 150

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Давлений в камере. Если поток Q не очень велик, то отношение

рп

I мало отличается- от-

- Iрп

п п |. поэтому в формулу

 

 

^2

 

можно подставлять отношение давлений на впуске в насос, соот­

ветствующих началу и концу

данного

интервала.

Более точный результат получается, если найти давления Р\ и Р\ в камере, соответствующие давлениям на впуске в насос Рг и Р%. В этом случае весь интервал опять разбивается на ряд небольших участков, для которых находится среднее значение SH,

р'

но под знаком логарифма берется отношение ——, найденное

р і

по формуле

р" р

Изложенное справедливо только для высоковакуумных насо­ сов при молекулярном режиме течения газов по трубопроводам. Для механических насосов этот метод не приемлем, так как про­ водимость трубопроводов при молекулярно-вязкостном, а также вязкостном режимах зависит от среднего давления в них и скобку

^-^—(- -jj-^j нельзя выносить за знак интеграла.

Молекулярно-вязкостный и вязкостный режимы течения газов по трубопроводам имеют место не все время работы механи­ ческих насосов, а только при установившемся режиме. Смена режимов осложняет расчеты и делает их громоздкими, так как необходимо определять время откачки в пределах каждого ре­ жима.

Для упрощения принимается, что вязкостный режим распро­ страняется на весь интервал от молекулярно-вязкостного до тур­ булентного включительно. В этом случае для расчета необхо­ димо определить границу перехода вязкостного режима в мо­ лекулярно-вязкостный для данного трубопровода и затем найти

время

откачки

в

двух

больших

интервалах

давлений:

от 760

мм pm.

ст. до

Рх и

от Рх

до

рабочего давления

в

ка­

мере.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вязкостный

режим

переходит

в

молекулярно-вязкостный,

когда

критерий

PcpD

500,

отсюда

Рср = - ^ р - ,

где

Рср

среднее давление в данном трубопроводе в переходный момент. Проводимость трубопровода

и- 9.

где Р2 P-L — разность давлений на концах трубопровода.

39



Отсюда

Рр Чі

Проводимость 'U в переходный момент можно определить по формуле (30). Таким образом, имеется система уравнений с двумя неизвестными, решив которую можно определить критическое давление Рг:

 

р

р

 

V .

р

V

 

 

 

2

1

U ,

2~~

2

 

В интервале давлений от 760 мм рт. ст. до Р1

имеется вязкост­

ный режим

(в связи с принятым допущением); от Р1 до рабочего

давления в

камере — молекулярно-вязкостный

режим.

Время откачки определяется для каждого режима в отдель­

ности по соответствующим формулам

[69]. Для определения пол­

ного времени откачки системы механическим насосом от атмос­ ферного до рабочего давления в камере необходимо сложить время откачки системы в обоих интервалах t = tx + t2.

Расчет времени откачки с учетом газопоступлений. В преды­ дущем расчете при определении времени откачки вакуумной системы учитывался только ее объем V. Однако в систему по­ ступают все новые порции газа (натекание, десорбция, газовы­ деления), откачка которых составляет (особенно вначале) глав­ ную работу диффузионных насосов. Поэтому их необходимо, по возможности, учитывать. Время откачки с учетом газо­ поступлений определяется из общей зависимости [69]:

 

 

 

 

 

 

р-

Umoa + Sh dg'

 

 

 

 

4

У

U мол -\- &н

і_

1

UM0JlSH

dt

 

 

/Qß\

 

 

"s

Л

7 Л -Ts AT '

 

 

\Ö O >

 

 

°K

U

МОЛ

p" _

° мол т д н _

 

 

 

 

q' — полное количество газа,

^мол^н

dt

 

 

 

где

выделяющегося

в

камере

 

по той или иной

причине, в мкм рт.

ст.-л;

 

 

dq'

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

- ~ - •— количество газа, выделяющегося в камере в единицу

 

времени,

в

мкм

рт.

ст.-л/сек.

 

 

 

 

 

Формула справедлива

при молекулярном

течении

газа

и при

SH

const (в малых

интервалах

изменения

давления).

 

 

Вид функции

— -

зависит

от

того, какую

составляющую

газопоступлений она учитывает. Для определения времени откачки

dql

с учетом натекания необходимо найти вид функции -jf-, где qi — количество газа, поступающего в камеру вследствие нате-

40


кания. Для этого потребуется знать формулу канала, по которому воздух проникает внутрь камеры, и, кроме того, число щелей.

Ответ на эти вопросы чрезвычайно затруднителен. Именно поэтому при расчете общего количества газопоступлений величина натекания была принята ориентировочно. Для определения вре-

dq\

менн откачки с учетом натекания вместо - ^ - подставляют

dql

заданное значение —^- = а. При определении времени откачки

с учетом десорбции можно пользоваться предыдущей формулой,

dq2

но величина —^- непостоянная, зависящая в основном от времени

нияв хмалойможностепенсчитатьот, чтодавления—г—негаззависив ткамереот давления. При внизкихкамередавлеіоУ J-

dt

dq2

Зависимость —^- от времени — экспоненциальная, т. е.

- ß <

•ж = а е '

где а и ß — коэффициенты, зависящие от размеров деталей и их температуры. В случае определения времени откачки с учетом

десорбции необходимо найти вид функции -^- = ае-»1, т. е.

коэффициенты а и ß. Допустим, что значение десорбции для дан­ ного материала и температуры через время t = 3600 сек равно а, тогда справедливо уравнение

а = а < Г 3 6 0 0 р .

Если через время t = 5 ч = 18 ООО сек значение десорбции равно Ь, то

„—18 000ß

= ае

Решив систему уравнений а ае —збоов,

Ь = ае- 1 8 000ß

получим значения коэффициентов а и ß. Значения а я b находятся из опытных данных, взятых для данной температуры и материала соответственно через 1 ч и через 5 ч. Окончательно время t с уче­ том десорбции можно определить, решив уравнение

t-JL

^ + ^ і п

u s "

41

или в канонической

форме

 

 

 

 

 

 

 

 

Р\еrV

— гае rV

+ rae _ p '

= О

 

 

 

где г =

и + sH

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и

с

учетом десорбции

можно

определить

более

Время откачки

 

 

 

 

dq2

 

 

 

 

 

 

простым

путем, если

принять,

что - ^ -

=

const и равно

 

значе­

нию в начале откачки.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Т а б л и ц а

9

J л/сек

 

 

 

Разбивка

участка

 

 

 

 

 

 

на интервалы

 

 

 

% в ООО

 

 

 

 

 

 

•il

 

 

 

 

интервала№

 

Интервал изменения давления рт.мм.в ст.

средняяS задан­для интер­ного

л/секввала

се

 

 

 

 

 

„ В ООО

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

iS г ооо

 

 

 

 

!

 

 

 

 

 

Ю~6

13h 567t-Ws

23 45 6 7В9Ю~* ? 34 5578Э10~*

1

5

10~4 --3- ю - 4

 

5000

 

Давление, мп ргр. ст.

 

 

Рис.

11. Кривая

откачки насоса

Н-8Т

2

3

10-*-=-1 -ю - 4

 

7500

 

 

 

 

 

 

Время, рассчитанное таким способом, будет, конечно, макси­ мальным.

Пример 5: Рассчитать время откачки системы, имеющей объем V — 2500 л, насосом Н-8Т от давления 5-10~4 мм рт. ст. до давления 3 - Ю - 5 мм рт. ст., соединенным с системой трубопро­

водом

с пропускной

 

способностью

U = 4830

л/сек.

Кривая от­

качки

SH = / (Р)

насоса

Н-8Т приведена

на

рис.

11.

Кривую

откачки разбиваем

на два участка: аб и бв.

 

 

 

 

 

 

Определим время откачки для каждого участка. Участок аб

прямолинеен и параллелен оси абсцисс;

SH

является

постоянной

величиной,

не зависит от давления

и равна

8000 лісек

(с учетом

сопротивления

затвора

быстрота

откачки

 

равна

 

5600

лісек).

Таким

образом,

время

откачки

можно

определить

сразу для

всего

 

интервала

аб

по формуле (34):

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

=

0

о 2500 4830 + 5600,

 

Ю ' 4

-

, п о

,

0 0 ,

 

п

ос

« « .

^

2

' 3 560Ö

4830

ïg-STÏÏFrî5 1

*і=

1.92

lg 3,34

=

0,96

 

 

 

 

 

 

 

3 - Ю -

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Участок

бв

охватывает

интервал

давлений

от

5 - Ю - 4 до

Ю -

4

мм рт. ст. На этом участке SH

= f (Я) не является

постоян­

ной

 

величиной,

поэтому

SH

можно

вынести

за

знак

интеграла

в формуле

(33), если

 

принять SH const

в небольшом

интервале

давления.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для каждого интервала необходимо найти среднее значение SH и время откачки. Сумма времени откачки для этих интервалов дает продолжительность откачки t для участка бв.

42


Разбивка участка на интервалы приведена в табл. 9. Интервал 1

 

^ =

2,3 2500

4830 + 3500 ,

 

5-Ю"4

=

0,8 сек;

 

 

 

 

3500

 

4830

 

6

3- Ю'*

 

 

 

 

 

 

при S'H

— 70% SH

= 3500

л/сек

Интервал

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/ '

 

0

о 2500

4830 + 5250 .

 

 

3-10-*

п

о

 

' 2

=

2

' 3 5250

 

4 8 3 0 —

^

Т + о ^

=

° ' 9

 

 

 

 

при S'H = 70% SH

 

=

5250

л/се/с.

Д л я

всего участка бв t% = ^

+

 

^

=

1,7 сек.

Продолжительность

откачки

системы

насосом Н-8Т

 

 

 

 

£ =

+ / 2

=

2,7 сек.

 

3.

ПОЛУЧЕНИЕ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЙ

 

 

 

 

 

 

В зависимости от конструкции

вакуумные

насосы, предназна­

ченные для получения низких давлений, могут работать в раз­

личных, но ограниченных

областях давлений. Области

давлений,

в которых

целесообразно

ис­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

пользовать те или другие ва­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

куумные

насосы,

видны

из

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

диаграммы

(рис. 12).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В рабочих

камерах

ваку­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

умных

прокатных

 

станов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

используется

 

остаточные да­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

вления от

10 2 до

10 6 мм

 

 

 

 

 

 

S

 

 

 

рт.

 

ст.

 

Вакуум

 

10"2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ю - 3

мм рт.

ст. целесооб­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

разно

 

применять,

как пока­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зали

 

исследования,

при го­

103

ІСг

10'Т

10'

'

Ю'э

10'' 10'

Iff'

рячей

 

обработке

давлением

 

Давление,

 

мм рт. ст.

 

таких

 

металлов,

как

вольф­

Рис.

12. Области

давлений, для получе­

рам,

 

молибден,

рений,

ос­

мий,

 

рутений,

иридий, медь

ния

которых

используются

различные

 

 

 

 

вакуумные насосы:

 

и никель, обладающих в тем­

/ — э ж е к т о р ы ;

2 — м е х а н и ч е с к и е

насосы

пературном

интервале

обра­

с м а с л я н ы м

у п л о т н е н и е м ; 3

— б у с т е р н ы е ме­

ботки

 

высокой

упругостью

х а н и ч е с к и е

 

насосы;

4 — п а р о м а с л я н ы е

б у с т е р ­

диссоциации

окислов.

 

 

ные

насосы;

5

п а р о м а с л я н ы е

д и ф ф у з и о н н ы е

 

 

насосы; 6

— ртутные

д и ф ф у з и о н н ы е

насосы;

Горячую пластическую де­

7 — с п е ц и а л ь н ы е о ы с о к о в а к у у м н ы е п а р о р т у т -

ные

агрегаты;

8 — с о р б ц и о н н о - и о н н ы е и ио-

формацию

таких

 

металлов,

н и з а ц и о н н о - г е т т е р н ы е

насосы;

9 — к о н д е н с а ­

 

 

 

 

 

ц и о н н ы е насосы

 

 

как титан, цирконий, ниобий,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ванадий, обладающих низкими значениями упругости диссоциации окислов, необходимо проводить в вакууме Ю - 4 — Ю - 6 мм рт. ст.

Применение более высокого вакуума ( Ю - 7 — Ю - 9 мм рт. ст.) не представляется целесообразным, так как при плавке, спекании

43