Файл: Арифов У.А. Угловые закономерности взаимодействия атомных частиц с твердым телом.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 110

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

§5. О ХАРАКТЕРИСТИЧЕСКИХ ПОТЕРЯХ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТРОНОВ В ПОЛИ- И МОНОКРИСТАЛЛАХ МЕТАЛЛА И ПОЛУПРОВОДНИКА

Как было упомянуто выше, в большинстве случаев;- только определение величии энергетических потерь еще не доста­ точно для выяснения их природы. Поэтому мы исследовали спектры вторичных электронов с характеристическими потерями энергии в зависимости от энергии, угла падения первичных элек­

тронов и природы мишени.

полного энергетиче­

На

рис. 97 а приведена осциллограмма

ского

спектра вторичных электронов, снятая

при бомбардировке

Mo-мишени электронами с начальной энергией 500 эв сразу послеочистки поверхности мишени нагревом до температуры 2000— 2500°К- Бомбардировка производилась под углом Ф = 45° по отно­ шению нормали к поверхности мишени.

Анализу по энергиям подвергались вторичные электроны, рас­ пространяющиеся под углом вылета 0 = 45°. Для более детального рассмотрения на рис. 97 б приведена осциллограмма высокоэнер­ гетической части спектра.

Как видно из осциллограмм распределений, наряду с главными пиками распределения, т. е. пиками истинно вторичных и упруго' отраженных электронов в высоко- и низкоэнергетических областях спектра, наблюдаются пики характеристических потерь энергии электронов (тонкая структура). Видны пики, соответствующиехарактеристическим потерям энергии (АД) с величинами, рав­ ными A£i = 25, Д£2 = 47, Д£3 = 81 эв.

Кроме характеристических потерь энергии электронов, отме­ чаемых в высокоэнергетической части спектра, появляются макси­

мумы (пики) и в низкоэнергетической

области спектра

с поте­

рями энергии Д£ 1 = 143,

Д£2=158 и Д£3=178

эв (см. рис.

97 а).

Интересно отметить,

что отдельные

пики

характеристических,

потерь с изменением начальной энергии первичных электронов £ 0 ведут себя по-разному. Например, высота пика A£i по отношению' к высоте пика А£2 уменьшается с ростом Е 0. Если при £о=100 эв

высота

пика Д£2

по отношению к высоте пика A£j

почти

неза­

метна,

то при £ 0

= 500 эв высоты их почти одинаковы

(рис.

97 б)_

Такое

поведение

пика A£i с изменением начальной

энергии £о

наводит на мысль, что он своим происхождением обязан поверх­ ностным плазменным переходам электронов. Действительно, рас­ четы на основе теории плазмы Бома—Пайнса [260] величины энер­ гии плазменных колебаний для Мо по формуле

где со — частота колебаний плазмонов; е, т — заряд и масса элект­ рона; N - плотность электронного газа, дают значение А £ = 23 эв,. что близко к характеристической потере пика A£\. Подсчет ве-



энергетической области спектра, явно связано с хорошей разреша­ ющей способностью анализатора, так как этот пик наблюдается и в случае поликристалла Мо при хорошем разрешении анализа­ тора по энергиям. Изменение поведения пика A£i с изменением энергии и угла падения первичных электронов дает возможность

предположить, что этот

пик по

своей

природе

относится также

к возбуждению приповерхностных плазмонов. Однако

расчетная

энергия поверхностных

плазмоиов

vjco / |Х2=16,5

эв

несколько

больше регистрируемой величины ДА] =

12,6 эв и в данном случае.

Однозначно объяснить причину

такого смещения,

нам

кажется,

пока трудно; но только

можно

констатировать,

что

аналогичный

сдвиг пика AEi наблюдался для переходных металлов [329]. Появление пиков с характеристическими потерями энергии,

равными Д£5=121, Д£6=---154,7, Д£7=188, связано, по-видимому, с

двумя факторами — хорошей разрешающей способностью анали­ затора и упорядоченной структурой монокристалла. Поскольку характеристические пики, начиная примерно с Д£4, относятся к кратным объемным плазменным колебаниям электронов, то упо­ рядоченность, т. е. прозрачность кристалла в свою очередь способ­ ствует, по-видимому, выходу электронов, вызванному этими объемными колебаниями. Нам кажется, суждение, высказанное выше, справедливо также к дополнительным характеристическим пикам, появившимся в низкоэнергетической области спектра в слу­

чае монокристаллического образца

(мишени).

 

с характери­

Что касается утверждения [136] о том,

что пики

стическими потерями

ДЕ4 и Д£5 (в случае

монокристалла

W)

вы­

званы междузонными

переходами,

то

мы

не отрицаем

наличия

таких переходов и в наших условиях. Однако

величины,

рассчи­

танные по А. Ю. Вятскину(86] по формуле

 

 

 

 

 

 

 

 

ДЕ.

п-

 

 

 

 

(VI. 4}

(где п — вектор

обратной решетки), дают

несколько

худшее

сог­

ласие с

экспериментально

регистрируемыми

величинами,

чем

расчеты по теории плазмы Бома—Пайнса [260].

характеристических

Таким образом,

рассмотрение

спектров

потерь

энергии

электронов

поли- и

монокристаллического

Мо

показывает, что в энергетическом спектре

наряду

с главными

пиками

(истинно

вторичных

и упруго

отраженных

электронов)

наблюдаются еще пики с характеристическими потерями энергии электронов, соответствующие поверхностным и объемным коле­ баниям плазмонов (может быть и междузонным переходам) и так­ же Оже-электронам.

Для понимания механизма характеристических потерь энергии

электронов большой интерес представляет

исследование

энерге­

тических спектров вторичных электронов,

рассеянных

твердыми

телами с различной зонной (электронной)

структурой.

 

Поэтому

для исследования энергетического спектра

электронов

в

качестве

252


углах

падения первичных электронов на поверхность

мишени

30, 45, 60 и 75°. На фоне главного хода кривой а

(Е0) наблюдается

тонкая

структура. Аналогичный немонотонный

характер

кривой

а(Е0) отмечен в работе [73] при бомбардировке граней (111) и

(100)монокристаллов Мо.

Раздельные

исследования коэффициентов

ВЭЭЭ

от энергии

Е о показывают,

что тонкая структура кривой

о (Е 0)

в основном

обусловлена природой образования истинно вторичных электронов и ее изменением в зависимости от энергии первичных электронов.

Таким образом, рассмотрение полученных результатов пока­ зывает, что изменение спектров с ростом энергии и угла падения для монокристаллов происходит в значительно большей степени, чем для поликристаллов. Когда направление пучка электронов совпадает с плотно упакованным направлением мишени (кристал­ ла), пик истинно вторичных электронов растет как по высоте, так и по ширине. При такой же ориентации мишени в энергетиче­ ском спектре наблюдается больше пиков характеристических потерь, т. е. спектр обогащается быстрыми электронами. Эти ре­ зультаты не противоречат предположению о дифракционном характере взаимодействия электронов с кристаллами.

Рассмотрение Оже-пиков в спектре показывает, что большин­ ство из них может быть объяснено на основе переходов между атомными энергетическими уровнями. Следует также отметить, что в случае, когда направление пучка совпадает с плотно упако­ ванным направлением кристалла, амплитуды Оже-пиков резко увеличиваются. В результате исследования было выяснено, что- с ростом угла падения амплитуды пиков, обусловленных поверх­ ностным плазменным переходом, возрастают по сравнению с амплитудой пиков, обусловленных объемными плазмонами. Полу­ ченные результаты дают возможность надежно идентифициро­ вать наблюдаемые пики характеристических потерь по группам и по характеру их происхождения.

§6. ХАРАКТЕРИСТИЧЕСКИЕ ПОТЕРИ ЭНЕРГИИ ЭЛЕКТРОНОВ В МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СПЛАВАХ И ИХ КОМПОНЕНТАХ

Хотя характеристические потери энергии (ХПЭ) элек­ тронов в веществе рассмотрены во многих работах, вопрос о на­ дежной классификации их по характеру образования до сих пор остается наиболее интересными и в то же время дискуссионным. В большинстве существующих работ в основном анализируется обнаружение пиков ХПЭ в спектре рассеянных электронов и вы­ числение соответствующих им потерь энергии. Однако результаты, этих исследований показали, что определение величины энергети­ ческих потерь еще не позволяет надежно классифицировать их, так как результаты расчета, основанные на плазменном [260] и междузонном [86] представлениях, в ряде случаев дают одну и ту же величину потерь.

254


Для сравнения все осциллограммы сняты при одной и той же высоте пика упруго отраженных электронов и сдвинуты относи­ тельно друг друга по вертикали. Видно, что интенсивности отдель­

ных пиков ХПЭ, а именно, A£'i=12,

Д£2 = 25, Д£3 = 47,

Д£4 = 81 эв,

изменяются по-разному с ростом Е 0.

отношения амплитуды (высо­

В интервале энергий 0,1—2 кэв

ты) пиков ДЕ и ДЕ 2 и Д£3

к высоте

пика

упругого

отражения

показывают зависимость,

близкую

к логарифмической (рис.

100 6). Последнее в соответствии с

теорией

[139, 198],

подтверж­

дает .наш вывод [39] о том, что пики обусловлены потерями энер­ гии электронов, вызванными колебанием поверхностного (Д-Д), объемного (ДЕ 2) плазмонов и повторным колебанием объемного плазмона (Д£3). Амплитуда пика с потерей АЕа почти не меняется от Е0. Это наводит на мысль о том, что он связан с межзонным

переходом [198].

 

 

 

плазменных

Действительно, согласно [198], интенсивность пика

потерь для изотропного

случая

дисперсии частоты

плазменных

колебаний линейно зависит от энергии первичных электронов

VI/

 

= А

4яе- С Р- и>~2

i(VI.5;

max

 

М- + (4-е- Су

 

где р — импульс (энергия) первичного электрона; ш =

У *Ne-/m;

М — коэффициент, обозначающий величину дисперсии резонанс­ ной частоты, С — параметр, характеризующий величину затуха­ ния плазмонов вследствие электрон-электронного взаимодействия. Согласно этой же работе, в анизотропной монокристаллической мишени (т. е., когда дисперсия частоты плазменных колебаний является функцией азимутального угла ш) в определении спектра важную роль играет зависимость плазменной частоты от направ­ ления вектора g-импульса, потерянного рассеянными электро­ нами. При этом, согласно В. В. Румянцеву [198], спектр описы­ вается выражением

 

 

v“ 1

(

/ ог - M q 1

(V1.6)

Из выражения видно, что функция е пока входит сюда не в явном

виде, однако, не вникая в подробности

этой

функции,

можно

заметить, что

аргумент ее

имеет

со2-—Mq2. Это

значит,

что в

(VI.6) интеграл

по q обусловлен

поведением

подынтегрального

выражения (вообще говоря,

не только

на

нижнем

пределе),

поэтому линейная зависимость от энергии Е 0 пика

(максимума)

на спектре в резко анизотропном

случае не имеет места

и пере­

ходит, скорее всего, в логарифмическую зависимость, что соответ­ ствует пикам с потерями Д£ь ДЕ2 и Д£3. Таким образом, беглое рассмотрение выражения (VI. 6) показывает, что сильная азиму­ тальная дисперсия приводит к переходу линейной зависимости высоты пика от Е 0 к более слабой логарифмической.

256