ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 11.04.2024
Просмотров: 156
Скачиваний: 4
рр |
ін tip — величины, которые |
м о ж н о |
считать |
постоянными . |
Тогда: |
||||||
|
і |
= |
еп% [DjLnpp |
+ DpILpnn] |
[ е х р { е £ / / й Г > - |
1] |
= |
|
|
||
|
|
= |
/„ exp { — Eg\kT) |
[exp {eUlkT}— |
1 ]. |
|
|
|
(5.29) |
||
М о ж н о |
считать величину h=eN |
23^[Dn/Lnpp+Dp/Lpnn] |
|
постоянной, |
|||||||
не |
зависящей от д е ф о р м а ц и и |
кристалла, хотя |
это, вообще |
говоря, |
|||||||
н е |
совсем |
точно. К а к п о к а з ы в а е т более точное |
исследование, |
в к л а д |
|||||||
в изменение тока из-за зависимости h |
от д е ф о р м а ц и и м а л по с р а в |
||||||||||
нению с изменением, в ы з ы в а е м ы м изменением |
ширины |
запрещен |
|||||||||
ной зоны Eg, от которой |
зависит множител ь exp |
{ — E g / k T } . |
|
||||||||
|
Изменение ширины запрещенной зоны при д е ф о р м а ц и и |
к р и с т а л |
|||||||||
лической |
решетки, |
связанное |
с изменением энергии решетки, м о ж |
но рассчитать на основе теории деформационного потенциала, ко
торая |
д а е т в линейном приближении |
с л е д у ю щ у ю |
зависимость: |
|
||||||||||||||
Eg |
= Ept + E1AV/V, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(5.30) |
|||||
где Ego — ширина запрещенной |
зоны |
недефор миров энной |
|
решетки |
||||||||||||||
кристалла, AV/V— |
относительное |
изменение |
объема |
решетки, а |
||||||||||||||
ЕІ-—некоторая |
постоянная, |
с о с т а в л я ю щ а я |
|
по порядку |
величины |
|||||||||||||
несколько единиц электрон - вольт |
(5 э В ) . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
С п о м о щ ь ю |
ф-л |
(5.29) и (5.30) |
м о ж н о |
оценить |
интересующую |
|||||||||||||
нас величину % дл я пьезополупроводникового |
приемного |
элемента . |
||||||||||||||||
Д и ф ф е р е н ц и а л ь н у ю |
проводимость |
р—п-перехода |
можно |
|
записать |
|||||||||||||
в виде |
G = di/dU, |
а ее относительное |
изменение |
(равносильное |
от |
|||||||||||||
носительному изменению сопротивления) |
при д е ф о р м а ц и и |
составит: |
||||||||||||||||
X = |
— — = д/д £ (In {ді/dU}) |
= |
дід Eg |
(In {di/dU})dEJd |
£. |
|
(5.31) |
|||||||||||
|
|
G dg |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
М а л ы е относительные изменения |
о б ъ е м а |
кристалла AV/V |
свя |
|||||||||||||||
з а н ы с д е ф о р м а ц и е й |
р а с т я ж е н и я |
( с ж а т а я ) |
линейно. |
Коэффициент |
||||||||||||||
пропорциональности |
зависит от |
типа |
симметрии |
|
и |
соотношения |
||||||||||||
упругих |
постоянных |
к р и с т а л л а |
и |
находится |
по |
разности |
м е ж д у |
|||||||||||
р а с т я ж е н и е м в направлении |
| |
и |
поперечными .сжатиями. Величина |
|||||||||||||||
его р а в н а |
примерно |
0,34-0,5, т а к что |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
£ 1 ( A V / V ) « ( 1 . 5 - = - 2 , 5 ) | . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(5.32) |
|||||
П о д с т а в л я я |
(5.29) в (5.31) |
и |
используя |
(5.30) |
с |
учетом |
(5.32), |
|||||||||||
получим: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Х = |
(1,5-т-2,5)/(АГ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(5.33) |
|||||
При температуре Т = 290°К, |
kT |
составит |
~ 2 , 5 - 1 0 - 2 э В , |
%=60-"-100. |
Работа приемника н а нагрузку
П р и подключении параметрического элемента к источнику за
данного тока |i'o|=const н а п р я ж е н и е на нем, очевидно, |
составит: |
U = i0ze + i%ZoAlll, |
(5.34) |
где zo —• сопротивление элемента при Д / = 0 . |
|
224
Е с ли |
Zo—омическое |
сопротивление, |
то п и т а ю щ и й |
ток |
м о ж е т |
||||
быть как постоянным, так и переменным, с частотой |
много |
выше |
|||||||
верхней |
частоты д и а п а з о н а с и г н а л а |
(т. е. частоты |
изменения |
пере |
|||||
менной величины |
М). П р и реактивном сопротивлении za ток i0. оче |
||||||||
видно, д о л ж е н б ы т ь переменным . Пр и питании постоянным |
током |
||||||||
полезный э ф ф е к т |
определяется |
в т о р ы м |
.слагаемым п р а в о й |
части |
|||||
в ы р а ж е н и я (5.34). Это с л а г а е м о е можно |
р а с с м а т р и в а т ь в эквива |
||||||||
лентной |
схеме к а к некоторую эдс, а |
сопротивление |
z0 |
— к а к |
внут |
||||
реннее |
сопротивление |
источника |
этой эдс. Тогда |
дл я |
переменных |
Рис. S.7. Схема |
параллельного |
включе- |
|
|
Рис. 5.8. Согласованное вклю- |
||||||||||
ния параметрического резнстивного при- |
|
|
чение |
резистивного |
параметри- |
||||||||||
емйика на нагрузку |
|
|
|
|
|
ческого приемника на нагрузку1 |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
через трансформатор |
|
|
|
|||
с о с т а в л я ю щ и х |
токов |
и н а п р я ж е н и й |
р а б о т а параметрического |
при |
|||||||||||
емника |
м о ж е т |
быть п р е д с т а в л е н а схемой |
рис . 5.7. В р е а л ь н о й |
схеме |
|||||||||||
п а р а л л е л ь н о г о |
подключения |
нагрузки |
к |
п а р а м е т р и ч е с к о м у |
резис- |
||||||||||
тивному приемнику требуется р а з д е л и т е л ь н а я |
емкость, чтобы |
ис |
|||||||||||||
ключить |
доступ |
постоянной, |
с о с т а в л я ю щ е й |
п а д е н и я н а п р я ж е н и я |
|||||||||||
на вход последующей |
усилительной |
схемы . Д л я .согласования |
с со |
||||||||||||
противлением |
нагрузки (входа |
усилителя) |
м о ж н о использовать |
||||||||||||
т р а н с ф о р м а т о р |
|
(рис. 5.8). В |
это м с л у ч а е |
полезное н а п р я ж е н и е |
на |
||||||||||
выходе |
нагруженного |
т р а н с ф о р м а т о р а |
.составит: |
|
|
|
|
||||||||
ия |
= RHn~l |
|
(R0 + |
RH/n*)-1 |
X і, t |
|
|
|
|
|
|
(5-35) |
|
||
UK м а к с и м а л ь н о |
при |
R0=RB/nz: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
uamaX=-Y%io{RoRa)mh |
|
|
|
|
|
|
|
|
(5.36) |
||||||
П р и м а к с и м а л ь н о м |
использовании |
мощност и |
параметрическог о |
||||||||||||
п р е о б р а з о в а т е л я |
н а п р я ж е н и е , о т д а в а е м о е им |
|
на |
нагрузку, |
пропор |
||||||||||
ционально к о р н ю к в а д р а т н о м у |
из |
м о щ н о с т и |
|
(ilRo)112, к о т о р а я |
до |
||||||||||
пустима д л я |
чувствительного |
элемента |
п о |
техническим |
.сообра |
же н и я м .
Дл я схемы последовательного соединения п а р а м е т р и ч е с к о г о элемента с нагрузкой (рис. 5.9) н а основании аналогичных 'сообра жений получим:
Uamax=-^-%Uo(RjRoy/2l, |
(5.37) |
8—3 |
225 |
г де U0Rtrilz, |
к а к |
и ,в 'Случае схемы |
параллельного .соединения, равн о |
||||||||
корню квадратном у из МОЩНОСТИ, рассеиваемой |
и а |
параметриче |
|||||||||
ском элементе . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
При необходимости приема весьма низких частот схемы с раз |
|||||||||||
делительной емкостью и т р а н с ф о р м а т о р о м не |
могут |
быть |
исполь |
||||||||
зованы при |
питании постоянным |
током |
и |
заменяютс я |
компенсиро- |
||||||
U0=const |
|
[ К |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
- н і |
|
|
|
|
|
Р.ИС. |
5.9. |
Последовательное |
Рис. |
6.10. |
Мостовая схема |
||||||
включение |
параметрического |
включения |
параметрическо |
||||||||
приемника и нагрузки |
|
го |
резистивного приемника |
||||||||
ванными мостовыми |
схемами, |
несоздающими |
постоянного |
напря |
|||||||
ж е н и я на нагрузк е (рис. 5.10). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
В области низких звуковых и |
инфразвуковых частот трансфор |
||||||||||
маторный |
выход при |
питании |
моста |
постоянным |
током |
трудно |
осуществить из-за уменьшения индуктивного сопротивления холос того хода т р а н с ф о р м а т о р а с понижением частоты. Н а п р я ж е н и е с мостовой схемы подается в этом случае непосредственно на вы -
сокоомный |
|
вход |
усилителя . Р а с с м а т р и в а я |
постоянное |
сопротивле |
||||||||
ние плеча |
моста |
(R%, рис |
.5.10) |
к а к |
нагрузку для |
чувствительного |
|||||||
элемента |
(Ri), |
приходим |
к выводу, что |
в соответствии |
с |
(5.37) |
|||||||
максимальное полезное напряжени е |
м о ж е т |
быть получено |
с |
равно- |
|||||||||
плечного моста |
(R2=Ru |
в |
отсутствие д е ф о р м а ц и и |
£ = 0 ) . |
Если |
Rz |
|||||||
т а к ж е является |
составной |
частью |
чувствительного |
элемента |
и |
||||||||
Д і ? 2 = — A R u |
то |
Uи max |
удваивается |
по сравнению с |
о п р е д е л я е м ы м |
||||||||
по ф-ле (5.37). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
П р и использовании тех |
ж е схем |
с питанием переменным |
током |
||||||||||
н а п р я ж е н и е |
на |
чувствительном |
элементе |
о к а з ы в а е т с я |
модулиро |
||||||||
ванны м по |
амплитуде и коэффициент модуляции, очевидно, |
состав |
л я е т х|- Поскольку при использовании балансированного моста на выходной его диагонали несущая частота отсутствует, д л я восста новления сигнал а на в ы х о д е усилительной схемы потребуется не обычный амплитудный детектор, а синхронный. В остальном сооб
ражения , в ы с к а з а н н ы е |
в ы ш е относительно |
схем с питанием |
по |
|
стоянным током, могут |
быть использованы и при рассмотрении |
схем |
||
с питанием переменным |
током при |
амплитудной модуляции . |
|
|
И з м е н я ю щ и й с я электрический |
п а р а м е т р |
предоставляет |
боль |
шие возможност и дл я создания р а з л и ч н ы х видов модуляции: ам плитудной, частотной, разновидностей импульсной модуляции . Д е тальное рассмотрение этих схем составляет предмет техники уси
ления слабых сигналов и измерения .малых изменений |
электричес |
ких величин и м ы его касаться не будем. Отметим |
только, что |
226 |
|
с л о ж н о с ть электронной части параметрических приемников оправ дывается тем, что н а п р я ж е н и е их электрических шумов м о ж е т быть сделано м а л ы м , что позволяет п р и н и м а т ь с л а б ы е сигналы д а ж е при небольшой чувствительности механико-акустической системы приемника .
5.6.П Ь Е З О Р Е З И С Т И В Н Ы Е П О Л У П Р О В О Д Н И К О В Ы Е
П Р И Е М Н И К И З В У К А И В И Б Р А Ц И Й |
|
|
j |
||||
И з большого числа в о з м о ж н ы х видов п а р а м е т р и ч е с к и х |
прием |
||||||
ников на |
п р а к т и к е п р и м е н я ю т с я |
емкостные и полупроводниковые |
|||||
льезорезиетивные приемники . О емкостном п а р а м е т р и ч е с к о м |
прием |
||||||
нике .сказано в п а р а г р а ф е 4.15 в |
связи с конденсаторным |
микрофо |
|||||
ном - преобразователем обратимого типа. З д е с ь остановимся |
только |
||||||
на пьезорезиотивных приемниках . |
|
|
|
|
|||
К а к упоминалось |
в ы ш е , к о э ф ф и ц и е н т |
п р е о б р а з о в а н и я |
д л я не |
||||
которых |
полупроводниковых приборов о к а з ы в а е т с я весьма |
значи |
|||||
тельным . |
Н а ч а л ь н ы й |
т о к полупроводникового диода и л и |
коллек |
||||
торный ток транзистора с в я з а н |
экспоненциальной зависимостью с |
||||||
энергией |
запрещенно й |
зоны, и м а л ы е и з м е н е н и я энергии |
з а п р е щ е н |
||||
ной зоны |
приводят к |
пропорциональному |
изменению |
|
начальжм-о |
||
тока . Д л я получения |
в о з м о ж н о |
больших |
д е ф о р м а ц и й |
переходного |
|||
слоя, а с |
ними и энергии запрещенной зоны в п е р в ы х |
пьезорезис |
тивных полупроводниковых п р и е м н и к а х усилие от механико - аку
стической системы п е р е д а в а л о с ь через острие и г л ы |
на плоскую |
|||||
поверхность |
к р и с т а л л а |
с |
малой |
глубиной з а л е г а н и я |
переходного |
|
слоя. Б о л ь ш и е местные механические |
н а п р я ж е н и я под |
концом иглы |
||||
о к а з ы в а л и с ь в зоне переходного |
слоя. |
|
|
|||
Н а этом |
принципе |
построен |
пьезоре- |
|
||
зистивный |
полупроводниковый |
акселеро |
|
|||
метр (рис. 5.11). Чувствительным элемен |
|
|||||
том является германиевый п л а н а р н ы й |
|
|||||
транзистор . И н е р ц и о н н а я |
масса |
(т) |
опи- |
|
Рис. 5Л1. (Пьезорезистивный полуагроводдико-
вый параметрический акселерометр: |
б—эквива |
а — схематическое изображение, |
|
лентная схема механической части |
|
/ — транзистор, 2 — игла |
|
^отпах
Рис. 5.12. Зависимость коллекторного тока / к и токовой пьезорезистивной чувствительности З/к/dFo от силы поджа
тая ,иглы
227
рается через иглу на кристалл . С основанием прибора она соеди
нена |
п р у ж и н н ы м |
корпусом, |
имеющим |
гибкость |
(Ск). С |
помощью |
||||||||
н а т я ж е н и я |
корпуса м о ж н о |
установить |
начальную |
силу |
п о д ж а т и я |
|||||||||
иглы |
к |
кристаллу . Х а р а к т е р |
зависимости |
коллекторного |
тока от |
|||||||||
силы |
п о д ж а т и я показан |
на рис. |
5.12. |
|
|
|
F0 |
|
|
|
||||
Около |
некоторого значення |
силы |
п о д ж а т и я |
изменение |
тока |
|||||||||
с силой |
п о д ж а т и я |
(dJK/&F) |
максимально, |
т. е. |
|
чувствительность |
||||||||
прибора |
м а к с и м а л ь н а . |
П р и |
действии |
переменных |
ускорений |
на |
||||||||
основание |
прибора сила п о д ж а т и я |
изменяется |
пропорционально |
|||||||||||
ускорению |
массы |
(т). |
Упругость контакта |
иглы |
с |
кристаллом |
за |
|||||||
висит |
от |
силы п о д ж а т и я . Д л я иглы из |
упругого |
м а т е р и а л а со |
сфе |
рической поверхностью острия м а л о г о радиуса, опирающегося на
упругую плоскую поверхность, эту упругость м о ж н о |
рассчитать. |
||||||||||||
Она |
оказывается пропорциональной с и л е |
п о д ж а т и я |
в |
степени |
1/3. |
||||||||
Это |
означает, |
в о о б щ е |
говоря, что |
пьезополупроводниковый |
преоб |
||||||||
р а з о в а т е л ь такого типа — прибор |
с нелинейной |
механической |
под |
||||||||||
вижной |
системой. О д н а к о поскольку |
степень зависимости |
упруго |
||||||||||
сти |
от силы невелика, то при начальной |
-силе |
п о д ж а т и я |
во |
много |
||||||||
раз |
большей, |
чем силы, в о з н и к а ю щ и е при |
и з м е р я е м ы х |
ускорениях, |
|||||||||
можно |
считать, что с у м м а р н а я упругость |
корпуса |
и |
опоры |
иглы, |
||||||||
с в я з ы в а ю щ а я |
массу |
с основанием, |
постоянна. |
Тогда |
эквивалент |
ная схема механической системы акселерометра приобретает прос
той вид, |
и з о б р а ж е н н ы й |
на |
рис. 5.116. |
И з |
этой |
схемы |
видно, |
что |
||||||||||||||
амплитуда усилия, |
действующего на кристалл, |
с в я з а н а |
с |
ампли |
||||||||||||||||||
тудой ускорения |
хт |
основания |
прибора |
соотношением: |
|
|
|
|
|
|||||||||||||
F„, |
= cK m(со 4 - c K ) - i |
(1 |
- ( o 2 |
/ ( u > m , |
|
|
|
|
|
|
|
(5.38) |
||||||||||
с к — |
гибкость |
пружинного |
|
корпуса; |
со — |
гибкость |
контакта, |
|||||||||||||||
и>1= (Со +ск)/(тс0ск) |
|
— с о б с т в е н н а я частота |
системы. |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
И з |
(5.38) |
видно, что |
Fm |
|
пропорционально |
хт |
на |
частотах |
н и ж е |
|||||||||||||
резонанса . Н а |
резонансе |
Fm |
в о з р а с т а е т |
д о величины, |
определяемой |
|||||||||||||||||
затуханием механической системы, не учтенным |
в |
ф-ле |
(5.38). |
|||||||||||||||||||
Практически |
Fm |
в о з р а с т а е т |
на |
резонансе в |
3—4 |
р а з а п о |
сравнению |
|||||||||||||||
с о б л а с т ь ю |
низких |
частот, |
если |
не ввести |
специального |
демпфи |
||||||||||||||||
рующего |
устройства. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
О т д а в а е м о е акселерометром |
полезное н а п р я ж е н и е |
на |
внешней |
|||||||||||||||||||
нагрузке |
зависит |
от |
величины |
начального |
тока |
к о л л е к т о р а |
|
(/ко), |
||||||||||||||
т а к как |
с ростам |
этого |
тока растет и |
dJH/&F. |
Н а ч а л ь н ы й |
ток |
кол |
|||||||||||||||
лектора |
устанавливается |
соответствующим |
выбором |
т о к а |
б а з ы . |
|||||||||||||||||
Электрический |
р е ж и м |
и величина н а ч а л ь н о г о |
п о д ж а т и я |
F 0 |
подби |
|||||||||||||||||
раются так, |
чтобы в |
з а д а н н о м |
д и а п а з о н е а м п л и т у д |
и |
частот |
изме |
||||||||||||||||
ряемых ускорений получить максимум чувствительности. |
|
|
|
|
||||||||||||||||||
В |
экспериментальных |
о б р а з ц а х приборов, |
п р и р а д и у с е |
закруг |
||||||||||||||||||
ления |
острия |
иглы |
5ім«м, с и л е |
п о д ж а т и я |
~ 5 - г - 1 0 г |
и |
начальном |
|||||||||||||||
токе |
коллектора |
4-^5 |
мА, |
в |
зависимости от |
н а г р у ж а ю щ е й |
массы |
|||||||||||||||
( 1 ч - 5 г ) , |
на |
нагрузке |
5 к О м |
чувствительность |
п р и б о р а |
составляет |
||||||||||||||||
от 7 до 35 Bfg. |
Прочность п р и б о р а допускает |
ускорение |
основания, |
228