ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 21.06.2024
Просмотров: 127
Скачиваний: 0
Оптическая система образует изображение объекта в пло скости, расположенной внутри вращающейся германиевой призмы 13. Процесс горизонтального сканирования проис ходит следующим образом: в положении а призмы (рис. 65) приемник получает излучение от точки / изображения. При повороте призмы в положение б на приемник падает излучение от точки 2, расположенной в середине изобра жения. В положении в приемник получает излучение от точки 3 изображения, симметричной точке /. Таким обра-
—- Кадровая синхронизация г— Строчная синхронизация
Рис. 64. Схема устройства тепловизора AGA
/ |
— к о л е б л ю щ е е с я п л о с к о е з е р к а л о ; 2 — кулачок; |
3,6 |
— электродвигатели; |
|
4, |
5 — фотопреобразователь; 7 — с о с у д Д ы о а р а ; |
8 — |
п р е д у с и л н т е л ь ; 9 — |
|
фотодиод; 10 — з е р к а л о ; |
/ / — германиевые линзы; |
12 — сферическое з е р к а л о ; |
||
|
13 |
— в р а щ а ю щ а я с я призма |
|
|
зом, призма при вращении осуществляет такое же горизон тальное сканирование вдоль строки, какое имело бы место при быстром возвратно-поступательном движении прием ника вдоль линии /—2—3.
При каждом полном повороте призмы сканируется 8 линий и так как призма делает 200 оборотов в секунду, то за одну секунду оптическая система сканирует 1600 линий.
В оптической головке установлены три электродвига теля: один из них осуществляет качание плоского зеркала 1, второй — вращение германиевой призмы, третий — фоку сировку оптической системы (путем перемещения плоского зеркала вдоль оси системы) для наблюдения объектов, рас положенных на расстояниях либо от 2 до 6 м, либо от 4 м
136
до со. Двигатель фокусировки управляется переключате лем, находящимся в блоке индикатора.
Сигнал от приемника усиливается предусилителем 8 до величины, необходимой для передачи по кабелю из оп тической головки к блоку индикатора. Предусилитель соб ран по дифференциальной схеме на кремниевых транзисто рах на отдельной печатной плате, помещен в металличе ский экран и расположен в непосредственной близости от приемника.
Рис. 65. Процесс сканирования в тепловизоре AGA
Формирование сигналов синхронизации кадровой и строчной разверток осуществляется с помощью модулято ров, прерывающих световой поток, идущий от лампочек подсветки к фотодиодам 4 и 5. Синхросигналы с фотодиодов поступают в усилители.
Все управление основным сигналом, регулировки, уси ление, введение вспомогательных сигналов, управление
вертикальным и горизонтальным отклонением |
луча ЭЛТ |
и т. д. сосредоточено в блоке электронного |
управления. |
В этом же блоке формируютсяимпульсы индикации на экране ЭЛТ — марки шкалы чувствительности, импульс включения серой полутоновой шкалы температур, марки уровня выделенной изотермы и т. д.
137
деление температур в виде изотерм, выделенных на термо
грамме— смотри |
рис. 67, а на цветной вклейке (все бе |
|
лые участки на |
термограмме соответствуют поверхностям |
|
с температурой |
32 °С). В камере может |
осуществляться |
также цветная |
запись изотерм, пример |
которой показан |
на рис. 67, б; для этого используются 8 цветных светофильт ров, которые автоматически вводятся один за другим пе ред камерой с пленкой 35 мм после каждой экспозиции изо бражения.
Инфракрасные микропиро метры. Приборы этого класса
предназначаются для |
некон |
||
тактных |
измерений |
темпера |
|
турных полей объектов |
чрез |
||
вычайно |
малых |
размеров, |
|
в первую |
очередь |
изделий-- |
|
микроэлектроники. |
В |
каче |
стве примеров таких изделий можно привести некоторые интегральные схемы, площадь поверхности которых доходит до 1 мм2 , причем на ней раз мещаются десятки диодов, транзисторов, резисторов и т. д., а электрические соеди нения представляют собой тончайшие пленки шириной
внесколько микрон. Для Рис. 68. Оптическая схема
выполнения |
измерений |
та |
микропирометра фирмы Barnes |
|||
кого |
рода |
прибор |
должен |
|
|
|
иметь |
очень |
высокую |
разрешающую |
способность, по |
||
рядка |
20—100 мкм. |
Иными |
словами, |
в микропирометре |
должна использоваться оптика, подобная применяемой в микроскопах. При этом оптика микропирометра должна быть обязательно отражательной, с постоянным (как у микроскопов) фокусным расстоянием; при наблюдении объекта фокусировка осуществляется регулированием рас стояния между объектом и объективом прибора.
В настоящее время описано [33, 53 ] несколько конструк ций подобных приборов. Микропирометр состоит из двух основных блоков: оптического блока (инфракрасного мик роскопа) и электронного блока (усилителей, индикатора,
139
устройств контроля). Примером конструкции такого рода может служить микропирометр американской фирмы Bar nes, оптическая схема которого показана на рис. 68. Опти ческий блок имеет два канала — инфракрасный и визу альный. Инфракрасный канал содержит обычные элементы инфракрасного пирометра: зеркальный объектив 11, моду лятор 9, приемник излучений 8. Визуальный канал содер жит германиевое зеркало 10, отражающее видимые излу чения в сторону окуляра 4 и пропускающее инфракрасные излучения в сторону приемника <5. В визуальном канале имеется также оптика для освещения объекта — малень кая лампочка 6, теплопоглощающее зеркало 7, ахроматиче ский конденсор 5, отклоняющие зеркала 1 и 2, а также координатная сетка 3 с перекрестием нитей, определяющая место наблюдаемого микроучастка.
Для определения опорной разности температур имеется эталонный источник излучений (малогабаритное черное тело), оптический сигнал от которого периодически вво дится зеркальным модулятором 9.
В микропирометре Barnes используются два приемника излучений: либо гипериммерсионный полупроводниковый болометр, либо фоторезистор InSb, охлаждаемый жидким азотом (77 К). Площадь чувствительной площадки в опи сываемом микропирометре Barnes ап = 0,5 х 0,5 мм2 . В микропирометрах используются также фоторезисторы из PbS, охлаждаемые твердой углекислотой, с а„ = 0,1 х X 0,1 мм2 и темновым сопротивлением около 1 МОм [53], a также из германия, легированного золотом (Ge : Au) и
охлаждаемого жидким азотом и |
легированного рутыо |
(Ge : Hg) и охлаждаемого жидким |
водородом [53]. |
Сканирование по объекту в некоторых приборах осу ществляется установленным перед объективом качающимся плоским зеркалом, поворачивающимся на небольшой угол (порядка 3°) и совершающим просмотр вдоль строки; про смотр по кадру создается более медленным перемещением всего объекта (интегральной схемы и т. п.) в перпендику лярном направлении. В микропирометре Barnes имеется сравнительно простое устройство для ручного микромет рического перемещения объекта по двум координатам.
Электронный блок содержит схемы для усиления и фор мирования сигнала, идущего с выхода приемника. Инди каторное устройство дает яркостную картину или кривые температурных профилей по отдельным строкам.
140
|
В [53] приведены основные положения теории |
инфракрасного |
|||||
микропирометра и некоторые данные о нем, приводимые ниже. |
|||||||
|
Прибор используется при температурах, |
близких к комнатной |
|||||
(Т = 300 К), и его чувствительность определяется |
разностью тем |
||||||
ператур |
(ДТ')э, необходимой для |
получения |
на выходе |
прибора |
|||
сигнала, |
равного уровню шума при полосе пропускания A/j = 1 Гц |
||||||
для |
объекта с Т = 300 К и коэффициентом |
излучения |
поверхно |
||||
сти |
е = |
1. При этом |
|
|
|
|
|
|
|
kx (anAf) 1/2 |
|
|
|
|
|
|
|
( А Г ) , = |
|
|
|
|
|
|
|
дТ, |
шА |
|
|
|
|
|
|
|
г=зоок |
|
|
|
|
|
В этой формуле ап — площадь |
чувствительного |
элемента при |
||||
емника, см2 ; Д£ — ширина полосы пропускания прибора, |
Гц; Dx — |
||||||
детектирующая способность приемника при длине |
волны |
в мак |
|||||
симуме, |
с м - Г ц 1 ' 2 - В т - 1 ; со — телесный угол |
(поле |
зрения) |
объек |
тива, ср; кг — коэффициент эффективности системы; А0 — разре шаемая площадь объекта, см2 ; дЦдТ — частная производная по температуре от энергетической яркости черного тела с учетом спектральной чувствительности приемника и спектральных харак теристик оптики, причем
ÔL_ |
|
dLj(%, 300К) |
^ |
дТ |
•5 (Х)та |
дТ |
|
где S (к) — спектральная чувствительность приемника и оптики; S (^)max — спектральная чувствительность при длине волны в мак симуме; дЬ^ (КТ)/дТ — частная производная спектральной плотно
сти энергетической яркости черного тела, В т - с р — ' - с м - 2 - м к м — ' - К - Коэффициент эффективности /гх с учетом потерь в оптической системе, уменьшения сигнала при отражении, шумов усилитель
ного тракта и других видов потерь составляет 4,5.
|
|
|
|
|
|
Таблица 24 |
Увеличе |
( Д Г ) г |
в -С |
|
Л и н е й н о е |
разрешение ДАТ |
|
|
|
|
в мкм |
|
|
|
ние объек |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
тива |
болометр |
InSb |
G e l H g |
болометр |
InSb |
Ge 1 H g |
|
||||||
15 |
0,25 |
0,25 |
0,015 |
51 |
43 ' |
53 |
36 |
0,426 |
0,426 |
0,025 |
24 |
19,4 |
25 |
52 |
0,535 |
0,535 |
0,032 |
17,3 |
14 |
18 |
74 |
1,05 |
1,05 |
0,063 |
14,5 |
11 |
15 |
Линейное разрешение объектива определяется отношением размера чувствительной площадки приемника к увеличению и
141