Файл: Левитин И.Б. Инфракрасная техника.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 21.06.2024

Просмотров: 127

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Оптическая система образует изображение объекта в пло­ скости, расположенной внутри вращающейся германиевой призмы 13. Процесс горизонтального сканирования проис­ ходит следующим образом: в положении а призмы (рис. 65) приемник получает излучение от точки / изображения. При повороте призмы в положение б на приемник падает излучение от точки 2, расположенной в середине изобра­ жения. В положении в приемник получает излучение от точки 3 изображения, симметричной точке /. Таким обра-

—- Кадровая синхронизация г— Строчная синхронизация

Рис. 64. Схема устройства тепловизора AGA

/

— к о л е б л ю щ е е с я п л о с к о е з е р к а л о ; 2 — кулачок;

3,6

— электродвигатели;

4,

5 — фотопреобразователь; 7 — с о с у д Д ы о а р а ;

8

п р е д у с и л н т е л ь ; 9 —

фотодиод; 10 — з е р к а л о ;

/ / — германиевые линзы;

12 — сферическое з е р к а л о ;

 

13

— в р а щ а ю щ а я с я призма

 

 

зом, призма при вращении осуществляет такое же горизон­ тальное сканирование вдоль строки, какое имело бы место при быстром возвратно-поступательном движении прием­ ника вдоль линии /—23.

При каждом полном повороте призмы сканируется 8 линий и так как призма делает 200 оборотов в секунду, то за одну секунду оптическая система сканирует 1600 линий.

В оптической головке установлены три электродвига­ теля: один из них осуществляет качание плоского зеркала 1, второй — вращение германиевой призмы, третий — фоку­ сировку оптической системы (путем перемещения плоского зеркала вдоль оси системы) для наблюдения объектов, рас­ положенных на расстояниях либо от 2 до 6 м, либо от 4 м

136

до со. Двигатель фокусировки управляется переключате­ лем, находящимся в блоке индикатора.

Сигнал от приемника усиливается предусилителем 8 до величины, необходимой для передачи по кабелю из оп­ тической головки к блоку индикатора. Предусилитель соб­ ран по дифференциальной схеме на кремниевых транзисто­ рах на отдельной печатной плате, помещен в металличе­ ский экран и расположен в непосредственной близости от приемника.

Рис. 65. Процесс сканирования в тепловизоре AGA

Формирование сигналов синхронизации кадровой и строчной разверток осуществляется с помощью модулято­ ров, прерывающих световой поток, идущий от лампочек подсветки к фотодиодам 4 и 5. Синхросигналы с фотодиодов поступают в усилители.

Все управление основным сигналом, регулировки, уси­ ление, введение вспомогательных сигналов, управление

вертикальным и горизонтальным отклонением

луча ЭЛТ

и т. д. сосредоточено в блоке электронного

управления.

В этом же блоке формируютсяимпульсы индикации на экране ЭЛТ — марки шкалы чувствительности, импульс включения серой полутоновой шкалы температур, марки уровня выделенной изотермы и т. д.

137



деление температур в виде изотерм, выделенных на термо­

грамме— смотри

рис. 67, а на цветной вклейке (все бе­

лые участки на

термограмме соответствуют поверхностям

с температурой

32 °С). В камере может

осуществляться

также цветная

запись изотерм, пример

которой показан

на рис. 67, б; для этого используются 8 цветных светофильт­ ров, которые автоматически вводятся один за другим пе­ ред камерой с пленкой 35 мм после каждой экспозиции изо­ бражения.

Инфракрасные микропиро­ метры. Приборы этого класса

предназначаются для

некон­

тактных

измерений

темпера­

турных полей объектов

чрез­

вычайно

малых

размеров,

в первую

очередь

изделий--

микроэлектроники.

В

каче­

стве примеров таких изделий можно привести некоторые интегральные схемы, площадь поверхности которых доходит до 1 мм2 , причем на ней раз­ мещаются десятки диодов, транзисторов, резисторов и т. д., а электрические соеди­ нения представляют собой тончайшие пленки шириной

внесколько микрон. Для Рис. 68. Оптическая схема

выполнения

измерений

та­

микропирометра фирмы Barnes

кого

рода

прибор

должен

 

 

иметь

очень

высокую

разрешающую

способность, по­

рядка

20—100 мкм.

Иными

словами,

в микропирометре

должна использоваться оптика, подобная применяемой в микроскопах. При этом оптика микропирометра должна быть обязательно отражательной, с постоянным (как у микроскопов) фокусным расстоянием; при наблюдении объекта фокусировка осуществляется регулированием рас­ стояния между объектом и объективом прибора.

В настоящее время описано [33, 53 ] несколько конструк­ ций подобных приборов. Микропирометр состоит из двух основных блоков: оптического блока (инфракрасного мик­ роскопа) и электронного блока (усилителей, индикатора,

139


устройств контроля). Примером конструкции такого рода может служить микропирометр американской фирмы Bar­ nes, оптическая схема которого показана на рис. 68. Опти­ ческий блок имеет два канала — инфракрасный и визу­ альный. Инфракрасный канал содержит обычные элементы инфракрасного пирометра: зеркальный объектив 11, моду­ лятор 9, приемник излучений 8. Визуальный канал содер­ жит германиевое зеркало 10, отражающее видимые излу­ чения в сторону окуляра 4 и пропускающее инфракрасные излучения в сторону приемника <5. В визуальном канале имеется также оптика для освещения объекта — малень­ кая лампочка 6, теплопоглощающее зеркало 7, ахроматиче­ ский конденсор 5, отклоняющие зеркала 1 и 2, а также координатная сетка 3 с перекрестием нитей, определяющая место наблюдаемого микроучастка.

Для определения опорной разности температур имеется эталонный источник излучений (малогабаритное черное тело), оптический сигнал от которого периодически вво­ дится зеркальным модулятором 9.

В микропирометре Barnes используются два приемника излучений: либо гипериммерсионный полупроводниковый болометр, либо фоторезистор InSb, охлаждаемый жидким азотом (77 К). Площадь чувствительной площадки в опи­ сываемом микропирометре Barnes ап = 0,5 х 0,5 мм2 . В микропирометрах используются также фоторезисторы из PbS, охлаждаемые твердой углекислотой, с а„ = 0,1 х X 0,1 мм2 и темновым сопротивлением около 1 МОм [53], a также из германия, легированного золотом (Ge : Au) и

охлаждаемого жидким азотом и

легированного рутыо

(Ge : Hg) и охлаждаемого жидким

водородом [53].

Сканирование по объекту в некоторых приборах осу­ ществляется установленным перед объективом качающимся плоским зеркалом, поворачивающимся на небольшой угол (порядка 3°) и совершающим просмотр вдоль строки; про­ смотр по кадру создается более медленным перемещением всего объекта (интегральной схемы и т. п.) в перпендику­ лярном направлении. В микропирометре Barnes имеется сравнительно простое устройство для ручного микромет­ рического перемещения объекта по двум координатам.

Электронный блок содержит схемы для усиления и фор­ мирования сигнала, идущего с выхода приемника. Инди­ каторное устройство дает яркостную картину или кривые температурных профилей по отдельным строкам.

140


 

В [53] приведены основные положения теории

инфракрасного

микропирометра и некоторые данные о нем, приводимые ниже.

 

Прибор используется при температурах,

близких к комнатной

= 300 К), и его чувствительность определяется

разностью тем­

ператур

(ДТ')э, необходимой для

получения

на выходе

прибора

сигнала,

равного уровню шума при полосе пропускания A/j = 1 Гц

для

объекта с Т = 300 К и коэффициентом

излучения

поверхно­

сти

е =

1. При этом

 

 

 

 

 

 

 

kx (anAf) 1/2

 

 

 

 

 

 

( А Г ) , =

 

 

 

 

 

 

 

дТ,

шА

 

 

 

 

 

 

 

г=зоок

 

 

 

 

В этой формуле ап — площадь

чувствительного

элемента при­

емника, см2 ; Д£ — ширина полосы пропускания прибора,

Гц; Dx

детектирующая способность приемника при длине

волны

в мак­

симуме,

с м - Г ц 1 ' 2 - В т - 1 ; со — телесный угол

(поле

зрения)

объек­

тива, ср; кг — коэффициент эффективности системы; А0 — разре­ шаемая площадь объекта, см2 ; дЦдТ — частная производная по температуре от энергетической яркости черного тела с учетом спектральной чувствительности приемника и спектральных харак­ теристик оптики, причем

ÔL_

 

dLj(%, 300К)

^

дТ

•5 (Х)та

дТ

 

где S (к) — спектральная чувствительность приемника и оптики; S (^)max — спектральная чувствительность при длине волны в мак­ симуме; дЬ^ (КТ)/дТ — частная производная спектральной плотно­

сти энергетической яркости черного тела, В т - с р ' - с м - 2 - м к м ' - К - Коэффициент эффективности /гх с учетом потерь в оптической системе, уменьшения сигнала при отражении, шумов усилитель­

ного тракта и других видов потерь составляет 4,5.

 

 

 

 

 

 

Таблица 24

Увеличе­

( Д Г ) г

в -С

 

Л и н е й н о е

разрешение ДАТ

 

 

 

в мкм

 

 

ние объек­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тива

болометр

InSb

G e l H g

болометр

InSb

Ge 1 H g

 

15

0,25

0,25

0,015

51

43 '

53

36

0,426

0,426

0,025

24

19,4

25

52

0,535

0,535

0,032

17,3

14

18

74

1,05

1,05

0,063

14,5

11

15

Линейное разрешение объектива определяется отношением размера чувствительной площадки приемника к увеличению и

141