Файл: Иваницкий Г.Р. Исследование микроструктуры объектов методами когерентной оптики.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 22.06.2024
Просмотров: 65
Скачиваний: 0
Значительное время при |
обработке данных занимает расчет. |
В связи с этим из готовых |
блоков автором собрана счетно-решаю |
щая приставка, структурная |
схема которой приведена в правой ча |
сти рис. 4,а. Прибор имеет следующие характеристики. Минимальный радиус объектов с/мии/2— 1 мкм; максимальный радиус </макс/2= =50 мкм; минимальная концентрация »Мпп= 50 '1 /см3; максимальная
концентрация /гМпкс = 800 1/см3; скорость |
измерений-— около 20 то |
чек кривой N (d) в I мин. Расхождение |
с микрофотографическими |
данными в максимуме -распределения оказалось около 5— 10%, на краях — около 20%.
Некоторые добавления к описанному выше методу позволяют применить его к более общим задачам классификации |Л . 78]. Оста новимся на них подробнее.
Обозначим N j — число мнкрообъектов /-го типа, М -равно числу классов, в которые группируются микрообъекты. Общее количество всех микрообъектов
|
|
|
|
М |
|
|
|
|
|
|
N = |
2 |
N ]. |
|
(46) |
|
|
|
|
/=' |
|
|
|
С учетом выражения |
(-12) |
получим равенство |
|
||||
|
|
м |
со |
|
4з |
|
|
5'д, (Р- ф) = J |
] |
|
Som (р) |
exp | / |\ и |^Ф — |
|
||
|
/= I т = — оо |
д= I |
|
|
|||
— |
ag |
— |
|
— P'-g cos (0g - Ф) j } , |
(47) |
||
где S jm — обозначение |
Sm для |
/-го |
типа |
мнкрообъектов. |
Очевидно, |
что разделение -на Л4 групп возможно только, когда различие в рас сеивающих свойствах этих групп будет достаточно большим по от ношению к уровню шумов в измерительной системе.
Освещенность в этом случае можно записать:
М оо
[5'д,(р, |
ф)]* = |
£ |
Л/, |
2 |
[S,m(p)l2 |
(48) |
|
или в сокращенной записи |
|
/=1 |
///=—00 |
|
|||
|
|
м |
|
|
|
||
|
S '„ Д. (Р) |
|
|
|
|
||
|
=S Af3-Qj. |
(49) |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
где |
|
|
|
|
|
|
|
|
СО |
|
|
|
2 тс |
|
|
Qi (р) = |
S |
[S,m(р)]2 = |
j |
[S, (р,Ф)Р й Ф . |
(50) |
||
///= —оо |
|
|
|
О |
|
|
|
Если удается измерить значения спектра как функцию |
радиуса |
||||||
Рь где [= 1 , 2, 3 ,..., Р, |
то |
можно |
составить Р линейных уравнений, |
||||
используя значение |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
S u i —-5л (рО; |
|
(51) |
|||
|
|
Qi j = Qj (рО • |
|
(52) |
3 |
35 |
С учетом (49) можно записать:
р
Sui — |
QijNj. |
(53) |
|
/= I |
|
Теперь необходимо определить вектор N, координаты |
которого |
|
/V|, iV2, . .., N m неизвестны, но |
в результате эксперимента |
и вычис |
лении известна группа линейных преобразований (52), в которую они
входят. |
|
|
|
|
|
|
В матричной записи |
|
|
|
|
|
|
|
S = QN. |
|
|
(54) |
||
Группа линейных преобразований |
позволяет |
перейти |
от |
вектора |
||
S к вектору N. Матрица преобразований будет: |
|
|
|
|||
|
Qn . . . . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(55) |
|
Q p i . . . • • • • • Q p m |
|
|
|
||
Векторы S и N соответственно описываются |
матрицей |
из одно |
||||
го столбца |
|
|
|
|
|
|
|
- s r |
~ |
N , ~ |
|
|
|
|
s 2 |
|
n 2 |
|
|
|
|
|
I! |
|
|
|
(56) |
отсюда |
SP - |
_ A 'm _ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
51 — QuN, -(- Qi2/V2 4- ... + Qi m |
> |
|
|
|||
52 = |
Q2i/V, + Q22W2 + |
... + |
|
|
(57) |
|
|
|
|
|
|
|
|
SP — |
QP tN l -)- Q p2^2 -|- ... + |
|
|
|
||
Решая систему этих уравнений, |
можно найти значения |
вектора |
||||
N. Очевидно, что при больших значениях М такую задачу можно |
||||||
решить только с использованием ЭВМ . Кроме |
того, |
необходимо, |
||||
чтобы Р ^ М , желательно, чтобы |
Р ^> М . В этом |
случае значения До |
будут определены с наибольшей вероятностью, которая вообще до стижима при таком методе подсчета.
Фактически в выражении (53) в правой части имеется два неизвестных. Значение левой части получают, измеряя освещенность дифракционных колец в спектральной плоскости. Как же пользовать
ся приведенными формулами? |
|
|
|
|
|
Для определения одного из неизвестных Q j |
(матрицы |
Q) |
воз |
||
можны два пути — |
аналитического |
расчета либо |
эксперимента. |
Рас |
|
чет выполнен для |
некоторых простых объектов: |
круги, |
эллипсы, |
||
прямоугольники, |
определенные |
скопления точек (см. |
ссылки |
в {Л . 72]). |
Для бодее сложных объектов аналитические преобразова |
|
ния очень |
громоздки либо просто невозможны. В этом случае при |
|
меняют экспериментальный |
метод, основанный на создании эталона |
|
с использованием уравнения |
(51). |
36
Выделим группу частиц /-го типа и найдем для нее Q a путем последовательного интегрирования светового потока в небольшой кольцевой зоне на радиусе р< и отнесем его к площади кольца. Та
ким |
образом, получаем набор значения Q fj, т |
|
е. |
матрицу |
Q. |
|
|
При исследовании препарата, состоящего |
из |
таких же |
частиц, |
||
но |
с неизвестной пропорцией между ними, мы, |
зная Q,-,j |
и |
измерив |
||
S A, |
, вычислим по формуле (54) значения N j. |
|
|
|
|
|
|
9. ПЛОСКИЙ ОБЪЕКТ С ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕШЕТЧАТОЙ |
|||||
|
МИКРОСТРУКТУРОЙ |
|
|
|
|
|
|
В природе встречаются объекты, |
в |
которых |
|
состав |
ляющие их функциональные элементы имеют четко вы раженную преимущественную ориентацию. Такими струк турами особенно богата живая природа, где часто в пре делах небольшой области реализуется принцип само сборки некоторой структурной единицы с размножением ее путем параллельного переноса (рис. 5). Моделью та ких микроструктур может служить решетка.
При прохождении света через решетку, состоящую из чередующихся прозрачных и непрозрачных полосок, воз никает периодическое изменение амплитуды падающей волны вдоль направления, перпендикулярного штрихам решетки. Отражательная решетка создает периодическое изменение фазы.
При обсуждении вопросов формирования оптических изображений удобно рассматривать отдельно амплитуд ные решетки, вызывающие только изменения амплитуды, и фазовые решетки, определяющие только изменения фа зы. Реальные объекты могут давать одновременно изме нение амплитуды и изменение фазы.
Если на амплитудную синусоидальную решетку па дает плоская волна, то прошедшую сквозь нее или отра
женную ее |
волну |
можно описать уравнением А (у) — |
= а sin (соУу) |
smcotf. |
Аналогичным образом фазовая сину |
соидальная решетка вызывает синусоидальное изменение фазы волны.
Для того чтобы получить распределение, описываемое этим уравнением, необходимо иметь синусоидальное
изменение пропускания и изменение |
знака |
амплитуды |
в точке, где sin (соУу) проходит через |
нуль. |
Распределе |
ние интенсивности, соответствующее приведенному урав нению, записывается в виде
/ = cf sin3 шуу = (1 — cos 2шУу).
37
Рис. 6. Распределение освещенности в спектральной плоскости для решетки.
а — при учете только |
фактора рассеяния Q : б — |
при учете только |
|
структурного фактора |
q\ |
в — реальное распределение |
освещенности при |
дифракции на решетке |
|
с шириной щелеГ^ равной ширине непрозрач |
|
ных промежутков (е=2cl); |
г — трансформация спектра решетки при из |
менении размера щелей и расстояний между ними.
можно разделить воображаемой системой линий, парал лельных штриху решетки, на бесконечное множество бес конечно малых элементов. Волны, исходящие от этих эле ментов, имеют одинаковую амплитуду, а их разность фаз меняется от 0 до 2 avdv{a2— см).
Распределение интенсивности для дифракции на щели можно получить, подставляя А ( у ) = а в соотношение (19) в области от 0 до с!у и интегрируя. Таким образом, получим фактор рассеяния для щели решетки
где а — амплитуда световой волны, проходящей через элементарный участок щели; соу— волновое число; dv— ширина щели. Вид фактора рассеяния для щели показан на рис. 6,а.
Для определения структурного фактора решетки вос пользуемся выражением (21), которое перепишем в со-
39
ответствии с формулой Эйлера:
/V |
|
|
|
|
<7 = S (c0ST]g + |
/ smite) £ |
(cos Tjg — j sin-rig) |
(59) |
|
-S = I |
s= ' |
|
|
|
В выражении |
(59) q— Nz, когда |
sin r|ff= sin co(/2<?(ti2— |
||
—ai)=0, т. e. юу2е(а2— a i)= 0 , |
я, |
2я . . . При |
значе |
ниях ao наблюдаются главные максимумы. Для нахож дения минимумов дискретизируем эту функцию и будем рассматривать те ее точки, в которых фазы образуют арифметическую прогрессию г|о, 2г|о, Зро и т. д., тогда из выражения (19) U равно:
N
|
|
|
|
^ = £ |
ехР Иёъ)- |
|
|
(60) |
|
|
|
|
|
S=1 |
|
|
|
|
|
|
Сумма такой геометрической прогрессии равна: |
|
|||||||
|
|
|
|
|
е.хр (//Ут;,) — |
1 |
|
|
|
|
|
|
и |
= ехр (/7]0) ехр (;Ч) — 1 |
|
|
|||
|
= 2 (С|Х--(со°Д0) teXP (iN'^ ~ |
ГехР(—/Чо)— 1] |
(61) |
||||||
или учитывая, |
что |
|
|
|
|
|
|||
|
1 — cosy — - i - [ехр(/Т) — 1] [ехр(— /у) - 1]; |
|
|||||||
|
^* = |
2~(eiX!.(co5)Y)0) (ехР(—W ho) — Ч [ехр( |
! ъ ) — |
1], |
|||||
получим: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
q=UU* |
sin — |
Nr)0 |
|
(62) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
sin — |
7j0 |
|
|
|
|
Функция q равна нулю, когда числитель равен нулю, |
||||||||
а знаменатель |
отличен |
от нуля. Это происходит |
в тех |
||||||
случаях, |
когда |
Nu>ve(a2— си) кратно |
я, а |
шуе (а2— си) |
|||||
не |
кратно |
я. |
Таким |
образом, между направления |
|||||
ми |
на |
два |
главных |
максимума |
существует |
(N-— 1) |
направление на минимум света. Приблизительно на середине расстояния между каждыми двумя со седними минимумами существует один побочный ма
ксимум; он |
наблюдается |
при углах, |
для |
которых |
|
Мауе(а2— сц) |
приблизительно равно (т+ 1/2)я, |
где т — |
|||
целое число, |
не кратное N. График для q в зависимости |
||||
от величины |
/Vcoye(a2—оц) |
показан на рис. |
6,6. |
|
40