Файл: Лодиз, Р. Рост монокристаллов.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 121

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

V111. ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

были модельные опыты с водой, глицерином и т.д. Как правило, такие исследования качественно подтверждают существование восходящих потоков жидкости в направлении к поверхности вра­ щающегося кристалла. Однако при часто применяющемся одно­ временном вращении кристалла и тигля распределение потоков

11,0

 

10,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

9,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

8,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1 /

 

 

 

в-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

S-

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4,0

 

 

 

 

 

 

 

 

Л

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

д

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3,0

 

1

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Л

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2,0

1

10

20

30

40

50

60

70

8L

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и3,Ю~*см/с

 

 

 

 

 

Ф и г . 41. Зависимость

 

эффективного

коэффициента

распределения

при­

меси £эфф от скорости

 

роста

vg

при

выращивании

кристаллов

германия,

легированного

сурьмой,

по Чохральскому

при

разных скоростях

враще­

 

 

 

 

 

ния [290].

 

 

 

 

 

Экспериментальные

данные:

<в=57

об/мин;

О<о=144 об/мин;

Д—о) = 1440 об/мин;

соответствующие им сплошные кривые — теоретические

результаты;

/ — 6C /D = 165

с/см;

 

 

2—6C /D =

104 с/см; 3—ос/£>=33

с/см.

 

 

 

 

жидкости носит иной и более сложный характер; еще сложнее картина распределения потоков при тепловой конвекции, возни­ кающей под действием градиента температуры (этот случай по­ дробно анализируется ниже в связи с выращиванием кристаллов в горизонтальной лодочке). Исследования гидродинамики при росте по Чохральскому были проведены, в частности, Госсом и Эдлингтоном [293], Туровским и Мильвидским [294], Робертсоном [295] (последний установил, что существует минимум скорости вращения кристалла, при которой формируется восходящий по­ ток жидкости), Каррузерсом [296], который исследовал тепловую


520

 

 

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

 

 

 

 

конвекцию в связи с радиальным

распределением

примеси

(см. также [252]). На схемах фиг. 42, заимствованных

у

Карру-

зерса,

видно,

насколько

сложным

может

 

быть

распределение

 

 

 

 

 

 

 

потоков при тепловой кон­

 

 

 

 

 

 

 

векции и вращении. Уил-

 

 

 

 

 

 

 

кокс

 

и

Фулмер

[297] на­

 

 

 

 

 

 

 

блюдали

 

турбулентный

 

 

 

 

 

 

 

поток

не

ламинарный,

 

 

 

 

 

 

 

как

в

перечисленных

ис­

 

 

 

 

 

 

 

следованиях),

возникаю­

 

 

10 об/мин

 

 

щий

под действием боль­

 

 

 

 

 

 

 

ших

вертикальных

темпе­

 

 

 

 

 

 

 

ратурных

градиентов

при

 

 

 

 

 

 

 

выращивании кристаллов

 

 

 

 

 

 

 

CaF2

 

по

 

Чохральскому

 

 

 

 

 

 

 

в

области

температур

 

 

 

 

 

 

 

1400—1500 °С.

 

 

 

 

 

 

 

 

3

25 об/мин

Хэрл

[298]

воспользо­

 

 

 

 

 

 

 

вался

 

гидродинамической

(J

 

р 100 об/мин

 

 

теорией

Бартона

и

др.

 

 

 

 

 

 

 

[254] для

расчета

концен­

 

 

 

 

 

 

 

трационного

переохлаж­

 

 

 

 

 

 

 

дения

 

при

выращивании

 

 

 

 

 

 

 

кристаллов

по

Чохраль­

 

 

 

 

 

 

 

скому

(см. также

[299]).

 

 

 

 

 

 

100 об/мин

Брайс [287] также

пользо­

 

в

 

 

 

 

вался

 

этой

теорией

для

 

 

 

 

 

 

истолкования

скоростей

 

 

 

 

 

 

 

Ф и г .

42.

Схема

распределения

потоков

роста

кристаллов

из

рас­

жидкости

при

выращивании

кристаллов

твора

при постоянном

за­

по Чохральскому

 

в модельном

опыте с про­

данном

пересыщении

по­

зрачной жидкостью при тепловой конвек­

добно тому, как это дела­

ции в отсутствие

вращения

(а),

при вра­

щении

кристалла

(б, в) и при

вращении

лось в уже рассмотренном

 

 

тигля

(г, д) [296].

 

случае плоской

пластины.

 

 

 

 

 

 

 

Дополнительный

анализ

гидродинамики вращающегося диска был проведен Левичем [300], который отметил, что предположение о ламинарное™ по­ тока справедливо вплоть до R e ^ l O 4 . Он же рассмотрел задачу о диске в турбулентном потоке.

35. ОБТЕКАНИЕ ШАРА

Как уже указывалось, гидродинамическую задачу об обтека­ нии шара радиусом R потоком со скоростью v для очень малых чисел Рейнольдса (Re = 2vR/v ^< 1) точно решил Стоке, а сама она носит теперь название задачи Стокса. Соответствующая за-


V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

521

дача о переносе вещества к сфере или от нее решена Левичем [300]. При такой конфигурации область, в которой поток жидко­ сти искажен, сравнима по величине с размером шара, что не позволяет говорить о гидродинамическом пограничном слое. Тем не менее если коэффициент диффузии мал (Sc > 1), то суще­ ствует диффузионный пограничный слой. Следовательно, урав­ нение конвективной диффузии [т. е. аналог уравнения (33.5), записанный применительно к массопереносу] можно решать в приближении пограничного слоя, воспользовавшись распределе­ нием скоростей, найденным Стоксом. Согласно такому решению.

Поток

Ф и г . 43. Области

с разными механизмами массопереноса при очень медлен

ном

обтекании шара (обтекание по Стоксу) [301].

поток вещества к поверхности

шара

выражается формулой [300]

 

У = Д ( С - - с . ) / _ з « 1 У / .

 

?!пе

3 5 _ 1 }

 

1,15

\16DR2/

[6 - у2

(sin 29)] 1 з

 

Здесь

Cs — концентрация

на

поверхности

шара,

которая счи­

тается

постоянной, а 8 — угол с вершиной

в центре

шара, отсчи­

тываемый от точки набегания. Поток вещества максимален в

точке набегания

6 = 0 и убывает, обращаясь в нуль,

в точке

8 — л на корме

шара. Зих и Нейман [301], проанализировавшие

эту задачу подробнее, установили, что уравнение (35.1)

не впол­

не справедливо в кормовой части шара, так как толщина

диффу­

зионного слоя там сравнима с размером шара. Авторы выделили пять областей, различающихся по механизму массопереноса, как показано на фиг. 43. В области / концентрация постоянна, а об­ ласть 2— диффузионный пограничный слой. В области 3 отно­ шение конвекционного потока вещества к диффузионному боль­ ше, чем это принято в приближении пограничного слоя, так что здесь расчет массопереноса проводился иначе. Проанализирован

массоперенос

и в областях 4 и 5. Как оказалось, поток

вещества

к корме шара

опять очень

мал. (Заметим,

что

условию Re =

1

соответствует

движение

шара диаметром

1

мм в

воде

со


522

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

скоростью

~ 1 мм/с.) Нильсен [115] исследовал процесс осажде­

ния при одновременном действии конвекции и диффузии. Гэллоуэй и Сэйдж [302,303] составили обзор работ, посвя­

щенных исследованию переноса вещества к шару или от него при числах Re до 106 с охватом явления отрыва линий тока от поверхности шара, а также области турбулентности. Эти авторы установили полуэмпирическую зависимость коэффициента пере­ носа от угла, числа Рейнольдса и других параметров.

36.ЕСТЕСТВЕННАЯ ТЕПЛОВАЯ К О Н В Е К Ц И Я

ИРОСТ КРИСТАЛЛОВ В Г О Р И З О Н Т А Л Ь Н О Й Л О Д О Ч К Е

Ютек и др. [304—307], Коул и Вайнгард [308], Хэрл [309, 310], а также Хэрл и др. [311] исследовали потоки жидкости в длин­ ных горизонтальных сосудах (лодочках) при выращивании кри­ сталлов из расплава. Такие потоки, возникающие без перемеши­ вания или иного вносимого извне перемещения, называются естественной, или тепловой, конвекцией и обусловлены разли­ чием плотностей и действием сил тяготения. Известны теоретиче­ ские исследования родственных задач, в том числе задач о кон­

вективном переносе тепла от нагретой

вертикальной пластины

[284], о переносе тепла между двумя

близко расположенными

вертикальными пластинами [312] и о

переносе тепла между

двумя подогреваемыми снизу горизонтальными пластинами [213] (классическая задача Рэлея — Венара). Однако частный случай тепло- и массопереноса в длинном горизонтальном сосуде, тем­ пература жидкости на концах которого различна, по-видимому, теоретически не исследован. Некоторое представление о рас­ пределении потоков в таком сосуде при естественной конвекции дает модельный опыт, поставленный Россби [313]. В этом опыте прозрачный сосуд с прозрачной жидкостью помещали на гори­ зонтальном алюминиевом бруске, который служил основанием контейнера. Вдоль этого бруска создавали градиент темпера­ туры. Распределение потоков было видно по движению взвешен­ ных частиц алюминия. По дну контейнера шел поток от холод­ ного конца к более теплому, затем у нагретого конца он подни­ мался, шел по поверхности от горячего конца к холодному и там опускался; кроме того, по всей длине контейнера существовали потоки, опускающиеся от поверхности вниз. Слой жидкости на дне был холоднее, чем у поверхности контейнера. На фиг. 44 [306] схематически представлены такие же потоки, которые на­ блюдались визуально в горизонтальной лодочке с прозрачным расплавом хлористого натрия при скорости потоков около 2,5 см/с. Наряду с ними видны и ячейки с восходящими и нисхо­ дящими потоками. При продольных градиентах температуры около 30°С/см наблюдаемые потоки были по большей части


V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

523

турбулентными, что можно было заметить на киноленте по дви­ жению маленьких посторонних частиц [306]. Турбулентный ха­ рактер движения регистрировался также по случайным колеба­ ниям температуры, фиксируемым погруженной в жидкость тер­ мопарой. Подобные колебания температуры наблюдали до этого Коул и Вайнгард [308], приписавшие их влияние тепловой кон­ векции. Распределение потоков жидкости при кристаллизации металлов нельзя наблюдать визуально, однако в расплаве Sn наблюдались подобные же случайные колебания температуры, если ее градиенты превосходили 1,1°С/см. Колебания темпера­ туры в жидких металлах можно подавить, накладывая магнит­ ное поле напряженностью (4—6) - Ю - 2 Т, которое устраняет [213]

вихревые потоки, тормозя движения проводящего расплава. Это

С 11 11 1. л

Ф и г . 44. Схема распределения

потоков в

горизонтальной лодочке

с

гори­

зонтальным градиентом температуры по данным модельного опыта

с

про­

зрачной

жидкостью

[306].

 

 

торможение можно рассматривать [307] как следствие повыше­ ния вязкости, или возникновения «магнитной вязкости». Такая вязкость превосходит собственную вязкость жидкости, если чи­ сло Хартмана М, выражаемое формулой

М2 = ~ - ( и . Я 0 2 ,

(36.1)

велико по сравнению с единицей

(и. — магнитная

проницаемость,

Н — напряженность магнитного

поля, а — электропроводность,

pi, — плотность, / — характерный

размер). Если

турбулентности

уже нет, то для подавления сохранившегося ламинарного тече­ ния необходимо наложить еще более сильное магнитное поле. Остановку ламинарного течения при напряженности порядка 1,2-10"1 Т можно заметить по исчезновению вертикального гра­ диента температуры (вверху температура самая высокая), кото­ рый создается благодаря циркуляции жидкости по всей лодочке (фиг. 45).

Было показано также [304,305], что, подавляя колебания тем­ пературы в расплаве InSb путем наложения магнитного поля, можно предотвратить образование перпендикулярных направ­ лению роста примесных полос в кристаллах InSb, легированных теллуром. Флуктуации температуры [314] приводят к флуктуациям скорости роста, а следовательно, и концентрации.