ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 121
Скачиваний: 0
V111. ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ
были модельные опыты с водой, глицерином и т.д. Как правило, такие исследования качественно подтверждают существование восходящих потоков жидкости в направлении к поверхности вра щающегося кристалла. Однако при часто применяющемся одно временном вращении кристалла и тигля распределение потоков
11,0
|
10,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
9,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 / |
• |
|
|
|
в- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
6,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
S- |
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5,0 |
|
|
|
|
• |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
Л |
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
д |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3,0 |
|
1 |
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Л |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2,0 |
1 |
10 |
20 |
30 |
40 |
50 |
60 |
70 |
8L |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
и3,Ю~*см/с |
|
|
|
|
|
||
Ф и г . 41. Зависимость |
|
эффективного |
коэффициента |
распределения |
при |
||||||||
меси £эфф от скорости |
|
роста |
vg |
при |
выращивании |
кристаллов |
германия, |
||||||
легированного |
сурьмой, |
по Чохральскому |
при |
разных скоростях |
враще |
||||||||
|
|
|
|
|
ния [290]. |
|
|
|
|
|
|||
Экспериментальные |
данные: |
• — <в=57 |
об/мин; |
О—<о=144 об/мин; |
Д—о) = 1440 об/мин; |
||||||||
соответствующие им сплошные кривые — теоретические |
результаты; |
/ — 6C /D = 165 |
с/см; |
||||||||||
|
|
2—6C /D = |
104 с/см; 3—ос/£>=33 |
с/см. |
|
|
|
|
жидкости носит иной и более сложный характер; еще сложнее картина распределения потоков при тепловой конвекции, возни кающей под действием градиента температуры (этот случай по дробно анализируется ниже в связи с выращиванием кристаллов в горизонтальной лодочке). Исследования гидродинамики при росте по Чохральскому были проведены, в частности, Госсом и Эдлингтоном [293], Туровским и Мильвидским [294], Робертсоном [295] (последний установил, что существует минимум скорости вращения кристалла, при которой формируется восходящий по ток жидкости), Каррузерсом [296], который исследовал тепловую
520 |
|
|
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
|
|
|
|
|||||||||
конвекцию в связи с радиальным |
распределением |
примеси |
||||||||||||||
(см. также [252]). На схемах фиг. 42, заимствованных |
у |
Карру- |
||||||||||||||
зерса, |
видно, |
насколько |
сложным |
может |
|
быть |
распределение |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
потоков при тепловой кон |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
векции и вращении. Уил- |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
кокс |
|
и |
Фулмер |
[297] на |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
блюдали |
|
турбулентный |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
поток |
(а |
не |
ламинарный, |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
как |
в |
перечисленных |
ис |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
следованиях), |
возникаю |
||||||||
|
|
10 об/мин |
|
|
щий |
под действием боль |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
ших |
вертикальных |
темпе |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
ратурных |
градиентов |
при |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
выращивании кристаллов |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
CaF2 |
|
по |
|
Чохральскому |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
в |
области |
температур |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
1400—1500 °С. |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
3 |
25 об/мин |
Хэрл |
[298] |
воспользо |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
вался |
|
гидродинамической |
|||||||
(J |
|
р 100 об/мин |
|
|
теорией |
Бартона |
и |
др. |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
[254] для |
расчета |
концен |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
трационного |
переохлаж |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
дения |
|
при |
выращивании |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
кристаллов |
по |
Чохраль |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
скому |
(см. также |
[299]). |
|||||||
|
|
|
|
|
|
100 об/мин |
Брайс [287] также |
пользо |
||||||||
|
в |
|
|
|
|
вался |
|
этой |
теорией |
для |
||||||
|
|
|
|
|
|
истолкования |
скоростей |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
Ф и г . |
42. |
Схема |
распределения |
потоков |
роста |
кристаллов |
из |
рас |
||||||||
жидкости |
при |
выращивании |
кристаллов |
твора |
при постоянном |
за |
||||||||||
по Чохральскому |
|
в модельном |
опыте с про |
данном |
пересыщении |
по |
||||||||||
зрачной жидкостью при тепловой конвек |
||||||||||||||||
добно тому, как это дела |
||||||||||||||||
ции в отсутствие |
вращения |
(а), |
при вра |
|||||||||||||
щении |
кристалла |
(б, в) и при |
вращении |
лось в уже рассмотренном |
||||||||||||
|
|
тигля |
(г, д) [296]. |
|
случае плоской |
пластины. |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Дополнительный |
анализ |
гидродинамики вращающегося диска был проведен Левичем [300], который отметил, что предположение о ламинарное™ по тока справедливо вплоть до R e ^ l O 4 . Он же рассмотрел задачу о диске в турбулентном потоке.
35. ОБТЕКАНИЕ ШАРА
Как уже указывалось, гидродинамическую задачу об обтека нии шара радиусом R потоком со скоростью v для очень малых чисел Рейнольдса (Re = 2vR/v ^< 1) точно решил Стоке, а сама она носит теперь название задачи Стокса. Соответствующая за-
V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ |
521 |
дача о переносе вещества к сфере или от нее решена Левичем [300]. При такой конфигурации область, в которой поток жидко сти искажен, сравнима по величине с размером шара, что не позволяет говорить о гидродинамическом пограничном слое. Тем не менее если коэффициент диффузии мал (Sc > 1), то суще ствует диффузионный пограничный слой. Следовательно, урав нение конвективной диффузии [т. е. аналог уравнения (33.5), записанный применительно к массопереносу] можно решать в приближении пограничного слоя, воспользовавшись распределе нием скоростей, найденным Стоксом. Согласно такому решению.
Поток
Ф и г . 43. Области |
с разными механизмами массопереноса при очень медлен |
ном |
обтекании шара (обтекание по Стоксу) [301]. |
поток вещества к поверхности |
шара |
выражается формулой [300] |
||||
|
У = Д ( С - - с . ) / _ з « 1 У / . |
|
?!пе |
3 5 _ 1 } |
||
|
1,15 |
\16DR2/ |
[6 - у2 |
(sin 29)] 1 з |
|
|
Здесь |
Cs — концентрация |
на |
поверхности |
шара, |
которая счи |
|
тается |
постоянной, а 8 — угол с вершиной |
в центре |
шара, отсчи |
тываемый от точки набегания. Поток вещества максимален в
точке набегания |
6 = 0 и убывает, обращаясь в нуль, |
в точке |
8 — л на корме |
шара. Зих и Нейман [301], проанализировавшие |
|
эту задачу подробнее, установили, что уравнение (35.1) |
не впол |
|
не справедливо в кормовой части шара, так как толщина |
диффу |
зионного слоя там сравнима с размером шара. Авторы выделили пять областей, различающихся по механизму массопереноса, как показано на фиг. 43. В области / концентрация постоянна, а об ласть 2— диффузионный пограничный слой. В области 3 отно шение конвекционного потока вещества к диффузионному боль ше, чем это принято в приближении пограничного слоя, так что здесь расчет массопереноса проводился иначе. Проанализирован
массоперенос |
и в областях 4 и 5. Как оказалось, поток |
вещества |
||||
к корме шара |
опять очень |
мал. (Заметим, |
что |
условию Re = |
1 |
|
соответствует |
движение |
шара диаметром |
1 |
мм в |
воде |
со |
522 |
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
скоростью |
~ 1 мм/с.) Нильсен [115] исследовал процесс осажде |
ния при одновременном действии конвекции и диффузии. Гэллоуэй и Сэйдж [302,303] составили обзор работ, посвя
щенных исследованию переноса вещества к шару или от него при числах Re до 106 с охватом явления отрыва линий тока от поверхности шара, а также области турбулентности. Эти авторы установили полуэмпирическую зависимость коэффициента пере носа от угла, числа Рейнольдса и других параметров.
36.ЕСТЕСТВЕННАЯ ТЕПЛОВАЯ К О Н В Е К Ц И Я
ИРОСТ КРИСТАЛЛОВ В Г О Р И З О Н Т А Л Ь Н О Й Л О Д О Ч К Е
Ютек и др. [304—307], Коул и Вайнгард [308], Хэрл [309, 310], а также Хэрл и др. [311] исследовали потоки жидкости в длин ных горизонтальных сосудах (лодочках) при выращивании кри сталлов из расплава. Такие потоки, возникающие без перемеши вания или иного вносимого извне перемещения, называются естественной, или тепловой, конвекцией и обусловлены разли чием плотностей и действием сил тяготения. Известны теоретиче ские исследования родственных задач, в том числе задач о кон
вективном переносе тепла от нагретой |
вертикальной пластины |
[284], о переносе тепла между двумя |
близко расположенными |
вертикальными пластинами [312] и о |
переносе тепла между |
двумя подогреваемыми снизу горизонтальными пластинами [213] (классическая задача Рэлея — Венара). Однако частный случай тепло- и массопереноса в длинном горизонтальном сосуде, тем пература жидкости на концах которого различна, по-видимому, теоретически не исследован. Некоторое представление о рас пределении потоков в таком сосуде при естественной конвекции дает модельный опыт, поставленный Россби [313]. В этом опыте прозрачный сосуд с прозрачной жидкостью помещали на гори зонтальном алюминиевом бруске, который служил основанием контейнера. Вдоль этого бруска создавали градиент темпера туры. Распределение потоков было видно по движению взвешен ных частиц алюминия. По дну контейнера шел поток от холод ного конца к более теплому, затем у нагретого конца он подни мался, шел по поверхности от горячего конца к холодному и там опускался; кроме того, по всей длине контейнера существовали потоки, опускающиеся от поверхности вниз. Слой жидкости на дне был холоднее, чем у поверхности контейнера. На фиг. 44 [306] схематически представлены такие же потоки, которые на блюдались визуально в горизонтальной лодочке с прозрачным расплавом хлористого натрия при скорости потоков около 2,5 см/с. Наряду с ними видны и ячейки с восходящими и нисхо дящими потоками. При продольных градиентах температуры около 30°С/см наблюдаемые потоки были по большей части
V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ |
523 |
турбулентными, что можно было заметить на киноленте по дви жению маленьких посторонних частиц [306]. Турбулентный ха рактер движения регистрировался также по случайным колеба ниям температуры, фиксируемым погруженной в жидкость тер мопарой. Подобные колебания температуры наблюдали до этого Коул и Вайнгард [308], приписавшие их влияние тепловой кон векции. Распределение потоков жидкости при кристаллизации металлов нельзя наблюдать визуально, однако в расплаве Sn наблюдались подобные же случайные колебания температуры, если ее градиенты превосходили 1,1°С/см. Колебания темпера туры в жидких металлах можно подавить, накладывая магнит ное поле напряженностью (4—6) - Ю - 2 Т, которое устраняет [213]
вихревые потоки, тормозя движения проводящего расплава. Это
С 11 11 1. л
Ф и г . 44. Схема распределения |
потоков в |
горизонтальной лодочке |
с |
гори |
зонтальным градиентом температуры по данным модельного опыта |
с |
про |
||
зрачной |
жидкостью |
[306]. |
|
|
торможение можно рассматривать [307] как следствие повыше ния вязкости, или возникновения «магнитной вязкости». Такая вязкость превосходит собственную вязкость жидкости, если чи сло Хартмана М, выражаемое формулой
М2 = ~ - ( и . Я 0 2 , |
(36.1) |
|
велико по сравнению с единицей |
(и. — магнитная |
проницаемость, |
Н — напряженность магнитного |
поля, а — электропроводность, |
|
pi, — плотность, / — характерный |
размер). Если |
турбулентности |
уже нет, то для подавления сохранившегося ламинарного тече ния необходимо наложить еще более сильное магнитное поле. Остановку ламинарного течения при напряженности порядка 1,2-10"1 Т можно заметить по исчезновению вертикального гра диента температуры (вверху температура самая высокая), кото рый создается благодаря циркуляции жидкости по всей лодочке (фиг. 45).
Было показано также [304,305], что, подавляя колебания тем пературы в расплаве InSb путем наложения магнитного поля, можно предотвратить образование перпендикулярных направ лению роста примесных полос в кристаллах InSb, легированных теллуром. Флуктуации температуры [314] приводят к флуктуациям скорости роста, а следовательно, и концентрации.