ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 97
Скачиваний: 0
Г. И. СЛОБОДЕНЮК
КВАДРУПОЛЬНЫЕ
М А С С -С П ЕК Т Р О М ЕТ Р Ы
М О С КВ А А ТО М И ЗД А Т 1974
УДК 531.75
С л о б о д е н ю к |
Г. |
И. |
Квадрупольные масс-спектромет |
ры. М., Атомиздат, |
1974, |
272 |
с. |
Книга посвящена описанию одного из наиболее перспек тивных быстродействующих динамических масс-спектромет ров, которые найдут широкое применение в различных обла стях науки и техники при решении таких аналитических за дач, как анализ состава остаточной газовой среды и молеку лярных потоков вещества в вакууме (имеющих, в частности, большое значение для развития тонкопленочной и полупро водниковой интегральной микроэлектроники); газоанализ; исследование кинетики химических реакций, процессов сорб ции— десорбции различных газов на поверхностях твердых тел; анализ состава нейтрального и ионизированного компо нентов при зондировании верхних слоев атмосферы, при диагностике плазмы; в медицине и т. д. Подробно рассмот рена теория работы квадрупольных масс-спектрометров, про анализированы их предельные возможности. Дан анализ раз личных вариантов конструкции приборов, и на конкретных примерах отечественных квадрупольных масс-спектрометров выявлены тенденции развития квадрупольной масс-спектро- метрии.
Таблиц — 4. Иллюстраций — 70. Библиография— 113 на-
j Ч|4ТДЛЬНОГО ЗАЛА
Генрих Иванович Слободенюк
КВАДРУПОЛЬНЫЕ МАСС-СПЕКТРОМЕТРЫ
Цена 1 р. 70 к.
Атомиздат, 103031, Москва, К-31, ул. Жданова, 5/7.
Московская типография № 6 Союзполиграфпрома при Государственном комитете Совета Министров СССР
С |
30306—031 |
31-74 |
© Атомиздат, 1974 |
|
034(01)—74 |
||||
|
ПРЕДИСЛОВИЕ
Развитие масс-спектрометрической техники за пос ледние 10—15 лет вызвано растущей потребностью мно гих отраслей науки и техники в масс-спектрометрах, обладающих одновременно высокой чувствительностью, разрешающей способностью и скоростью регистрации масс и работающих в широком диапазоне масс и дав лений. Зачастую необходимо, чтобы это были малога баритные приборы, достаточно простые и надежные в обращении, а также по возможности нечувствительные к различным мешающим внешним факторам: присутствию в атмосфере датчика прибора самых разнообразных, в том числе и агрессивных, веществ или воздействию на датчик и аппаратурную часть прибора электромагнит ных полей, вибраций, ускорений и др. Для максималь ного удовлетворения большей части перечисленных тре бований усилия разработчиков масс-спектрометрической аппаратуры направлены на поиски и реализацию новых,
а также на совершенствование старых методов масс-ана- лиза.
Настоящая работа посвящена описанию одного из перспективных новых динамических методов анализа с помощью квадрупольного фильтра масс. Написание этой книги вызвано почти полным отсутствием в отечествен ной литературе, кроме статей [1—5] обзорного характе ра, сведений о приборах такого рода, об их конструкции и параметрах, о перспективах их применения для самых разнообразных целей: За рубежом, начиная с момента изобретения квадрупольного фильтра масс в ФРГ в 1953 г. [6], количество статей постоянно растет, причем наряду с весьма серьезными, ставшими классическими в
3
этой области работами [6—15] появляется много сооб щений рекламного характера, не всегда точно и полно отражающих состояние этой техники и ее возможности.
В данной книге анализируется работа квадрупольных масс-спектрометров (КМ) на основе известных фи зических представлений и выводятся простые прибли женные инженерные соотношения, позволяющие оцени вать значение основных параметров КМ и определять степень их взаимного влияния, выяснять предельные возможности КМ и сравнивать при этом свойства массспектрометров различных типов. В первой части книги рассмотрена методика расчета упомянутых величин и
параметров, приведены |
многочисленные числовые |
под |
||
счеты и выкладки, |
иллюстрирующие теоретические |
ре |
||
зультаты работы; |
во |
второй — приведены |
некоторые |
|
конкретные соображения и рекомендации, |
положенные |
в основу конструирования КМ, изложены методика гра дуировки КМ и результаты некоторых эксперименталь ных исследований, выполненных с серийноспособными образцами отечественных КМ.
Книга рассчитана на специалистов — разработчиков технологического масс-спектрометрического оборудова ния. Автор надеется также, что в ней найдётся мате риал, интересующий специалистов, пользующихся масс-спектрометрами в своей работе и исследованиях. Кроме того, книга может послужить пособием для сту дентов физических, химических и приборостроительных факультетов и вузов.
Автор благодарит В. А. Слободенюк за помощь в подготовке рукописи к изданию.
Все пожелания и замечания по книге автор просит направлять по адресу: 103031 Москва, К-31, ул. Жда нова, Атомиздат.
Ч а с т ь 1
ТЕОРИЯ КВАДРУПОЛЬНОГО МАСС-СПЕКТРОМЕТРА
Г л а в а 1. ДВИЖЕНИЕ ИОНОВ В КВАДРУПОЛЬНОМ АНАЛИЗАТОРЕ
§ 1. Принцип действия
Общие принципы построения масс-спектрометров широко известны из литературы [1, 2, 16—18], поэтому останавливаться на них не будем. Отметим лишь, что КМ относится к группе так называемых динамических приборов с последовательным во времени анализом спектра масс. Как и в любом другом масс-спектрометре, аналитическая часть его, ответственная за выработку сигналов спектра масс, содержит ионный источник, ана лизатор и приемник ионов. Названием своим этот при бор обязан электростатическому квадрупольному кон денсатору [19], который используется в нем в качестве анализатора («фильтра масс») его аналитической части. "Квадрупольный конденсатор (рис. 1) состоит из четы рех, расположенных параллельно друг другу, проводя щих поверхностей (в поперечном сечении они имеют форму гипербол), к которым попарно приложено элек трическое напряжение и. Квадрупольный конденсатор способен выполнять функции анализатора ионов по их массам * лишь при строго определенном виде создавае мого внутри него электрического поля. Выясним, каким должно быть напряжение и, для того чтобы из всех ионов, впущенных узким пучком в конденсатор вдоль его оси (см. рис. 1, ось г), до выхода конденсатора до-
* В дальнейшем для простоты и определенности рассуждений будем полагать, что все ионы обладают одним элементарным поло жительным зарядом. Если же заряд иона состоит из п элементар ных зарядов, то такой ион ведет себя так, как если бы он, обладая одним элементарным зарядом, имел массу, в п раз меньшую той,
которую он имеет в действительности,
5
летели лишь ионы с массой т. Потенциал ф в поле квадрупольного конденсатора без учета краевых эффек
тов [19] имеет вид
|
|
|
|
|
(х2 — у2) |
|
|
|
|
|
( 1. 1) |
|
|
|
|
|
<Р=~----JLLu, |
|
|
|
|
|
|||
где |
х |
и |
у — координаты |
плоскости, |
перпендикулярной |
|||||||
к оси конденсатора |
(совпадает с осью z), |
причем начало |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
координат |
расположено |
|||||
|
|
|
|
|
|
на |
входе |
анализатора; |
||||
|
|
|
|
|
|
г0 — кратчайшее |
рассто |
|||||
|
|
|
|
|
|
яние |
от оси |
анализатора |
||||
|
|
|
|
|
|
до любого из электродов. |
||||||
|
|
|
|
|
|
Две |
асимптотические по |
|||||
|
|
|
|
|
|
отношению к электродам |
||||||
|
|
|
|
|
|
конденсатора |
плоскости, |
|||||
|
|
|
|
|
|
пересекающиеся |
по оси z, |
|||||
|
|
|
|
|
|
имеют нулевой или неко |
||||||
|
|
|
|
|
|
торый |
постоянный |
отно |
||||
|
|
|
|
|
|
сительно |
корпуса |
прибо |
||||
|
|
|
|
|
|
ра потенциал. |
|
|
||||
V? |
|
|
< |
|
|
Составляющие |
на |
|||||
|
|
|
-(Jl+Vcosut) |
пряженности |
|
электри |
||||||
|
|
|
|
ческого |
поля Ех, Еу и Ег |
|||||||
|
|
|
|
—0 |
|
по |
осям |
х, у, z опреде |
||||
|
|
|
|
+(y+Vcoscjt) |
||||||||
|
|
|
|
ляются |
следующими со |
|||||||
Рис. |
1. |
Квадрупольный |
конденса |
отношениями: |
|
|
||||||
тор |
(xy — плоскость входной апер |
|
|
|
дф |
|
|
2их |
||||
туры |
анализатора; э — полеобра |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
зующие электроды); |
|
|
|
|
дх |
|
|
го |
||
а — внешний |
вид; б — схема подачи |
|
|
|
|
|
|
|||||
напряжения |
на полеобразующие |
элек |
|
|
|
|
|
|
( 1.2) |
|||
|
|
|
троды. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ЕУ= |
дф |
2иу |
|
|
|
|
(1.3) |
||
|
|
|
ду |
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
дф = |
0. |
|
|
|
|
(1.4) |
|
|
|
|
|
|
дг |
|
|
|
|
|
|
Если ионы анализируемого вещества с массой rrii на править в квадрупольный конденсатор вдоль оси 2 с не-
6
которой начальной скоростью vu то их движение будет описываться системой уравнений Ньютона:
т, |
|
d2x |
2иех |
(1-5) |
|
|
dt2 |
|
|
т, |
d*y |
2uey |
( 1. 6) |
|
|
dt2 = |
+ |
||
|
|
|||
|
|
mr d2z |
= 0, |
(1.7) |
|
|
dt2 |
|
|
где t — время, a e — заряд |
иона. Решения |
уравнений |
||
(1.5) — (1.7) являются |
аналитическим выражением тра |
ектории иона в конденсаторе, заданной в параметриче
ской форме. При u = co n st^0 |
они имеют |
следующий |
вид: |
|
|
х — Схcos + |
С2 sin Qt; |
(1.8) |
у —С3 ch Qt + |
sh Qt; |
(1.9) |
z — C5t |
Св, |
(I -Ю) |
где Ci—C6 — постоянные интегрирования, определяемые
из начальных условий, a Q= K 2uelr\m,i. В данном слу
чае решение уравнения (1.9) оказывается неограниченно возрастающим, т. е. все ионы независимо от их массы через некоторый промежуток времени попадут на элек троды, пересекающие ось у. Это означает, что квадрупольный конденсатор с постоянным напряжением на его электродах не обладает свойствами избирательности по отношению к ионам какой-то определенной массы т и потому не может служить анализатором масс-спектро метра.
Допустим теперь, что на электроды конденсатора подано напряжение вида
u = U + V cos соt, |
|
(1.11) |
||
где о» — угловая частота. |
В |
этом |
случае |
уравнения |
(1.5)--(1.7) можно привести к виду: |
|
|
||
х-\- (а + |
2q cos2£)x = |
0; |
(1.12) |
|
y — {a + 2q cos 2|) у = 0; |
(1.13) |
|||
|
2 = |
0, |
|
(1.14) |
где |
|
|
|
|
а = 8eU/mrl(i>2; |
q = AeVjmrlb)2; |
£ = |
со//2; |
(1.15) |
x, у и z — вторые производные координат х, |
у, г |
по но |
вой независимой безразмерной переменной £. Уравнения (1.12) и (1.13) относятся к так называе
мым уравнениям Матье, теория которых достаточно полно изложена в работе [20]. Уравнение Матье в кано
нической форме имеет вид |
|
|
|
|
|
х -f-(а — 2<7cos2£)x = 0. |
|
(1.16) |
|||
Общее решение его, согласно |
работе |
[20], |
представ |
||
ляется в виде суммы двух рядов: |
|
|
|||
x(l) = Aexp(pg) |
00 |
|
Сгг e xp (2r\ i) + |
|
|
V |
|
|
|||
|
Г——00 |
|
|
|
|
-f Б1ехр(— pi) |
со |
с 2/.ехр(— 2rii), |
(1.17) |
||
2 |
|||||
Г~-—оо |
|
|
|
||
где А { и В\ — произвольные постоянные; t'= Y |
—1; р — |
||||
в общем случае комплексно; |
Счт— постоянный |
коэффи |
|||
циент ряда (1.17), напоминающего ряд Фурье. |
а) оно |
||||
Решение (1.17) имеет следующие свойства: |
|||||
неустойчиво (т. е. х-^+оо |
при |
£-»-оо), |
если в общем |
случае р,= а-И(3 при ja |> 0 и любом действительном (3. Следует, однако, отметить, что всегда можно найти та кую форму нестабильного решения, при которой р — по ложительное действительное число (см. приложение 4);
б) решение |
устойчиво (т. |
е. х ограничено или -Ю при |
|||
|-» -о о ), если |
u = i(p + m ), |
где |
m S*0 — |
произвольное |
це |
лое число; 0< Р < 1, причем |
решение |
периодично, |
если |
||
Р — рациональная дробь, |
и непериодично, если |3 ирра |
||||
ционально. |
|
|
|
|
|
На плоскости значений а и q можно построить диа грамму стабильности (рис.. 2), разбивающую эту плос кость на несколько частей, одни из которых, заштрихо ванные, соответствуют нестабильным решениям уравне ния (1.16), а другие, незаштрихованные, — стабильным. Характеристические кривые am, bm+l (m = О, 1, 2, ...), разделяющие диаграмму (a, q) па стабильные и неста бильные участки, представляют собой зависимости соб ственных значений функций Матье целого порядка от
q [20]. |
В приложении |
1 дано определение функций |
Матье |
целого порядка |
и приведены разложения в сте |
8