Файл: Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы..pdf

Скачать файл
Заказать решение

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 17.10.2024

Просмотров: 69

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

338.Pechs M., Stehle H. Proc. II Int. Conf. Therm. EI. Power Gen., Stresa, May, 1968.

339.Pignataro S. et al. «Z. Phys. Neue Folge», 1965, Bd. 47, S. 106.

340.Powell C. F. et al. «Vapor plating», N. Y., 1955.

341.Proceedings of the Conference on Chemical Vapor Deposition of Refr. Me­

tals,

Allovs

and Comp. Ed. by Schaffhauser, Gatlinburg, Tennessee,

Sept.

12—14,

1967.

342.Rand M. J., Ashworth J. L. «J. Electrochem. Soc.», 1966, v. 113, p. 48.

343.Raymond P. L. «J. Electrochem. Soc.», 1959, v. 106, p. 5.

344. Reid W. E., Brenner A. «Techn. News Bull., Nat. Bur. Standards», 1960,

V.44, p. 32.

345.Renner Th. «Z. anorgan. Chem.», 1959, Bd. 298, S. 22.

346.Robinson W. C. et al. In [341], p. 109.

347.Robinson P. H. «RCA Review». 1961, v. 108, p. 649.

348.Rosi F. D. «RCA Review», 1964, v. 25, p. 333.

349.Rupper W., Schwedler G. Ger. P. No. 1089240, 1967.

350.Saunders E. et al. In book [341], p. 217.

351.Schafer H. et al. «Z. anorg. und Allgem. Chem.», 1957, Bd. 290, S. 279.

352.Schafer H. «Naturwissenschaften». 1963, Bd. 50, S. 53.

353.Schaffer P. S. «J. Amer. Ceram. Soc.», 1965, v. 48 (10), p. 508.

354.Schultze H. W. «Metal Progr.», 1959, v. 76, p. 74.

355. Shroff A. M., Borromee. «Mem Scient. Rev. Metallurgie», 1966, v. 63,

p. 863.

356.Shroff A. M. II Int. Conf. Cherm. El. Power Gen., Stresa, May, 1968.

357.Smiley et al. «J. Metals», 1965, v. 17, p. 605.

358.«Steel Material Report», 1963, v. 44, p. 102.

359.Steinmeier W., Bloem J. «Electrochem. Soc.», 1964, v. Ill, p. 206.

360.

Svec

H.

J., Junk

G.

A.

«J. Amer.

Chem.

Soc.»,

1967,

v.

89, p. 2836.

361.

Svec

H.

T., Junk

G.

A.

«Inorgan.

Chem.»,

1968,

v. 7,

p.

1688.

362.Takabayashi M. «Japan. J. Appl. Phys.», 1962, v. 1, p. 22.

363.Tarui Y. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1963, v. 110, p. 1167.

364.Taylor J. L., Boone D. H. «J. Less-Common Metals», 1964, v. 6, p. 157.

365.Thivellier D. Proc. II Int. Conf. Therm. El. Power Gen., Stresa, May, 1968.

366.Tour S. et al. «J. Metals», 1955. v. 7, p. 291.

367.Vapor Deposition. Ed. by C. F. Powell et al. New York — London — Syd­ ney, 19b6. (есть перевод «Осаждение из газовой фазы». М., Атомиздат, 1970).

368.Van Hemert R. L. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1965, v. 112, p. 3143.

369. Yang

L„

Hudson

R. G. Therm. Conv. Spec. Conf., Houston, Texas,

Nov.

2—4,

1966, p.

395.

370.Yang L., Hudson R. G. Proc. Conf. CVD Refr. Met., Alloys and Comp., Gatlinburg, Tennessee, Sept .12—14, 1967, p. 329.

371.Weissman I., Hinter M. L. «J. Appl. Phys.», 1963, v. 34, p. 3548.

372.Weinberg A. F. Vapor Deposition Symp., ANS Winter Meeting, San Fran­ cisco, 1964, p. 581.

373.Winters R. E., Kiser R. W. «J. Inorg. Chem.», 1964, v. 3, p. 699.

374.Winters R. E„ Kiser R. W. «Inorgan. Chem.», 1965, v. 4, p. 157.

375.Winters R. E., Kiser R. W. «J. Phys. Chem.», 1965, v. 69, p. 1618.

376.Winters R. E., Kiser R. W. «J. Phys. Chem.», 1966, v. 70, p. 1680.

377.Wilson V. C., Lawrence J. «Therm. Conv. Spec. Conf.», Palo Alto, Califor­ nia, 30 Oct.— 1 Nov., 1967,

378.Wood W. A. «Trans. Faraday Soc.», 1935, v. 31, p. 1218.

379.Wyllie M. «J. Chem. Phys.», 1948, v. 16, p. 52.

Стр. Строка

28Знаменатель ф-лы (2.11)

171Заглавие табл. 5.15

200

9

сн.

203

2

св.

220

10

сн.

222

15

 

сн.

237

14

сн.

239Табл. 5.25 4-й столбец 2-я строка

23911 сн.

240Табл. 5.26 1-й столбец 1-я строка

240

2 сн.

Замеченные опечатки

Напечатано

Р 4

а

океслов

(100)

отсутствует

риспропорционирования

!М І + Е \

RT )

циклических

5,42

работы

4,58

поверхности

WF5 и WC15

Следует читать

р 2 г а

окислов

(ПО)

присутствует

диспропорционирования

( —Л Н ~ \- Е \

g~ eXp { RT J

цилиндрических

4,52

работу

4,52

поверхности W при во дородном восстановле нии WF6 и WCU

Зак. 3009/681.

О Г Л А В Л Е Н И Е

П редисловие...........................................................................................................

Глава 1.

в в е д е н

и

е

............................................................................................................................................................

 

 

Глава 2.

н е к о т о р

ы

е

в о п р о с ы т

е о р и и

х и м и ч е с к о й к р и с т а л л и з а ц и и

 

Термическое разложение карбонилов..............................................

 

Влияние

электростатического

поля ..............................................

 

Содержание углерода в п о к р ы ти я х ..............................................

 

Проблема

 

газа-носителя..................................................................

 

 

Инертные

газы -носители..................................................................

 

 

Химически активные газы -носители..............................................

 

Получение металлических покрытий водородным восстановле­

 

нием хлоридов металлов ..................................................................

 

 

Получение сплавов................................................................................

 

 

Глава 3.

т е х н и к а

 

э к с п е р и м е н т а

............................................................

 

Реакционная камера

.........................................................................

 

 

Испаритель.............................................................................................

 

 

 

Система очистки газов

.........................................................................

. . . .

 

Очистка

газов от кислорода

 

Очистка газов от окиси и двуокиси углерода.................................

 

Очистка газов от водяных паров.....................................................

 

Д и с т и л л я ц и я ......................................................................................

 

 

 

Система конденсирующих устройств..............................................

 

Нагрев

о б р а з ц о в ................................................................................

 

 

 

Измерительный ком плекс..................................................................

 

Глава 4.

к и н е т и

к а

 

о с а ж д е н

и я ..................................................................

 

 

Термическое разложение карбонилов тугоплавких металлов .

 

Разложение карбонила

м о л и б д е н а ..............................................

 

Разложение карбонила

в о л ь ф р а м а ..............................................

 

Разложение карбонила

рения............................................................

 

Водородное восстановление хлоридов (Mo, W, Та, Nb) .

 

Термическая диссоциация хлоридов ..............................................

 

Осаждение W, Mo, Nb, Ti, Zr, H f .....................................................

 

Осаждение

р е н и я ................................................................................

 

 

 

Осаждение

и р и д и я

.........................................................................

 

 

Водородное восстановление фторидов тугоплавких металлов

 

Осаждение вольфрама

.........................................................................

 

 

Осаждение

р е н и я ................................................................................

 

 

 

Осаждение

иридия

.........................................................................

 

 

Получение тугоплавких металлов из металлорганических со­

 

единений

 

.............................................................................................

 

•

 

И р и д и й .........................................

 

 

 

 

Вольфрам

 

..............................................................................................

 

 

 

Молибден

.............................................................................................

 

 

3

5

23

29

35

37

40

41

42

47

48

51

53

60

64

66

67

68

68

69

71

73

75

76

76

81

82

82

90

90

96

97

98

98

107

108

108

108

109

111

263

 

 

Методы понижения температуры процесса кристаллизации из

 

 

 

газовой

ф а з ы .........................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ИЗ-—„

 

 

Высокочастотное

п о л е ...........................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

114

 

 

Электронный

у д а р

..................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

122

 

 

Тлеющий р а з р я д

..................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

129

Глава

5.

Влияние поверхности подложки на скоростьосаждения металла

132

н е к о

т о р

ы

е

с в о й с

т в

а

т у

г о п л а в

к и х

м е т

а л

л о в

и

п о

к р

ы ­

 

 

 

т и и

из

н и х .........................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

134

 

 

Примеси

в металлах,

полученных

кристаллизацией

из газовой

 

 

 

ф а з ы

......................................................................................................

 

свойства

м е т а л л о в

 

 

 

 

 

 

134

 

 

Механические

механические

 

 

 

146

 

 

Влияние

 

поверхностной

пленки

на

 

свойства

 

 

 

м е т а л л о в ................................................................................................

 

 

 

покрытий с о с н о в о й

 

 

 

 

 

153

 

 

Прочность сцепления

..................................

 

 

 

 

158

 

 

Типы

с ц е п л е н и я

.................................................................................. прочности сцепления

 

 

 

 

 

158

 

 

Методы измерения .........................................

 

 

 

 

 

158

 

 

Термические

напряж ....................................................................ения

 

 

 

 

 

 

 

 

162

 

 

Способы

повышения ..................................прочности с ц е п л е н и я

 

 

 

 

169

 

 

Проблема

п л о т н о ...........................................................................с т и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

178

 

 

Плотность

м е т а л л ...........................................................................о в

 

 

 

 

 

 

 

 

 

178

 

 

Рост

кристаллов

...................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

189

 

 

М и к р о стр у к ту р а ..................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

195

 

 

Текстуры в тугоплавких ..................................металлах и сплавах

 

 

 

 

200

 

 

Получение

текстурированных ...........................слоев м е т а л л о в

 

 

 

201

 

 

Текстуры в сплавах ..................................тугоплавких м е т а л л о в

 

 

 

 

215

 

 

Механизмы образования ......................................................

текстур

 

текстур

тугоплавких

 

216

 

 

Высокотемпературная

стабильность

ме­

 

 

 

таллов

......................................................................................................

 

 

 

 

стабильность микроструктуры

 

. .

227

 

 

Высокотемпературная

 

.

231

 

 

Эмиссионные характеристики осажденныхметаллов.

 

.

.

.

236

Глава

6.

п о л у ч е н и

е

с п л а ...........................................................................в о

в

 

 

 

 

 

 

 

 

 

241

 

 

Получение сплавов при разложении карбонилов и при водород­

241

 

 

ном восстановлении .........................................хлоридов металлов

 

 

 

 

 

 

 

 

Получение вольфрам-рениевых сплавов при водородном вос­

 

 

 

становлении WF6 и ....................................................................R e F j

 

 

 

 

 

 

 

 

243

 

 

Получение тантал-алюминиевых .........................................сплавов

 

 

 

 

 

248

 

 

Кристаллизация тройных вольфрам-молибден-рениевых сплавов

250

Список л и т е р а т у р ы ...............................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

253

 

 

 

 

 

 

 

И в а н о в В и к т о р Е в г е н ь е в и ч

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Н е ч и п о р е н к о Е в г е н и й П е т р о в и ч

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

К р и в о р у ч к о В а д и м М и х а й л о в и ч

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

С а г а л с в и ч В л а д и с л а в В и к т о р о в и ч

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Корректор

О . Р . Х а р л а м о в а

 

 

 

 

 

 

 

Сдано

в

набор

4/XII —73

г.

Подписано к

печати

ІЗ/ІІІ 1974

г.

Т-03086

Формат

бОхЭО'/іб

Бумага книжно-журнальная

 

Уел . печ .

л. 16,5

Уч.-изд.

л.

17,97

 

Тираж

1700

экз.

 

 

 

Цена

2 р. 03 к.

 

 

Зак. изд. 69166

 

Зак. тип.

681

 

 

 

 

 

 

 

Атомиздат,

103031,

Москва, К-31.

ул. Жданова, 5.

 

 

 

 

 

Московская типография № 6 Союзполиграфпрома при Государственном комитете Совета Министров СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли.

109088, Москва, Ж-88, Южнопортовая ул., 24.

Смотрите также файлы