Файл: Рыбинский, О. А. Пассивные элементы гибридных интегральных схем.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 02.11.2024
Просмотров: 19
Скачиваний: 0
мости замены их схемами, выполненными на элементах ГИС. На пример, японские специалисты создали устройство, работа кото рого основана на использовании эффекта Холла. Это устройство обладает индуктивностью —■0,5 мГ на частоте 1 кГц при добротно сти 0,35 и имеются теоретические предпосылки для увеличения этой величины до 5—10 единиц. Размеры экспериментальных образцов были меньше 9X7X0,75 мм. Индуктивный эффект в ГИС может быть получен на RC-цепочках и полупроводниковых линиях за держки, но при помощи этих устройств не удается одновременно получить высокую добротность и хорошую стабильность. Много места в последнее время в литературе уделяется вопросам созда-
Рис. 6. Внешний вид и габаритные размеры катушек индуктивности ти пов КИМП и КИМР
ния активных фильтров на гираторах и инвенторах импеданса. Гиратор — невзаимный четырехполюсник, входной импеданс которого пропорционален полной проводимости нагрузки. Гиратор воспроиз водит электрические характеристики индуктивности при подключе нии к нему в качестве нагрузки конденсатора; при этом доброт ность такой схемы доходит до 1000 единиц, температурная ста бильность в интервале температур от 0 до +50° С не более 100 - 10_6 1/град. Достоинство этой схемы в том, что гиратор ведет себя как пассивная схема без потерь и поэтому не изменяет энер гию сигнала; кроме того, он не чувствителен к изменению парамет ров и оказывает малое дестабилизирующее влияние на интеграль ную схему.
Иивентор импеданса представляет собой четырехполюсник, ко торый работает по следующему принципу: любой импеданс, под ключенный к входной паре его контактов, проявляет себя на выход-
15
Тип катуш ки
Ф
3
я
в
к
о
н
о
с
ф
3 S
ф
я
я
а, £-
о
ф
Он
ф
с
Т а б л н ц а 6
Характеристики катушек индуктивности для ГИС отечественной разработки
Величина |
|
Рабочая |
ТКИ • 10° |
|
|
|
Сердечник |
|
|
Доброт- |
I/град в |
|
|
|
|
||||
индуктив- |
Со |
Ro |
|
|
|
|
|||
частота, |
п н 1 е р н а л е |
|
|
|
|
||||
ности, |
пость |
пф |
О м |
|
|
|
|
||
мГц |
-6 0 --+ 8 5 |
|
|
|
|
||||
мкГ |
|
|
|
Конструкция |
Материал |
Габарит |
|||
|
|
°С |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0,1—100 |
50-130 |
1,5-100 |
+ 5 0 -+ 7 0 |
1-10 |
0,02—6 |
Кольцевой |
|
Р-100 |
3X1,8X1 |
0,2-100 |
40-70 |
|
|
|
0,02-10 |
|
|
|
5 x 3 x 1 |
2,5—80 |
-170 + + 113 |
1 -8 |
Стержневой |
|
20ВЧ; |
=3,6 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
30ВЧ2; |
01,2 |
10-3000 |
|
|
|
|
|
|
|
50В42 |
|
60-130 |
0,5-1,0 |
-130-т-+ 130 |
2,3—6 |
2,4-35 |
Броневой |
|
1000НМЗ |
09,0 |
|
100-10 000 |
50-130 |
0,1-2,5 |
±200 |
4 -9,6 |
2,3-100 |
шпуля |
|
1000НМЗ |
02,8X6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
04X2,6 |
100-5000 |
45—190 |
0,1—2,5 |
±200 |
4 - 7 |
1,4-17 |
Шпуля с кольцом |
100НМЗ |
04,8X2,6 |
|
0,1-100 |
35-54 |
1 -5 |
±300 |
1-15 |
0,3—18 |
Стержневой с под- |
30ВЧ2 |
2,5X2,5X7 |
|
|
|
|
|
|
|
строечником |
|
50ВЧ2 |
|
0,1—50 |
43—83 |
6-100 |
±100 |
1 -8 |
0,05-11 |
Стержневой |
с |
Р-100 |
МО,4X2,5 |
|
|
|
|
|
|
резьбовым нодстро- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ечником |
|
|
|
0,2-1000 |
40-82 |
0,5-80 |
±150 |
0,3—10 |
0,06-43 |
Броневой с |
под- |
Р-100 |
06,5X3,6 |
|
|
|
|
|
|
строечником |
|
50ВЧ2 |
М3 X0,5x3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
700НМ |
06X 3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
М2,2X0,5x3 |
50—1000 |
60-88 |
0,3-1,5 |
±500 |
3-7,6 |
1,4-20 |
Н-образный |
со |
1000НМЗ |
4X5X1 |
|
|
|
|
|
|
стержневым |
под- |
|
01,2X5 |
|
|
|
|
|
|
стросчником |
|
|
|
ной паре контактов как импеданс такой же абсолютной величины,, но противоположного знака. Активные фильтры на инвенторах им педанса хотя и менее стабильны, чем на гираторах, однако они имеют ряд преимуществ. Их можно использовать для изготовления фильтров с меньшим разбросом параметров и меньшим количест вом схемных элементов. Поскольку в настоящее время фильтры являются самыми крупными деталями в радиоаппаратуре из-за громоздких катушек индуктивности, особенно в области низких частот, то использование активных фильтров на гираторах и ин венторах импеданса дает огромное преимущество — размеры фильтра уменьшаются более чем в 100 раз и они легко выполняют ся в интегральной форме. Но несмотря' на все достоинства этих схем, позволяющих получить эффект индуктивности и легко совме стимых с ГИС, они по своим параметрам значительно уступают дискретным индуктивным элементам.
ГЛАВА II
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Все процессы изготовления пассивных элементов интегральных, схем можно разделить на три большие группы:
а) механические (прессование, прокатка и т. д.); б) электровакуумные (термическое распыление, ВЧ-распыление
и т. д.);
в) химические (химические транспортные реакции и т. д.). Наиболее известными и широко применяемыми процессами про
изводства являются механические, которые практически исполь зуются в производстве любых радиокомпонентов. Все они, как пра вило, заключаются в принудительном уплотнении частиц порошко вых материалов, смешанных с пластификатором—связкой, в опре деленном геометрическом объеме. Полученное расположение за крепляется дальнейшей обработкой при высоких температурах.. Технология процессов прессования, литья под давлением, протяж ки керамических и ферритовых изделий подробно изложена в ряде серьезных монографий и эти процессы хорошо освоены в промыш ленности, поэтому здесь на них останавливаться не будем, а рас смотрим сравнительно новый для керамической технологии про цесс прокатки керамической и ферритовой ленты, необходимой для получения микроминиатюрных сердечников. В связи с тем, что про
каткой получают ленты из керамики и ферритов, |
в |
дальнейшем |
|
будем для краткости говорить «прокатанная лента». |
|
|
|
Для изготовления ленты прокаткой необходимо получить поду- |
" |
||
фабрикат — пластичную массу, представляющую |
1обойг |
||
|
, |
-.лиц fcGQ5? |
|
|
Л |
■ы сйш-лпляр |
|
систему непластичного порошка со структурированной жидкостью пластификатором, придающей ему пластичные свойства.
Для получения однородной по физико-химическим свойствам ленты и обеспечения воспроизводимости электромагнитных свойств изделий необходимо тщательно усреднять и получать тонкодис персные порошки после предварительного помола; обеспечить пол ное протекание реакции в твердой фазе при предварительном об жиге; получить тонкодисперсные порошки после вторичного помо ла; применять пластификатор, способный равномерно соединяться
с порошками, образующими ленту.
Технологический процесс изготовления порошка начинается с измельчения и перемешивания исходных окислов. Помол произ водится в вибрационной мельнице со стальными шарами в каче-
•стве мелющих тел. Оптимальные условия помола определяются его средой, поэтому помол проводится либо всухую, либо при исполь зовании в качестве среды воды и этилового спирта. Анализ резуль татов измерения гранулометрического состава показывает, что удельная поверхность больше, а средний размер частиц меньше при мокром помоле, чем при сухом.
В связи с тем, что в производственных условиях помол осуще ствляют в воде, которая, будучи полярной, способна образовывать с окислами гелеобразные структуры, затрудняющие дальнейший помол, для нейтрализации среды и увеличения скорости и тонины помола целесообразно применять поверхностно-активные вещества (ПАВ). Эти вещества представляют собой асимметрично построен ные молекулы, содержащие полярные и неполярные органические радикалы. В процессе помола молекулы ПАВ равномерно распре деляются по поверхности измельчаемого материала, ориентируясь полярными группами к нему, а углеводными цепями — к среде. Та кая ориентация вызывает стабилизацию системы порошок — среда, исключая образование гелеобразных структур. Например, в каче
стве ПАВ можно |
применять |
сульфанол ОП-7 в количествах |
0,3 ч-0,5% (дозировка ПАВ |
определяется опытным пу |
|
тем. |
и усредненная смесь окислов после предвари |
|
Измельченная |
тельного помола поступает на предварительный обжиг, в процессе которого шихта претерпевает существенные физико-химические из менения. Для обеспечения более полного протекания реакции ис пользуют более мелкодисперсные окислы, более равномерно рас пределяют их по объему шихты. Технологически это осуществляет ся дополнительной обработкой полученной шихты смазывающими и дезагрегирующими добавками. В результате количество свобод ных окислов в шихте снизилось примерно в два раза, что позволит уменьшить количество вводимого пластификатора. Однако даже ттри этих условиях не удается получить полностью однородную шихту из-за различных условий протекания реакции по всему объему. Поэтому полученную шихту необходимо измельчить и усреднить, что достигается повторным помолом.
38
В шихту после вторичного помола вводится пластификатор, ко торый должен отвечать следующим требованиям: обладать адге зией к поверхности частиц шихты; не должен реагировать с ших той; количество его должно быть минимальным.
Наиболее часто для получения керамических и ферритовых лент используют раствор синтетического каучука СКН-26.
Готовится он следующим образом: каучук СКН-26 нарезается небольшими кусочками, тщательно промываются в теплой воде, сушится при температуре 70—100° С и растворяется в смеси бен зина с ацетоном в течение двух-трех суток, после чего полученный раствор тщательно перемешивается и фильтруется. Наиболее тех нологичными являются 3—5%-ные растворы, так как количество каучука, необходимое для придания шихте пластичности, невели ко. Оптимальное количество пластификатора подбирается для каж дой шихты экспериментально с учетом ее индивидуальных особен ностей. Шихта, смешанная со связкой, поступает на операцию фор мовки, где ее предварительно перемешивают для получения более равномерного распределения связки и придания первоначальной ориентации зернам окислов, составляющих порошок. Осущест вляется это на тех же самых прокатных валках при зазоре между ними от 5 до 10 мм в зависимости от размера загрузки. При этом валки вращаются в противоположном направлении со скоростями, имеющими соотношение 1,4:1 при максимальной скорости быст рого валка от 5- 10_3 до 12510~3 м/сек.
Процесс прокатки следует рассматривать как непрерывное прессование, начинающееся в очаге деформации и кончающееся на выходе ленты из зазора между валками. При их вращении части цы шихты перераспределяются относительно Друг друга так, что заполняют все свободные промежутки, и уплотненная шихта спрес совывается в ленту.
Частицы, находящиеся в непосредственном соприкосновении с поверхностью валков, движутся и увлекают за собой соседний слой, т. е. возникает слоистое движение с градиентом в направле нии нормали к поверхности валков. Можно создать условия, когда приток материала превысит его расход, превращаемый в ленту. Об разовавшийся избыток перемещается из зоны захвата на поверх ность в бункере, вызывая «кипение» шихты, сопровождающееся уплотнением в зоне захвата.
Однако из-за неравномерности деформации ленты за счет про катки в валках с непараллельным расположением осей или в вал ках с неровной поверхностью, неравномерной плотностью вследст вие различной толщины ленты в центре и по краям могут наблю даться неоднородные свойства деталей, полученных из прокатан ных лент.
Получение ленты практически осуществляется на валках по тех нологическому процессу, схема которого приведена на рис. 7. Весь процесс изготовления прокатанной ленты и плоских деталей из нее можно разделить на три больших этапа: приготовление пластичной
19