Файл: Балицкий А.В. Технология изготовления вакуумной аппаратуры.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 09.04.2024
Просмотров: 581
Скачиваний: 2
вольно легко режется тонкими карборундовыми круга ми. Однако пайка стеатита с металлами довольно сложна. Стеатит имеет способность стареть, теряя с те чением времени вакуумную плотность, что ограничивает его применение.
Форстерит. Высокочастотная керамика, вакуумно плотная, имеющая в основе тальк, обожженный совме стно с окисью магния и образовавший днсиликат маг ния. По механическим свойствам форстерит выше стеа тита. Температурный коэффициент линейного расшире ния форстерита в среднем имеет также большее значение и близко подходит к температурному коэф фициенту линейного расширения титана, что позволяет получать между ними почти согласованные спаи. Ана логично стеатиту форстерит может стареть с образова нием микротрещин.
Алундовая керамика имеет в основе состава глино зем (алунд, окись алюминия, АкОз). Состав алундовых материалов весьма разнообразен. Кроме алунда, в них входят обожженные глины, углекислый барий, диборат бария, углекислый калий, в небольших количествах
окись магния. |
Чем выше |
процент |
содержания |
алунда |
|
(от 70 до 98%), тем выше |
качество |
керамики |
как ва |
||
куумного материала, тем она прочнее, |
выше ее теплопро |
||||
водность, а следовательно, и термостойкость. |
Высоко- |
||||
алюмооксидные |
сорта керамики |
паяются в |
вакууме |
с некоторыми металлами методом металлизации и с при
менением активных припоев |
или флюсующих обмазок |
(с титаном или цирконием). |
Высшие сорта алундовой |
керамики отличаются особой прочностью при сжатии до 20 000 кгс/см2. Температура их размягчения доходит до
1 900°С.
Большое распространение получили материалы: миналунд, стоал, 22Х, 22ХС, сапфирит. Вакуумно-плотные узлы на основе миналунда применимы для сверхвысо кого вакуума и прогрева до температуры 700 °С [Л. 10—
12].
Миналунд М-7 наиболее распространен. Его хими ческий состав: СаО—1,63%, SiC>2—4,34%, AI2O3—94,03%.
Сапфирит состоит из 98% AI2O3 и некоторого коли чества В20 3 и МО (в сумме 2%). Сапфирит обла дает очень высокими диэлектрическими свойствами (табл, 3-3) и повышенной теплопроводностью, а следо вательно, и термостойкостью.
48
Таблица 3-3
Физические характеристики основных типов вакуумно-плотной керамики [Л 12, 38, 39]
|
Показатели по типам керамики |
|
|
Характеристика |
Форстерит |
Алундовая 22-XG Алундовая М-7 |
Сапфнрит |
Сте атит |
Плотность, г/см3 Пористость по водопоглощению, °/о
Временнбе сопротивление при 20 °С,
кгс/см2:
при растяжении при изгибе при сжатии
Временное сопротивление при [удар ном изгибе, кгс/см2
Твердость по Моосу Теплопроводность, кал/{см ■сек ■°С) Средний температурный коэффициент
линейного расширения (k-10-’) в интервале температур, °С:
20— 100
20—300
20—700
20—900
Удельное электрическое сопротивле
ние, ом-см
Термостойкость Пробивное напряжение, кв/мм
Тангенс угла диэлектрических потерь
(tg 8 104) при 1 |
Мгц и 20 °С |
Диэлектрическая |
проницаемость при |
1 Мгц и 20 ®С |
|
2,7 |
2,8 |
3,8 |
3,76 |
3,89—3,94 |
0,01 |
0,02 |
0,02 |
0,00 |
0,00 |
210—680 |
550—600 |
1200—2 000 |
___ |
3 000—4 000 |
700—1700 |
1 250—1 600 |
3 200—4 000 |
4 250 |
|
3 500—6 400 |
5 600—6 800 |
— |
— |
6,5—7,2 |
— |
— |
6,5—7,2 |
— |
|
7,5 |
7,5 |
— |
— |
50-^60-10-3 |
6 - 10-3 |
8-10-3 |
25-4-32-10-3 |
|
|
64 |
90 |
63—65 |
— |
65—67 |
83—90 |
— |
|||
100,0 |
— |
— |
|
|
_ |
____ |
80—84 |
73 |
84—86 |
— |
— |
101* |
10‘* |
101* |
Плохая |
Плохая |
Хорошая |
Хорошая |
Повышенная |
10—35 |
9—10 |
30—45 |
— |
32—47 |
3—30 |
3—5 |
3—5 |
3,1 |
Менее 1,0 |
5,0—6,5 |
6,0—6,5 |
9,5—10,3 |
8,9 |
10—10,7 |
из
3-3. ПЛАСТМАССЫ
Современные достижения химии позволяют про изводить неметаллические материалы, обладающие самы ми разнообразными свойствами, часто не уступающие многим металлам по прочности и химической стойкости. Более того, наивысшпе показатели по химической стой кости, эластичности, диэлектрическим свойствам в соче тании с пластичностью принадлежат именно синтетиче ским материалам.
Нет сомнения, что в недалеком будущем отечествен ная химическая промышленность сможет выпускать ма териалы с заранее задуманными физическими свойства ми в самых различных их сочетаниях, превосходящими природные материалы. С точки зрения вакуумщиков в настоящее время главными недостатками синтетичес ких материалов являются их недостаточная термостой кость, большое газовыделение и высокий температурный коэффициент линейного расширения, на порядок и более превосходящий тот же показатель у металлов, керамики и стекла. Все же из пластмасс уже теперь делаются многие детали вакуумной системы: уплотнители, диа фрагмы, изоляторы — электрические и термические, гиб кие трубопроводы и т. п.
Фторопласт-4 (фторлон-4) производится отечествен ной промышленностью по ГОСТ 10007-62 в виде рыхлой творожистой массы (Л. 13, 14], из которой дальнейшим прессованием и спеканием при 360—380 °С получают раз личные изделия: пленки, плитки, трубы, готовые детали. Имеются три марки фторопласта-4: марка А для пере работки в конденсаторную или электроизоляционную пленку; марка Б для переработки в крупные изделия; марка В для переработки в мелкие изделия.
Фторопласт-4 является кристаллическим полимером
тетрафторэтилена (в |
США |
называется тефлоном, |
в Англии — флюоном, |
во |
Франции — сорефлоном, |
в ФРГ — хостафлоном ТГ). Его тепловые характеристи ки: разложение при 415 °С, плавление — 327 °С (в вязко текучее состояние не переходит), стеклование — около
—120°С.
При разных скоростях охлаждения от температуры
спекания (360—380 °С) |
до температуры |
ниже 250 °С |
можно получить закаленные изделия |
с плотностью |
|
2,15 г!см3 и степенью |
кристалличности около 50% или |
50
иезакаленные с плотностью 2,2 г/см3 и степенью кри сталличности свыше 65%, обладающие соответственно различными механическими свойствами.
Фторопласт-4 обладает наивысшей химической стой костью из всех поделочных материалов и весьма высо кими электроизолирующими свойствами. Он совершенно ие поддается воздействию кислот, щелочей, органичес ких растворителей, не смачивается водой, ие имеет адге зии к клеям. Хорошо обрабатывается резанием, а при условии медленной деформации — и давлением. При на греве выше 200 °С начинается выделение паров фтора в очень малых количествах.
По сравнению с вакуумными резинами фторопласт-4 обладает более высокой термостойкостью и морозостой костью. Собственное газовыделение фторопласта при мерно в 40 раз меньше, чем у лучших сортов вакуумных резни.
Фторопласт-4 способен под сжимающей нагрузкой медленно заполнять все неровности уплотняемых поверх ностей. Хотя по сравнению с резинами фторопласт-4 име ет малую упругость и большую остаточную деформацию, за счет небольшого коэффициента трения с металлами (0,04—0,1) он находит применение в основном для уплотнения вакуумных вводов движения.
Высокие диэлектрические свойства фторопласта-4, мало зависящие от температуры и частоты приложен ного напряжения, позволяют широко его использовать для изготовления различного рода изоляторов и элек трических вакуумных вводов.
Основные свойства фторопласта-4
Плотность, г/см3 .......................................................... |
|
2,15—2,20 |
Водопоглощение за сутки, % ........................................... |
|
0,00 |
Теплоемкость, к т л /к г - ° С ...................................... |
|
0,25 |
Теплопроводность, т л/см -сск-°С ........................... |
|
0,058 |
Температура разложения, ° С ................................... |
°С |
Выше 415 |
Допустимая рабочая температура, |
200 |
|
Морозостойкость, ° С .................................................. |
|
—ПО |
Температурный коэффициент линейного расширения |
(55—210) ПО-6 |
|
Предел прочности при растяжении, |
кгс/см2 . . . |
140—315 |
Относительное удлинение, % ................................... |
|
250—500 |
Предел упругости при сжатии,кгс/см2 ........................... |
30 |
|
Твердость по Врпнеллю ........................................... |
4 |
(незакаленный) |
Удельное поверхностное электрическое сопротив |
(1,5-4-2,7) • 1011 |
|
ление, о м .................................................................. |
|
|
Удельное объемное электрическое сопротивление, |
Ы 0<т_102о |
|
о м -с м .......................................................................... |
|
|
Электрическая прочность при 20 *С,кв/мм . . . . |
26 |
4* |
51 |