Файл: Балицкий А.В. Технология изготовления вакуумной аппаратуры.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 581

Скачиваний: 2

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

вольно легко режется тонкими карборундовыми круга­ ми. Однако пайка стеатита с металлами довольно сложна. Стеатит имеет способность стареть, теряя с те­ чением времени вакуумную плотность, что ограничивает его применение.

Форстерит. Высокочастотная керамика, вакуумно­ плотная, имеющая в основе тальк, обожженный совме­ стно с окисью магния и образовавший днсиликат маг­ ния. По механическим свойствам форстерит выше стеа­ тита. Температурный коэффициент линейного расшире­ ния форстерита в среднем имеет также большее значение и близко подходит к температурному коэф­ фициенту линейного расширения титана, что позволяет получать между ними почти согласованные спаи. Ана­ логично стеатиту форстерит может стареть с образова­ нием микротрещин.

Алундовая керамика имеет в основе состава глино­ зем (алунд, окись алюминия, АкОз). Состав алундовых материалов весьма разнообразен. Кроме алунда, в них входят обожженные глины, углекислый барий, диборат бария, углекислый калий, в небольших количествах

окись магния.

Чем выше

процент

содержания

алунда

(от 70 до 98%), тем выше

качество

керамики

как ва­

куумного материала, тем она прочнее,

выше ее теплопро­

водность, а следовательно, и термостойкость.

Высоко-

алюмооксидные

сорта керамики

паяются в

вакууме

с некоторыми металлами методом металлизации и с при­

менением активных припоев

или флюсующих обмазок

(с титаном или цирконием).

Высшие сорта алундовой

керамики отличаются особой прочностью при сжатии до 20 000 кгс/см2. Температура их размягчения доходит до

1 900°С.

Большое распространение получили материалы: миналунд, стоал, 22Х, 22ХС, сапфирит. Вакуумно-плотные узлы на основе миналунда применимы для сверхвысо­ кого вакуума и прогрева до температуры 700 °С [Л. 10—

12].

Миналунд М-7 наиболее распространен. Его хими­ ческий состав: СаО—1,63%, SiC>2—4,34%, AI2O3—94,03%.

Сапфирит состоит из 98% AI2O3 и некоторого коли­ чества В20 3 и МО (в сумме 2%). Сапфирит обла­ дает очень высокими диэлектрическими свойствами (табл, 3-3) и повышенной теплопроводностью, а следо­ вательно, и термостойкостью.

48


Таблица 3-3

Физические характеристики основных типов вакуумно-плотной керамики [Л 12, 38, 39]

 

Показатели по типам керамики

 

Характеристика

Форстерит

Алундовая 22-XG Алундовая М-7

Сапфнрит

Сте атит

Плотность, г/см3 Пористость по водопоглощению, °/о

Временнбе сопротивление при 20 °С,

кгс/см2:

при растяжении при изгибе при сжатии

Временное сопротивление при [удар­ ном изгибе, кгс/см2

Твердость по Моосу Теплопроводность, кал/{см ■сек ■°С) Средний температурный коэффициент

линейного расширения (k-10-’) в интервале температур, °С:

20— 100

20—300

20—700

20—900

Удельное электрическое сопротивле­

ние, ом-см

Термостойкость Пробивное напряжение, кв/мм

Тангенс угла диэлектрических потерь

(tg 8 104) при 1

Мгц и 20 °С

Диэлектрическая

проницаемость при

1 Мгц и 20 ®С

 

2,7

2,8

3,8

3,76

3,89—3,94

0,01

0,02

0,02

0,00

0,00

210—680

550—600

1200—2 000

___

3 000—4 000

700—1700

1 250—1 600

3 200—4 000

4 250

3 500—6 400

5 600—6 800

6,5—7,2

6,5—7,2

7,5

7,5

50-^60-10-3

6 - 10-3

8-10-3

25-4-32-10-3

 

64

90

63—65

65—67

83—90

100,0

 

_

____

80—84

73

84—86

101*

10‘*

101*

Плохая

Плохая

Хорошая

Хорошая

Повышенная

10—35

9—10

30—45

32—47

3—30

3—5

3—5

3,1

Менее 1,0

5,0—6,5

6,0—6,5

9,5—10,3

8,9

10—10,7

из



3-3. ПЛАСТМАССЫ

Современные достижения химии позволяют про­ изводить неметаллические материалы, обладающие самы­ ми разнообразными свойствами, часто не уступающие многим металлам по прочности и химической стойкости. Более того, наивысшпе показатели по химической стой­ кости, эластичности, диэлектрическим свойствам в соче­ тании с пластичностью принадлежат именно синтетиче­ ским материалам.

Нет сомнения, что в недалеком будущем отечествен­ ная химическая промышленность сможет выпускать ма­ териалы с заранее задуманными физическими свойства­ ми в самых различных их сочетаниях, превосходящими природные материалы. С точки зрения вакуумщиков в настоящее время главными недостатками синтетичес­ ких материалов являются их недостаточная термостой­ кость, большое газовыделение и высокий температурный коэффициент линейного расширения, на порядок и более превосходящий тот же показатель у металлов, керамики и стекла. Все же из пластмасс уже теперь делаются многие детали вакуумной системы: уплотнители, диа­ фрагмы, изоляторы — электрические и термические, гиб­ кие трубопроводы и т. п.

Фторопласт-4 (фторлон-4) производится отечествен­ ной промышленностью по ГОСТ 10007-62 в виде рыхлой творожистой массы (Л. 13, 14], из которой дальнейшим прессованием и спеканием при 360—380 °С получают раз­ личные изделия: пленки, плитки, трубы, готовые детали. Имеются три марки фторопласта-4: марка А для пере­ работки в конденсаторную или электроизоляционную пленку; марка Б для переработки в крупные изделия; марка В для переработки в мелкие изделия.

Фторопласт-4 является кристаллическим полимером

тетрафторэтилена (в

США

называется тефлоном,

в Англии — флюоном,

во

Франции — сорефлоном,

в ФРГ — хостафлоном ТГ). Его тепловые характеристи­ ки: разложение при 415 °С, плавление — 327 °С (в вязко­ текучее состояние не переходит), стеклование — около

—120°С.

При разных скоростях охлаждения от температуры

спекания (360—380 °С)

до температуры

ниже 250 °С

можно получить закаленные изделия

с плотностью

2,15 г!см3 и степенью

кристалличности около 50% или

50


иезакаленные с плотностью 2,2 г/см3 и степенью кри­ сталличности свыше 65%, обладающие соответственно различными механическими свойствами.

Фторопласт-4 обладает наивысшей химической стой­ костью из всех поделочных материалов и весьма высо­ кими электроизолирующими свойствами. Он совершенно ие поддается воздействию кислот, щелочей, органичес­ ких растворителей, не смачивается водой, ие имеет адге­ зии к клеям. Хорошо обрабатывается резанием, а при условии медленной деформации — и давлением. При на­ греве выше 200 °С начинается выделение паров фтора в очень малых количествах.

По сравнению с вакуумными резинами фторопласт-4 обладает более высокой термостойкостью и морозостой­ костью. Собственное газовыделение фторопласта при­ мерно в 40 раз меньше, чем у лучших сортов вакуумных резни.

Фторопласт-4 способен под сжимающей нагрузкой медленно заполнять все неровности уплотняемых поверх­ ностей. Хотя по сравнению с резинами фторопласт-4 име­ ет малую упругость и большую остаточную деформацию, за счет небольшого коэффициента трения с металлами (0,04—0,1) он находит применение в основном для уплотнения вакуумных вводов движения.

Высокие диэлектрические свойства фторопласта-4, мало зависящие от температуры и частоты приложен­ ного напряжения, позволяют широко его использовать для изготовления различного рода изоляторов и элек­ трических вакуумных вводов.

Основные свойства фторопласта-4

Плотность, г/см3 ..........................................................

 

2,15—2,20

Водопоглощение за сутки, % ...........................................

 

0,00

Теплоемкость, к т л /к г - ° С ......................................

 

0,25

Теплопроводность, т л/см -сск-°С ...........................

 

0,058

Температура разложения, ° С ...................................

°С

Выше 415

Допустимая рабочая температура,

200

Морозостойкость, ° С ..................................................

 

—ПО

Температурный коэффициент линейного расширения

(55—210) ПО-6

Предел прочности при растяжении,

кгс/см2 . . .

140—315

Относительное удлинение, % ...................................

 

250—500

Предел упругости при сжатии,кгс/см2 ...........................

30

Твердость по Врпнеллю ...........................................

4

(незакаленный)

Удельное поверхностное электрическое сопротив­

(1,5-4-2,7) • 1011

ление, о м ..................................................................

 

Удельное объемное электрическое сопротивление,

Ы 0<т_102о

о м м ..........................................................................

 

Электрическая прочность при 20 *С,кв/мм . . . .

26

4*

51