Файл: Балицкий А.В. Технология изготовления вакуумной аппаратуры.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 09.04.2024
Просмотров: 583
Скачиваний: 2
а + р-сплавы, |
к воздействию атмосферных газов вплоть |
до температуры 1 090°С, однако менее пластичны. |
|
Сплавы |
со сложной структурой при температу |
рах порядка 430 °С становятся непрочными и очень чув ствительными к атмосферным газам при высоком нагреве.
Для титана и его сплавов весьма вредной примесью является водород, сильно повышающий чувствитель ность к надрезу, даже ,в количествах порядка сотых до лей процента.
Путем отжига в высоком вакууме можно снизить содержание водорода в титане, например, с 0,015 до 0,005%, что сильно повышает его вязкость .при том же пределе прочности.
Отжиг должен проводиться при давлении 5 ■10-5— 5-10-0 мм рт. ст. для разных сплавов по разным' ре
жимам: титан ВТ1Д—отжиг |
при |
800 °С, 2 ч; сплав |
ВТ2 — отжиг при 700 °С, 12 ч; |
сплав |
ВТЗ — отжиг при |
700°С, 2 ч. |
|
|
Разработка титановых сплавов продолжается весьма интенсивно, что обеспечивает постоянное появление сплавов с новыми свойствами. Поэтому при определе нии назначения марки сплава конструкторам необхо димо обращаться к литературным источникам.
Технический титан ВТ1 (листы, прутки, проволока) хорошо сваривается аргоно-дуговой и контактной свар кой. При аргоно-дуговой сварке требуется особо тща тельная газовая защита металла со всех сторон. Штам повка простых детален может производиться в холод ном состоянии, более сложная штамповка требует подогрева до 400°С (обогреваемые штампы). Отжиг для снятия наклепа производится при 525°С, е выдерж кой до б мин, лучше в вакууме. То же самое относится
и к обработке ВТ5. |
Сплав ВТЗ при температурах 450— |
|||
500°С склонен к охрупчиванию. |
при 20°С температур |
|||
Сплавы ВТЗ, ВТЗ-1 имеют |
||||
ный |
коэффициент |
линейного |
расширения |
8,5Х |
Х10“ 6 мм/(мм - °С), |
а сплав ВТ5—8 Х Ю_6. Предел проч |
|||
ности |
этого сплава |
при растяжении, составляет |
80— |
95 кгс/мм2 при относительном удлинении 9—20% • Сплавы ВТЗ и ВТЗ-1, а также сплавы марок Т-3, Т-4, Т-6 , Т-8 (не подверженные охрупчиванию при темпера турах 400—500°С) имеют предел прочности до 115 кгс/мм2 при относительном удлинении 13—15%•
43
Глава третья
НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
3-1. СТЕКЛО
Для изготовления различного вида остеклован ных вводов, изолированных стеклом от металлической массы аппарата, но вакуумноплотных во всех своих частях и спаях, для малых сосудов Дыоара, вакуумметрических приборов, смотровых окон, а иногда и для целых вакуумных систем (например, иа лабораторных откачных постах) широко применяется стекло.
Для этих целен в большинстве случаев (применяются те же сорта стекол, что п в производстве электрова куумных приборов, в виде дротового стекла, т. е. штабиков (палочек), трубок, цилиндров и капилляров, служа щих полуфабрикатом для ручного или машинного изго товления различных детален аппаратуры.
По системе обозначения сортов стекла после бук вы С следуют цифры, характеризующие величину тем пературного коэффициента линейного расширения дан ного сорта стекла, а затем 'через дефис порядковый номер разработки этого сорта.
Стекло—аморфный материал, не имеющий кристал
лического строения. |
Это определяет |
его |
прозрачность |
||
и весьма малое газовыделение в вакууме |
(при комнат |
||||
ной температуре). |
|
|
|
||
Стекло хрупко. Относительное удлинение стекла при |
|||||
растяжении |
для большинства его сортов |
практически |
|||
равно |
нулю. |
При |
повышенных температурах (выше |
||
350 °С) |
стекло постепенно приобретает |
вязкость и в ин |
тервале температур 450—700°С постепенно размягчает
ся, |
становится весьма тягучим, может вытягиваться |
|
в |
волокно (стеклоткань, |
стеклянная вата), образовы |
вать тонкостенные сосуды, |
трубки, пузыри, листы. |
По химическому составу стекло в подавляющем большинстве случаев является сплавом целого ряда окислов. В состав технического стекла обычно входят, помимо кремнезема ЭКД, являющегося основной состав ной частью, еще и окислы калия, натрия, бора, ба рия, алюминия, свинца, цинка, магния, кальция в са мых разнообразных пропорциях (от нуля до 30%) и со четаниях.
44
Таблица 3-1
Химический состав некоторых сортов технического стекла, массовая концентрация, %
Сорта стекла |
S Юа |
ВаОз |
А1,03 СаО |
MgO |
BaO |
РЬО |
ZnO Na30 |
као |
||
С-37-1 |
57,6 |
16,5 |
25,0 |
7,4 |
8,0 |
|
6,0 |
— |
3,0 |
2,0 |
С-39-1 |
73,0 |
— |
— |
— |
— |
1,5 |
||||
С-40-1 |
74,9 |
18,0 |
1,0 |
0,3 |
— |
— |
— |
— |
4,2 |
1,7 |
С-47-1 |
68,5 |
17,2 |
2,5 |
— |
— |
— |
— |
5,0 |
6.8 |
— |
С-49-1 |
67,5 |
20,3 |
3,5 |
— |
— |
— |
— |
— |
8,7 |
— |
С-49-2 |
66,9 |
20,3 |
3,5 |
— |
— |
— |
— |
— |
3,9 |
5,4 |
С-87-1 |
55,3 |
— |
1,7 |
— |
— |
— |
30,0 |
— |
3,8 |
9,2 |
С-89-5 |
72,5 |
— |
1,5 |
5,5 |
3,5 |
— |
— |
— |
15,0 |
2,0 |
С-90-1 |
69,5 |
— |
— |
5,5 |
3,5 |
5,0 |
— |
— |
12,5 |
4,0 |
Кварцевое проз 98,8 |
— |
0,1 |
0,1 |
— |
|
— |
— |
— |
|
|
рачное |
|
|
|
|
1 |
|
|
|
“ |
|
В табл. 3-1 .приведен химический состав наиболее |
||||||||||
часто 'Применяемых |
в вакуумной |
технологии |
сортов |
|||||||
стекла. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В прямой зависимости от химического состава стек ла стоит важнейшеее его свойство—температурный ко эффициент линейного расширения. Это свойство опре деляет возможность получения надежных спаев стекла с различными металлами, что иногда служит источни ком названия сорта стекла. Например, молибденовыми называются сорта стекла, способные давать хорошие спаи с молибденом.
Технические сорта стекла делятся на две основные группы: тугоплавкие и легкоплавкие. Названия этих групп отнюдь не определяют относительной легкоплав кости готового стекла. Они произошли от относительной плавкости шихты, из которой варится стекло. Готовое же стекло входит в ту или другую группу в зависимо сти от величины температурного коэффициента линей ного расширения. К тугоплавким стеклам относятся
сорта с коэффициентом линейного |
расширения |
ниже |
5,5-10—6 мм/(ммХ°С). Эта группа |
'называется |
иногда |
еще твердым стеклом. К группе легкоплавких относятся сорта с температурным коэффициентом линейного рас ширения от 5,5• 10~8 до 11-10—6 мм/(мм-°С).
Наиболее тугоплавким (и по названию и по дейст вительным свойствам) является кварцевое стекло, состо ящее почти целиком из чистого кремнезема. Оно резко отличается от других сортов по температуре размягче-
45
ния, термостойкости, .пределу прочности, твердости и об ладает высокой прозрачностью для ультрафиолетовых лучей. Как видно из табл. 3-2, стекло выдерживает го раздо большие напряжения на сжатие, нежели на рас тяжение. Это происходит потому, что поверхность стек ла, несмотря на видимую гладкость, покрыта обычно сетью микротрещпн являющимися зачатками разру шения при растяжении материала.
Таблица 3-2
Основные физические свойства технического стекла разных сортов
.Сорт стекла
а <ии
•S* ао S
^О сч
3 s. 5,
те F —■ а. *■ О1.-5! S i v *>- о к и = г Htfs
|
|
|
|
|
К |
Временное |
|
|
|
О |
|
|
|
|
н |
||
сопротивление, |
|
|
|
о |
|
|
|
и |
о |
||
кгс}ммЛ |
|
|
с |
||
Тснлопро- |
Темпера |
|
те |
||
|
|
А |
те |
||
|
|
ВОДНОСТЬЛ |
тура раз |
id |
|
|
|
f— |
о |
||
г , |
|
кал}(смУ. |
мягчения. |
О |
и |
|
УсаС'°С) |
°с |
|
Е |
|
о |
2 |
|
|
! |
Е- |
те |
|
|
td |
||
те |
|
|
о |
01 |
|
й! |
|
|
ё. |
g те |
|
£ |
|
|
4) |
д |
|
с.5 |
о |
|
|
н |
Темпера
турные
пределы
отжига, °С
1 |
|
Нижний предел 1 Верхний |
предел |
С-37-1 |
36—39 |
8,4 |
110,6 |
0,003 |
796—816 |
185 |
4,2— |
570 |
760 |
С-39-1 |
38—41 |
7,8 |
630—650 |
230 |
405 |
550 |
|||
С-40-1 |
40 |
7,0 |
109 |
|
620 |
240 |
—4,7 |
410 |
530 |
— |
— |
||||||||
С-47-1 |
46—48 |
9,05 |
109 |
0,0021 |
580—600 |
200 |
— |
410 |
565 |
С-49-1 |
48—50 3 -5 |
— |
— |
570—590 |
180 |
— |
400 |
550 |
|
С-49-2 |
48—50 3 -5 |
85 |
0,0019 |
5G5—585 |
180 |
5,35 |
400 |
540 |
|
С-87-1 |
86—90 4—6 |
85 |
0,0016 |
480—500 |
100 |
6,5 |
350 |
460 |
|
С-89-5 |
87—91 |
— |
— |
— |
530 |
— |
___ |
___ |
___ _ |
С-90-1 |
88—92 |
— |
— |
— |
540—560 |
ПО |
___ |
390 |
515 |
Квар |
5,5— |
7—12 |
— |
0,0033— |
1500 |
|
3 ,5 - |
|
|
цевое |
160 |
|
|
|
|||||
—6,1 |
|
— 200 |
—0,0064 |
|
|
—3,7 |
|
|
|
проз |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
рачное
Обычные сорта технического стекла не отличаются особой тугоплавкостью и термостойкостью (способ ностью выдерживать без растрескивания быстрое ох лаждение после высокого нагрева), но кварцевое стек ло вполне пригодно для изготовления термостойких вакуумных деталей, высококачественных изоляторов, смотровых стекол системы, нагреваемой в процессе эксплуатации.
Кварцевое стекло обладает самым низким темпера турным коэффициентом линейного расширения [0,55X
ХЮ~6 мм/(мм -°С) при 20 .°С и 1,1x10-6 мм/(мм-°С)
46
при 1 2 0 0 °С], чем определяется его особая термостой кость, а следовательно, возможность изготовления из него жаропрочных деталей вплоть до рабочих камер индукционных .печей.
Промышленность выпускает стержни и трубы из прозрачного кварцевого стекла (ВТУ № 53 и 59) длиной до 1 м и диаметром до 20 мм. Из непрозрачного квар
цевого стекла выпускаются трубы |
диаметром до |
500 |
|||
(ВТУ № 54), длиной 1 500 мм. |
|
|
|
||
В то время как обычные сорта технического стекла |
|||||
сравнительно |
легко |
спаиваются |
со |
многими металлами |
|
и сплавами, |
пайка |
кварцевого |
стекла с металлами |
за |
труднена ввиду указанных его особых тепловых свойств.
3-2. КЕРАМИКА
Ни один из сортов стекла в настоящее время не мо жет удовлетворить всем требованиям техники, предъ являемым ею к электроизоляционным материалам. По этому за последние годы в вакуумной технике все бо лее широко используется керамика. Хотя керамика яв ляется не менее, а может быть и более древним мате риалом, чем стекло, высококачественная техническая керамика и особенно вакуумно-плотная, газонепроницае мая керамика появились сравнительно недавно.
В высоковакуумной системе керамика применяется для изготовления электроизолирующих и жаропрочных деталей, тиглей и деталей подсобного характера (соп ла горелок, .подставки, облицовка печей и т. п.).
В отличие от стекла, все технические сорта которого являются вакуумно-плотным материалом, керамика да леко не всегда газонепроницаема и только некоторые ее виды отвечают требованиям техники высокого ва куума. Существует много сортов керамики, применяемой в вакуумной технике. Они могут быть объединены в че тыре основные группы, которые кратко рассмотрим.
Стеатит — керамика, имеющая в основе своего соста ва тальк (до 84%) с добавками в разных .пропорциях окиси магния (до 2 0 %), углекислого бария (до 1 1 %), различных сортов высококачественной глины (до 16%) и некоторых других материалов. Благодаря мягкости талька и его способности к весьма мелкому помолу стеатитовые керамики обладают малой усадкой при об жиге, что важно для получения изделий с точными раз мерами и хорошей 'шлифуемостыо. Эта керамика до-
47