Файл: Балицкий А.В. Технология изготовления вакуумной аппаратуры.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 583

Скачиваний: 2

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

а + р-сплавы,

к воздействию атмосферных газов вплоть

до температуры 1 090°С, однако менее пластичны.

Сплавы

со сложной структурой при температу­

рах порядка 430 °С становятся непрочными и очень чув­ ствительными к атмосферным газам при высоком нагреве.

Для титана и его сплавов весьма вредной примесью является водород, сильно повышающий чувствитель­ ность к надрезу, даже ,в количествах порядка сотых до­ лей процента.

Путем отжига в высоком вакууме можно снизить содержание водорода в титане, например, с 0,015 до 0,005%, что сильно повышает его вязкость .при том же пределе прочности.

Отжиг должен проводиться при давлении 5 ■10-5— 5-10-0 мм рт. ст. для разных сплавов по разным' ре­

жимам: титан ВТ1Д—отжиг

при

800 °С, 2 ч; сплав

ВТ2 — отжиг при 700 °С, 12 ч;

сплав

ВТЗ — отжиг при

700°С, 2 ч.

 

 

Разработка титановых сплавов продолжается весьма интенсивно, что обеспечивает постоянное появление сплавов с новыми свойствами. Поэтому при определе­ нии назначения марки сплава конструкторам необхо­ димо обращаться к литературным источникам.

Технический титан ВТ1 (листы, прутки, проволока) хорошо сваривается аргоно-дуговой и контактной свар­ кой. При аргоно-дуговой сварке требуется особо тща­ тельная газовая защита металла со всех сторон. Штам­ повка простых детален может производиться в холод­ ном состоянии, более сложная штамповка требует подогрева до 400°С (обогреваемые штампы). Отжиг для снятия наклепа производится при 525°С, е выдерж­ кой до б мин, лучше в вакууме. То же самое относится

и к обработке ВТ5.

Сплав ВТЗ при температурах 450—

500°С склонен к охрупчиванию.

при 20°С температур­

Сплавы ВТЗ, ВТЗ-1 имеют

ный

коэффициент

линейного

расширения

8,5Х

Х10“ 6 мм/(мм - °С),

а сплав ВТ5—8 Х Ю_6. Предел проч­

ности

этого сплава

при растяжении, составляет

80—

95 кгс/мм2 при относительном удлинении 9—20% • Сплавы ВТЗ и ВТЗ-1, а также сплавы марок Т-3, Т-4, Т-6 , Т-8 (не подверженные охрупчиванию при темпера­ турах 400—500°С) имеют предел прочности до 115 кгс/мм2 при относительном удлинении 13—15%•

43


Глава третья

НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ

3-1. СТЕКЛО

Для изготовления различного вида остеклован­ ных вводов, изолированных стеклом от металлической массы аппарата, но вакуумноплотных во всех своих частях и спаях, для малых сосудов Дыоара, вакуумметрических приборов, смотровых окон, а иногда и для целых вакуумных систем (например, иа лабораторных откачных постах) широко применяется стекло.

Для этих целен в большинстве случаев (применяются те же сорта стекол, что п в производстве электрова­ куумных приборов, в виде дротового стекла, т. е. штабиков (палочек), трубок, цилиндров и капилляров, служа­ щих полуфабрикатом для ручного или машинного изго­ товления различных детален аппаратуры.

По системе обозначения сортов стекла после бук­ вы С следуют цифры, характеризующие величину тем­ пературного коэффициента линейного расширения дан­ ного сорта стекла, а затем 'через дефис порядковый номер разработки этого сорта.

Стекло—аморфный материал, не имеющий кристал­

лического строения.

Это определяет

его

прозрачность

и весьма малое газовыделение в вакууме

(при комнат­

ной температуре).

 

 

 

Стекло хрупко. Относительное удлинение стекла при

растяжении

для большинства его сортов

практически

равно

нулю.

При

повышенных температурах (выше

350 °С)

стекло постепенно приобретает

вязкость и в ин­

тервале температур 450—700°С постепенно размягчает­

ся,

становится весьма тягучим, может вытягиваться

в

волокно (стеклоткань,

стеклянная вата), образовы­

вать тонкостенные сосуды,

трубки, пузыри, листы.

По химическому составу стекло в подавляющем большинстве случаев является сплавом целого ряда окислов. В состав технического стекла обычно входят, помимо кремнезема ЭКД, являющегося основной состав­ ной частью, еще и окислы калия, натрия, бора, ба­ рия, алюминия, свинца, цинка, магния, кальция в са­ мых разнообразных пропорциях (от нуля до 30%) и со­ четаниях.

44


Таблица 3-1

Химический состав некоторых сортов технического стекла, массовая концентрация, %

Сорта стекла

S Юа

ВаОз

А1,03 СаО

MgO

BaO

РЬО

ZnO Na30

као

С-37-1

57,6

16,5

25,0

7,4

8,0

 

6,0

3,0

2,0

С-39-1

73,0

1,5

С-40-1

74,9

18,0

1,0

0,3

4,2

1,7

С-47-1

68,5

17,2

2,5

5,0

6.8

С-49-1

67,5

20,3

3,5

8,7

С-49-2

66,9

20,3

3,5

3,9

5,4

С-87-1

55,3

1,7

30,0

3,8

9,2

С-89-5

72,5

1,5

5,5

3,5

15,0

2,0

С-90-1

69,5

5,5

3,5

5,0

12,5

4,0

Кварцевое проз­ 98,8

0,1

0,1

 

 

рачное

 

 

 

 

1

 

 

 

В табл. 3-1 .приведен химический состав наиболее

часто 'Применяемых

в вакуумной

технологии

сортов

стекла.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В прямой зависимости от химического состава стек­ ла стоит важнейшеее его свойство—температурный ко­ эффициент линейного расширения. Это свойство опре­ деляет возможность получения надежных спаев стекла с различными металлами, что иногда служит источни­ ком названия сорта стекла. Например, молибденовыми называются сорта стекла, способные давать хорошие спаи с молибденом.

Технические сорта стекла делятся на две основные группы: тугоплавкие и легкоплавкие. Названия этих групп отнюдь не определяют относительной легкоплав­ кости готового стекла. Они произошли от относительной плавкости шихты, из которой варится стекло. Готовое же стекло входит в ту или другую группу в зависимо­ сти от величины температурного коэффициента линей­ ного расширения. К тугоплавким стеклам относятся

сорта с коэффициентом линейного

расширения

ниже

5,5-10—6 мм/(ммХ°С). Эта группа

'называется

иногда

еще твердым стеклом. К группе легкоплавких относятся сорта с температурным коэффициентом линейного рас­ ширения от 5,5• 10~8 до 11-10—6 мм/(мм-°С).

Наиболее тугоплавким (и по названию и по дейст­ вительным свойствам) является кварцевое стекло, состо­ ящее почти целиком из чистого кремнезема. Оно резко отличается от других сортов по температуре размягче-

45


ния, термостойкости, .пределу прочности, твердости и об­ ладает высокой прозрачностью для ультрафиолетовых лучей. Как видно из табл. 3-2, стекло выдерживает го­ раздо большие напряжения на сжатие, нежели на рас­ тяжение. Это происходит потому, что поверхность стек­ ла, несмотря на видимую гладкость, покрыта обычно сетью микротрещпн являющимися зачатками разру­ шения при растяжении материала.

Таблица 3-2

Основные физические свойства технического стекла разных сортов

.Сорт стекла

а <ии

•S* ао S

^О сч

3 s. 5,

те F —■ а. *■ О1.-5! S i v *>- о к и = г Htfs

 

 

 

 

 

К

Временное

 

 

 

О

 

 

 

н

сопротивление,

 

 

 

о

 

 

и

о

кгс}ммЛ

 

 

с

Тснлопро-

Темпера­

 

те

 

 

А

те

 

 

ВОДНОСТЬЛ

тура раз­

id

 

 

f—

о

г ,

 

кал}(смУ.

мягчения.

О

и

 

УсаС'°С)

°с

 

Е

о

2

 

 

!

Е-

те

 

 

td

те

 

 

о

01

й!

 

 

ё.

g те

£

 

 

4)

д

с.5

о

 

 

н

Темпера­

турные

пределы

отжига, °С

1

 

Нижний предел 1 Верхний

предел

С-37-1

36—39

8,4

110,6

0,003

796—816

185

4,2—

570

760

С-39-1

38—41

7,8

630—650

230

405

550

С-40-1

40

7,0

109

 

620

240

—4,7

410

530

С-47-1

46—48

9,05

109

0,0021

580—600

200

410

565

С-49-1

48—50 3 -5

570—590

180

400

550

С-49-2

48—50 3 -5

85

0,0019

5G5—585

180

5,35

400

540

С-87-1

86—90 4—6

85

0,0016

480—500

100

6,5

350

460

С-89-5

87—91

530

___

___

___ _

С-90-1

88—92

540—560

ПО

___

390

515

Квар­

5,5—

7—12

0,0033—

1500

 

3 ,5 -

 

 

цевое

160

 

 

 

—6,1

 

200

—0,0064

 

 

—3,7

 

 

проз­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

рачное

Обычные сорта технического стекла не отличаются особой тугоплавкостью и термостойкостью (способ­ ностью выдерживать без растрескивания быстрое ох­ лаждение после высокого нагрева), но кварцевое стек­ ло вполне пригодно для изготовления термостойких вакуумных деталей, высококачественных изоляторов, смотровых стекол системы, нагреваемой в процессе эксплуатации.

Кварцевое стекло обладает самым низким темпера­ турным коэффициентом линейного расширения [0,55X

ХЮ~6 мм/(мм -°С) при 20 .°С и 1,1x10-6 мм/(мм-°С)

46


при 1 2 0 0 °С], чем определяется его особая термостой­ кость, а следовательно, возможность изготовления из него жаропрочных деталей вплоть до рабочих камер индукционных .печей.

Промышленность выпускает стержни и трубы из прозрачного кварцевого стекла (ВТУ № 53 и 59) длиной до 1 м и диаметром до 20 мм. Из непрозрачного квар­

цевого стекла выпускаются трубы

диаметром до

500

(ВТУ № 54), длиной 1 500 мм.

 

 

 

В то время как обычные сорта технического стекла

сравнительно

легко

спаиваются

со

многими металлами

и сплавами,

пайка

кварцевого

стекла с металлами

за­

труднена ввиду указанных его особых тепловых свойств.

3-2. КЕРАМИКА

Ни один из сортов стекла в настоящее время не мо­ жет удовлетворить всем требованиям техники, предъ­ являемым ею к электроизоляционным материалам. По­ этому за последние годы в вакуумной технике все бо­ лее широко используется керамика. Хотя керамика яв­ ляется не менее, а может быть и более древним мате­ риалом, чем стекло, высококачественная техническая керамика и особенно вакуумно-плотная, газонепроницае­ мая керамика появились сравнительно недавно.

В высоковакуумной системе керамика применяется для изготовления электроизолирующих и жаропрочных деталей, тиглей и деталей подсобного характера (соп­ ла горелок, .подставки, облицовка печей и т. п.).

В отличие от стекла, все технические сорта которого являются вакуумно-плотным материалом, керамика да­ леко не всегда газонепроницаема и только некоторые ее виды отвечают требованиям техники высокого ва­ куума. Существует много сортов керамики, применяемой в вакуумной технике. Они могут быть объединены в че­ тыре основные группы, которые кратко рассмотрим.

Стеатит — керамика, имеющая в основе своего соста­ ва тальк (до 84%) с добавками в разных .пропорциях окиси магния (до 2 0 %), углекислого бария (до 1 1 %), различных сортов высококачественной глины (до 16%) и некоторых других материалов. Благодаря мягкости талька и его способности к весьма мелкому помолу стеатитовые керамики обладают малой усадкой при об­ жиге, что важно для получения изделий с точными раз­ мерами и хорошей 'шлифуемостыо. Эта керамика до-

47