Файл: Дорфман В.Ф. Газофазная микрометаллургия полупроводников [Текст] 1974. - 190 с.pdf

Скачать файл
Заказать решение

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 07.07.2024

Просмотров: 140

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

259.

M i zu по О.,

K i k u

chi

S., S e hi Y. — «Japan J. Appl. Phys»

260.

1971, V. 10, p. 208.

B e l l

R. O., M e n n a A. A. — «J. Electrochem.

W e i n s t e i n

M„

 

Soc.», 1962, V.

III,

p.

674.

 

261.

R i b e n A. R., F o u c h t

D.

L., O l d h a m

W.

G. — «J.

Eleclro-

262.

chem. Soc.», 1966, v. 113, p. 245

 

 

L. — «IBM

Jp.. Res.

R i d e о u t V. L.,

В 1а к e s 1e e А. E., E s a k i

263.

and Dev.», 1970, v. 14, p. 61.

 

Rev.»,

1963,

v.

12,

 

523.

C a v e E. F„

C r o r n y

B. R. — «RCA

 

264.

T a k a b a y a s h i

M.,

N a k a g a w a

J.,

K a l s u m u r e

FI.—

265.

«Toshiba Rev.», 1964, v. 12, p. 1279.

 

 

1965,

v.

112, p.

746.

M i c h e l it s c h

M. ■— «J. Electrochem. Soc.»,

266.

S h a w D. W. — «J. Electrochem. Soc.»,

1966,

v.

113,

p. 904.

 

267.

Д о р ф м а и

В.

Ф., То

п о р о в с « нм

С.

А.,

X о л м я н с к и іі

268.

В. И. — «Кристаллография»,

1972, т. 17, с. 390.

 

Soc.»,

1968,

D r u m С. М.,

C l a r k

С.

А. — «J. Electrochem.

V. 115, р. 664.

269.D u m і n D. J. — «J. Crystal Growth», 1971, v. 8, p. 33.

270.

«Electronics»,

1969,

v. 42,

№

6, p.

67.

[«Электроника,

1969,

271.

T. 42, № 6, c. 67].

 

G. E. — «The Bell

System

Teehnol. J.»,

B o y l e

W.

S.,

S m i t h

272.

1970, V. 49, p. 587.

 

 

io

G. F.,

S m i t h

G.

E. — «J. Appl.

T o m p s e t t

 

M.

F., A m e i

273.

Phys. Letters», 1970, v. 17, p. 111.

 

 

 

12, p.

1

 

H a l s o r

J.

L. — «Solid

State

Teehnol.», 1969, v.

 

274.

I p r i A.

C. — «Solid

State Teehnol.»,

1970, v.

13, p. 37.

 

1966,

275.

R a n d

J.

M.,

A s h w o r t h

J.

L. — «J. Electrochem. Soc.»,

276.

V. 113,

p.

48.

 

S.,

W a d а

K-,

T a n i g u c h i

1. — «Japan

J.

Appl.

J а m az а k i

 

277.

Phys.», 1970, V. 12, p. 1467.

 

R. R.,

C a

m a c h e

R.

R. — «J.

IC а s e у

J.

J.,

V e r d e r b e r

278.

Electrochem. Soc.», 1967, v. 114, p. 201.

Appl.

Phys.»,

1968,

H a s e g a w a

F.,

S a i t o

T. — «Japan J.

279.

V. 7, p.

1342.

К i k u c h i S.,

M a r u y a m a

M. — «Japan

J. Appl.

M i z u n о О.,

280.

Phys.» ,1970, V. 9, p. 1544.

 

 

Electrochem.

Soc.»,

1969,

R i c h m a n

D.,

A r l et t

K- A. — «J.

281.

V. 116,

p.

872.

.

S h i e b e r

M. — «J.

Electrochem.

 

Soc.»,

1970,

A v i g a l

Y.,

 

V.117, p. 1585.

282.«Electronics», 1970, v. 43, № 12, p. 88.

283.

B i c k n e l l R.

W. — «Phil.

Mag.», 1966,

v.

14, p.

31.

v. 236,

284.

B l a n k

J. M.,

R u s s s e l

V. A. — «Trans. AIME»,

1966,

285.

p. 291.

D. J. — «Solid

State Electronics»,

1970,

v. 13,

p.

415.

D u m i n

286.

D u m i n

D. J. — «J. Electrochem. Soc.»,

1971, v. 118, p. 95.

 

287.

G u t t i e r r e z

A.,

P o m m e r i n g

FI.

D.,

J a s p e r

M. A.,

 

M a n

t z o u r a m i s

A.

P. — «Solid

State

Electronics»,

1970.

 

V. 13,

p.

1200.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

288.«Electronics», 1971, v. 44, p. 432.

289.M u r p h y B. L. — «Proc. IEEE», 1969, v. 57, p. 1523.

290.

M u r p h y

B. L. — «IEEE J. Solid

Slate Circuits»,

1970,

291.

V. SC— 5,

p.

1.

1971, v. 44, JTs 15,

p. 76.

De F a l c o

J. A. — «Electronics»,

 

[«Электроника», 1971, т. 44, № 15].

 

 

188

292.

П р е с с Ф. П.

Фотолитография в производстве полупроводни­

293.

ковых приборов. М., «Энергия», 1968. 199 с. с ил.

 

 

Г э ф ф н

Д. — В

кп.: Тонкопленочная микроэлектроника. Пер.

294.

■с анг. М.,

«Мир»,

1968, с.

330.

полупроводников.

Пер.

с

П а н к о в

Дж. — В «н.:

Травление

295.

англ. М., «Мир», 1965, с. 62.

 

 

 

«Electronics»,

1970, ѵ. 43, № 13, ,р. 86.

1971, v. ED—48,

№

1,

■ 296.

C o b a i y a s h i

J. — «IEEE Trans.»,

p. 45.

297.«Дэнси дзаіірё», 1968, № 11, с. 67.

298.«Electron. Packag. and Prod.», 1970, v. 10, № 5, p. 39.

299. Д а м м ер Г.,

Г р э н в и л л Дж.

Миниатюризация и

микро­

миниатюризация

радиоэлектронной

аппаратуры. Пер.

с англ.

М., «Мир», 1965, 389 с. с ил.

300.S i d d а 11 G. — «Vacuum», 1959, v. 9, p. 274,

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие......................................................................

3

Введение .............................................................................................................................

5

Г л а в а I. Ф,изи'Ко-химнческие принципы газофазной

микро-

металлургии полупроводников ............................................

15

Процессы и методы Г М П ...................................................

15

 

Физико-химические условия в процессах ГМП

. .

31

 

Основные кинетические ф актор ы ......................................

 

 

 

фи­

53

 

Кристаллизация

из газовой фазы как метод

71

Г л а в а

зико-химического

исследования.......................................

и

структура

II. Механизм

роста из газовой

фазы

79

 

эпитаксиальных с л о е в ...............................................................

 

 

 

 

 

 

 

Основные особенности кристаллизации в системах

79

 

газ—т в е р д о е

......................................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

Механизм элементарных процессов роста кристал­

83

 

лов из газовой

ф а з ы ...............................................................

 

 

 

 

 

 

 

Образование центров кристаллизации и упорядо­

94

 

чение при

росте

из газовой

ф а з ы .................................

 

 

 

 

 

Лимитирующая стадия процессов газофазной мик­

103

 

рометаллургии

 

.................................................................................

 

явления

при гете-

 

Граничные

физико-химические

 

 

роэпитаксиальном р о с т е .........................................

 

 

 

слоев

109

 

 

Специфические

формы несовершенства

и

116

Г л а в а

кристаллов, получаемых из газовой фазы

. .

.

III. Пути интенсификации процессов газофазной мик­

128

 

рометаллургии

...............................................................................

 

 

 

 

 

 

 

О пределах скорости роста кристаллов в процес­

 

 

сах Г М П

...............................................................................

 

 

 

 

 

 

 

128

 

 

Аномальные режимы кристаллизации или газовой

135

 

фазы .........................................................................................................

внешнего электрического

поля и

излу­

 

Влияние

140

 

чения .......................................................................................................

 

 

 

 

ф а з о й

 

 

150

Г л а в а

Локальная активация жидкой

 

 

 

IV. Газофазная микрометаллургия как

метод

техно­

 

 

логии твердого

т е л а ................................................

 

твердых

 

 

153

153

 

Легирование

и выращивание

растворов

 

Селективное эпитаксиальное

наращивание

. .

.

158

 

Эпитаксиальные

структуры

в

технологии

интег­

 

 

ральных с х е м ....................................................................

 

 

 

 

 

 

165

 

Принцип селективности

при формировании

твер­

дотельных и пленочных

структур ................................

170

Список литературы

 

179

Бениамин Фриделевич ДОРФМАН

ГАЗОФАЗНАЯ МИКРОМЕТАЛЛУРГИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Редактор В. Е. Квин Художественный редактор Д . В. Орлов

Технический редактор Н. В. Сидорова Корректоры Н. И. Шефтсль, В. П. Крылова Обложка художника П. Г. Сухомлинова

Сдано

в набор ІІ6/ѴІІІ і1973 г. Подписано в

печать

25/ІІ 1974 г.

Г-05609

Формат бумаги 84ХЮ8'/з2. Бумага

типографская

№

2.

Тираж

Уел.

печ.

л. 10,08 Уч.-изд. і10,57

л.

 

06 к.

2100 экз.

Заказ

496

Изд. № 2245

Цена 4 р.

Издательство

«Металлургия», <1:19034,

Москва,

Г-34,

 

 

 

 

2-й Обыденский пер., |14

 

 

 

 

 

 

Подольская типография Союзполиграфпрома

 

 

при Государственном комитете Совета Министров СССР

 

по

делам издательств, полиграфии н книжной

торговли

 

 

г. Подольск,

ул. Кирова,

25

 

 

 

 

В местных

книжных

 

магазинах

 

можно приобрести книги

издательства

М ет аллургия“

Г о р е л и к С. С.,

Д а ш е в е к и й

М. Я. Материаловедение полу­

проводников и

металловедение.

Учебное пособие для студентов

вузов. 1973. 495 с. >1 р. 39 к.

 

Основые получения

З ы р я н о в М. Н., Ы а д о л ь с к и й А. П.

рассеянных элементов. Учебное

.пособие

для студентов вузов.

1968. 240 с. 57 к.

 

 

 

Обработка цветных металлов и сплавов давлением. Изд. 3-е, лере-

раб. и доп.

Учебник для учащихся техникумов. 1973. 471

с.

1 р.

19 к.

Авт.:

Б о г о я в л е н с к и й

К. Н.,

Ж о л о б о в

В.

В.,

Л а н д и X о в А.

Д.,

П о с т н и к о в Н.

ГІ.

Справочник.

 

1969.

Особо

тугоплавкие

 

элементы и

соединения.

 

374

с.

2 р.

33 к.

Авт.:

К о т е л ь н и к о в

Р.

Б., Б а ш л ы ­

к о в

 

С.

Н., Г а ли а к б а. ров

3.

Г., К а ш т а н о в

А.

И.

Цветные металлы.

Свойства. Сортамент. Применение.

Справочник.

51 к.

 

 

 

 

 

 

 

1973. 207 с.

1 р.

 

 

 

металлов

в

ультразвуковом

А б р а м ов

О.

В.

 

Кристаллизация

поле. 1972. 260 с.

1 р. 84 к.

 

 

 

сплавов

типа

«Силу­

Б о о м

Е.

А.

Природа

модифицирования

мин».

1972. 70 с.

35 к.

 

 

 

 

 

1970.

104 с.

27 к.

 

Б о г а тин Д .

Е.

Порошки цветных металлов.

 

Г л а д ы ш е в с к н й

Е.

И.

Кристаллохимия силицидов и германи-

дов.

1971. 296 с.

2 р. 07 к.

Ванадий,

ниобий,

тантал.

Металлургия

К н ф ф е р

Р.,

Б р а у н

X.

чистых металлов и их сплавов.

Пер. с нем.

1968.

311

с.

1 р. 64 к.

Ку д р я в ц е в А. А. Химия и технология селена и теллура. Изд. 2-е,

перераб. и доп. 1968. 338 с. 1 р. 59 к.

Ма л ь ц е в М. В. Металлография тугоплавких, редких, и радиоак­ тивных металлов. 1971. 364 с. 3 р. 20 к.

Основы металлургии, т. IV. Редкие металлы. 1967. 651 с. 3 р. 54 к.

Ро д е с Р. Г. Несовершенства и активные центры в полупровод­ никах. ,1968. 371 с. 1 р. 52 к.

С а м с о н о в Г. В., П е р мин о в В. П . Магниетермия. 1971. 176 с. 1 р. 27 к.

Перечисленные книги можно приобрести в специализиро­ ванном магазине г. Ленинграда, по адресу:

Ленинград, Л-188, ул. В Алексеева, д. 13/22, магазин М 82 «Книги по металлургии»

Смотрите также файлы