Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

-50 -

Внекоторых установке:: электронного нргрсва применяют" сг простые нагреватели,состоящие из катода и китсдного saeicrpojiJ, в котсрых роль анода выполняет нагреваемая четаль. Такие системы иногда навивают безгнидиыаи пушкамиили бозансдными кольцевыми нагрьвмеляю . формирование

полнятся, как правило, в виде Кольцовых конструкций, нримекчечых для гепаренрч и зонной переплавки мртепиалов. Кольцеьые б^аазодные системы поэголяы получать сходящиеся лотогя электронов, выз^еюш"е нагрев сравнительно узкой зоик, намеряемой ьесисышми миллиметрами. Недостатком бегагэдних чвг, эвателой является о'олхзая вероятность возыкно - веявг разряда лежду нагреваемым объектом -л катодопри уве^ u.!4fibj" дав: ЭНЕЧ за счет выделения газов при нагреве. Позтоуу безанедные си^теды на иссэл^зуиг л при создании на­ гревателей большой мощности, применяемых в правильных уотааовкзз"

б нагревателях большой мощности приценяется ьлегтроннооптвчвокая система, известная как дву^электродыя пушка, Яьлзче-мцая пряиодакальный или подогревной катод, катодный электрод •1 ьло'А с отверстием для пыхода электронов.Нагре­ ваемый объект обычно исходится .под потенциалом анода. По такой с"еие создаются радиальные нагреватели, располагае­ мы., вокруг нагреваемого объект^ и аксиалт 3 к^е пушки пла-

вия пространственного заряда пучка и раооеяния эдовтронов

аа атомах испарявшегося металле. Благодаря слабой завися^ иоотн фокусирую-уах свойств дву.электродных пушек от анод­ ного напряжения открывается возможность эапитыват^ »..: пе­ ременным напряжением. В эюм случае пушка бу^ет генериро­ вать пучок электронов только в течение полупериода, пока на катод подается отрицательная полуволна напряжения. Та­

обработанных л режиме непрерывной бомбардировки при пита­ нии пушек постоянным напряжением.

При необходимости облучать большие поверхности приме­ няют ывоголучевыи пушки. Анод такой пушки пичег большое число отверстий, ;:ротив ноторгх размещаются автономные катоды, т а к , что из каждого анодного отверстия выходит отдельный электронный луч. Простота конструкции и некритичкость оптических свойств к па эметрам источников пита­ ющего напряжения способствуют широкому их применению.

няются системы, состоящие из пушки i: одной линзы, выпол­ няющей роль проекционной линзы. С помочьлинзы кроссовер пушки в уменьшенном виде проектируется на обрабатываемую деталь. Минимальный диаметр луча, который можно получить с помощью та'сих схем, определяется главным образом абер­ рациями и астигаатизмами лине и обычно составляет десятки микрон. Когда требуется иметь большое расстояние от линзы до обрабатываемой детали и получать луч с малым сучением, применяют электронно-оптические cxei м со стигматорами и с двумя линзами. В некоторых схеыая вторая линза переносит изображение кроссовера, уменьшенное первой линзой, на об­

рабатываемую деталь, расположенную сравнительно далеко ок.'. линзы, Сез изменения его размеров. В таких системах имеет­

52 -

изготовления микросхем, о помощью двух алектроотатвчеокпх лине доотнгаеаон уменьшение катода в 500 раа и в 35? pas при рабочих расстояниях соответственно 3 и 5 си . В ког }«i рукцяях таких ыоаных сиотем предусыатри: а-ися ыеханичес-t кая юстировка углов систечы и электрическая юстировкр лу-i

возможность в небольших пределах изменять положение като­ да ог'осителъно а н о д а . Устройства для вотировки позволяю? установить влекхронни-оптическую оо. так, чтобы при азмег

Рис.3-1-2. Электронно-оптиче­

размерной обосботки: 1-катод- кий узел; 2-анод; 3,8-линзы; ^стигматор; 5-винт механиче­

ся для ионной обработки больших поверхностей. Для получе­ ния ионных пучков с-4еняем несколько са^ и менее исполь­ зуются простые ионно-оптичеокие системы, состоящие либо аз одного ионного источника, либо из источника и одной фо­

кусирующей линзы. Монно-оптические системы, в оостав кото­ рых кроме указанных элементов входят устройства для уско­

технического назначения преимущественно применяются источ­ ники плазменного типа, называемые часто газоразрядными ис - точнрчаыи. Плазменные источники «ыеют более широкие р^з - моанооти в получении поног различных веществ, имеют более выссюш г*1фектнвность, чем источники с электронной бомбар­

корительных колонн, которые иногда называют ионными пушка­

- 55 -

что в процессе уокоренвя происходят прсдваритвяы.ое форми­ рование ионов в направленный поток. Центрирование электро­

ленной конфигурации, обеспечивающих необходимые для ускоре- н-я и формирования пучк-т электрические поля.