Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

В oooxseiQSBVH о назначением и требовпнигми к диаметру пучка и его мощности д..я QOG технологического назначения , равраоотано неокод*"о гидов пушек. В любом случае одним из условий начального формирования пучк" является придание правильной геометрии ганинруищей поверхности, участвующе" вмеоте о катодным электродом в формирования необходимой для формирования пучка конфигурации . лектрического поля. Геометрия твердого гииттера может быть выдержана с доста­ точной точностью в процессе изготовления. В Разменных ис­ точника для формирования граница .окоогбора при заданных геометрических paavpax выпускных каналов прибегают в из ­ менению параметров и режимов разряда, с помощью которого поддерживается гчазма.

Как электронная, так и ионная пушка должны обеспечи­ вать максимальное токопрохождение, должны выдерживать под­ вое ускоряющее напряжение без пропоев, фокусировать пото.. частиц в л"Ч необходимого диаметра, обеспечивать требуемую мощность пучка при заданном ускоряющем чалр^яении.

Основными параметрами пушек, являются ускоряющее напря­ жение, ток з пуча», компрессия - отношение плотности тока

пучке. При конструировании пуиек для плавки, сварки и дру­ гих технологических операций, связанных о нагревом пучком большой мощности, стремятся к увеличению первеанса, а при разработках пушек для электронно-эрозионной обработки добиваются высокой плотности мощности в наименьшем оече- нна луча. В настоящее время в технологических установках общего навначения (нагрев, плавка, сварка) широко исполь­ зуются пушки Парса, в мощных плавильных установках - кольг цевые нагреватели и магветронные пушки, а для получения,

пучке ао счет ^го пространственного зепядв.

{Инфигурация прикатэдного фокусирующего электроде и анода опреде. лется путей ко; -лированиг. нп электролитичес­ кой ванне. Аналитический путей получена конфигурация ка­ тодного электрода для пушен, генерирующей параллельный пу­ чок, в форма конуса о у: юм 67,5° к границе пучка. Для по­ лучения сходяпихоя пучков геометрия электродов может быть выбрана по универсальным графикам, приведенным на р и с . 3 - 2 - 2 ,

Схематическое изображение типовой пушки Пирса при­ ведено на рис . 3 - 2 - 1 . Такая система электродов известна как

тродок более простой конфигурации, изготовить которые зна­ чительно проще, чем сферические»

Одна мз таких душек, известная'как цуш-з ТренвлоЕ, и приведена Ва рис . 3 - 2 - 3 . Элемроди путле выполняются в виде цилиндров, размеры которых выбнраютей в соответствия о тре-