ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 74
Скачиваний: 0
нение оправдано, так как при этом трудоемкость изго товления деталей снижается почти вдвое.
Многооперационная обработка. Детали, имеющие более сложную форму, а также прорези, пазы и тому подобные элементы, расположенные по наружному кон туру, изготовляют за несколько операций последова тельной обработкой по элементам контура.
Изготовление деталей по элементам контура позво ляет упростить изготовление ультразвукового инстру мента, что подчас является решающим фактором при ультразвуковой технологии изготовления деталей. Одна ко необходимо помнить, что при пооперационной обра ботке деталей по элементам контура точность их раз меров и геометрической формы примерно вдвое ниже, чем при обработке по всему контуру одним инструмен том за одну операцию. Это является следствием допол нительных погрешностей, возникающих в результате не скольких установок заготовки по отношению к инстру менту и переналадок последнего. Поэтому такую техно логию можно применять при изготовлении деталей с точностью размеров не выше 4-го класса, используя при этом специальную оснастку для правильной ориентации заготовки по отношению к инструменту.
За две операции эффективно производить ультразву ковое вырезание микропьезоэлементов квадратной фор мы из турмалина (рис. 93). Ввиду того что размеры та ких деталей обычно малы и составляют от 2X2 мм до 0,5x0,5 мм (в плане), изготовление цельного инструмен та в этом случае практически невозможно. Поэтому был
применен |
сборный |
(групповой) инструмент, состоящий |
из тонких |
(0,08 мм) |
лезвий, запаянных в одну оправку, |
соединенную с концентратором резьбовой шпилькой. На ультразвуковом станке мод. 4770А таким инструментом за две операции с поворотом стола на 90° и примене нием карбида кремния М28 получают от 12 до 25 заго товок; время обработки — от 5 до 12 мин соответствен но. Применение ультразвуковой технологии в этом слу чае дает большую экономию дорогостоящего сырья по сравнению с разрезкой таких заготовок алмазными дис ками.
Технико-экономические преимущества ультразвуко вого метода раскроя полупроводниковых пластин-загото вок на кристаллы квадратной или прямоугольной формы подтверждаются данными табл. 17, которая составлена
175
Таблица 17
Технико-экономические показатели различных методов раскроя полупроводниковых материалов
|
|
Методы раскроя |
' |
Показатель |
набором |
проволочной |
ультразвуко |
|
абразивных |
||
|
резкой |
вым методом |
|
|
дисков |
||
|
|
|
Минимальная |
ширина |
0,3 |
0,16 |
0,12 |
|
|
|
|
|||
Точность |
размеров, мм |
±0,1 |
±0,1 |
±0,05 |
|
Время |
раскроя |
одной |
|
|
|
пластины, мин |
. . . . |
15—20 |
5 - 7 |
0,8 |
|
по материалам |
ЭНИМС [34]. Здесь видно, что ультразву |
ковой метод позволяет повысить точность размеров кри сталлов, сократить машинное время и, главное, снизить расход дорогостоящего сырья. Данные этой таблицы по
лучены |
при раскрое пластины толщиной 0,6 мм с габарит |
|
ными |
размерами 25X25 мм на |
кристаллы размерами |
(в плане) 1,2X1,2 мм. |
|
|
На |
станке ЛЭ-400Б автором |
совместно с Ю. А. Шн- |
гаревым и К. И. Павлушенко освоено вырезание мало
габаритных конденсаторов |
(размеры в плане 2X2 мм) |
||||||
из специальной |
керамики |
(рис. 94). Применен |
инстру |
||||
мент, состоящий |
из набора |
10 лезвий |
толщиной |
0,4 мм, |
|||
запаянных в оправке. Последняя с помощью |
резьбовой |
||||||
шпильки |
соединяется |
со |
ступенчатым |
концентратором |
|||
станка. При амплитуде на торце инструмента |
15 мкм л |
||||||
мощности |
акустической |
системы 0,2 кет время |
выполне |
||||
ния всех |
10 резов составило 4 мин (абразив — карбид |
||||||
кремния |
М28). Материал |
лезвий — сталь 65Г. Подача |
абразива производится кисточкой. До освоения этой технологии каждый рез выполняли поочередно на станке мод. 4770 одноместным инструментом. Теперь трудоем
кость |
изготовления |
детали |
снижена в 6 раз. |
|
На |
рис. 95, а приведена |
кварцевая пластина, |
для из |
|
готовления которой была принята следующая |
техноло |
|||
гия пооперационной |
обработки. Из кристалла |
кварца |
вначале нарезали пластины толщиной 2 мм, которые затем обрезали по длине 40 мм и по ширине 10 мм (ши-
176
40 |
сек, 2-я операция — 1 |
мин |
(на одну деталь). Точ |
|
ность обработки |
составила |
0,05 |
мм. |
|
|
Применение |
пооперационной |
технологии изготовле |
|
ния |
детали позволило резко |
упростить конструкцию |
ультразвукового инструмента. Вместо сложного по фор ме инструмента для вырезания этой детали сразу по все му контуру, изготовление которого обычными методами
6)
S) |
Подкладка |
Заготовка |
- г
металлообработки обо шлось бы дорого, были применены простые ин струменты для обеих опе раций. Изготовление по следних обошлось в 5—6 раз дешевле. Эти сообра-
Щ |
5Й |
Eft |
Eft |
ЕЯ |
|
|
|
|
8x3=24 |
|
|
|
|
|
|
40 |
|
|
|
|
Рис. 95. |
Кварцевая |
пластина и |
Рис. 96. Корпус |
плавающе |
||
операционные |
эскизы ее изготовле |
го элемента из |
силикатного |
|||
ния за |
два |
перехода. |
стекла. |
жения и были взяты за основу при разработке техноло гии ультразвукового изготовления рассмотренной де тали.
Примером многооперационной технологии ультразву ковой обработки может служить изготовление корпуса плавающего элемента из силикатного стекла (рис. 96), имеющего сложную форму и небольшие размеры.
Операционные эскизы изготовления этой детали при ведены на рис. 97. Вначале (рис. 97, а) прорезаем коль цевую канавку глубиной 3 мм, оформляя буртик фланца и радиусные части выступа диаметром 11,4 мм. Инстру ментом является полая насадка /, закрепленная посред ством резьбовой шпильки на концентраторе. Обработав таким образом партию заготовок до износа или затуп ления инструмента, заменяем последний и другим инст рументом производим окончательное формообразование
178
этого |
выступа |
(рис. 97,6). |
Затем |
обрабатываем |
окно |
шириной 2,8 мм и глубиной 4,2 мм |
(рис. 97,в), |
после |
|||
чего |
(на следующей операции) — отверстие диаметром |
||||
0,7 мм (рис. 97,г). За 5-ю |
операцию (рис. 97,д) |
выре |
|||
заем |
деталь из |
заготовки |
полым |
инструментом. |
При |
этом наружный диаметр инструмента выполнен меньше наружного диаметра канавки, прорезанной при первой операции, что позволяет вести обработку не по всей толщине заготовки (5 мм), а лишь по толщине фланца детали (2 мм), то есть с меньшей затратой времени.
Для правильной ориентации заготовки при выреза нии этих деталей по рассмотренной технологии было применено установочное приспособление, показанное на
179
руют поочередно каждым из пяти отверстий по фикса тору основания. Благодаря этому обеспечивается кон центричность обрабатываемых элементов детали на каждой операции, без дополнительной выверки заго товки.
Соблюдая указанную выше последовательность опе раций, обрабатывают поочередно партию ЗЗГОТОЕОК, за
меняя |
инструмент |
(в |
порядке |
очередности |
операций) |
|||||
только в случае износа его рабочей части. Детали |
вме |
|||||||||
сте с оставшимися |
отходами |
отклеивают от |
подкладок |
|||||||
и |
промывают |
кипячением |
в |
содовой |
воде. Затем |
|||||
к |
подкладкам |
приклеивают |
следующую |
партию |
заго |
|||||
товок. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Применение |
такой |
(операционной) |
технологии |
по |
|||||
зволяет |
свести |
до |
минимума |
затраты вспомогательного |
времени. 50 штук этих деталей были обработаны при
затрате |
машинного времени |
12 мин, а вспомогательно |
го — 3 |
мин на деталь. Применялась суспензия карбида |
|
кремния № 5. Чистота обработки деталей — V6. |
||
На |
рис. 98,6 показаны |
концентраторы-инструменты |
для пооперационной обработки этой детали, располо женные в технологической последовательности.
20. ОБРАБОТКА ОТВЕРСТИЙ
Эта операция является наиболее распространенным видом ультразвуковой размерной обработки. На ультра звуковых станках обрабатывают отверстия различной формы размерами в поперечнике от 0,2 до 60—80 мм и глубиной до 20—30 мм; при применении особых уста новок для глубокого сверления глубина отверстий мо жет достигать 250—300 ммК
Технологически обработка отверстий особых трудно стей не представляет, но при обработке сквозных от верстий для предотвращения сколов материала на вы ходе инструмента практикуется приклеивание заготовки на стеклянную подкладку. С этой же целью на выходе инструмента снижают давление на обрабатываемую за готовку. Наблюдается также скругление кромок на вхо
де |
инструмента. Для |
устранения |
этого |
практикуется |
1 |
См. П е т р у х а П. Г. и др. Ультразвуковое |
сверление глубо |
||
ких |
отверстий в хрупких |
материалах |
алмазным инструментом. |
|
«Вестник машиностроения», |
1970, № 10. |
|
|
181