Файл: Лодиз, Р. Рост монокристаллов.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 154

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

96

р. лодиз. рост МОНОКРИСТАЛЛОВ

зародыша, и о диффузии к плоской поверхности при описании выращивания на плоской затравке. Очень часто затравка рас­ сматривается как бесконечная плоскость, а краевая диффузия в направлениях не по нормали к этой плоскости не учитывается.

3.3. ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ

Важную стадию процессов выращивания кристаллов как из

моно-,

так и из

многокомпонентных

систем образует

поверхно­

стная

реакция.

Она может состоять

из целого ряда подреакций,

но даже безотносительно к особенностям последних геометрия растущей поверхности будет играть важную роль.

Ф и г . 8.2. Частично укомплектованная атомарно-гладкая поверхность кри­ сталла.

Рассмотрим сначала частично укомплектованную атомарногладкую поверхность (фиг. 3.2), представляющую собой идеа­ лизацию в том смысле, что кристалл предполагается свободным от внутренних дефектов, а атомы представляются в виде куби­ ков. Все атомы одинаковы и плотно упакованы, так что у всякого атома есть шесть ближайших соседей. Последние соприка­

саются с центральным

атомом

по граням

куба. Кроме

того,

каждый атом имеет во

второй

координационной сфере 12

сосе­

дей, соприкасающихся с ним по ребрам куба

и в третьей

сфере

8 соседей, соприкасающихся с ним по углам куба. Новый

атом

присоединяется к кристаллу в энергетически

наиболее выгодной

позиции. Если учесть, что при образовании «связей» в рассмат­ риваемой нами идеализированной модели высвобождается энер­ гия, то энергетически наиболее выгодной позицией следует счи­ тать ту, где присоединившийся атом образует наибольшее число


3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ

97

связей. Здесь мы подразумеваем ковалентные или вандерваальсовы связи. В случае же ионных гетерополярных связей необ­ ходимо, как мы увидим дальше, учитывать еще и силы отталки­

вания. Ряд атомов, составляющих плоскость

ABCD (фиг.

3.2),

образует ступень. Таким образом, последняя

возникает при

ча­

стичной укомплектованности атомарно-гладкой грани. Атомы

ABCDEFGH

образуют излом

на ступени, который,

таким

обра­

зом, возникает при частичной укомплектованности

ряда

ато­

мов. Если

учитывать только

число ближайших соседей, то

наи­

более благоприятной позицией для присоединения нового атома

служит именно излом на ступени

(атом 1 на фиг. 3.2),

так

как

здесь образуются связи с тремя ближайшими

атомами

(по

гра­

ням куба на расстоянии а от его

центра, где

а — ребро

куба).

Следующей по энергетической выгодности позицией для присое­ динения атома является торец ступени (атом 2), поскольку здесь образуются связи с двумя ближайшими атомами. Нако­ нец, наименее благоприятным положением для присоединения атомов при учете только первых ближайших соседей является одиночный атом на гладкой поверхности (атом 3). Учет атомов во второй координационной сфере приводит к некоторым энер­ гетическим различиям для эквивалентных в остальном атомов. В изображенном на фиг. 3.2 «кристалле» атом 3 имеет 4 вторых

ближайших соседа (по граням куба

на

расстоянии а У2

от

центра

куба); атом 4 — три таких

соседа

и атом 5 — два соседа.

Таким

образом, хотя атомы 3, 4

и 5

все

имеют по одному

бли­

жайшему соседу, число образуемых ими связей уменьшается в последовательности атомов 3, 4, 5. Поскольку при образовании связей выделяется энергия, легкость присоединения атомов уменьшается в той же последовательности 3, 4, 5. Подобным же образом можно рассмотреть влияние атомов второй коорди­

национной сферы на такие атомы, как атом 1, который

имеет

трех первых ближайших соседей, или атом 2, имеющий

двух

таких соседей. Влияние атомов третьей координационной сферы (соприкасающихся с центральным атомом по углам куба на удалениях а УЪ от его центра) и атомов более удаленных коор­ динационных сфер проявляется не столь заметно, но в общих чертах аналогично рассмотренному выше случаю. Предполагая, что силы связи обратно пропорциональны квадрату расстояния от центра куба, и считая, что ребро куба имеет длину а, силы связи можно записать в следующем виде:

для атома в первой координацибнной сфере ~ 1/а; для атома во второй координационной сфере ~ 1/2а; для атома в третьей координационной сфере ~ 1/За.

Все сказанное выше относится к кристаллам с положи­ тельной энергией связи. Однако в случае гетерополярных или

4 Зак. 718


98

Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ

 

ионных

кристаллов типа А+В~ возникают осложнения, ибо

при ...

приближении заряженного иона к поверхности кристалла

он

может притягиваться ионами противоположного знака и одно­ временно отталкиваться ионами того же знака. Рассмотрим присоединение атома А+ к гладкой поверкности А*В'. Атом А+ будет присоединяться к ней в позиции над атомом В' с выиг­ рышем энергии, пропорциональным 1/а. Однако теперь все атомы А+ из второй координационной сферы станут отталкивать присоединенный атом с силой, пропорциональной п/2а (п — чис­ ло соседних атомов во второй координационной сфере). Подоб­

ным же

образом его ближними

соседями

в третьей

координа­

ционной

сфере окажутся только атомы В',

которые станут

при­

тягивать

наш атом А+ с

силой,

пропорциональной

т/За,

где

т — число таких соседних

атомов

в третьей сфере. Таким обра­

зом, при

адсорбции атома Л + на

гладкой

поверхности

А+В~

ос­

вобождается энергия (без учета взаимодействия А+ с атомами, расположенными за третьей координационной сферой)

 

* - т ( ' - т + т ) .

<">

где а — коэффициент

пропорциональности. Для

атомов 3, 4 и

5 (фиг. 3.2) получим

соответственно

 

Отсюда

видно, что вероятность присоединения ')

атомов 3 и 5

больше,

чем

атома 4. Коссель [3] и Ван

Хук

[4]

вычислили

(в предположении, что молекулярные силы

убывают быстрее,

чем

как

квадрат расстояния), что в гетерополярном

кристалле

£ 5 >

Е4

> Е3.

Аналогичные вычисления для

разного

числа ато­

мов во второй и третьей координационных сферах можно сде­ лать и для атомов / и 2. При этом позиция атома / останется энергетически наиболее выгодной, а атом 2 по-прежнему оста­ нется на втором месте. Важным следствием таких вычислений будет вывод о том, что зарождение всякого нового слоя должно начинаться с присоединения атома в позиции 5. Для иных струк­ тур, очевидно, потребуются новые расчеты.

Изложенные выше рассуждения проще всего провести для атомарно-гладкой поверхности. Но часто грани кристаллов, осо-

1 ) Без последующего отрыва, ибо присоединение само по себе часто проис­ ходит неизбирательно, а частота отрывов из разных положений действительно определяется прочностями связей (3.5) — (3.7). Прим. ред.


3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ

99

бенно с большими индексами, бывают шероховатыми или сту­ пенчатыми. Качественно неизбежность образования шерохова­ тых граней можно пояснить с помощью фиг. 3.3. Сетка атомов здесь изображает плоскость (001) кубического кристалла АВ.

Атомы /—3—5—7—9—11

—13 лежат на линии пересечения плос­

кости (111) с плоскостью

(001). Эта линия

целиком составлена

из атомов В, как и вся грань (111). Такая

грань характеризует­

ся высокой поверхностной энергией, поскольку каждый атом В имеет две ненасыщенные связи. Но если кристалл ограняется шероховатой поверхностью, линия пересечения которой с плос­ костью (001) составлена из атомов /—2—3—4—5—6—7—8—

Ф и г . 3.3. Грань (001) кубического кристалла АВ.

9—10—И—12—13, то поверхностная энергия такой грани иног­ да уменьшается. Отсюда легко понять (перейдя к трехмерной решетке), что в рассматриваемом примере грань (111) будет стремиться стать шероховатой. На атомарно-шероховатой по­ верхности постоянно присутствует много ступеней, благоприят­ ствующих росту. Регулярная ступенчатая структура на поверх­ ности реального кристалла, видимо, не сохраняется, но шерохо­ ватость обеспечивает наличие многих мест, способствующих росту.

Проблема зарождения новой ступени на атомарно-гладкой поверхности кристалла относится к числу тех, которые при­ влекли к себе большое внимание. Как уже отмечалось, на такой поверхности зарождение новой ступени энергетически менее вы­ годно, чем рост на уже существующей ступени или изломе. Тем не менее всякий раз, когда предыдущая ступень «дорастает» до края кристалла, должна зарождаться новая ступень. Количе­ ственные расчеты показывают, что для зарождения новой сту­ пени на атомарно-гладкой поверхности требуются большие пересыщения или переохлаждения. С другой стороны, кристал­ лы растут уже при низких пересыщениях или переохлаждениях

4*