ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 154
Скачиваний: 0
96 |
р. лодиз. рост МОНОКРИСТАЛЛОВ |
зародыша, и о диффузии к плоской поверхности при описании выращивания на плоской затравке. Очень часто затравка рас сматривается как бесконечная плоскость, а краевая диффузия в направлениях не по нормали к этой плоскости не учитывается.
3.3. ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ
Важную стадию процессов выращивания кристаллов как из
моно-, |
так и из |
многокомпонентных |
систем образует |
поверхно |
стная |
реакция. |
Она может состоять |
из целого ряда подреакций, |
но даже безотносительно к особенностям последних геометрия растущей поверхности будет играть важную роль.
Ф и г . 8.2. Частично укомплектованная атомарно-гладкая поверхность кри сталла.
Рассмотрим сначала частично укомплектованную атомарногладкую поверхность (фиг. 3.2), представляющую собой идеа лизацию в том смысле, что кристалл предполагается свободным от внутренних дефектов, а атомы представляются в виде куби ков. Все атомы одинаковы и плотно упакованы, так что у всякого атома есть шесть ближайших соседей. Последние соприка
саются с центральным |
атомом |
по граням |
куба. Кроме |
того, |
каждый атом имеет во |
второй |
координационной сфере 12 |
сосе |
|
дей, соприкасающихся с ним по ребрам куба |
и в третьей |
сфере |
||
8 соседей, соприкасающихся с ним по углам куба. Новый |
атом |
|||
присоединяется к кристаллу в энергетически |
наиболее выгодной |
позиции. Если учесть, что при образовании «связей» в рассмат риваемой нами идеализированной модели высвобождается энер гия, то энергетически наиболее выгодной позицией следует счи тать ту, где присоединившийся атом образует наибольшее число
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
97 |
связей. Здесь мы подразумеваем ковалентные или вандерваальсовы связи. В случае же ионных гетерополярных связей необ ходимо, как мы увидим дальше, учитывать еще и силы отталки
вания. Ряд атомов, составляющих плоскость |
ABCD (фиг. |
3.2), |
образует ступень. Таким образом, последняя |
возникает при |
ча |
стичной укомплектованности атомарно-гладкой грани. Атомы
ABCDEFGH |
образуют излом |
на ступени, который, |
таким |
обра |
зом, возникает при частичной укомплектованности |
ряда |
ато |
||
мов. Если |
учитывать только |
число ближайших соседей, то |
наи |
более благоприятной позицией для присоединения нового атома
служит именно излом на ступени |
(атом 1 на фиг. 3.2), |
так |
как |
|
здесь образуются связи с тремя ближайшими |
атомами |
(по |
гра |
|
ням куба на расстоянии а от его |
центра, где |
а — ребро |
куба). |
Следующей по энергетической выгодности позицией для присое динения атома является торец ступени (атом 2), поскольку здесь образуются связи с двумя ближайшими атомами. Нако нец, наименее благоприятным положением для присоединения атомов при учете только первых ближайших соседей является одиночный атом на гладкой поверхности (атом 3). Учет атомов во второй координационной сфере приводит к некоторым энер гетическим различиям для эквивалентных в остальном атомов. В изображенном на фиг. 3.2 «кристалле» атом 3 имеет 4 вторых
ближайших соседа (по граням куба |
на |
расстоянии а У2 |
от |
||
центра |
куба); атом 4 — три таких |
соседа |
и атом 5 — два соседа. |
||
Таким |
образом, хотя атомы 3, 4 |
и 5 |
все |
имеют по одному |
бли |
жайшему соседу, число образуемых ими связей уменьшается в последовательности атомов 3, 4, 5. Поскольку при образовании связей выделяется энергия, легкость присоединения атомов уменьшается в той же последовательности 3, 4, 5. Подобным же образом можно рассмотреть влияние атомов второй коорди
национной сферы на такие атомы, как атом 1, который |
имеет |
трех первых ближайших соседей, или атом 2, имеющий |
двух |
таких соседей. Влияние атомов третьей координационной сферы (соприкасающихся с центральным атомом по углам куба на удалениях а УЪ от его центра) и атомов более удаленных коор динационных сфер проявляется не столь заметно, но в общих чертах аналогично рассмотренному выше случаю. Предполагая, что силы связи обратно пропорциональны квадрату расстояния от центра куба, и считая, что ребро куба имеет длину а, силы связи можно записать в следующем виде:
для атома в первой координацибнной сфере ~ 1/а; для атома во второй координационной сфере ~ 1/2а; для атома в третьей координационной сфере ~ 1/За.
Все сказанное выше относится к кристаллам с положи тельной энергией связи. Однако в случае гетерополярных или
4 Зак. 718
98 |
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
|
ионных |
кристаллов типа А+В~ возникают осложнения, ибо |
при ... |
приближении заряженного иона к поверхности кристалла |
он |
может притягиваться ионами противоположного знака и одно временно отталкиваться ионами того же знака. Рассмотрим присоединение атома А+ к гладкой поверкности А*В'. Атом А+ будет присоединяться к ней в позиции над атомом В' с выиг рышем энергии, пропорциональным 1/а. Однако теперь все атомы А+ из второй координационной сферы станут отталкивать присоединенный атом с силой, пропорциональной п/2а (п — чис ло соседних атомов во второй координационной сфере). Подоб
ным же |
образом его ближними |
соседями |
в третьей |
координа |
|||
ционной |
сфере окажутся только атомы В', |
которые станут |
при |
||||
тягивать |
наш атом А+ с |
силой, |
пропорциональной |
т/За, |
где |
||
т — число таких соседних |
атомов |
в третьей сфере. Таким обра |
|||||
зом, при |
адсорбции атома Л + на |
гладкой |
поверхности |
А+В~ |
ос |
вобождается энергия (без учета взаимодействия А+ с атомами, расположенными за третьей координационной сферой)
|
* - т ( ' - т + т ) . |
<"> |
где а — коэффициент |
пропорциональности. Для |
атомов 3, 4 и |
5 (фиг. 3.2) получим |
соответственно |
|
Отсюда |
видно, что вероятность присоединения ') |
атомов 3 и 5 |
||||
больше, |
чем |
атома 4. Коссель [3] и Ван |
Хук |
[4] |
вычислили |
|
(в предположении, что молекулярные силы |
убывают быстрее, |
|||||
чем |
как |
квадрат расстояния), что в гетерополярном |
кристалле |
|||
£ 5 > |
Е4 |
> Е3. |
Аналогичные вычисления для |
разного |
числа ато |
мов во второй и третьей координационных сферах можно сде лать и для атомов / и 2. При этом позиция атома / останется энергетически наиболее выгодной, а атом 2 по-прежнему оста нется на втором месте. Важным следствием таких вычислений будет вывод о том, что зарождение всякого нового слоя должно начинаться с присоединения атома в позиции 5. Для иных струк тур, очевидно, потребуются новые расчеты.
Изложенные выше рассуждения проще всего провести для атомарно-гладкой поверхности. Но часто грани кристаллов, осо-
1 ) Без последующего отрыва, ибо присоединение само по себе часто проис ходит неизбирательно, а частота отрывов из разных положений действительно определяется прочностями связей (3.5) — (3.7). — Прим. ред.
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
99 |
бенно с большими индексами, бывают шероховатыми или сту пенчатыми. Качественно неизбежность образования шерохова тых граней можно пояснить с помощью фиг. 3.3. Сетка атомов здесь изображает плоскость (001) кубического кристалла АВ.
Атомы /—3—5—7—9—11 |
—13 лежат на линии пересечения плос |
|
кости (111) с плоскостью |
(001). Эта линия |
целиком составлена |
из атомов В, как и вся грань (111). Такая |
грань характеризует |
ся высокой поверхностной энергией, поскольку каждый атом В имеет две ненасыщенные связи. Но если кристалл ограняется шероховатой поверхностью, линия пересечения которой с плос костью (001) составлена из атомов /—2—3—4—5—6—7—8—
Ф и г . 3.3. Грань (001) кубического кристалла АВ.
9—10—И—12—13, то поверхностная энергия такой грани иног да уменьшается. Отсюда легко понять (перейдя к трехмерной решетке), что в рассматриваемом примере грань (111) будет стремиться стать шероховатой. На атомарно-шероховатой по верхности постоянно присутствует много ступеней, благоприят ствующих росту. Регулярная ступенчатая структура на поверх ности реального кристалла, видимо, не сохраняется, но шерохо ватость обеспечивает наличие многих мест, способствующих росту.
Проблема зарождения новой ступени на атомарно-гладкой поверхности кристалла относится к числу тех, которые при влекли к себе большое внимание. Как уже отмечалось, на такой поверхности зарождение новой ступени энергетически менее вы годно, чем рост на уже существующей ступени или изломе. Тем не менее всякий раз, когда предыдущая ступень «дорастает» до края кристалла, должна зарождаться новая ступень. Количе ственные расчеты показывают, что для зарождения новой сту пени на атомарно-гладкой поверхности требуются большие пересыщения или переохлаждения. С другой стороны, кристал лы растут уже при низких пересыщениях или переохлаждениях
4*