Файл: Сухвало, С. В. Структура и свойства магнитных пленок железо-никель-кобальтовых сплавов.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 86
Скачиваний: 0
|
372. |
N. S a i t о, H. F u j i w a г a, Y. S u g i t a. |
J. Phys. Soc. Japan, |
19, |
||
421, |
1964. |
|
J. Appl. Phys. Lett., 3, No. 11, 208, 1963. |
|
||
|
373. |
R. J. S p a i n. |
19, |
|||
|
374. |
J. S u g i t a , |
H. F u j i w a r a, N. S a i t o . |
J. Phys. Soc.Japan, |
||
782, |
1964; 20, 469, |
1965. |
|
|
|
|
|
375. |
Л. С. П а л а т и и к, А. Г. Р а в л и к, Л. И. Л у к а ш е н к о , В. Н. |
||||
Са м о ф а л о в. ФТТ, 11, 2130, 1969.
376.С. В. С у х в а л о, А. Б. Ш и ф р и н, А. В. М а з о в к о. Материалы
!3-го Всесоюзного совещания по магнитным элементам автоматики и вычи слительной техники. Минск, 1970, стр. 66.
377.А. Н. В о b е с k. Bell System Techn. J., 46, 1901, 1967.
378.P. S. M i c h a e 1 i s. J. Appl. Phys., 30, 1224, 1968.
379.A. A. T h i e 1e. J. Appl. Phys., 41, 1140, 1970.
|
380. |
A. |
A. T h i e l e . |
Bell |
System |
Techn., |
J., |
48, |
3287, |
1969;50, 711, 1971. |
|||
|
381. |
I. |
B. P u c h a l s k a , |
G. |
A. |
J o n e s . |
J. |
Phys. |
D: |
Appl.Phys., 6, |
|||
452, |
1973. |
К a s e. |
Sci. Rep. Tohoku Imp. Univ., |
16, 491, 1927. |
|
||||||||
|
382. |
T. |
Met. Eng.,120, |
||||||||||
|
383. |
E. |
Y e t t e , |
F. |
F о о t e. |
Trans. Am. |
Inst. |
Alining, |
|||||
259, |
1936. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
384.F. E. H о w о г t h. Phys. Rev., 56, 289, 1939.
385.Ф. Г а л ь п е р н и. ДАН СССР, 75, 647, 1950.
386. |
М. П. Р а в д е л ь, |
Я. П. С е м е с с к п й . |
ДАН СССР, |
115, № 2, |
||||
1957. |
Л. М. В и т и и г. ЖНХ, 2, 845, 1957. |
|
|
|
|
|
||
387. |
|
163, |
132, |
1949. |
|
|||
388. |
Е. А. О w е n, Y. Н. L i n. J. Iron Steel Inst., |
|
||||||
389. |
Л. М. В и т и и г. ЖНХ, 2, 367, 1957. |
J. Iron |
Steel |
Inst.,174, 212, |
||||
390. |
G. В. Н а г г i s, |
W. H u m e-R о t h е г у. |
||||||
1953. |
T. К a s ё. Sci. Rep. Tohoku Imp. Univ., |
16, 494, 1927. |
|
|
||||
391. |
259, |
1953. |
||||||
392. |
T. J o k o y a m a . |
Nippon Kinzoku Gakkai-Schi., |
17, |
|||||
393. |
A. K u s s m a n , |
B. |
S c h a r n o w , A. S c h u 1z e. Z. techn. Phys., |
|||||
10, 449, |
1931; Z. Metallkunde, 25, 145, 1933. |
|
|
|
|
|
||
394.J. P a p i e r. Compt. rend., 424, 245, 1956.
395.F. Z i h 1. Z. Metallkunde, 46, 434, 1955.
396. |
H. |
M a s u m о to . |
Sci. |
Rep. Tohoku |
Imp. Univ., 449, 1926; T. J o |
k o y a m a . |
Nippon Kinzoku Gakkai-Schi., 20, 644, 1956. |
||||
397. |
W. |
B r o n i e w s k i , |
W. |
P i e t z e k . |
Compt. Rend., 201, 206, 1935. |
398.A. O s a w a . Sci. Rep. Tohoku Imp. Univ., 19, 109, 1930.
399.S. К а у a, T. N a k a у a m a. Z. Phys., 112, 420, 1939.
400.H. H. С и р о т а , С. В. С у x в а л о. Изв. АН БССР, серия физ.-.мат. наук, № 3, 71, 1968.
401.Р. Б о з о р т. Ферромагнетизм. М., ИЛ, 1956.
402.И. В. В о л. Строение и свойства двойных металлических систем. М.—Л., Фнзматгиз, 1962.
403. G. W. Е 1 m е n. J. Frank!. Inst., 206, 317, 1928.
404.G. W. Е 1 m е n. J. Frankl. Inst., 207, 583, 1929.
405.H. M a s u m o t o . Sci. Rep. Tohoku Imp. Univ., 18, 195, 1929.
406.G. А. К e 1 s a 11. Physics, 5, 165, 1934.
407.G. А. К e 1 s a 11. U. S. Patent No. 2002696, May 28, 1935.
408. |
I. F. D i 1! i n g e r. |
Physics, |
6, 279, 1935. |
|
, |
||
409. |
R. В о z о r t h, |
I. D i 11 i n g e r. Physics, 6, 285, |
1935. |
||||
410. |
R. В о z о г t h, |
I. D i 11 i n g e r. |
U. S. Patent No. |
2 002 689, May 28, |
|||
1935. |
H. К ii h I w e i n. Wiss. Veroffentl. Siemens-Konz., |
10, No. 2, 72, 1931. |
|||||
411. |
|||||||
412. |
O. A u w e r s , |
H. |
K i i h l w e i n . |
Ann. Phys., |
5, |
17, 121, 1933. |
|
413. |
N. L. В r j u k h a t |
о v, L. |
V. |
К i г e n s k i. |
Sow.Phys.,12,602, 1937. |
||
414.H. Л. Б p ю x а т о в, Л. В. К и p e н с к и й. ЖТФ,5,171,1938.
415.Z. K a c z o w s k i . Rozprawy Elektr. (Poland), 11, 39, 1965.
416.F. M. G a 1p e r i n. Phys. Stat. Solid., 57, 715, 1973.
330
417. H. W i l l i a m s , R. B o z o r t h . Phys. Rev., 56, 837, 1939.
418.R. M. В о z о г t h. Phys. Rev., 50, 1076, 1936.
419.I. W. S h i h. Phys. Rev., 46, 139, 1934.
420.I. W. S h i h. Phys. Rev., 50, 376, 1936.
421.I. D. К 1e i s. Phys. Rev., 50, 1178, 1936.
422.L. W. M с К i e h a n. Phys. Rev., 51, 136, 1937.
|
423. |
И. M. П у з е ii. Изв. АН СССР, серияфиз., 16, |
543, |
1952. |
|||
|
424. |
II. M. П у з е й . |
Изв. АН СССР,серия физ., 22, |
1194, |
1958. |
||
|
425. |
II. М. П у з е й. ФММ, 16, в. 2, 1963. |
1077, |
1957. |
|||
|
426. |
II. М. П у з е й . |
Изв. АН СССР, серия физ., 21, |
||||
|
427. |
О. A u w e r s . |
Phys. Zs., 34, 824, 1933. |
|
574, 1931; 21, |
||
|
428. |
Y. M a j i у a m a. Sci. Rep. Tohoku Imp. Univ., 20, |
|||||
394, |
1932; |
22, 338, |
1933. |
|
|
|
|
429.S. R. W i 11 i a m s. Rev. Sci. Instr., 3, 675, 1932.
430.F. L i c h t e n b e r g e r . Ann. Phys., 15, 45, 1932.
431. |
И. M. П у з е й . |
Изв. АН |
СССР, серия физ., 16, 540, 1952. |
|
432. |
F. S t a b 1 е i п, |
К. S с h |
г о е t е г.Z. anorg.Chem.,174, 193, 1928. |
|
433. |
Н. Н. С и р о т а, С. В. С |
у х в а л о.Весщ АН |
БССР,серыя ф |
|
иавук, № 2, 106, 1969. |
|
|
магнитные |
|
434. |
Л. Ф. И л ы о ш е и к о. Электролитически осажденные |
|||
пленки. Минск, «Наука и техника», 1972. |
|
|||
435. |
С. В. С у х в а л о . В кн.: Материалы 13-го Всесоюзного совещания |
|||
по магнитным элементам автоматики и вычислительной техники. Минск, 1970, стр. 78.
436.Е. М. В г a d 1у. J. Appl. Phys., 33, 1051, 1962.
437.J. Е с k а г d t. Telefunken Zeitung, 36, H. 3/4, 119, 1963.
438. |
P. |
A s t w o o d , |
M. |
P r u t t o n . Brit. |
J. Appl. |
Phys., 14, |
48, |
1963. |
|||||
439. |
С. |
H. T о 1m a n. J. Appl. |
Phys., 38, 3409, 1967. |
a n s о n. IEE |
|||||||||
440. |
R. |
E. L a m p e r t, J. M. |
G о г г e s,M. M. H |
|
|||||||||
Magnetics, MAG-4, 525, 1968. |
|
|
|
ч, Г. И. Р у с 6 в. В кн.: Физика |
|||||||||
441. |
С. Г. P у с о в а, А. А. К о в а л е в а |
||||||||||||
магнитных пленок. Иркутск, 1968, стр. 121. |
J. Appl. Phys., 39, |
1191, |
1968. |
||||||||||
442. |
С. Н. W i l t s , F. В. |
|
H u m p h r e y . |
||||||||||
443. |
Н. Н. С и р о т а , |
С. |
В. С у х в а л о. ДАН БССР, |
12, 979, |
1968. |
||||||||
444. |
К- |
А. К у р о е д о в . |
Изв. АН СССР, серия физ., |
29, 599, |
1965. |
||||||||
445. |
Е. В. Н u m р h г е у, |
М. T a k a h a s h i . |
J. Appl. Phys., 36, 963, |
1965. |
|||||||||
446. |
W. R u s k е, P. W e b e r . Phys. Stat. Sol., 12, 321, |
1968. |
|
|
|
||||||||
447. |
Л. В. К и p e и с к и й, В. Г. П ы н ь к о , |
H. Ш. Т е м ч е н к о. ФММ, |
|||||||||||
31, № 2, 1971. |
|
|
Т. И. Б е л и к . |
В кн.: Тонкие |
магнитные |
||||||||
448. |
Л. И. Ч е р н ы ш е в а , |
||||||||||||
пленки, вычислительная техника и радиотехника, 2. Красноярск, 1970. |
|
||||||||||||
449. |
Н. Н. С и р о т а , |
С. В. С у х в а л о . ДАН БССР, 13, 23, |
1969. |
100, |
|||||||||
450. |
J. Н. Е n g е 1m a n п, |
A. H a r d w i c k . |
Trans. |
9N Vac. Svm., |
|||||||||
1963. |
С. H. T o 1m a n , |
P. О b e r g . |
INTERMAG-4, |
12, |
1963. |
|
|
|
|||||
451. |
|
|
|
||||||||||
452.D. O. S m i t h. J. Appl. Phys., 32, 706, 1961.
453.E. F e 1 d k e 11 e r. Z. angew. Phys., 13, 74, 1961.
454.T. С г о w t h e r. J. Appl. Phys., 34, 580, 1963.
455.E. T о г о k, R. W h i t e, A. H u n t, A. O r e d s o n . J. Appl. Phys., 39, 3037 1962
456. |
J. W. Wo l f . J. Appl. Phvs., 33, И 52, 1962; |
J. British |
IRE, |
20, № 10, |
|
1960. |
E. M. В г a d 1 e y. |
J. Appl. Phys., 33, 1051, 1962. |
|
|
|
457. |
вып. 412, 1973, |
||||
458. |
H. Л. Б р ю х а т о |
в и др. В кн.: Труды |
МИИТа, |
||
стр. 38. |
Н. Л. Б р ю х а т о в. С. Г. А ф а н а с ь е в . |
В кн.: Труды |
МИИТа, |
||
459. |
|||||
вып. 412, 1972, стр. 21. |
|
|
|
|
|
460. |
Т. L. G i l b e r t . Phys. Rev., 100, 1243, 1955. |
|
|
|
|
331
|
464. |
Р. В. Т е л е с н н н , |
О. С. К о л о т о в, |
Т. Н. Н и к и т и н а . Радио |
||||
техника и электроника, 7, 1235, 1962. |
|
|
|
|||||
|
465. |
Р. В. Т е л е с н и н, |
Е. Н. И л ь и ч е в а , Н. Г. К а н а в и н а, О. С. |
|||||
К о л о т о е , |
Т. Н. Н и к и т и н а , |
А. Г. Ш и ш к о в. Изв. АН |
СССР, серия |
|||||
физ., 28, 573, 1964. |
О. С. К о л о т о в. ФММ, |
17, 834, |
1964. |
|||||
|
466. |
Р. В. Т е л е с н н н , |
||||||
|
467. |
Р. В. Т е л е с н н н , |
О. С. К о л о т о е , |
В. А. П о г о ж е в. ФММ, 19, |
||||
1, |
1965. |
О. С. К о л о т о в, |
В. А. П о г о ж е е , |
Р. В. Т е л е с н н н . Методы |
||||
и |
468. |
|||||||
аппаратура для исследования импульсных |
свойств |
тонких магнитных |
||||||
пленок. М., Изд-во Московского университета, 1970. |
Н и к и т и н а , В. А. |
|||||||
|
469. |
Р. |
В. Т е л е с н н н , |
О. С. |
К о л о т о в, Т. Н. |
|||
П о г о ж е в. Изв. АН СССР, серия физ., 30, 108, 1966. |
|
|
||||||
|
470. |
Р. В. Т е л е с н н н , |
Т. Н. |
Л е т о в а , |
Б. Ф. М о ч а л о в . Изв. АН |
|||
УССР, серия физ., 31, 358, 1967. |
|
|
|
|
||||
471.Н. Н. С и р о т а. ДАН СССР, 36, 17.5, 1942.
472.Н. Н. С и р о т а. Известия сектора физ.-хим. анализа ИОНХ АН
СССР, 23, 70, 1953. |
|
|
|
473. |
Н. Н. С и р о т а . В кн.: Ферриты и бесконтактные элементы. Минск, |
||
«Наука и техника», 1963, стр. 5. |
6, в. 5, |
||
474. |
Н. Н. С и р о т а , |
В. И. П а в л о в . Физика твердого тела, |
|
1964. |
Н. Л. Б р ю х а т о |
в, В. Г. К л еп а р е к и и. В кн.: Физика |
магнит |
475. |
|||
ных пленок, вып. II. Иркутск, 1966, стр. 40.
476.В. Г. К л е п а р с к и й. ФММ, 23, 43, 1967.
477.В. Г. К л е п а р с к и й. ФММ, 23, 379, 1967.
478. Н. Н. С и р о т а, |
А. В. М а з о в к о, |
С. В. С у х в а л о. Becui |
АН |
БССР, серыя ф1з.-мат. навук, № 4, 1967. |
С. В. С у х в а л о. Becui |
АН |
|
479. Н. Н. С и р о т а, |
А. В. М а з о в к о, |
||
БССР, серыя ф1з.-тэхн. навук, № 1, 115, 1969. |
|
|
|
480.Н. Н. С и р о т а , А. В. М а з о в к о. ДАН БССР, 16, 596. 1972.
481.J. W. Wo l f , Т. S. С г о w t h е г. J. Appl. Phys., 34, 1205, 1963.
482. |
Е. N. |
M i t c h e l l , |
G. |
L. |
L u k k e n , G. |
D. B a b c o c k . |
J. Appl. |
Phys., 34, 715, |
1963. |
|
Trans. Magnetics, |
MAG-2, 58, 1966. |
|||
483. |
R. H. |
N e l s o n . IEEE |
|||||
484. |
J. P. |
R e e k s t i n. |
IEEE |
Trans, Magnetics, MAG-5, 119, |
1969. |
||
485.J. W. W о 1f. J. Appl. Phys., 33S, 52, 1962.
486.С. H. T о 1 m a n. J. Appl. Phys., 38, 3409, 1967.
487.В. А . Д ж и д а р я н . ФММ, 27, 557, 1966.
35, |
488. |
С. H. T о 1 m a n, R. Е. О Ь е г g, S. М. R u b e n s. Rev. Sci. Instr., |
738, |
1964. |
|
|
489. В. А. Б у p а в и x и н. Влияние механических напряжений на маг |
|
нитные свойства пленок. Иркутск, Зап.-Сибирское изд-во, 1968. |
||
|
490. |
Н. А. Д р о к и н, Б. П. Х р у с т а л е в , Н. И. С а л а н с к и й. В кн.: |
Тонкие магнитные пленки, вычислительная техника и радиотехника, т. 2.
Красноярск, 1971, стр. 131. |
J. Brit. IRE, 20, 201, I960. |
|
491. |
Е. М. В г a d 1 е у. |
|
492. |
L. О k 1 a n d, T. |
D. R o s s i n g . J. Appl. Phys., 30, 48, 1959. |
493. |
H. H. С и р о т а . |
Физико-химическая природа фаз переменного |
состава. |
Минск, «Наука и техника», 1970. |
|
СОДЕРЖАНИЕ
От редактора |
3 |
Предисловие |
5 |
Введение |
7 |
|
|
|
Ч а с т ь |
I |
|
|
|
|
ВЛИЯНИЕ УСЛОВИИ |
КРИСТАЛЛИЗАЦИИ НА СТРУКТУРУ |
|
||||
|
|
И СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК |
|
|
|
||
Г л а в а |
I.Процессы кристаллизации тонких пленок |
|
10 |
||||
§ |
1. |
Количественная характеристика |
степени отклонения процес |
11 |
|||
§ |
2. |
са кристаллизации от равновесия |
|
|
|||
Термодинамический аспект технологических условий роста |
13 |
||||||
§ |
3. |
пленок |
|
|
|
|
|
Механизм и кинетика кристаллизации |
|
с термо |
34 |
||||
§ |
4. |
Скорость кристаллизации тонких пленок в связи |
45 |
||||
|
|
динамическими и кинетическими параметрами |
|
||||
Г л а в а |
II. Особенности кинетических и термодинамических |
условий |
|
||||
|
|
кристаллизации пленок железо-никель-кобальтовых спла |
55 |
||||
|
|
вов |
|
|
|
|
|
§ |
1. |
Температурный режим подложки |
|
|
57 |
||
§ |
2. |
Пересыщение паровой фазы, плотность потока пара |
|
65 |
|||
§ |
3. |
Влияние на скорость роста и температуру |
плавления пленок |
S9 |
|||
§ |
4. |
магнитного поля и наклонного напыления |
|
|
|||
Влияние примесей на кристаллизацию пленок |
|
73 |
|||||
§ |
5. |
Некоторые термодинамические и кинетические характери |
88 |
||||
|
|
стики процесса кристаллизации тонких пленок |
|
||||
Г л а в а |
III. Физико-химические характеристики термодинамической |
95 |
|||||
|
|
активности пленок железо-никель-кобальтовых |
сплавов |
||||
§ |
1. |
Микроструктура беспримесных тонких пленок |
|
97 |
|||
§ |
2. |
Микроструктура пленок при наличии примесей |
|
103 |
|||
§ |
3. |
Дефекты структуры тонких пленок |
ориентировки в |
113 |
|||
§ |
4. |
Преимущественные |
кристаллографические |
116 |
|||
§ |
5. |
железо-никель-кобальтовых пленках |
|
|
|||
Внутренние напряжения в тонких пленках |
|
|
123 |
||||
333
Г л а в а |
IV. Процессы рекристаллизации и возврата в железо-ни- |
||||||||||||||
|
|
кель-кобальтовых |
пленках |
|
|
|
|
|
|
142 |
|||||
§ |
1. |
Развитие процессов рекристаллизации |
и возврата в процессе |
||||||||||||
§ |
2. |
роста пленок |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
144 |
||
Возврат и рекристаллизация при отжиге пленок |
147 |
||||||||||||||
§ |
3. |
Особенности механизма |
раззития |
возврата |
и рекристаллиза |
||||||||||
§ |
4. |
ции в пленках |
|
|
|
пленок |
|
|
|
|
|
161 |
|||
Кинетика |
рекристаллизации |
|
|
|
|
|
170 |
||||||||
Г л а в а |
V. Фазовые и полиморфные превращения в тонких железо- |
||||||||||||||
|
|
никель-кобальтовых |
пленках |
|
|
|
|
|
|
176 |
|||||
§ |
1. |
Фазовые превращения в пленках |
|
|
|
|
|
|
176 |
||||||
§ |
2. |
Полиморфные превращения |
|
|
|
|
|
|
|
181 |
|||||
§ |
3. |
Кинетика полиморфных превращений |
|
|
|
|
185 |
||||||||
§ 4. |
Фазовые превращения порядок—беспорядок |
|
|
188 |
|||||||||||
Г л а в а |
VI. Влияние условии кристаллизации и отжига на физиче |
||||||||||||||
|
|
ские |
свойства |
тонких |
пленок |
сплавов |
системы |
Fe— |
|||||||
|
|
N i-C o |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
190 |
|
§ |
1. |
Влияние условий кристаллизации и отжига |
на |
статические |
|||||||||||
§ |
2. |
магнитные свойства |
|
процессов |
структурных |
|
192 |
||||||||
Влияние |
вторичных |
превращений |
|||||||||||||
§ |
3. |
на зависимость магнитных свойств от условий роста |
209 |
||||||||||||
Влияние напряженности магнитного поля на свойства |
же- |
||||||||||||||
§ |
4. |
лезо-никель-кобальтовых пленок |
|
|
пленок |
|
|
212 |
|||||||
Изменение |
магнитных |
свойств тонких |
под влиянием |
||||||||||||
|
|
их отжига |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
215 |
|
Г л а в а |
VII. Исследование влияния толщины пленок |
железо-ни- |
|||||||||||||
|
|
кель-кобальтовой системы на их свойства |
|
221 |
|||||||||||
§ |
1. |
Особенности влияния толщины пленок на их свойства |
221 |
||||||||||||
§ |
2. |
Изменение свойств тонких пленок с планарной магнитной |
|||||||||||||
§ |
3. |
анизотропией в зависимости от их толщины |
|
|
226 |
||||||||||
Изменение |
магнитных |
параметров пленок с перпендикуляр |
|||||||||||||
§ |
4. |
ной анизотропией в зависимости от их толщины |
|
229 |
|||||||||||
Влияние |
химического |
состава пленок |
на |
зависимость маг |
|||||||||||
|
|
нитных свойств от их толщины |
|
|
|
|
|
|
235 |
||||||
Г л а в а |
VIII. Доменная структура пленок железо-ннкель-кобальто- |
||||||||||||||
|
|
вых сплавов в зависимости от условий кристаллиза |
|||||||||||||
|
|
ции |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
239 |
§ |
1. |
Магнитная анизотропия в железо-нпкель-кобальтовых |
плен |
||||||||||||
§ |
2. |
ках в связи с условиями их кристаллизации |
|
|
|
239 |
|||||||||
Полосовая |
доменная |
структура |
железо-никель-кобальтовых |
||||||||||||
§ 3. |
пленок |
|
|
|
|
|
структура |
|
|
|
|
247 |
|||
Цилиндрическая доменная |
|
|
|
|
252 |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
Ч а с т ь |
II |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
ВЛИЯНИЕ СОСТАВА НА СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК |
|
||||||||||||
|
|
СПЛАВОВ ЖЕЛЕЗО-НИКЕЛЬ-КОБАЛЬТОВОН СИСТЕМЫ |
|
||||||||||||
Г л а в а |
IX. Фазовая структура сплавов и пленок сплавов системы |
||||||||||||||
|
|
Fe—Ni—Со |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
258 |
||
§ |
1. |
Диаграмма |
состояния |
и структура |
|
сплавов системы Fe— |
|||||||||
§ |
2. |
Ni—Со |
|
|
|
и |
электронографнческое |
|
258 |
||||||
Рентгенографическое |
исследование |
||||||||||||||
|
|
фазового |
состояния |
тонких |
пленок |
сплавов |
системы желе |
||||||||
|
|
зо—никель—кобальт |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
264 |
|||
334