ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 121
Скачиваний: 0
Отечественные квадрупольные
|
i |
|
|
М аксимальная отно сительн ая разреш аю щМ ая/ А Мспособность50о/ о |
С корость регистрации спектров м асс, а . е . м . / с е к |
М аксимальная чувст вительность (по а р гону) при м инималь ной скорости реги страции , м м p m . c m . |
|
Группа приборов |
Тип прибора |
Д иапазон м асс, а . е . м . |
|||
|
I |
|
|
|
|
|
|
ЭФМ-1 |
1 - 5 0 |
50 |
0 ,2 8 |
1 ■1 0 ~ 8 |
|
|
|
|
|
|
|
КМ -3 |
1 - 5 0 |
50 |
500 |
1 ■1 0 ~ 9 |
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
Д иапазон рабочих |
|
|
давлений, |
ро тем |
|
м м p m . |
c m . |
|
|
|
п , |
|
при изм ере ниях в ди на мике |
при индика ции |
В озмож ность грева датчика п ература, °С |
5 -1 0 5— 1 -10 3 |
Н ет |
|
1 ■1 О- 9 |
|
|
1 • 1 О- |
4 — |
280 ± 20 |
|
||
1 -1 |
0 “ 9 |
|
БДКМ |
1 - 1 5 0 |
150 |
200 |
|
2-1 0 9 |
1- 1 0 |
_ 3 — |
1-Ю- 2 |
|
Нет |
|
|
|
|
|
|
2 • 1 |
0 9 |
|
|
|
2 КМ -1 |
2 — 160 |
160 |
6 0 , 3 0 |
0 , |
5- Ю ~ 10 |
5-1 0 |
6— |
1 -ю — |
4 |
280±20 |
|
|
|
1000 |
|
|
5-1 0 —10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
КМ до |
2—300 |
400 |
(на |
0 ,2 и |
100 |
5-1 О- 1 2 |
5- 1 0 5— 5-10 4 |
Н ет |
||
3 |
300 |
|
м ассе |
1 32 |
|
|
|||||
|
|
|
|
5 10 |
12 |
|
|||||
а . е . м . |
|
а . |
е . |
м . ) |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
||||||
|
КМ -2 |
1—300 |
500 |
(на |
0 ,1 5 ; |
0 ,3 ; |
5 1 О- 1 2 |
1 -1 о —4— 5-10 4 |
150 |
||
|
|
|
массе |
132 |
50: |
100; |
|||||
4 |
|
4—600 |
а .е .м . |
200 |
|
5 ■1 0 |
12 |
|
|||
|
|
200 |
0 ,3 ; |
0 ,6 ; |
|
|
|
|
|||
|
|
|
а . |
е . |
м . |
100, |
20 0 , |
|
|
|
|
|
|
|
(на |
массе |
400 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
132 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
а . |
е. |
м . ) |
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а 1
масс-спектрометры
|
Наличие электрон ного визира д л я оп ределения номера массы , точность^из мерения массы , а . е . м . |
Тип индикатора |
В озмож ность анали за состава конденси рую щ ихся вещ еств |
Конструктивнее оформление, особен ности компоновки |
Н ет |
Самописец |
Н ет |
Консольное и спол |
|
Э П П -09М З |
|
нение в виде стой |
|
|
|
ки, датчик вы нос |
|
|
|
ной, длина кабе |
|
|
|
лей 2 м |
И меется п яти ка |
Сигнальные лампы |
Имеется |
|||
нальный |
блок вы |
в пяти каналах , |
|
||
вода информации |
фиксирую щ ие |
|
|||
о любых пяти |
момент превыш е |
|
|||
компонентах в п р е |
ния |
сигналом в |
|
||
делах |
от 1 до |
данном канале |
|
||
50 а . е. м . на |
заданного порого |
|
|||
систем у автом ати |
вого значения, |
|
|||
ческого |
регули |
регулируемого |
|
||
рования |
(АСУТП) |
в пределах д и ап а |
|
||
|
|
зона |
рабочих |
д а в |
|
|
|
лений; С 1 -1 9 Б |
|
||
|
|
при |
работе в |
р е |
|
|
|
жиме |
панорамного |
|
|
|
|
слеж ения |
|
|
|
Нет |
О сциллограф |
Е4ет |
|||
|
|
|
С 1 -1 9 Б |
|
|
И меется, ± 0 ,5 |
О сциллограф |
И меется |
|||
|
|
С 1 -19 Б |
|
|
|
Н астольный блок датчик выносной, длина кабелей
2 м
Настольный п ри бор, датчик
выносной, длина кабелей 2 м
Д ва |
настольных |
|
блока |
и осцилло |
|
граф , |
расп олож ен |
|
ные |
на столе, |
|
стол |
мож ет |
п ере |
дви гаться , |
д а т |
|
чик выносной, длина кабелей
2 ,5 м
|
информа |
разработки |
|
Источник |
ции, год |
Техниче ское опи сание, 1965 г.
1970
1351
1966
[3 3 , 55] 1968
Н ет |
О сциллограф |
Имеется |
Н астольный |
блок, |
[3 4 ] |
|
|
C l -1 9Б , э л ек т |
|
датчик выносной, |
1970 |
||
|
ронный потенцио |
|
длина |
кабеля |
|
|
|
метр Э П П -09М З |
|
2 ,5 |
м |
|
|
И меется, ± 0 ,5 |
О сциллограф |
Имеется |
Один настольный |
Техниче |
||
|
С 1-1 9Б , эчектрон- |
|
блок с осциллогра |
ское опи |
||
|
ный потенциометр |
|
фом С 1 -1 9 Б , |
р ас |
сание, |
|
|
Э П П -0 9М З или |
|
положенный |
на |
L701 1972 |
|
|
КСП -4 |
|
подвижном столе , |
|
||
под столешницей стола укреплен по тенциометр
182 |
183 |
|
|
| |
|
|
аксимальнаяМ отн о аясительнразреш аю способностьаящ %5ДАГ4/Ло |
|
|
аксимальнаяМ чувст вительность(по а р при)гонум инималь скоростиной реги ,страциим м p m . c m . |
Д иапазон |
рабочих |
ностьожозмВ п рогре датчикава, тем пе °,аратурС |
|||
|
приборовГруппа |
прибораТип |
азониапДмасс, .м.е.а |
коростьСр еги стра спектровции м асс, ес!.м.е.ак |
|||||||||
|
ереизмпри идвнияхн а мике |
индикациипри |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
давлений, |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
м м |
p m . |
c m . |
|
|
|
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
К М -4 |
1 - 3 4 0 |
|
600 |
0 ,1 5 : |
0 ,3 ; |
1 - 1 0 ~ 12 |
8 0 0 — 1 |
X |
|
150 |
|
|
|
|
(на |
массе |
50, |
100, |
|
х ю ~ 12 |
|
|
||
|
|
|
|
132 |
200 |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
а . е . м . ) |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
4 - 7 0 0 |
(на |
200 |
0 ,3 ; |
0 ,6 ; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
массе |
1 0 0 , |
2 0 0 , |
|
|
|
|
|
||
132400
а. е . м . )
* Г азоан ал и затор КМ-4 (см. рис. 40 и 41) состоит из квадрупольного масс- и изм ерения и системы непреры вного отбора пробы ПГС , которы е смонтиро 5 - Ю -9 м м рт. ст.; в системе отбора пробы им еется два игольчаты х вакуум ны х
в ионный |
источник датчи ка м асс-спектром етра; другой |
н атекател ь служ и т |
бопроводов |
и» электром агнитны х клапанов, и м ею щ аяся |
в газоан ал и заторе, |
другую в течение долей секунды . И нерционность системы напуска
пущенных и рекламировавшихся в конце 60-х — начале 70-х годов, приведен в табл. 2.
По основным параметрам приборы отечественные и зарубежные, принадлежащие к одним и тем же груп пам, сходны или близки по характеристикам. Необхо димо отметить, что табл. 2 составлялась в основном по рекламным сообщениям фирм, в которых зачастую сооб щаются предельные параметры без связи с другими ос новными параметрами. Такая реклама может создать определенную путаницу и затруднить сравнение разных
Продолжение табл. 1
|
Н аличие электрон ного визира дл я оп ределения номера массы , точность и з мерения массы , а . е . м . |
Тип индикатора |
В озмож ность анализа состава конденси рую щ ихся вещ еств |
К онструктивное оформление, особен- |
ности компоновки |
|
Источник инф орм а ции, год разработки |
|
|
| |
|
! |
|
|
|
|
|
Э П П -09М З |
или |
|
|
|
|
|
КСГ7-4, датчик |
|
||
|
|
|
выносной, |
длина |
|
|
И меется, |
О сциллограф |
И меется |
кабелей |
2 |
м |
[6 3 ] |
См. сноску * |
||||||
± 0 ,5 |
С 1 -1 9 Б , |
|
|
|
|
1972 |
|
электронный |
|
|
|
|
|
|
потенциометр |
|
|
|
|
|
|
Э П П -09М З |
|
|
|
|
|
спектром етра |
КМ-2, вакуум ной |
откачной |
системы |
со |
средствам и |
уп равлен ия |
|||||||||
ваны |
в общ ем корпусе. |
П редельны й |
вакуум |
в рабочей кам ере |
составляет |
||||||||||
н атекател я , |
|
через |
один |
из |
которы х |
напуск |
осущ ествляется |
непосредственно |
|||||||
д л я |
целей |
калибровки КМ-4 |
по |
калибровочны м газовы м см есям . С истем а |
тру- |
||||||||||
позволяет |
п олуавтом ати чески |
переклю чать |
прибор |
с |
ан ал и за |
одной П ГС |
на |
||||||||
менее 1 с е к . |
П орог |
чувствительности |
2 - 10~*5 об. %. |
|
|
|
|
|
|||||||
квадрупольных масс-спектрометров по их основным па раметрам, взятым в совокупности.
По внешнему виду КМ разных стран и фирм во многом похожи. Отечественные приборы независимо от
группы, к которой они относятся, |
выпускаются всегда |
в настольном варианте (иногда |
со столом на колесах), |
а зарубежные фирмы выпускают приборы и в настоль ном, и в консольном исполнениях (приборы 3-й и 4-й групп). Возможно, здесь сказались особенности и неко торые различия в эксплуатации отечественных и зару бежных км.
184 |
185 |
|
Группа приборов |
Тип прибора |
Ф ирма, страна |
Д иапазон масс, a . e . м . |
|
| |
|
|
|
|
QM G -5 |
R iber |
1 - 6 0 |
1 |
|
(Ф ранция) |
|
|
|
|
|
|
M N P -1 |
Veeco (США) |
1 - 5 0 |
|
(однополь) |
|
|
|
Q M M -16 |
R ib e r |
1 — 150 |
2 |
|
(Ф ранция) |
|
|
V arian —MAT |
|
|
|
А М Р-3 |
1 — 200 |
|
|
(Ш вейцария— |
||
|
|
ФРГ) |
|
|
Q U A D -160 |
EAI |
1 - 1 5 0 |
|
|
(США) |
1 - 2 5 0 |
|
Q U A D -1 50А |
EA I |
1 - 3 0 0 |
|
|
(СШ А) |
|
|
Q M M -1 7 |
R iber |
1—60 |
|
|
(Ф ранция) |
1 0 - 3 0 0 |
3 |
Q M G -1 01 |
Ва1зегз |
1 - 1 0 0 |
|
|||
|
|
(Ш вейцария) |
10—4 00 |
|
Spectroscan-400 |
C ranvil |
1 - 4 0 0 |
|
|
P h illip s Со. |
|
|
|
(США) |
|
Q U A D -300
MONOPOL-600 (однополь)
QM L-51
4
Q U A D -250A
Spectroscan-750
EAI |
1 — 100 |
(США) |
1 0 - 2 5 0 |
|
5 0 —500 |
G eneral |
1 - 6 0 0 |
E le c tric |
|
(СШ А) |
|
R ib er |
1—50 |
(Ф ранция) |
1 0 - 2 5 0 |
|
100—750 |
EAI |
1 - 8 0 0 |
(США) |
|
C ranvil |
1—50 |
P h illip s Co. |
10—250 |
(США) |
100 —750 |
Зарубежные квадрупольные
М аксимальная |
Скоростиреги стра спектровции масс, с/.м.е.ае к |
||
с |
х |
С X |
|
относительная |
|
||
|
разреш аю щ ая |
|
|
|
способность |
|
|
со |
|
со |
|
S '0 |
О о |
|
|
о 2 |
|
||
о |
2 |
|
|
-120 0 ,0 3 3 —500
50 |
- |
|
0 , 4 2 - 1 0 |
- |
300 |
0 ,0 8 4 —5 0 0 0 |
|
- |
200 |
0 , 3 - 2 0 0 0 |
|
250 |
- |
|
2 5 —2500 |
300 |
- |
|
0 ,2 5 — 1500 |
- |
600 |
0 ,1 6 —3 0 0 0 |
|
400 |
- |
|
0 , 1 — 1000 |
|
|
|
0 , 4 - 4 0 0 0 |
- |
300 |
(на |
0 ,7 — 1200 |
|
массе |
200 |
|
|
а . е. м . ) |
|
|
500 |
- |
|
0 ,2 8 —5000 |
- |
600 |
0 ,3 |
|
-1000 0 , 3 —60 000
500 |
|
0 ,0 0 3 —5000 |
- |
I 000 |
0 ,4 1 — 3 000 |
масс-спектрометры
|
М аксим альная ч ув ствительность при минимальной скоро сти регистрации , м м p m . c m . |
|
|
Д иап азон рабочих давлений , м м p m . c m . |
о OD |
|
Тип индикатора |
|||
1 ■ю - 1 1 |
о |
<1 |
|
Самописец, |
|||||
|
|
|
1 |
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
осциллограф |
|
1 ■1 о- 1 0 |
1 о |
■41 |
1 |
СО |
Самописец, |
||||
|
1 |
0 |
осциллограф |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
5- 1 0 - 1 4 |
1- 10— 7— М О - 1 2 |
С амописец, |
|||||||
осциллограф |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
W |
5 - 1 0 - 4 — 1 -10 — 12 |
Самописец, |
||||||
|
1 |
||||||||
|
осциллограф |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
! |
|
|
|
|
|
|
|
|
5 10 |
14 |
1 -10 |
|
7— М О - 1 2 |
О сциллограф |
||||
|
|
||||||||
1- 1 0 - 1 4 |
1 ■1 0 4—5 ■ 0 13 |
Самописец, |
|||||||
осциллограф |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
5 -1 0 |
15 |
1 - 1 0 |
|
7— 1 - 1 0 14 |
Самописец, |
||||
|
осциллограф |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
Т Л\ 1 о |
0 |
|
Самописец, |
||||
2- 1 0 |
14 |
|
|
|
|
т |
|
осциллограф |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
J 4* |
|
|
1 |
|
М( |
|
||
|
О |
о |
|
Т |
0 |
- |
||||
|
|
|
1 |
|
|
I |
|
|
|
- |
|
|
|
|
- |
|
|
Самописец, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
осциллограф |
|
1- ю - 1 4 |
~ 1■ I о 13 |
|
Самописец |
||||||
|
|
||||||||
|
|
|
т |
7 |
7 ° |
Самописец, |
|||
1 ■10 — 15 |
о |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
осциллограф |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
1 • 10— 15 |
|
1 |
|
*Ч |
1 |
4-» |
Самописец, |
||
|
о |
|
i |
0 |
осциллограф |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
5-1 0 —15 |
741 1 о |
0 |
14 |
Самописец, |
|||||
|
|
|
|
|
|
осциллограф |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
Т а б л и ц а 2 |
|
Н естабильность по казаний , % |
Конструктивное оформление, особен ности компоновки |
5-
-Н астольный
5-
-Н астольный
- |
С тойка на колесах |
|
- |
Н астольны й, о с |
|
|
циллограф и сам о |
|
|
писец отдельно |
|
1 ,5 |
|
- |
- |
Н астольны й , с а |
|
|
мописец |
и осцил |
|
лограф |
отдельно |
--
~5 Стойка на колесах
ссобственной о т качной системой
-Н астольны й, самописец
отдельно
1 ,5 |
- |
-Стойка на колесах,
самописец о тд ел ь но
± 1 Стойка на колесах, самописец о т д е л ь
но
186 |
187 |
|
Г л а в а 11 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК, МЕТОДИКА ГРАДУИРОВКИ И ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ КМ
§34. Типичные записи спектров масс, полученные на приборах типа КМ, характеризующие их основные параметры
Для наглядной иллюстрации основных технических характеристик, стабильно воспроизводимых на отечест венных серийноспособных КМ, в данном параграфе приведены разные по охватываемому диапазону масс участки спектров масс, полученные на образцах прибо ров КМ-1—КМ-4. Так, по рис. 40 можно судить о чувст
вительности прибора КМ-1, |
равной |
1• 10-10 мм рт. ст., |
||
при скорости |
регистрации спектров |
масс 60 а. |
е. м./сек |
|
и абсолютной |
разрешающей |
способности по |
уровню |
|
10%, равной 0,8 а. е. м.
Типичный спектр остаточной газовой среды в уста новке УВН-2У, снятый прибором КМ-1 в диапазоне масс от 14 до 153 а. е. м., приведен в работе [33]. На рис. 41 изображен спектр масс изотопов криптона (диапазон масс 78—86 а. е. M.)j зафиксированный прибором КМ-1 при скорости регистрации 300 а. е. м./сек. Сопоставле ние табличных [40] и измеренных прибором КМ-1 дан ных по изотопному составу криптона свидетельствует об их удовлетворительном взаимном соответствии для дан ного типа приборов, подтверждая вывод о возможности проведения относительных количественных измерений с помощью КМ.
На рис. 42 и 43 представлены фотографии спектров масс остаточных газов в установке УВН-2У, записанных
на |
бумажной |
ленте |
автоматического |
потенциометра |
||||
ЭПП-09МЗ, входящего в состав макета |
прибора КМ-2 |
|||||||
134], эксперимент |
проводился при |
давлении, |
равном |
|||||
7- 10~7 мм рт. ст., скорости |
регистрации спектров масс, |
|||||||
составлявшей |
в |
первом |
случае |
(см. рис. |
42) |
|||
0,2 |
а. е. м./сек, |
а |
во |
втором |
(см. |
рис. |
43) — |
|
0,4 |
а. е. м./сек. |
Масштаб |
шкалы |
по |
вертикали на |
|||
рис. 42 и 43 одинаковый за исключением участка спектра от 198 до 260 а. е. м. на рис. 43, который записан при усилении в 3,3 раза большем, чем остальная часть спектра. Сопоставление отдельных участков спектра масс на рис. 42 и 43 подтверждает предсказанную тео-
191