Файл: Прикладная спектрометрия с полупроводниковыми детекторами..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 15.10.2024

Просмотров: 112

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Если предположить, что подвижность электронов втрое больше подвижности дырок, то форма импульса тока в указан­ ных трех случаях будет иметь вид, показанный па рис. 1.10,6. Форма импульса напряжения при бесконечно большой нагрузке будет соответствовать виду, приведенному на рис. 1.10, в. На практике в образовании импульсов тока ППД принимает уча­

стие большое число

носителей, возникающих более или менее

равномерно по всей толщине

^

обедненной области детектора и

 

не локализованных

в одной какой-то точке чувствительной об-

J

2

а

,

/

ТОК

_ i _

j

1

ч

Время

б

1

 

o

£O

s

' N

§

 

( В

Время

в

Рис. 1.10.

Схема

образования импульсов тока

и напряжения в планарном ППД:

а — ППД;

/, 2, 3 — места

образования носителей;

б — форма

импульса

тока;

в — форма импульса на­

 

 

пряжения.

ласти ППД. В результате реальные длительности импульсов тока ППД оказываются заключенными между временами, соот­ ветствующими случаям 1 и 2. Отметим, что эта зависимость про­ падает, если подвижности электронов и дырок становятся рав­ ными по абсолютной величине.

Полное время нарастания выходного импульса ППД опре­ деляется временем сбора носителей, обладающих меньшей по­

движностью,

а время спада — постоянной времени выходной

цепи ППД.

Приведенная упрощенная картина существенно

усложняется, а время нарастания выходного импульса ухуд­ шается, если полупроводниковый материал детектора содер­ жит центры захвата, а время, проводимое носителями в ловуш­ ках, оказывается сравнимым (или даже большим) с временем собирания. Кроме того, носители разных знаков захватываются по-разному ловушками, имеющими обычно различные харак­ терные времена захвата.

В большинстве случаев время нарастания выходного им­ пульса ППД полностью зависит от величины и распределения электрического поля в обедненной области, ее толщины, числа и распределения по объему ППД центров захвата и их харак­ терных времен захвата, а также подвижностей носителей за­ ряда. Поскольку увеличение времени сбора за счет захвата но­ сителей ловушками не поддается строгому учету, обычно рас­ сматривают более простую модель, где считают, что это время определяется только величиной напряженности приложенного

41


к ППД электрического поля, подвижностью носителей и тол­ щиной обедненной области детектора. Согласно этим допуще­ ниям в такой модели максимальное время сбора носителей t в планарных литий-дрейфовых ППД равно

 

t =

W/\iE,

 

(1.32)

где W — толщина

обедненной

области;

р, — подвижность носи­

телей (электронов

или дырок);

Е — напряженность

электри­

ческого поля.

 

 

 

 

 

Поскольку в формировании

фронта

импульса

принимают

участие носители обоих знаков, время сбора t будет представ­ лять собой суперпозицию времен собирания носителей обоих знаков. Полученная таким образом величина t, естественно, будет верхним пределом возможного времени нарастания им­ пульса. Из приведенного выражения (1.32) не следует, что при увеличении напряженности электрического поля возможно по­

лучить сколь угодно крутой фронт импульса.

Связано это с

тем, что естественный предел

скорости движения носителей

при увеличении напряженности

электрического

поля — тепло­

вая скорость движения носителей в кристалле. Поэтому сокра­ щения времени нарастания (фронта) импульса можно достичь, уменьшив только толщину чувствительной области ППД.

При исследовании выходных импульсов от германиевых литий-дрейфовых ППД наряду с импульсами, имеющими вре­ менные характеристики, соответствующие толщине чувстви­ тельной области ППД и приложенному к нему напряжению, наблюдались импульсы с аномально медленными фронтами. На времена нарастания таких импульсов не оказывают влия­ ния ни величина напряженности электрического поля, ни тем­ пература детектора, ни энергия излучения. Для выяснения при­ чин появления таких импульсов германиевый планарный ли- тий-дрейфовый ППД облучали узким остро коллимированным пучком у-квантов, ось которого перпендикулярна оси детек­ тора. Одновременно временной анализатор регистрировал ко­ личество нормальных импульсов и импульсов с медленным фронтом нарастания. Результаты этих измерений приведены на рис. 1.11 [36]. Сканирование объема ППД пучком у-квантов ясно показывает, что импульсы с медленным фронтом возни­ кают при взаимодействии ионизирующего излучения с мате­ риалом ППД вблизи пограничных разделов обедненной обла­ сти с областями п- и /7-проводимости. Медленное собирание образовавшихся носителей объясняется диффузней носителей из областей, прилегающих к рг- и t—/г-переходам, и их мед­

ленным дрейфом в пограничном электрическом

поле

малой

напряженности.

Вклад

медленных импульсов в

общее число

тем больший,

чем

больше отношение площадей

пi- и

i —р-границ к объему чувствительной обедненной

области.

42


Минимальные искажения амплитудных распределений мо­ гут быть обеспечены коллимацией падающего излучения в среднюю часть обедненной области ППД или экранированием от излучения п—г- и i—p-областей ППД. При облучении ППД вдоль его оси возникновение медленных импульсов, как легко

'лр/южше кошмироШного пучка к-ищчшя,пн

Рис. 1.11. Распределение быстрых и медленных импульсов в планарном G e(Li)-детекторе размером 3,8 см2Х0,9 см, рабо­ тающем при напряжении смещения 900 В и температуре при­ мерно 77 К. Ширина коллимирующей щели 0,25 мм. Источ­ ник — l37Cs:

/ — сумма быстрых

и

медленных

импульсов; 2 — быстрые

импульсы,

интегральный

счет;

3

— медленные

импульсы,

интегральный счет;

♦/— быстрые

импульсы, счет в пике

полного

поглощения;

5 — мед­

ленные импульсы, счет в

пике

полного

поглощения.

 

видеть, неизбежно. Наличие таких импульсов при ограниче­ нии полосы пропускания усилительного тракта приводит так­ же к некоторому искажению аппаратурной линии.

§1.5. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ

Уполупроводникового детектора, так же как и у любого полупроводникового диода, при приложении обратного напря­ жения через электронно-дырочный переход протекает некото­ рый ток. Величина приложенного к ППД обратного напряже­ ния определяется, во-первых, необходимой величиной напря­ женности электрического поля для получения наилучшего (оп­ тимального) сбора образованных носителей заряда, во-вторых,

43

пробегом ионизирующих частиц в полупроводниковом мате­ риале чувствительной области ППД, в-третьих, вольт-ампер- ной характеристикой электронио-дырочиого перехода ППД, определяемой как свойствами полупроводникового материала ППД, так и технологией его изготовления и конструктивным выполнением ППД.

Типичные вольт-амперные характеристики ППД приведены па рис. 1.12.

Из приведенных характеристик можно сделать вывод о ка­

честве электронно-дырочного

перехода. Наилучшим, очевидно,

 

 

 

 

будет гот ППД,

характеристика

 

 

 

 

которого

будет

соответствовать

 

 

 

 

"Кривой 3. У этого образца имеет­

 

 

 

 

ся достаточно протяженное пла­

 

 

 

 

то при сравнительно малом зна­

 

 

 

 

чении тока.

Правда,

ток

ППД

 

 

 

 

на плато вольт-амперной харак­

 

 

 

 

теристики

у

образца 4

меньше,

 

 

 

 

чем

у образца

3,

однако

если

 

 

 

 

делать выбор детекторов, то

 

 

 

 

предпочтение следует отдать де­

 

 

 

 

тектору с вольт-амперной харак­

Рис. 1.12. Вольт-амперные

харак­

теристикой 3, так

как

у

него

больший

диапазон

рабочих на­

 

теристики ППД.

 

 

 

пряжений. Конечно, можно при­

 

 

 

 

 

 

 

 

менять для

некоторых

целей и

детекторы с вольт-амперной характеристикой

4

при

условии,

что

его отношение сигнал/шум

удовлетворяет

требованиям

эксперимента.

Менее

предпочтительны

те

образцы

ППД,

у

которых

вольт-амперная

характеристика

соответствует

кривой 2, поскольку наряду с увеличением рабочего напряже­ ния у них будет увеличиваться ток, а следовательно, и шумы. Совсем малую применимость для спектрометрии будут иметь ППД, вольт-амперная характеристика которых имеет вид кри­ вой 1.

Подъем вольт-амперных характеристик в высоковольт­ ной части связан с работой в области электрического пробоя детектора. Обычно спектрометрические детекторы в этой обла­ сти не используют.

Хорошая вольт-амперная характеристика ие может служить критерием оценки спектрометрических свойств ППД, посколь­ ку она не учитывает физических процессов собирания свободных носителей, образовавшихся при взаимодействии ионизиру­ ющей частицы с полупроводниковым материалом ППД [37— 42]. Обычно изготовители ППД стремятся уменьшить рези­ стивную составляющую вольт-амперной характеристики, что может быть обеспечено технологией и введением охранных электродов. Изготовители стремятся сделать ППД, у которого

44


плато вольт-амперной характеристики было бы достаточно про­ тяженным для того, чтобы при использовании ППД можно было выбрать оптимальное для проводимого эксперимента ра­ бочее напряжение. Рабочее плато вольт-амперной характеристи­ ки определяет рекомендуемый диапазон рабочих напряжений для ППД, который для поверхностно-барьерных и диффузион­ ных ППД составляет десятки и сотни вольт, а для диффузион­ но-дрейфовых ППД — от сотен до нескольких тысяч вольт.

Следует отметить, что не всегда удобно работать в крайних положениях плато вольт-амперной характеристики. Это связа­ но с тем, что при малых напряжениях собственная емкость ППД может оказаться чересчур' велика, а напряженность электриче­ ского поля, определяющая эффективность собирания носителей заряда, может быть мала.

При высоких рабочих напряжениях могут наблюдаться «микропробои» ППД — особый вид обратимых пробоев, не свя­ занный с необратимой порчей детектора. Работа в области «ми­ кропробоев» приводит к существенному ухудшению спектромет­ рических свойств ППД, так как в этом случае подчас возникают электрические импульсы, по своей величине соизмеримые с по­ лезным сигналом ППД. Предполагают, что такие «микропро­ бои» связаны с появлением каналов проводимости на поверхно­ стях ППД.

В результате происходит пробой (разряд электрических ем­ костей самого электронно-дырочного перехода и монтажных емкостей), отчего напряжение на ППД непрерывно меняется, а аппаратурная линия уширяется и искажается.

Важный электрофизический параметр ППД — вольт-емкост-

.пая (вольт-фарадная) характеристика, которая показывает связь между емкостью ППД и приложенным к нему напряжением. Типичные вольт-емкостные зависимости для некоторых типов ППД приведены на рис. 1.13. Кривая 1 относится к диффузион­ ным и поверхностно-барьерным ППД. Приведенная зависимость показывает, что в этих типах ППД собственная емкость значи­ тельно зависит от приложенного напряжения. Действительно, такие детекторы можно рассматривать как плоский электриче­ ский конденсатор, емкость которого описывается формулой

 

С — eS/4k\V,

где е — диэлектрическая

проницаемость полупроводникового

материала ППД (est=12;

еас=16); 5 — площадь чувствитель­

ной поверхности ППД и W — толщина чувствительной области ППД. Как ранее отмечалось, толщина чувствительной области

у этих детекторов пропорциональна)/ рU, поэтому и значение емкости обратно пропорционально\f U.

Кривые 2 и 3 (см. рис. 1.13) относятся к диффузионно­ дрейфовым детекторам. Кривая 2 относится к случаю так назы­

45


ваемого плохо выравненного детектора, кривая 3 — к случаю хорошо выравненного детектора. Начальное резкое уменьшение емкости подчиняется в принципе тем же законам, что и кривая 1, поскольку с ростом рабочего напряжения происходит резкое формирование обедненной области ППД. Пологий склон (мед­ ленное изменение емкости ППД на кривой 2) связан с форми­ рованием обедненной области в неоднородно компенсированных участках полупроводникового материала детектора. Многие ав­

 

 

 

 

 

 

 

торы

[43—45]

указывают,

 

 

 

 

 

 

 

что емкость на этом участ­

 

 

 

 

 

 

 

ке пропорциональна

U1/3.

 

 

 

 

 

 

 

Следует

отметить,

 

что

 

 

 

 

 

 

 

детекторы

с

вольт-емкост-

 

 

 

 

 

 

 

ной характеристикой, по­

 

 

 

 

 

 

 

добной

кривой

2,

относятся

 

 

 

 

 

 

 

к категории неудачно изго­

 

 

 

 

 

 

 

товленных

с

технологиче­

 

 

 

 

 

 

 

ской точки зрения, и неред­

 

 

 

 

 

 

 

ко за счет процессов тща­

 

 

 

 

 

 

 

тельного выравнивания

их

 

 

 

 

 

 

 

вольт-емкостная характери­

 

 

 

 

 

 

 

стика

3

принимает

вид

кри­

Рис.

1.13.

Вольт-емкостные

характе­

вой

с

одновременным

уменьшением величины

ем­

 

 

ристики ППД:

 

 

 

кости

 

ППД.

Собственная

1 — поверхностно-барьерный

и

диффузи­

 

онный

кремниевый;

2 — диффузионно-дрей­

емкость

ППД

зависит

от

фовые

кремниевый

и германиевый

с

размеров

детектора

и

от

«плохим

выравниванием»;

3 — то же,

с

 

«хорошим выравниванием».

 

приложенного

к нему

рабо­

 

 

 

 

 

 

 

чего

напряжения,

а также

от конфигурации электрического поля в нем. Поэтому при реги­

страции

моноэнергетического

ионизирующего

излучения ам­

плитуда

импульса

напряжения,

снимаемого с ППД (при усло­

вии его

полного

интегрирования),

определяется

выражением

U=Q/C,

где Q —-заряд, созданный

ионизирующей частицей в

чувствительной области ППД.

Отсюда следует, что у детекторов, изготовленных из одного и того же полупроводникового материала, но имеющих различ­ ные емкости, амплитуда импульса напряжения различна. Это говорит о том, что использование усилителей импульсов напря­ жения не может быть оптимальным для ППД. Усилители им­ пульсов тока также нашли малое применение в спектрометрах с ППД, поскольку указанные усилители имеют малое входное сопротивление, что приводит к избыточному энергетическому эквиваленту уровня шумов усилительного тракта. Эти обстоя­ тельства определили широкое использование так называемых зарядочувствительных усилителей, анализ характеристик кото­ рых будет проведен в последующей главе.

Рассмотрим влияние рабочего напряжения и соответствен­

46