Файл: Прикладная спектрометрия с полупроводниковыми детекторами..pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 112
Скачиваний: 0
Если предположить, что подвижность электронов втрое больше подвижности дырок, то форма импульса тока в указан ных трех случаях будет иметь вид, показанный па рис. 1.10,6. Форма импульса напряжения при бесконечно большой нагрузке будет соответствовать виду, приведенному на рис. 1.10, в. На практике в образовании импульсов тока ППД принимает уча
стие большое число |
носителей, возникающих более или менее |
||
равномерно по всей толщине |
^ |
обедненной области детектора и |
|
|
|||
не локализованных |
в одной какой-то точке чувствительной об- |
J
2
а
,
/
ТОК
_ i _
j
1
ч
Время
б
„ |
1 |
|
o |
£O |
s |
' N |
§ |
• |
|
( В |
Время
в
Рис. 1.10. |
Схема |
образования импульсов тока |
|
и напряжения в планарном ППД: |
|||
а — ППД; |
/, 2, 3 — места |
образования носителей; |
|
б — форма |
импульса |
тока; |
в — форма импульса на |
|
|
пряжения. |
ласти ППД. В результате реальные длительности импульсов тока ППД оказываются заключенными между временами, соот ветствующими случаям 1 и 2. Отметим, что эта зависимость про падает, если подвижности электронов и дырок становятся рав ными по абсолютной величине.
Полное время нарастания выходного импульса ППД опре деляется временем сбора носителей, обладающих меньшей по
движностью, |
а время спада — постоянной времени выходной |
цепи ППД. |
Приведенная упрощенная картина существенно |
усложняется, а время нарастания выходного импульса ухуд шается, если полупроводниковый материал детектора содер жит центры захвата, а время, проводимое носителями в ловуш ках, оказывается сравнимым (или даже большим) с временем собирания. Кроме того, носители разных знаков захватываются по-разному ловушками, имеющими обычно различные харак терные времена захвата.
В большинстве случаев время нарастания выходного им пульса ППД полностью зависит от величины и распределения электрического поля в обедненной области, ее толщины, числа и распределения по объему ППД центров захвата и их харак терных времен захвата, а также подвижностей носителей за ряда. Поскольку увеличение времени сбора за счет захвата но сителей ловушками не поддается строгому учету, обычно рас сматривают более простую модель, где считают, что это время определяется только величиной напряженности приложенного
41
к ППД электрического поля, подвижностью носителей и тол щиной обедненной области детектора. Согласно этим допуще ниям в такой модели максимальное время сбора носителей t в планарных литий-дрейфовых ППД равно
|
t = |
W/\iE, |
|
(1.32) |
|
где W — толщина |
обедненной |
области; |
р, — подвижность носи |
||
телей (электронов |
или дырок); |
Е — напряженность |
электри |
||
ческого поля. |
|
|
|
|
|
Поскольку в формировании |
фронта |
импульса |
принимают |
участие носители обоих знаков, время сбора t будет представ лять собой суперпозицию времен собирания носителей обоих знаков. Полученная таким образом величина t, естественно, будет верхним пределом возможного времени нарастания им пульса. Из приведенного выражения (1.32) не следует, что при увеличении напряженности электрического поля возможно по
лучить сколь угодно крутой фронт импульса. |
Связано это с |
|
тем, что естественный предел |
скорости движения носителей |
|
при увеличении напряженности |
электрического |
поля — тепло |
вая скорость движения носителей в кристалле. Поэтому сокра щения времени нарастания (фронта) импульса можно достичь, уменьшив только толщину чувствительной области ППД.
При исследовании выходных импульсов от германиевых литий-дрейфовых ППД наряду с импульсами, имеющими вре менные характеристики, соответствующие толщине чувстви тельной области ППД и приложенному к нему напряжению, наблюдались импульсы с аномально медленными фронтами. На времена нарастания таких импульсов не оказывают влия ния ни величина напряженности электрического поля, ни тем пература детектора, ни энергия излучения. Для выяснения при чин появления таких импульсов германиевый планарный ли- тий-дрейфовый ППД облучали узким остро коллимированным пучком у-квантов, ось которого перпендикулярна оси детек тора. Одновременно временной анализатор регистрировал ко личество нормальных импульсов и импульсов с медленным фронтом нарастания. Результаты этих измерений приведены на рис. 1.11 [36]. Сканирование объема ППД пучком у-квантов ясно показывает, что импульсы с медленным фронтом возни кают при взаимодействии ионизирующего излучения с мате риалом ППД вблизи пограничных разделов обедненной обла сти с областями п- и /7-проводимости. Медленное собирание образовавшихся носителей объясняется диффузней носителей из областей, прилегающих к р—г- и t—/г-переходам, и их мед
ленным дрейфом в пограничном электрическом |
поле |
малой |
||
напряженности. |
Вклад |
медленных импульсов в |
общее число |
|
тем больший, |
чем |
больше отношение площадей |
п—i- и |
|
i —р-границ к объему чувствительной обедненной |
области. |
42
Минимальные искажения амплитудных распределений мо гут быть обеспечены коллимацией падающего излучения в среднюю часть обедненной области ППД или экранированием от излучения п—г- и i—p-областей ППД. При облучении ППД вдоль его оси возникновение медленных импульсов, как легко
'лр/южше кошмироШного пучка к-ищчшя,пн
Рис. 1.11. Распределение быстрых и медленных импульсов в планарном G e(Li)-детекторе размером 3,8 см2Х0,9 см, рабо тающем при напряжении смещения 900 В и температуре при мерно 77 К. Ширина коллимирующей щели 0,25 мм. Источ ник — l37Cs:
/ — сумма быстрых |
и |
медленных |
импульсов; 2 — быстрые |
импульсы, |
|||
интегральный |
счет; |
3 |
— медленные |
импульсы, |
интегральный счет; |
||
♦/— быстрые |
импульсы, счет в пике |
полного |
поглощения; |
5 — мед |
|||
ленные импульсы, счет в |
пике |
полного |
поглощения. |
|
видеть, неизбежно. Наличие таких импульсов при ограниче нии полосы пропускания усилительного тракта приводит так же к некоторому искажению аппаратурной линии.
§1.5. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Уполупроводникового детектора, так же как и у любого полупроводникового диода, при приложении обратного напря жения через электронно-дырочный переход протекает некото рый ток. Величина приложенного к ППД обратного напряже ния определяется, во-первых, необходимой величиной напря женности электрического поля для получения наилучшего (оп тимального) сбора образованных носителей заряда, во-вторых,
43
пробегом ионизирующих частиц в полупроводниковом мате риале чувствительной области ППД, в-третьих, вольт-ампер- ной характеристикой электронио-дырочиого перехода ППД, определяемой как свойствами полупроводникового материала ППД, так и технологией его изготовления и конструктивным выполнением ППД.
Типичные вольт-амперные характеристики ППД приведены па рис. 1.12.
Из приведенных характеристик можно сделать вывод о ка
честве электронно-дырочного |
перехода. Наилучшим, очевидно, |
|||||||||||
|
|
|
|
будет гот ППД, |
характеристика |
|||||||
|
|
|
|
которого |
будет |
соответствовать |
||||||
|
|
|
|
"Кривой 3. У этого образца имеет |
||||||||
|
|
|
|
ся достаточно протяженное пла |
||||||||
|
|
|
|
то при сравнительно малом зна |
||||||||
|
|
|
|
чении тока. |
Правда, |
ток |
ППД |
|||||
|
|
|
|
на плато вольт-амперной харак |
||||||||
|
|
|
|
теристики |
у |
образца 4 |
меньше, |
|||||
|
|
|
|
чем |
у образца |
3, |
однако |
если |
||||
|
|
|
|
делать выбор детекторов, то |
||||||||
|
|
|
|
предпочтение следует отдать де |
||||||||
|
|
|
|
тектору с вольт-амперной харак |
||||||||
Рис. 1.12. Вольт-амперные |
харак |
теристикой 3, так |
как |
у |
него |
|||||||
больший |
диапазон |
рабочих на |
||||||||||
|
теристики ППД. |
|
||||||||||
|
|
пряжений. Конечно, можно при |
||||||||||
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
менять для |
некоторых |
целей и |
||||||
детекторы с вольт-амперной характеристикой |
4 |
при |
условии, |
|||||||||
что |
его отношение сигнал/шум |
удовлетворяет |
требованиям |
|||||||||
эксперимента. |
Менее |
предпочтительны |
те |
образцы |
ППД, |
|||||||
у |
которых |
вольт-амперная |
характеристика |
соответствует |
кривой 2, поскольку наряду с увеличением рабочего напряже ния у них будет увеличиваться ток, а следовательно, и шумы. Совсем малую применимость для спектрометрии будут иметь ППД, вольт-амперная характеристика которых имеет вид кри вой 1.
Подъем вольт-амперных характеристик в высоковольт ной части связан с работой в области электрического пробоя детектора. Обычно спектрометрические детекторы в этой обла сти не используют.
Хорошая вольт-амперная характеристика ие может служить критерием оценки спектрометрических свойств ППД, посколь ку она не учитывает физических процессов собирания свободных носителей, образовавшихся при взаимодействии ионизиру ющей частицы с полупроводниковым материалом ППД [37— 42]. Обычно изготовители ППД стремятся уменьшить рези стивную составляющую вольт-амперной характеристики, что может быть обеспечено технологией и введением охранных электродов. Изготовители стремятся сделать ППД, у которого
44
плато вольт-амперной характеристики было бы достаточно про тяженным для того, чтобы при использовании ППД можно было выбрать оптимальное для проводимого эксперимента ра бочее напряжение. Рабочее плато вольт-амперной характеристи ки определяет рекомендуемый диапазон рабочих напряжений для ППД, который для поверхностно-барьерных и диффузион ных ППД составляет десятки и сотни вольт, а для диффузион но-дрейфовых ППД — от сотен до нескольких тысяч вольт.
Следует отметить, что не всегда удобно работать в крайних положениях плато вольт-амперной характеристики. Это связа но с тем, что при малых напряжениях собственная емкость ППД может оказаться чересчур' велика, а напряженность электриче ского поля, определяющая эффективность собирания носителей заряда, может быть мала.
При высоких рабочих напряжениях могут наблюдаться «микропробои» ППД — особый вид обратимых пробоев, не свя занный с необратимой порчей детектора. Работа в области «ми кропробоев» приводит к существенному ухудшению спектромет рических свойств ППД, так как в этом случае подчас возникают электрические импульсы, по своей величине соизмеримые с по лезным сигналом ППД. Предполагают, что такие «микропро бои» связаны с появлением каналов проводимости на поверхно стях ППД.
В результате происходит пробой (разряд электрических ем костей самого электронно-дырочного перехода и монтажных емкостей), отчего напряжение на ППД непрерывно меняется, а аппаратурная линия уширяется и искажается.
Важный электрофизический параметр ППД — вольт-емкост-
.пая (вольт-фарадная) характеристика, которая показывает связь между емкостью ППД и приложенным к нему напряжением. Типичные вольт-емкостные зависимости для некоторых типов ППД приведены на рис. 1.13. Кривая 1 относится к диффузион ным и поверхностно-барьерным ППД. Приведенная зависимость показывает, что в этих типах ППД собственная емкость значи тельно зависит от приложенного напряжения. Действительно, такие детекторы можно рассматривать как плоский электриче ский конденсатор, емкость которого описывается формулой
|
С — eS/4k\V, |
где е — диэлектрическая |
проницаемость полупроводникового |
материала ППД (est=12; |
еас=16); 5 — площадь чувствитель |
ной поверхности ППД и W — толщина чувствительной области ППД. Как ранее отмечалось, толщина чувствительной области
у этих детекторов пропорциональна)/ рU, поэтому и значение емкости обратно пропорционально\f U.
Кривые 2 и 3 (см. рис. 1.13) относятся к диффузионно дрейфовым детекторам. Кривая 2 относится к случаю так назы
45
ваемого плохо выравненного детектора, кривая 3 — к случаю хорошо выравненного детектора. Начальное резкое уменьшение емкости подчиняется в принципе тем же законам, что и кривая 1, поскольку с ростом рабочего напряжения происходит резкое формирование обедненной области ППД. Пологий склон (мед ленное изменение емкости ППД на кривой 2) связан с форми рованием обедненной области в неоднородно компенсированных участках полупроводникового материала детектора. Многие ав
|
|
|
|
|
|
|
торы |
[43—45] |
указывают, |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
что емкость на этом участ |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
ке пропорциональна |
U1/3. |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
Следует |
отметить, |
|
что |
||||
|
|
|
|
|
|
|
детекторы |
с |
вольт-емкост- |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
ной характеристикой, по |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
добной |
кривой |
2, |
относятся |
||||
|
|
|
|
|
|
|
к категории неудачно изго |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
товленных |
с |
технологиче |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
ской точки зрения, и неред |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
ко за счет процессов тща |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
тельного выравнивания |
их |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
вольт-емкостная характери |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
стика |
3 |
принимает |
вид |
кри |
|||
Рис. |
1.13. |
Вольт-емкостные |
характе |
вой |
с |
одновременным |
||||||||
уменьшением величины |
ем |
|||||||||||||
|
|
ристики ППД: |
|
|
|
кости |
|
ППД. |
Собственная |
|||||
1 — поверхностно-барьерный |
и |
диффузи |
|
|||||||||||
онный |
кремниевый; |
2 — диффузионно-дрей |
емкость |
ППД |
зависит |
от |
||||||||
фовые |
кремниевый |
и германиевый |
с |
размеров |
детектора |
и |
от |
|||||||
«плохим |
выравниванием»; |
3 — то же, |
с |
|||||||||||
|
«хорошим выравниванием». |
|
приложенного |
к нему |
рабо |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
чего |
напряжения, |
а также |
от конфигурации электрического поля в нем. Поэтому при реги
страции |
моноэнергетического |
ионизирующего |
излучения ам |
||
плитуда |
импульса |
напряжения, |
снимаемого с ППД (при усло |
||
вии его |
полного |
интегрирования), |
определяется |
выражением |
|
U=Q/C, |
где Q —-заряд, созданный |
ионизирующей частицей в |
чувствительной области ППД.
Отсюда следует, что у детекторов, изготовленных из одного и того же полупроводникового материала, но имеющих различ ные емкости, амплитуда импульса напряжения различна. Это говорит о том, что использование усилителей импульсов напря жения не может быть оптимальным для ППД. Усилители им пульсов тока также нашли малое применение в спектрометрах с ППД, поскольку указанные усилители имеют малое входное сопротивление, что приводит к избыточному энергетическому эквиваленту уровня шумов усилительного тракта. Эти обстоя тельства определили широкое использование так называемых зарядочувствительных усилителей, анализ характеристик кото рых будет проведен в последующей главе.
Рассмотрим влияние рабочего напряжения и соответствен
46