ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 17.10.2024
Просмотров: 78
Скачиваний: 0
ка, соответствующая заданному моменту времени, снима лась как обычно при изменении напряжения, подаваемого на зонд, и регистрации этого напряжения и напряжения, вырабатываемого . накопительной схемой. Оба напряжения подавали на входы двухкоординатного самописца.
Серию вольт-амперных характеристик, соответствующих процессу развития высокочастотного разряда на переднем фронте или распада плазмы на заднем фронте импульса вы сокочастотного напряжения, получали последовательным снятием характеристик в различные моменты времени, от считываемые от начала соответствующего фронта высоко частотного импульса.
Описанная методика получения импульсных характери стик зонда, разумеется, применима лишь при периодиче ской, строго повторяющейся работе импульсного высокоча стотного разряда. Она дает меньшие значения погрешностей по сравнению с методикой временной регистрации зондового тока, соответствующего разным потенциалам зонда. Это особенно важно для задачи измерения функции распреде ления электронов по зондовой характеристике, так как в данном случае функцию распределения во всем диапазоне энергий можно получить по непосредственно снятой харак теристике без каких-либо преобразований эксперименталь но полученного материала. Серьезным преимуществом опи санного метода является отсутствие искажающего влияния на работу зондовой цепи со стороны коммутационного уст ройства из-за большого входного сопротивления послед
него. Наконец, так как |
за время «опроса» зонда, равного |
~ 1 мксек, потенциал |
зонда меняется чрезвычайно мало |
(не более 1 мкв), не происходит изменений в распределении объемного потенциала у зонда. Этот недостаток присущ методике импульсного снятия зондовой характеристики при подаче на зонд пилообразного напряжения за время
1—10 мксек [73, 74].
Из полученных описанным методом импульсных вольтамперных характеристик рассчитывали функцию распреде ления электронов на ЭВМ. Графическое двукратное диф ференцирование зондовых характеристик оказалось совер шенно неприемлемым, хотя оно применялось до недавнего времени [75, 76]. Погрешности, получаемые при подобной процедуре, могут достигать сотен процентов.
Поэтому была разработана методика получения функции распределения электронов из зондовой характеристики [77], в которой применен математический метод решения
47
интегральных уравнений с некорректно заданной левой частью, предложенный А. Н. Тихоновым (см., напри мер, [78]) и успешно применяемый для широкого диа пазона задач прикладной математики. Основное преиму щество метода—отсутствие увеличения погрешностей при вычислении второй производной зондовой характеристики по отношению к величине погрешностей получения исход ных данных.
Задачу отыскания второй производной от некоторой функции J (ѵ), измеряемой экспериментально, можно свести к интегральному уравнению. Действительно, обозначим
искомую вторую производную у (V), так что |
|
|||||
|
|
|
у (V) = cPJ/dv2 |
(1.15) |
||
определена на отрезке а ^ |
ѵ ^ |
Ь. Для удобства считаем, |
||||
что J |
(а) = J' (а) |
= |
0. Двойное интегрирование выражения |
|||
(1.15) |
дает |
|
|
|
|
|
|
V |
|
t |
|
|
|
|
J (ѵ) — J |
dt |
J у (х) |
dx + |
Сх (V — а) + С2. |
(1.16) |
аа
Преобразуем интеграл в уравнении (1.16):
J |
dt J у (x) |
dx = J dx J у (x) |
dt = |
J (v — x) у |
(x) dx. |
|
а |
а |
а |
х |
|
а |
|
|
Учитывая граничные условия, приходим к выражению |
|||||
|
|
J (и) = |
V |
у (х) |
dx, |
|
|
|
J (о — х) |
(1.17) |
|||
|
|
|
а |
|
|
|
которое представляет собой интегральное уравнение Вольтерра I рода. Принимая во внимание неточность экспери ментального определения левой части уравнения — вольтамперной характеристики J (ѵ), следует считать уравнение (1.17) некорректным. Метод регуляризации как способ решения некорректных интегральных уравнений, пред ложенный А. Н. Тихоновым, заключается в отыскании минимума так называемого «сглаживающего» функциона ла, образованного из функций J (ѵ), у (х), производных dny (x)ldxn и некоторого параметра регуляризации а. В ре зультате задача сводится к ннтегро-диффереицналыюму уравнению Эйлера с заданными граничными условиями. Задача регуляризации была решена для интегрального
48
уравнения Фредгольма I рода. Поэтому удобно свести урав* некие (1.17) к форме уравнения Фредгольма I рода:
ь |
|
|
j (ѵ) = I К (V, х) |
у (х) dx, |
(1.18) |
где ядро уравнения |
|
|
І\ (V, X) = к (ѵ — х) {ѵ — xj, |
|
|
x (v — x)=--{1, |
V > X ’ |
|
10, |
V < X. |
|
Регуляризующий функционал был взят в следующем |
||
виде: |
|
|
ь |
|
|
Q \у (*)] = П у ' |
(*)Р dx. |
(1.19) |
Ввиду того, что решения подобных задач обычно проводят на ЭВМ, удобно взять параметр регуляризации в форме а = б", где 0 < б < 1, а п = 0, 1, 2, 3, ... Получающееся уравнение Эйлера имеет вид
б д d* у (X ) _ |
j ^ ^ ф ) у ( ф ) , / ф + |
|
Ü X“ |
J |
|
ь |
о. |
|
|
|
|
+ § К2 {х, |
ф) у (ф) dtp = М (х), |
(1.20) |
где |
|
|
*х = ^ |
+ ^ ( * - Ф ) ; |
|
К2 = (Ь=Ф)1Н_(*= ф)і (ф_ л).
М (х) = § (V—X) J (ѵ) dv.
Граничные условия для уравнения (1.20): у'{р) = у'{Ь) —0. Уравнение (1.20) представляет собой обыкновенное диф ференциальное уравнение II рода и поэтому на основании теоремы Липшица о существовании и единственности реше^ ния дифференциального уравнения является корректным. Решение уравнения (1.20) проводится иа ЭВМ для каждого
49
значения параметра регуляризации, т. е. п раз, методом конечных разностей. Фактически его заменяют системой линейных алгебраических уравнений, в определителе кото рой при изменении п меняются лишь диагональные эле менты и элементы, расположенные рядом с диагональными. А. Н. Тихонов показал, что при монотонном уменьшении
ак пулю полученный ряд решений равномерно сходится
кистинному решению Y (х). В действительности сходи мость наступает при конечном значении а ', которое нахо
дят из условия, чтобы средняя квадратическая погрешность полученного решения во всем диапазоне величин ѵ не пре вышала экспериментальной погрешности Д; иными словами:
§ (ѵ—х) Yа' (х) dx— J (V) |
Д2. (1.21) |
а |
|
Расчеты проводили на электронно-вычислительных ма шинах БЭСМ-4 II М-20.
Методы отыскания второй производной проверяли на из вестных аналитических функциях, графики которых были сходны с получаемой экспериментально зондовой характе ристикой—sin2 X, exp (—X2) и т. п. Погрешность преобразо вания оказалась в пределах 5-—7%. Метод получения функ ции распределения электронов из опытных характеристик в целом проверяли сравнением с методом наложения на потенциал зонда малой осциллирующей составляющей и вы деления кратной гармоники [79—81]. Результаты обоих методов совпадают в пределах 30%.
_ Концентрацию электронов пе и их среднюю энергию
<о в слабоіюиизованной плазме определяли из полученных функций распределения электронов для данной точки про странства в выделенный момент времени по формулам:
пе= 4,2 • ІО10 |
f S i / 2f( S ) d S |
|
|
'5--------- |
.------- |
( 1.22) |
|
S3 |
оо |
|
|
|
[ |
Sf (CS) dS |
|
|
О |
|
|
со |
|
|
|
f S3/2f(S)dS |
|
|
|
1 = 3?------------------ |
|
|
(1.23) |
СО |
|
|
|
f S l/2f(S)dS
о
50
при нормировке функции распределения электронов
оо
О
Здесь (/а)0 — электронный ток на зонд при потенциале пространства, ма; S3 — площадь собирающей поверхности зонда, мм2; Ш= теѵІІ2 — энергия электрона. Контроль достоверности зондовых измерений пе проводили методом отсечки СВЧ-сигнала с Я = 3 см, подаваемого генератором ГС-624М. Таким образом, абсолютные значения концентра ции электронов определяли с погрешностью 30—35%. Отно сительные величины пе измерены с погрешностью не бо лее 3—5% (погрешность измерительной аппаратуры).
Помимо зондового метода для измерения параметров плазмы применяли количественную спектроскопию. Вре менное разрешение порядка 1—3 мксек получали как при фотографической (с помощью спектрохронографа с вра щающимся диском), так и при фотоэлектрической регист рациях. Применяли стандартные спектрографы ИСП-51 с различными камерами и фотоэлектрической приставкой ФЭП-1, а также спектрограф ИСП-28 ближнего (кварцевого) ультрафиолетового излучения. Спектры получали при осе вом и радиальном наблюдениях цилиндрического столба плазмы. В последнем случае длину излучающего объема
R |
J 0TH (г) |
dr; относительное рас |
L заменяли величиной 2 J |
||
0 |
,/отн (г) |
пересчитывали из хордо |
пределение интенсивности |
вого распределения по методу Абеля [82] на ЭВМ. При проведении абсолютных измерений интенсивности спектр эталонных источников (ленточная лампа СИ8-200У и ка пиллярный разряд ЭВ-45 [53]) снимали в строго идентич ной геометрии осветительной системы входной щели спек трографа. Выравнивание интенсивностей осуществляли нейтральными фильтрами с проведением спектральной ка либровки фильтра на эталонных источниках. Были приняты меры для контроля правильности заполнения оптической системы спектрографа и выделения излучения от требуемого объема плазмы. Установку необходимого момента экспози ции излучения сильноточного импульсного разряда контро лировали с помощью фотодиода и осциллографа (рис. 1.10) с тщательным выдерживанием постоянства числа оборотов диска спектрохронографа осциллографнческим тахоскопом
51