Файл: Моряков, О. С. Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве учеб. пособие.pdf

ют и извлекают спаянные ножки, которые укладывают в специаль­ ную тару.

Показанная на рис. 76 графитовая кассета для пайки баллонов состоит из основания 3, к которому привернут корпус 2. Сверху кас-

Рис, 75. Распределение температуры по длине печи при пайке ножек:

а — кривая режима пайки, 6 —план печи

сета закрывается крышкой 1. Основание имеет упор для короткой тонкой трубки. В корпус кассеты закладывают колпак баллона, за­ тем в него укладывают керамический изолятор, в отверстия изоля­ тора вставляют трубки с кольцами припоя, которые размещают по периметру колпака и вокруг тру­

129

час. После остывания кассеты разбирают, баллоны извлекают и укладывают в специальную тару.

Для улучшения электрических параметров приборов, герметизи­ рованных в металлокерамических корпусах, поверхности керамиче­ ских деталей иногда глазуруют, что еще и улучшает их внешний вид. Глазурь, нанесенная на керамический изолятор баллона, мо­ жет служить своеобразным припоем: она заполняет зазоры между деталями и скрепляет их между собой. Глазурь используют для ва­ куумноплотного соединения металлических и керамических деталей.

BJ

Рис. 77. Распределение температуры по длине печи при пайке баллонов:

а — кривая режима пайки, б —план печи

Температура размягчения глазурей лежит в пределах 500—800° С, а растекания— 1000—1350° С. В состав глазурей входят кремнезем, глинозем и окислы некоторых металлов (ВаО, СаО и др.).

Технологический процесс получения металлокерамического сое­ динения^ помощью глазури заключается в сборке деталей в спе­ циальной кассете. Глазурную пасту наносят различными способа­ ми: кисточкой, шпателем, опрыскиванием. Лучше всего использо­ вать глазурь в виде таблеток, полученных прессованием порошка, замешанного на парафине с бензином. Готовые таблетки обжигают на воздухе при темепратуре 900—1000° С.

Л у ж е н и е состоит из следующих операций:

очистки выводов (обезжиривания, промывки и сушки);

покрытия их флюсом (одноили двукратного) окунанием в 25,%-ный раствор хлористого цинка;

130

вателями, уплотнены асбестовым шнуром. По дну рабочего канала

проложены направляющие с конвейерной лентой 5, Холодильник предназначен для охлаждения изделий перед вы­

ходом из рабочей камеры и представляет собой обычную водяную

рубашку.

Вдоль дна нагревательных камер проложены трубы для продув­ ки азотом. Газ подводится через насадки, вмонтированные в дно и боковые стенки корпуса, между нагревательными камерами, что обеспечивает создание газовой завесы, препятствующей проникно­

вению газа из одной секции в другую.

В крышках корпуса имеются два игольчатых вентиля 7 для взя­ тия проб газа. Кроме того, в крышке первой секции закреплены пять, а во второй —три термопары 8. На входе и выходе рабочей камеры установлены газовые насадки 4. В верхней стенке корпуса насадки имеется отверстие, закрытое набором металлических се­ ток, и спиральный электронагреватель, обеспечивающий сгорание отходящих газов.

Конвейерная лента приводится в действие электродвигателем 11, который через специальную муфту вращает бесступенчатый вариатор 13, позволяющий регулировать скорость в пределах от 70 до 250 об/мин. От вариатора движение передается на двухступен­ чатый червячный редуктор 14 с передаточным числом, равным 1200. Выходной вал редуктора через цепную передачу вращает привод­ ной барабан 15, сообщающий движение конвейерной ленте.

Транспортировка изделий в рабочей камере осуществляется пле­ теной лентой из нихромовой проволоки, натянутой между ведущим и ведомым барабанами. Нижнюю ветвь ленты поддерживают че­ тыре ролика, а пятый ролик (для увеличения угла охвата) установ­ лен непосредственно у приводного барабана.

Подача газов в печь производится от двух магистральных труб, проложенных внутри каркаса вдоль нагревательных камер. Через одну трубу подают азот, а через другую — водород. На входе труб установлены контрольные манометры и редукторы давления.

Энергия к нагревательным камерам подводится от индивидуаль­ ных трансформаторов, напряжение которых регулируется в пре­ делах от 0 до 30 В, а ток измеряется амперметрами, установлен­ ными на лицевой панели пульта управления.

Для регулировки и поддержания на заданном уровне темпера­ туры конвейерная печь оборудована автоматической системой. Автоматический регулятор обеспечивает контроль и запись темпе­ ратуры в восьми, а регулирование — в трех точках. Датчиками температуры служат термопары, сигналы которых подаются на вход самопищущих потенциометров.

132