Файл: Микроминиатюризация высокочастотных радиоустройств..pdf

62

Р и с .2 .3 . Ленточный кварцедержатель в технологической перемычкой.

(р и с.2 .3 ) . Сначала на нижние площадки стоек наносится токопро­ водящий клей, после чего стойки кварцедержателя 3 , 4 устанав­ ливаются и прижимаются к подложке микросхемы 1 таким образом,

чтобы нижние площадки 5 , 6 были совмещены с контактными площа­ дками микросхемы 12, 13 . После высушиванія клея удаляется'тех­ нологическая перемычка И (на р и с .2 .3 лишя отреза показана пунктиром). Затем наносится токопроводящий клей на верхние площадки стоек 7 , 8 (р и с.2 .2 ) и на них укладывается между фик­ саторами пьезоэлемент так, чтобы контактные площадки его эле­ ктродов совпадали с площадками стоек, и собранный узел направ­ ляется на сушку клеевого соединения.

В качестве токопроводящего клея возможно применение компо­ зиции, содержащей дисперсное серебро и клей БФ-4. Такой клей обеспечивает минимальное переходное сопротивление между склеи­ ваемыми поверхностям^ и их механическое соединение. Технологи­ ческая перемычка 11 (р и с .2 .3 ) на кварцедержателе.является при­ способлением, облегчающим операцию установки кварцедержателя

63

на подложку микросхемы.

Конструктивное исполнение ленточного кварцедержателя обеспечивает размещение кварцевого пьезоэлемента со стороны пленочных элементов микросхемы без применения дополнитель­ ных элементов крепления, что позволяет уменьшить общие раз­ меры генератора. Кроме того, таким конструктивным решением достигается улучшение электрических характеристик генерато­ р а , так как уменьшается длина соединительных проводников между кварцевым пьезоэлемент ом и гибридной пленочной микро­ схемой, а следовательно, уменьшаются паразитные емкость и индуктивность, включенные параллельно кварцевому пьезоэле­ менту. За счёт этого принцишально возможно повышение ста­ бильности частоты генерируемы?, колебаний и устойчивости генерации. Ленточный кварцедердатель отличается технологич­ ностью его деталей и сборки, достигаемой применением токо­ проводящего клея и исключением необходимости выполнения отверстий в подложке гибридной пленочной микросхемы.

5 . ГИБРИДНЫЙ ПЛЕНОЧНЫЙ КВАРЦЕВЫЙ ГЕНЕРАТОР 10 МГЦ

В целях экспериментальной проверки результатов анализа схем кварцевых генераторов разрабоган и испытан гибридный пленочный кварцевый генератор синусоидального сигнала с частотой 10 МГц по осцилляторной "безындуктивной" схеме с кварцем, работающим на основной частоте. Эта схема отвеча­ ет требованиям, предъявляемым к конструкции гибридных пле­ ночных устройств. Изготовление тонкопленочной микросхемы это­ го генератора не сопряжено с технологическими трудностями.

64

Р и с .2 .4 . Схема кварцевою генератора 10 МГц.

В качестве буферного пскада применен эмиттерный повтори­ тель. Связь эмиттерного повторителя с генератором непосред­ ственная, что позволило уменьшить качество элементов схемы.

Кварцевый генератор 10 МГЦ и эмиттерный повторитель вы­ полнены на одной подложке и представляют собой отдельный функциональный узел . Принципиальная схема этого узла приве­ дена на р и с .2 .4 . На схеме указаны номинальные значения пара­ метров элементов. Допуск емкости конденсаторов составляет

65

Пленочные пассивные элементы на диэлектрическую подложку

напыляются в вакууме с помощью съемных масок. В генераторе и буферном каокаде применены бескорпусные навесные транзисторы.

Выводы транзисторов припаиваются к соответствующим контактным площадкам, а сами транзисторы прикрепляются к подложке с помо­ щью клея. Кварцевая пластинка соединяется со схемой с помощью ленточных кварцедержателей.

Топологический чертеж кварцевого генератора 10 МЙц показан

68

рцевый резонатор возбуждается на седьмой гармонике. Настройка

квмпенсирующего контура не является критичной и з -за низкой

добротности, обусловленной шунтирующим действием активных про­ водимостей транзисторов.

В качестве буферного каскада применен резонансный усили­

линейного режима работы использована слабая связь через ем­ кость.

Кварцевый генератор и буферный каскад представляют собой

отдельный функциональный узел . Принципиальная схема этого уз­

ла приведена на р и с .2 ,7 . На схеме указаны номинальные значе­

ния параметров элементов. Допуск емкости пленочных конденса­

торов составляет £50%; допуок сопротивления резистора R1 со­ ставляет +10%; остальных резисторов - +20$.

Конденсаторы СЗ и 08 - матричные. При номинальной ве­

личине емкости 15 пф диапазон их перестройки составляет +30$.

ет применять напряжения питания 8 и 12 В .

Пленочные пассивные элементы напылены на диэлектрическую подложку в вакууме с помощью съемных масок. В генераторе при­ менены бескорпусные навесные транзисторы. Выводы транзисторов припаяны к соответствующим контактным площадкам, а сами тран­ зисторы прикреплены к подложке с помощью клея.

В генераторе применены навесные плоские проволочные спи­ ральные микрокатушки индуктивности с подстройкой индуктивно-

70

сти короткозамкнутым витком и кварцевый резонатор в корпусе

типа ТОо Топологический чертеж кварцевого генератора 130 МІ*ц пока­

зан на р и с .2 .8 . Микросхема выполнена на подложке из ситалла

размером 16x30x0,6 мм. Материалом обкладок конденсаторов, про­ водников и контактных площадок служит алюминий А9Э. Для напы­ ления диэлектрического слоя конденсаторов и защитного слоя использована моноокись кремния. Удельная емкость конденсаторов

составляет 5000 пф/см^. Для напыления резиоторов применен ни­ хром Х20Н80 с удельным сопротивлением пленки 100 Ом/а • Обоз­

На р и с .2 .9 показана конструкция кварцевого генератора

130 М5ц. Подложка гибридной пленочной микросхемы 2 приклеена

тактные площадки микросхемы соединены пайкой с соответствующи­ ми контактными площадками печатной платы и выводами 4 корпуса

1 отрезками медной проволоки ^ 0,05 мм. Кварцевый резонатор 5

в корпусе ТО закреплен в отверстии корпуса с помощью клея.

Крепление кварцевого резонатора к корпусу генератора возможно также с применением держателей, обойм и т .п .

Р и с .2 .8 . Топологический чертеж кварцевого генератора 130 МГц.