Файл: Хокс П. Электронная оптика и электронная микроскопия.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 09.04.2024
Просмотров: 110
Скачиваний: 2
Электронный микроскоп |
169 |
щий математический анализ требует применения довольно сложных методов. В последующем рассмотрении этого чрезвычайно важного механизма формирования контраста в основном приводятся результаты и физическая картина
процесса, а математические выводы полностью |
даются |
не всегда 1). |
падаю |
Рассмотрим объект, освещаемый электронами, |
щими параллельно оптической оси. (Напомним, что это было бы возможно на практике только в том случае, если бы все электроны исходили из одной точки и преобразовы вались в параллельный пучок с помощью линзы, свободной от аберраций. Таким образом, это является идеализацией, хотя и вполне приемлемой.)
В терминах волновой оптики это соответствует пло ской волне, падающей на объект. Для пучка частиц «вол нами» являются решения уравнения в частных производ ных — уравнения Шредингера, точная форма которого здесь нас не интересует.
Использование комплексных чисел позволяет описать свойства волн в компактной форме, и эта форма записи нашла очень широкое применение. В действительных обозначениях простая одномерная волна описывается гар монической функцией вида
/ (z, ^^FoCOS^JtzA —сot),
где X — длина волны, со — угловая частота, F 0 — ампли туда волны. Начало отсчета для 2 и t выбирается таким образом, чтобы / (0, 0) — F 0. При любом другом выборе
начала отсчета мы должны ввести в выражение аналогич ный член с синусом или в аргумент косинуса включить
фазовый |
член ф, |
т. |
е. |
||
|
|
/ (z, t) = |
F0cos(2nzA — (ot + ф). |
||
Поскольку |
действительная и мнимая части exp (i 0) |
||||
есть |
cos0 |
и |
sin 0 , |
можно написать |
|
|
|
/ (z, t) = |
Re [ f о exp i (2ягА —Ш -f ф)] |
||
') |
Прежде чем приступить к детальному изучению математиче |
ских выкладок, читатель может на стр. 199 познакомиться с их результатами без выводов. Идея, лежащая в основе анализа, широко используется во многих областях физики.
170 |
Глава 3 |
ИЛИ
/(z, Z)=Re [/0 ex p i(2 nzA —сой)],
где /о является комплексным членом
fo — Po exp(i^).
Это конечное выражение обычно записывается как
/ (z, t) — f 0exp i (2 nzA —Ш),
причем под этим автоматически подразумевается действи тельная часть. Если разложить экспоненциальную функ цию на пространственную и временную компоненты, то можно видеть, что / (z, t) представляет собой произведе ние функции z и функции V.
/(z, * )= [/„ exp(i2nzA)l [ехр( — ico£)].
Функция времени не представляет здесь интереса, и, по скольку она входит во все выражения /, она для крат кости записи в формулах будет опущена, но наличие ее следует везде подразумевать. Таким образом, вместо запи си в виде / (z, t) — ф (z) exp (—icoi) будет использовано выражение ф (z) = / 0 exp (i2nz/X).
Волна перемещается в z-направлении, но ее амплитуда может меняться вдоль плоскости х — у, перпендикуляр ной оси z. Так, например, если параллельный пучок света падает на экран, имеющий малое отверстие, то можно считать, что выходящая волна вне отверстия имеет нуле вую амплитуду и некоторое определенное (не равное нулю) распределение амплитуды в отверстии. Следова тельно, движение волны в направлении оси z закономерно будет описывать функция
Ф(я, у, z) = f 0(x, у) exp(i2 nzA)-
Амплитуда и фаза волны, идущей от объекта, в общем случае будут отличаться от амплитуды и фазы падающей волны. Падающий параллельный пучок соответствует возмущению
ф (vC, у, z) — A exp (i2nzA)> |
(3.3) |
где А — постоянная амплитуда, которую без потери общ ности можно принять равной единице (А = 1). Объект
Электронный микроскоп |
171 |
может быть охарактеризован функцией t ( x , y ) , |
которая |
определяет изменения амплитуды и фазы падающей волны при прохождении через объект в любой точке:
t(x, у) = а(х, y)expi<£ (х, у). |
(3.4) |
Следовательно, волна, выходящая из объекта, имеет фор му
Ф (х , у , z0) = |
t (х, |
у) exp (2 jtiz/A,)= |
|
= |
а (х, |
у) exp i (2nz/K + ф). |
(3-5) |
Если энергия не передается от пучка к объекту, |
то а (х, у )= |
= 1, а практически а (х, у) всегда близка к единице. Поэто
му |
можно |
написать |
соотношение |
|
|
|
|
а( х, у) = 1 — а(х, |
у), |
(3.6) |
|
где |
а (х, у) |
— малая |
величина по |
сравнению |
с единицей |
(а должна быть меньше единицы, так как объект может
только задержать электроны из пучка, но никогда не мо жет добавить в пучок новые электроны).
Функция ф (х, у) определяет фазовые изменения, обус |
|
ловленные объектом. Некоторое представление о порядке |
|
величины фазовых изменений можно получить на осно |
|
вании следующих простых соображений. До настоящего |
|
момента понятие «показатель преломления» не применя |
|
лось, поскольку оно в основном представляет |
интерес |
в более формальных теориях электронной оптики. |
Нетруд |
но |
показать, что величину У1/* 2 (где, как обычно, У = |
= |
Ф (1 + еФ)) можно рассматривать как показатель пре |
ломления *). При прохождении через объект электроны пересекают потенциальную «яму», так как средний потен циал внутри объекта немного ниже, чем в вакууме. Если
через п0 |
и n t обозначить |
показатели |
преломления вне |
||
и |
внутри |
объекта, |
то разность хода между значениями |
||
|
!) Е сл и прин ять, |
что отнош ен ие п ок азател ей п рел ом лен ия д в у х |
|||
ср ед обратн о проп орц и он альн о отнош ению дли н |
в ол н , то этот р е зу л ь |
||||
тат |
м ож ет |
быть п ол учен и з уравн ен и я (1 .1): |
|
||
|
|
|
1 |
И /2 |
|
|
|
|
щ_______v\__ |
|
П2 ~ ~ h i _ У | / 2 '
172 |
Глава 3 |
оптической длины пути электрона, проходящего через объект, и электрона, проходящего через вакуум (без объекта), будет определяться как
—— — D, |
(3.7а) |
п0 |
|
где D — толщина объекта. Тогда разность фаз ф дается
выражением
|
|
|
|
|
(ЗЛ6) |
Записывая n t = |
F*/2, |
п0 |
А/ 2 |
получаем |
|
= Vo'~, |
|
||||
Щ _ |
Г (Фр+ Ф») (1 + ЁФоЧ-бФ;')! 1^2 |
|
|||
«о |
L |
Ф0(1 +еФ0) |
J |
|
|
|
|
Ф| |
\ ‘/2 |
Ф; |
(3.8) |
|
(‘ + » |
‘ |
2ФП |
||
|
|
Фп |
|
|
где Ф; —«внутренний потенциал» объекта. Таким образом,
я Ф; |
(3.9) |
|
% Ф0 |
||
|
Типичное значение внутреннего потенциала составляет 10—20 В (8 В для бериллия и углерода, 21 В для серебра
и золота), так что для 100-кВ электронов (X = 0,037 А) njrig — 1 меняется от 5-10-5 при Фг = 10 В до 10~4 при
Ф; = 20 В. Следовательно, для легкого элемента, для которого Фг = 10 В, фазовый сдвиг достигает я/2, когда
толщина объекта составляет всего лишь 185 А. Это очень малая толщина для электронномикроскопического объекта,
ипоэтому целесообразнее рассматривать изменения фазо вого сдвига, создаваемого различными частями объекта, чем разность фаз между лучом, проходящим через объект,
илучом, проходящим тот же путь в вакууме.
Все вышеизложенное позволяет лучше понять, почему некоторые теории формирования изображения должны основываться на допущении, что ф является достаточно
малой величиной для того, чтобы можно было разложить exp i<£ как 1 + i^. Если это не имеет места, то теория становится значительно более сложной и интерпретацию электронного изображения вблизи предельного разреше ния требуется производить с особой осторожностью.
Электронный микроскоп |
173 |
Рассмотрим объекты, для которых а (х, у) (уравнение (3.6))
мало и exp i<|> |
(х , у) т 1 |
+ i<j>(х, у), |
так что |
|
t (х, |
г/)= (1 —а) (1 — i<£) » 1 — a + i^>. |
(3.10) |
||
Дифференциальное |
уравнение, |
удовлетворяющее |
ф (х, у, z), может быть записано в параксиальном прибли
жении точно так же, как и уравнения движения. Выпол нив это, можно найти, что решение имеет вид
ф (г, у, z) = ^ Д г) j j ф(ж0, у0, z0) x
х ехР { Т Щ - (z) (* * + ^ —
— 2 ( xx 0-\-yyo) + h'(z)(x‘* + y‘2)]} dxQdy0. (3.11а)
Интегрирование выполняется по переменным х0, у0,
которые пробегают площадь объекта, находящегося в пло скости z = z0. Уравнение (3.11а) показывает, как развер тывается функция ф (х, у, z) по оси z, определяя ее зна чение при z = z0. Функции g (z) и h (z) являются реше
ниями параксиальных уравнений движения, которые удов летворяют граничным условиям
g(z0) = h' (z0) = 1 ,
g’ (z0)= h (z0)= 0 .
(Далее вместо g(z) и h (z) мы будем писать просто g и h.) Поскольку интегрирование ведется по х0 и у0, уравнение
(3.11а) может быть преобразовано следующим образом:
ф(ж, У, z) = |
- -- |
- - |
- - |
Г |
- |
- |
-УоJ'z°)J *X |
|
|
ехрГ т г (г2+г/2)] |
р |
|
|
||||
X exp | ^ |
[g (xl + yl) — 2 |
(хх 0+ уу0)]} dx0 dy0. |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
(3.116) |
В плоскости, |
в |
которой |
g (z) |
= |
0, |
z |
— za, имеем |
|
Ф(я, у, |
Za) = |
C |
j j ф(ж0,уо, z0) exp [ — 2 m (ххо + |
+ yyo)/kha\ dx0 dy0. |
(3.12) |