Файл: Хокс П. Электронная оптика и электронная микроскопия.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 110

Скачиваний: 2

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Электронный микроскоп

169

щий математический анализ требует применения довольно сложных методов. В последующем рассмотрении этого чрезвычайно важного механизма формирования контраста в основном приводятся результаты и физическая картина

процесса, а математические выводы полностью

даются

не всегда 1).

падаю­

Рассмотрим объект, освещаемый электронами,

щими параллельно оптической оси. (Напомним, что это было бы возможно на практике только в том случае, если бы все электроны исходили из одной точки и преобразовы­ вались в параллельный пучок с помощью линзы, свободной от аберраций. Таким образом, это является идеализацией, хотя и вполне приемлемой.)

В терминах волновой оптики это соответствует пло­ ской волне, падающей на объект. Для пучка частиц «вол­ нами» являются решения уравнения в частных производ­ ных — уравнения Шредингера, точная форма которого здесь нас не интересует.

Использование комплексных чисел позволяет описать свойства волн в компактной форме, и эта форма записи нашла очень широкое применение. В действительных обозначениях простая одномерная волна описывается гар­ монической функцией вида

/ (z, ^^FoCOS^JtzA —сot),

где X — длина волны, со — угловая частота, F 0 — ампли­ туда волны. Начало отсчета для 2 и t выбирается таким образом, чтобы / (0, 0) — F 0. При любом другом выборе

начала отсчета мы должны ввести в выражение аналогич­ ный член с синусом или в аргумент косинуса включить

фазовый

член ф,

т.

е.

 

 

/ (z, t) =

F0cos(2nzA — (ot + ф).

Поскольку

действительная и мнимая части exp (i 0)

есть

cos0

и

sin 0 ,

можно написать

 

 

/ (z, t) =

Re [ f о exp i (2ягА —Ш -f ф)]

')

Прежде чем приступить к детальному изучению математиче­

ских выкладок, читатель может на стр. 199 познакомиться с их результатами без выводов. Идея, лежащая в основе анализа, широко используется во многих областях физики.



170

Глава 3

ИЛИ

/(z, Z)=Re [/0 ex p i(2 nzA —сой)],

где /о является комплексным членом

fo — Po exp(i^).

Это конечное выражение обычно записывается как

/ (z, t) — f 0exp i (2 nzA Ш),

причем под этим автоматически подразумевается действи­ тельная часть. Если разложить экспоненциальную функ­ цию на пространственную и временную компоненты, то можно видеть, что / (z, t) представляет собой произведе­ ние функции z и функции V.

/(z, * )= [/„ exp(i2nzA)l [ехр( — ico£)].

Функция времени не представляет здесь интереса, и, по­ скольку она входит во все выражения /, она для крат­ кости записи в формулах будет опущена, но наличие ее следует везде подразумевать. Таким образом, вместо запи­ си в виде / (z, t) — ф (z) exp (—icoi) будет использовано выражение ф (z) = / 0 exp (i2nz/X).

Волна перемещается в z-направлении, но ее амплитуда может меняться вдоль плоскости х у, перпендикуляр­ ной оси z. Так, например, если параллельный пучок света падает на экран, имеющий малое отверстие, то можно считать, что выходящая волна вне отверстия имеет нуле­ вую амплитуду и некоторое определенное (не равное нулю) распределение амплитуды в отверстии. Следова­ тельно, движение волны в направлении оси z закономерно будет описывать функция

Ф(я, у, z) = f 0(x, у) exp(i2 nzA)-

Амплитуда и фаза волны, идущей от объекта, в общем случае будут отличаться от амплитуды и фазы падающей волны. Падающий параллельный пучок соответствует возмущению

ф (vC, у, z) — A exp (i2nzA)>

(3.3)

где А — постоянная амплитуда, которую без потери общ­ ности можно принять равной единице = 1). Объект

Электронный микроскоп

171

может быть охарактеризован функцией t ( x , y ) ,

которая

определяет изменения амплитуды и фазы падающей волны при прохождении через объект в любой точке:

t(x, у) = а(х, y)expi<£ (х, у).

(3.4)

Следовательно, волна, выходящая из объекта, имеет фор­ му

Ф (х , у , z0) =

t (х,

у) exp (2 jtiz/A,)=

 

=

а (х,

у) exp i (2nz/K + ф).

(3-5)

Если энергия не передается от пучка к объекту,

то а (х, у )=

= 1, а практически а (х, у) всегда близка к единице. Поэто­

му

можно

написать

соотношение

 

 

 

 

а( х, у) = 1 — а(х,

у),

(3.6)

где

а (х, у)

— малая

величина по

сравнению

с единицей

должна быть меньше единицы, так как объект может

только задержать электроны из пучка, но никогда не мо­ жет добавить в пучок новые электроны).

Функция ф (х, у) определяет фазовые изменения, обус­

ловленные объектом. Некоторое представление о порядке

величины фазовых изменений можно получить на осно­

вании следующих простых соображений. До настоящего

момента понятие «показатель преломления» не применя­

лось, поскольку оно в основном представляет

интерес

в более формальных теориях электронной оптики.

Нетруд­

но

показать, что величину У1/* 2 (где, как обычно, У =

=

Ф (1 + еФ)) можно рассматривать как показатель пре­

ломления *). При прохождении через объект электроны пересекают потенциальную «яму», так как средний потен­ циал внутри объекта немного ниже, чем в вакууме. Если

через п0

и n t обозначить

показатели

преломления вне

и

внутри

объекта,

то разность хода между значениями

 

!) Е сл и прин ять,

что отнош ен ие п ок азател ей п рел ом лен ия д в у х

ср ед обратн о проп орц и он альн о отнош ению дли н

в ол н , то этот р е зу л ь ­

тат

м ож ет

быть п ол учен и з уравн ен и я (1 .1):

 

 

 

 

1

И /2

 

 

 

 

щ_______v\__

 

П2 ~ ~ h i _ У | / 2 '


172

Глава 3

оптической длины пути электрона, проходящего через объект, и электрона, проходящего через вакуум (без объекта), будет определяться как

—— — D,

(3.7а)

п0

 

где D — толщина объекта. Тогда разность фаз ф дается

выражением

 

 

 

 

 

(ЗЛ6)

Записывая n t =

F*/2,

п0

А/ 2

получаем

 

= Vo'~,

 

Щ _

Г (Фр+ Ф») (1 + ЁФоЧ-бФ;')! 1^2

 

«о

L

Ф0(1 +еФ0)

J

 

 

 

Ф|

\ ‘/2

Ф;

(3.8)

 

(‘ + »

2ФП

 

 

Фп

 

 

где Ф; —«внутренний потенциал» объекта. Таким образом,

я Ф;

(3.9)

% Ф0

 

Типичное значение внутреннего потенциала составляет 10—20 В (8 В для бериллия и углерода, 21 В для серебра

и золота), так что для 100-кВ электронов (X = 0,037 А) njrig — 1 меняется от 5-10-5 при Фг = 10 В до 10~4 при

Ф; = 20 В. Следовательно, для легкого элемента, для которого Фг = 10 В, фазовый сдвиг достигает я/2, когда

толщина объекта составляет всего лишь 185 А. Это очень малая толщина для электронномикроскопического объекта,

ипоэтому целесообразнее рассматривать изменения фазо­ вого сдвига, создаваемого различными частями объекта, чем разность фаз между лучом, проходящим через объект,

илучом, проходящим тот же путь в вакууме.

Все вышеизложенное позволяет лучше понять, почему некоторые теории формирования изображения должны основываться на допущении, что ф является достаточно

малой величиной для того, чтобы можно было разложить exp i<£ как 1 + i^. Если это не имеет места, то теория становится значительно более сложной и интерпретацию электронного изображения вблизи предельного разреше­ ния требуется производить с особой осторожностью.


Электронный микроскоп

173

Рассмотрим объекты, для которых а (х, у) (уравнение (3.6))

мало и exp i<|>

(х , у) т 1

+ i<j>(х, у),

так что

 

t (х,

г/)= (1 —а) (1 — i<£) » 1 — a + i^>.

(3.10)

Дифференциальное

уравнение,

удовлетворяющее

ф (х, у, z), может быть записано в параксиальном прибли­

жении точно так же, как и уравнения движения. Выпол­ нив это, можно найти, что решение имеет вид

ф (г, у, z) = ^ Д г) j j ф(ж0, у0, z0) x

х ехР { Т Щ - (z) (* * + ^ —

— 2 ( xx 0-\-yyo) + h'(z)(x‘* + y‘2)]} dxQdy0. (3.11а)

Интегрирование выполняется по переменным х0, у0,

которые пробегают площадь объекта, находящегося в пло­ скости z = z0. Уравнение (3.11а) показывает, как развер­ тывается функция ф (х, у, z) по оси z, определяя ее зна­ чение при z = z0. Функции g (z) и h (z) являются реше­

ниями параксиальных уравнений движения, которые удов­ летворяют граничным условиям

g(z0) = h' (z0) = 1 ,

g’ (z0)= h (z0)= 0 .

(Далее вместо g(z) и h (z) мы будем писать просто g и h.) Поскольку интегрирование ведется по х0 и у0, уравнение

(3.11а) может быть преобразовано следующим образом:

ф(ж, У, z) =

- --

- -

- -

Г

-

-

-УоJ'z°)J *X

 

ехрГ т г (г2+г/2)]

р

 

 

X exp | ^

[g (xl + yl) — 2

(хх 0+ уу0)]} dx0 dy0.

 

 

 

 

 

 

 

 

(3.116)

В плоскости,

в

которой

g (z)

=

0,

z

— za, имеем

Ф(я, у,

Za) =

C

j j ф(ж0,уо, z0) exp [ — 2 m (ххо +

+ yyo)/kha\ dx0 dy0.

(3.12)