Файл: Хокс П. Электронная оптика и электронная микроскопия.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 108

Скачиваний: 2

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

14 Угловая Спектр -т----- частота

Си

а

V2-3V,

V,

(J

гео

Частота

5

Электронный микроскоп

181

V(t)

Ф и г.

3.27. Связь между функцией и ее спектром.

 

а — простейший

случай: функция V (t) =

V„ cos at. содержащая

только

одну частотную компоненту ш с амплитудой

V„; С — более сложная функция

V (t) = V, cos at

4- Va cos 2 a i; ее спектр содержит две компоненты;

в — вол­

новая функция, представляющая последовательность прямоугольных импуль­ сов и имеющая бесконечное число спектральных компонент.

ветствуют две спектральные компоненты с амплитудами Vi и V2 (фиг. 3.27, б). Более сложным, однако опять перио­

дическим, является волновой процесс, представляющий собой последовательность прямоугольных импульсов (фиг. 3.27, в) и имеющий спектр частот, простирающийся

до бесконечности, но при этом все указанные частоты являются дискретными и не образуют непрерывного рас­ пределения.

Рассмотренные примеры касались таких возмущений, как изменение напряжения во времени, которое является независимой переменной. Однако в последнем примере прямоугольная волна может также представлять функцию пропускания решетки, состоящей из чередующихся непро­ зрачных и прозрачных областей. Возмущением в этом случае будет прозрачность решетки, а независимой пере­

менной — координата

на поверхности решетки. Спектр

в этом случае будет

представлять собой совокупность


182

Глава 3

пространственных частот, из которых состоит функция

прозрачности.

Перейдем теперь к рассмотрению двумерного случая, когда решетка становится сеткой (фиг. 3.28, ав). Одна

совокупность перемычек сетки создает спектр, который можно представить как систему полос, перпендикулярных к горизонтальной плоскости (фиг. 3.28, г); их высота характеризует амплитуду спектральной компоненты. Дру­ гая совокупность перемычек создает аналогичную систему полос, также перпендикулярных горизонтальной плоско­ сти, но ориентированных под прямым углом к первой. Ненулевой «результат» имеет место только там, где поло­ сы пересекаются так, что вместо картины полос полу­ чается серия изолированных пиков, расположенных в мес­ тах пересечения полос (фиг. 3.28, д). Этот двумерный

Фи г. 3.28. Двумерный спектр частот.

а— показана функция фиг. 3.27, в. бесконечно протяженная в пространстве, благодаря чему спектральные линии (б) становятся плоскостями; в — показан

результат пересечения в пространстве двух функций того же вида, представ­ ляющий систему столбиков квадратного сечения (это функция прозрачности прямоугольной сетки1с непрозрачными перемычками); спектр частот представ­ ляет собой результат пересечения двух семейств плоскостей (г), которые, если их рассматривать как функции и перемножить совместно, дают изоли­

рованные линии, стоящие на плоскости частот (8).

184

Глава 3

спектр

является фурье-анализом двумерной решетки;

в данном оптическом примере он представляет собой ди­ фракционную картину, которую создавала бы решетка, бесконечно протяженная в обоих направлениях.

Теперь следует рассмотреть, что происходит в реаль­ ном случае, когда решетка имеет конечную протяженность.

Ф и г. 3.29. Спектр частот непериодической функции — дифрак­ ционной решетки конечной протяженности.

Спектр представляет собой уже не отдельные линии, а непрерывную функцию.

Возвращаясь к одномерному случаю, предположим, что имеется конечное число прозрачных полос, за пределами которых прозрачность равна нулю (вне решетки находится непрозрачный экран). В этом случае функция не является больше периодической, и поэтому следует ожидать, что соответствующий спектр будет состоять из непрерывно распределенных частот, а не из изолированных частот, разделенных конечными интервалами. Тем не менее интуитивно ясно, что, если число полос будет увеличивать­ ся, картина должна все более приближаться к системе


Электронный микроскоп

185

дискретных частот, соответствующей случаю решетки бесконечной протяженности. Полный расчет подтверждает эти предположения. Если взять число полос конечным, но все же большим, то отдельные частоты представляют собой линии с очень небольшим размытием. С уменьшени­ ем числа полос линии уширяются и структура спектра становится более сложной (фиг. 3.29). Аналогично в дву­ мерном случае точки, получаемые для решетки бесконеч­ ной протяженности, размываются в пятна.

Приведенные рассуждения можно применить к элект­ ронному микроскопу, возвращаясь таким образом к основ­ ной теме (уравнение (3.12)). Если весь электронный пучок дойдет до плоскости изображения, то форму ф в этой пло­ скости можно получить, полагая, что в уравнении (3.11) h (z) = 0. То обстоятельство, что в этом выражении фигу­ рирует 1 lh, делает расчет предела при h -+■0 довольно

сложным. Поскольку этот расчет существенного интереса не представляет, здесь приводится только конечный результат

Ф(жь уи = j г ф (|г > -§:> zo) ехР [i х -Jr(xi + гЛ )] •

(3.22)

Плотность тока в плоскости изображения /* связана с плот­ ностью тока в плоскости объекта jQследующим образом *):

j i ( x i, Уг) = м 2 ^ ° (" аГ

)

(3.23)

так как gt М. Следовательно, как и в геометрической

оптике, распределение пересчитывается здесь в масштабе, соответствующем увеличению.

Однако, как правило, электронный пучок не полностью доходит до плоскости изображения, а параксиальное приближение не может правильно описывать пути всех электронов через линзы, особенно через объектив. Правда, влияние апертурной диафрагмы и аберраций можно рас­ считывать одновременно. Уравнение (3.11, б) связывает функцию ф (х , у, z) в произвольной плоскости с этой же

х) Функция ф обладает тем свойством, что плотность тока / пропорциональна фф*, где ф* — комплексно-сопряженная функ­ ция ф.


186

Глава 3

функцией вида ф (х0, у0, z0) в некоторой другой плоско­

сти.

Пусть плоскость Фраунгофера z = za будет плос­

костью, в которой функция известна. Для этого заменим (х0, уа) в уравнении (3.116) на (х а, уа); кроме того, следует

замепить лучи g (z) и h (z) новыми лучами g(z) и h(z),

удовлетворяющими следующим граничным условиям:

g (za) = h' (za) — 1 ,

(3.24)

g'(za) = h ( Z a) = 0.

Таким образом, уравнение (3.10), соответствующее пло­ скости изображения, запишется как

Ф(яь

Уи zt)

1

 

ikhi 1 5 'м ч ,{ | х

 

 

 

X [ gi { x l - \ - y l ) ~ 2 { x aXi -\-yayi)Jr

 

 

+A i(a:?-f-y?)J| dxadya.

(3.25)

Если преобразовать уравнение (3.25) так же, как это было сделано с уравнением (3.11а), чтобы получить выра­ жение, соответствующее уравнению (3.12), то обнаружит­

ся, что вклад от С в уравнении (3.12) и член с gt {х% + yl)

в экспоненте взаимно сокращаются и уравнение (3.25) снова сводится к фурье-преобразованию, т. е. изображение есть фурье-образ дифракционной картины. Тщательное исследование знаков величин, входящих в уравнение (3.25), показывает, что более логично считать его обратным фурьепреобразованием дифракционной картины. Таким обра­ зом, формированию изображения в микроскопе соответ­

ствует следующая

последовательность:

Фурье-

 

Дифрак­

Обратное

 

фурье-

Объект --------------- > ционная

--------- > Изображение

преобразование

картина

преобра­

 

 

зование

Обратное фурье-преобразование не представляет собой ничего нового: уже указывалось (уравнение (3.13)), что спектр частот функции / (х, у) определяется уравнением

7 (Р> 9)

J / (*, У)>хр [ —2m (px-\-qy)] dx dy. (3.26а)