Файл: Хокс П. Электронная оптика и электронная микроскопия.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 09.04.2024

Просмотров: 93

Скачиваний: 2

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

 

 

Область линзы

1

 

 

 

 

 

 

 

 

G-(z)

 

 

 

 

 

1

 

 

^ ----- X

 

 

1

 

-----

<

\

 

1

 

/

 

 

 

1

 

 

\

\

\

\

1

 

/

 

 

 

1

 

___ l/j

-U ____X

 

 

\ i

 

J r z0

zs~~~- —_

 

 

~y

H(z)

l

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

УН(г)

 

 

 

 

 

i

e(z)

 

 

 

 

 

i

i i

i i i

а

Ф и г, 2,7 . О бщ ий в и д .л уч ей G (г) и И (г) (а). А сим птотическое ф ор­

м и ровани е и зо б р а ж ен и я (Ъ).


64

Глава 2

 

Отсюда в плоскости z =

zH = zt имеем

 

х (z) -> Xi = M x 0,

(2.34)

y(z)-+yi = M y0,

 

где

 

 

M = G i (г — zG).

(2.35)

Плоскость z — zH — zt представляет собой (асимптоти­

ческую) плоскость изображения, сопряженную с плоско­ стью z = z0 (фиг. 2.7, б).

Любой электронный луч, падающий параллельно оси х = х 0 G, при выходе из линзы будет приближаться к асимптоте

x(z)-> X0G’i(z — Zq).

Таким образом, все параллельные лучи будут пересекать ось в точке z = zq, известной как фокус (асимптотический)

в пространстве изображений и обычно обозначаемой через zFi. Совершенно аналогичные рассуждения показывают,

что асимптоты всех лучей в пространстве объекта, входя­ щих в пространство изображений параллельно оси линзы, пересекут ось в точке z = zFo, называемой фокусом (асим­

птотическим) в пространстве объекта. Эти фокусы опре­ деляются точно так же, как и фокусы тонких линз в све­ товой оптике (фиг. 2.8, а).

Асимптота к лучу, падающему параллельно оси х - * х 0,

пересечет асимптоту к выходящему лучу в плоскости (фиг. 2.8, б), в которой

XqXqGi ^Z ZFi)

или

Следовательно, эта плоскость не зависит от положения падающего луча. Известная под названием главной плоско­ сти в пространстве изображений, она обозначается через zPi и определяется выражением

Zpi ZFi - \ - — .

(2.36)


Электронные Линзы

65

Аналогично определяется главная плоскость в пространст­ ве объекта (z = z Ро):

Zp0zFo=r=r .

(2.37)

Go

 

G (z) представляет собой решение уравнения траектории, параллельной оси в пространстве изображений, a Go

Ф и г . 2.8. Асимптотические фокусы в пространстве объекта и в про­ странстве изображений, zF0 и z G = zF i (а). Асимптотические главные плоскости в пространстве изображений (6).

Построение главной плоскости осуществляется с помощью функции G (2).

обозначает величину dG/dz в пространстве объекта, свобод­ ном от поля. Можно показать, что величины G\ и G'0,

характеризующие наклоны, связаны между собой уравне-

5-0132

66

Глава 2

нием траектории. G (z) и G (z) удовлетворяют уравнениям

(2.15д) и (2.15е), поэтому (без учета релятивистских по­ правок) мы будем иметь

dzd (Ф^с'н- е=о,

Умножая первое из этих выражений на G, а второе на G

и производя вычитание, получаем

-^-[Ф 1/2 (G'G — GG')] = 0

или

Ф1/2(С'ё —GG') = const.

(2.38)

Учитывая, что £' = 0 и G\ = 0, находим, что константа

в пространстве объекта равна —Фо/2бо, а в пространстве

изображений

так что

Ф01/2С '= - Ф ? /2&).

(2.39)

В самом распространенном случае, когда электростати­ ческий потенциал Ф0 в пространстве объекта равен потен­ циалу Фг в пространстве изображений, имеем

G ' = - G i

и уравнение (2.37) принимает вид

Zpo Zfo—^

\

(2.40)

ту •

 

Gi

 

 

Пользуясь этим результатом,

можно показать

также,

что

 

 

 

z0 — zF0— -----.

(2-41)

 

MGi

v

'

Объединяя уравнения (2.35) и (2.41), получаем уравнение Ньютона для линзы в следующем виде:

\

(z0 Zfq) (Zi —Tg- . (2.42)


Электронные линзы

67

В теории толстых линз фокусное расстояние опреде­ ляется как расстояние между главной плоскостью и фоку­ сом:

S i —

%Fi

ZP i ,

/ о

Zpo

(2.43)

%Fo.

Из уравнений (2.36), (2.37) и (2.39), полагая Фг = Ф0,

получаем

f =

/-— ___L =

_L

(2.44)

' г

G \

G o

'

Уравнение Ньютона для линз принимает обычный вид:

(z0 —zFo)(Zi — zFi) = — f 2,

(2.45)

где / не имеет индекса (обычно он оставляется только при рассмотрении ускоряющих линз, когда Фг Ф Ф0).

Кроме того, можно определить расстояния между объектом и главной плоскостью в пространстве объекта, а также между изображением и главной плоскостью в про­ странстве изображения. В этом случае имеем

Zi

Z pi — Zi Z p i — f ,

 

(2.4b)

Z0-— Zpo—Z0 — Zp0—j-/.

 

Подставляя (2.46) в уравнение (2.45), находим, что

 

------------------------------------

= ~

f

.

(2-47)

z i

z Pi

zo

z Po

 

 

 

Эта формула представляет собой видоизмененную элемен­ тарную формулу тонкой линзы, справедливую для случая толстой линзы (в тонкой линзе главные плоскости совпа­ дают между собой в центре линзы).

Уравнение (2.38) фактически является частным случа­ ем общей зависимости между любой парой независимых решений, например s (z) и £ (z), уравнений траектории. Аналогичным образом можно показать, что

Ф1/2 (st’ s'i) = const.

Существование этой важной инварианты, известной под названием инварианты Вронского, является свойством класса дифференциальных уравнений, к которому при­ надлежат уравнения траектории. Пользуясь ею, можно


68

Глава 2

довольно просто вывести ряд полезных соотношений. На­ пример, если выбрать s = G и t = Н, то получим

СгЯ^= (Ф0/Ф г)1/2,

где Gt равно увеличению М , а //.[ представляет собой угло­ вое увеличение (фиг. 2.9), так как 11'0 — 1. Поэтому угло­

вое увеличение, получаемое благодаря использованию

Ф и г. 2.9. Пример использования оператора Вронского: взаимо­ связь между угловым увеличением (для точек, лежащих на оси)

ипоперечным (линейным) увеличением.

н[ — угловое увеличение; G; — поперечное увеличение.

любых линз (за исключением ускоряющих электростати­ ческих линз), представляет собой величину, обратную увеличению. Однако следует иметь в виду, что этот резуль­ тат может ввести в заблуждение. Напомним, что все электроны, выходящие из точки (х0, у0) плоскости объекта,

достигают точки (М

х а,

М у а)

плоскости изображения, но

углы наклона (<х01

М,

y J M )

к плоскости изображения

будут иметь только те электроны, которые выходят из точки (0, 0) плоскости объекта под углами (а0, у0) к этой

плоскости. Действительно, электроны, выходящие из точки 0, у0) плоскости объекта под углами (а0, у0), пересекут

плоскость изображения под

углами

(а г, у г), которые

определяются следующими соотношениями:

а« =

Хр

I «о

У1 —

Уо

| То

/

М '

/ + М

Выводы из теории толстых линз. На основании полу­ ченных выше результатов можно сделать следующие выво­