Файл: Кремниевые планарные транзисторы..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 10.04.2024

Просмотров: 230

Скачиваний: 1

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Рис. 8.15. Зависимость Unp от градиента кон­ центрации примесей в кремниевых линейных р-п переходах.

сит от радиуса закруглений rnQ = хк0 и равно аналогичному напря­ жению для плоского линейного р-п перехода. В случае плоского ли­ нейного р-п перехода напряжение £ / п р зависит только от градиента концентрации примеси grad [Na—Nd] в точке металлургического р-п перехода. Эта зависимость, изображенная на рис. 8.15, была впервые получена в работе [120], как и для случая плоского ступен­ чатого р-п перехода, из условия пробоя (8.46) с учетом выражений (8.8) и (8.9) для поля в линейном р-п переходе.

Определенный интерес представляет прямое исследование про­ бивных напряжений р-п переходов, созданных двухстадийной диф­ фузией в типовых режимах. Результатом такого исследования авто­ ров может служить изображенный на рис. 8.16 график зависимости напряжения пробоя планарных р-п переходов от глубины диффузии бора (через круговую маску 0 = 300 мкм) в п-кремний стремя зна­ чениями сопротивления. Из графика видно, что при одной и той же глубине залегания р-п перехода, т. е. при равных радиусах кривизны периферийной области, прирост напряжения пробоя с увеличением удельного сопротивления кремния заметно падает. Это объясняется тем, что р-п переход становится более резким и обнаруживает усили­ вающуюся зависимость от кривизны периферии.

В пределах одной и той же кривой, т. е. при фиксированном зна­ чении рп, напряжение пробоя ( 7 к б 0 с увеличением глубины р-п перехода вначале резко возрастает, а затем становится почти по­ стоянным, что объясняется уменьшением градиента концентрации примесей в переходах с увеличением глубины их залегания. Вслед­ ствие этого переход приближается к линейному и пробивное напря­ жение медленно растет с увеличением радиуса кривизны перифе­ рической части.

График рис. 8.16 позволяет сделать вывод, что при малой глуби­ не залегания коллекторного р-п перехода не следует для повышения пробивных напряжений стремиться значительно увеличивать удель­ ное сопротивление исходного материала, так как при этом не толь­ ко становятся менее выгодными условия пробоя, но и усиливается нежелательное влияние поверхностных полей. Кроме того, увеличе­ ние глубины залегания р-п перехода для повышения напряжения пробоя целесообразно также лишь в определенных пределах. Чем низкоомнее материал подложки, тем меньше глубина перехода, начиная с которой прирост пробивного напряжения становится не­ значительным.

Таким образом для получения максимального пробивного на­ пряжения в реальном коллекторном переходе планарного транзис­ тора следует этот переход (или его периферическую область) созда­ вать на достаточной глубине.

8.3. Напряжение пробоя в схеме с общим эмиттером при отсоединенной базе ЕУкэ0

Транзистор, включенный по схеме с общим эмиттером, но с от­ ключенной базой ( ^ б - > о о ) характеризуется другим пробивным на­ пряжением, UK эо, которое может в общем случае не совпадать точно с пробивным напряжением (7„бо при отключенном эмиттере.

Рассмотрим подробнее физические механизмы, обусловливаю­ щие величину напряжения UKg0. При подаче напряжения £УКЭ на эмиттерном р-п переходе возникает небольшое прямое напряже­ ние смещения Uэ р .„ порядка нескольких, сргВсе оставшееся на­ пряжение и к э создает обратное напряжение смещения UK р.п < О на коллекторном р-п переходе. Через эмпттерный р-п переход проте­

кают две составляющие эмиттерного

тока — ннжекционная состав­

ляющая электронного

тока, определяемая формулой (3.23) для

п-р-п транзистора, и составляющая,

обусловленная рекомбинацией

электронно-дырочных пар в эмиттерном р-п переходе:

 

 

г р-п

 

 

ni

t e x P (^э

р-М-Ч^вр-пРэр-п)

(8.23)

 

 

 

217


Через коллекторный р-п переход протекают также две составляю­ щие, если напряжение \UK р.п \ <^ U}.ü0 и-'лавинное умножение но­ сителей в нем пренебрежимо.

Первая

электронная

составляющая обусловлена

инжекцией

электронов из эмиттера в базу: Іпк

= ß„ I n

a = а(Іпя-\-Іг

р.п) = а'

/а>

где ß n —статический коэффициент

переноса носителей через

базу

[формула

(3.38)].

 

 

 

 

 

Вторая составляющая вызвана генерацией электронно-дыроч­

ных пар внутри

коллекторного р-п

перехода:

 

 

 

 

/ , , = 93к n*Z*P-*}U*P-n)

.

(8.24)

Поскольку

базовый вывод отсоединен,

то / б = 0,

следователь­

но,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/ э

- / к = « ' / э + / г к .

 

(8.25)

Теперь дырки, необходимые для рекомбинации с электронами в базе и в эмиттерном р-п переходе, поставляются не из базового элек­ трода, а в результате тепловой генерации в коллекторном р-п пере­ ходе.

Из равенства (8.25) находим коллекторный ток

 

 

/к = / к э о = - ^ 7 = - ^ 7 ,

(8.26)

 

 

1 —а

1 — а

 

где / г к

= / к б 0

обратный ток коллекторного р-п

перехода.

Коэффициент передачи тока в схеме с общей базой а' при малых

токах

эмиттера

І э ^ І т о = Ю - 8 ч- Ю - 5 А для

разных типов

кремниевых транзисторов всегда меньше аналогичного значения а для средних токов эмиттера I д = Ю - 3 ч- Ю - 1 А из-за влияния ре­ комбинации в эмиттерном р-п переходе =0,80—0,90 [130] и а' =

— 0,99 ч- 0,96). Ток коллектора в схеме с общим эмиттером и при

отсоединенной базе / К э 0

всегда в несколько раз превышает обратный

ток коллекторного р-п

перехода: І к в 0 =

5—10 / к С о . Предположим

теперь, что напряжение Uuo увеличено

настолько, что начинает­

ся слабое лавинное умножение носителей в плоской части коллек­ торного р-п перехода (область А на рис. 8.6). В случае п-р-п прибора дырки, образовавшиеся в этом переходе вследствие ударной иониза­ ции, выходят в базу р-типа, поскольку коллекторный слой находит­ ся под более положительным потенциалом.

В этом случае составляющие коллекторного тока а'І3 и / г К увеличиваются в M раз, гдеУИ — коэффициент умножения [см. фор­ мулы (8.1а) и (8.16)]. Известно [110] простое полуэмпирическое со­ отношение, устанавливающее зависимость коэффициента M от при­ ложенного напряжения Up.n и напряжения пробоя р-п перехода £ / п р :

M(Up.n)-=[\-(\Up.n\/Unpr\-\ • (8.27а)

218


где показатель m для кремниевого п-р-п транзистора согласно [ПО] равен 2, а по новым данным в [140] — 3; для р-п-р кремниевых транзисторов m = 3,5 согласно [ПО] я m = 5 по данным [140]. В нашем случае умножения в плоской части коллекторного р-п пере­ хода формула (8.27а) примет следующий вид:

 

 

M ( с Ѵ „ ) = [1 - (

I UKp.n\!U'npr\-\

(8.276)

где

tVnp пробивное

напряжение

плоской части

коллекторного

р-п

перехода,

которое

можно

определить из рис. 8.3 для резких

р-п

переходов.

Напряжение

пробоя планарного транзистора при

отсоединенном эмиттерном выводе с / к С о ,

совпадающее с напряжени­

ем лавинного пробоя закругленных

частей коллекторного р-п пере­

хода

у краев окисной

маски,

меньше

напряжения

U„p и обычно

г / к 0 0

~ 0 , 3 - 0 , 5 с / п р .

 

 

 

 

 

 

 

 

Подставляя

выражение (8.276) в равенство

(8.25),

получаем

 

/э -

a' M (UK р.п) /э

+ /кб0

(UK

р-п) M (UK р.п)

(8.28)

и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

M{UKp.n)

/ к б о

(UKp.n)

 

(8.29)

 

 

кэ

0

_

 

 

 

 

 

 

 

 

»-«'-M^Kp-n)

 

 

 

Из формулы (8.29) видно, что

при а'М

(сУ„p .„ ) - > 1 ток

/ К э 0

-у- оо, т. е. имеет место лавинообразное возрастание тока эмит­

тера и коллектора. Физически это можно понять из следующих со­ ображений. Увеличивающаяся концентрация дырок в базе, образо­ ванных ударной ионизацией в коллекторном р-п переходе, вызывает образование положительного заряда в базе и увеличение прямого сме­

щения на эмиттерном р-п переходе Uэ р . п , что приводит

к увеличе­

нию эмиттерного тока, поскольку Iэ

~ ехр (Uэ р.п/<рт).

Рост эмит­

терного тока связан с увеличением

инжекционной составляющей

тока

электронов,

которые,

попадая

в эмиттерный р-п переход и

базу,

рекомбинируют с избыточными дырками.

 

Из формулы (8.29) находим критерий пробоя в схеме с общим

эмиттером и отсоединенной базой:

 

 

 

 

 

ä'M(UKO0)=l.

 

(8.30)

Очевидно, для этого вида пробоя необходимо не очень

большое ла­

винное умножение,

чтобы

а'М =

1 (при а' = 0,80,

M = 1,25).

В случае пробоя

в схеме с общей базой при отсоединенном эмиттере

при пробое M (UK50)-+oo.

Следовательно, £ / к б 0 > UKg0.

Из (8.30)

и выражения (8.27а)

для коэффициента умножения M находим

 

 

 

с / к э 0

= с / п р у

1 - 0? .

(8.31)

Легко проверить, что для п-р-п транзисторов при а' = 0,80 должно быть ЕУкэо ~ 0>3—0,5(7пР (при m = 2—3). Поскольку, как

219



указывалось выше, (7І ( С о « 0,3—0,5(7пр, то для п-р-п кремниевых

планарных транзисторов всегда (7к э 0 S

UKQ0.

В приборах с малой

глубиной залегания коллекторного р-п

перехода

хк0

та 1—3

мкм

напряжение пробоя периферии перехода

І 7 к б 0

и напряжение пробоя

в схеме с общим эмиттером и отсоединенной

базой

(7К Э 0

почти совпа­

дают.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

8.4.

Напряжение переворота фазы базового тока

Ua

 

Рассмотрим влияние умножения в коллекторном

р-п

переходе

на

усилительные свойства транзисторов

в

активном

режиме

при

включенном базовом электроде.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

р-п

При наличии ударной ионизации в плоской части коллекторного

перехода

коллекторный ток

равен

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/к

= аМ (с/к „.„) /„ +

/ к ( 3 0 ( U K

р-п) M { U K

р

. п ) ,

 

 

 

(8.32)

где коэффициент а при малых токах эмиттера / э

=

Ю -

8

Ю - 5

А

равен 0,8—0,9, а при больших токах эмиттера / э

=

Ю - 3

ч-

Ю - 1

А,

а =

0,98—0,99. Ток базы уменьшится на величину составляющей

а (М 1) / э ,

обусловленной приходом в базу дырок, образованных

ударной ионизацией. Множитель

1) учитывает тот факт, что

каждый входящий в коллекторный р-п переход электрон

образует

1) электронно-дырочных пар. Итак,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/ в = ' э - / к = / Л і - а М ( £ / в р

. п ) ] .

 

 

 

(8.33)

Тогда коэффициенты передачи тока в схеме с общей базой и с общим

эмиттером при наличии

лавинного умножения с учетом (8.32) и

(8.33) будут

равны

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ä*

= IK!l,

= äM(UKP.n),

 

(8.34)

 

W

K

 

I3-äM(UKp_n)I3

 

l-äM(UKp.n)

'

При выводе формул

(8.34) и (8.35) мы считали ток эмиттера доста­

точно большим / э

^

^ к б о , т а

к ч т о

можно пренебречь обратным током

коллектора

/ к б 0

(UK

р . п ) .

При

аМ

(UK р.п)

1 базовый ток

/ б ->• 0, коэффициент усиления по току а* приближается к 1, а ко­ эффициент усиления по току Бобращается в бесконечность.

Если аМ (UK р.п) > 1, то базовый ток меняет направление, так как избыточные дырки в базе не только восполняют убыль ды­ рок в базе и в эмиттерном р-п переходе вследствие рекомбинации с электронами и инжекции дырок в эмиттерный слой n-типа, но и на­ чинают вытекать через базовый вывод. Теперь ток коллектора пре­ вышает ток эмиттера аМ (UK р.п) / э > / э и а* > 1, BtT =