Файл: Носков Д.А. Электронно-ионное оборудование технологического назначения.pdf

- 57

-

Пользуясь данными кривыми^можно выбрать основные размеры

электродов одиночной

линзы и изготовить

их с учеггы

тре­

бований элект±.ачг о::ой

прочности.

Примеры м о н с т и к и й линз

покаааны на рис.3-3-5

ч ч

3-3-6. Электростатичегчая линаа электронного микроскоп1.

состоит

из двух

кони­

чески:-

электродов,

подключенных

к

зазем­

ленному

корпусу

ми«сроо

скола и среднего алев-

трэд.'1 , на который ' по­

дается

высокое

напряг

не»шз череэ специаль-?

ны.. изолятор,

Коаиче-?

екая

фо;.'ма электролог

Р и с . 3 - 3 - 5 . ЭлектростЕТИчесгэ я

дает

возможность повы­

линаа эде" . тронвог о микроскопа

сить' электрическув.

прочность

лиазг

эа

"чей1

увеличения

по­

верхности

крепленич л

за счет увеличения ра­

диуса

закруглений

на

краях

электродов. Лин-

эа

для импульсной

ус ­

тановки на 1п 0 кв

об-

рекована

двум.: дисковы­

ми

электродами.тсладной

5 мм и средним,

ныгам-

тодщиву 10 ни.

Крайние

электроды

ииеит

потен­

циал

корпуса,

а на

средний,

установленный

на

иголяторз,

подается

Pac.J-;;-fi. Одиночная электро­

отрицательный, поте зци ал,

раьний ус.£ор*.лщему

на­

статическая линза установка

пряжении. В установки

для размерной обработки

пр^дусн* рело

питание

ланзы

a

jfle>• троило4 гуа-

м

от одного

клтуль:ного

ясточ^ка

Высокого

ньлра»

рующие ^исте«1., свободные от аберраций. Так же как

и

продольные,и поперечную системы могут быть магнитными

г,

Рис.3-3-1.Принцип

Рис.3-3-2. Распределение з д е м р а -

расположения

элек­

ческих и Ыогнии'ных полей в кзад-

тродов и полюсов в

рупольных

электростатических

с

квадрупс тьной

лин­

магнитных

линзах-

зе.

поля. Распределение полей

и составляющие сил, действующих .

на электрон, показаны на

рис . 3 - 3 - 2 • Из рисунка ви^но, что

другой-рассеиза*т его. Это значкг,

4wo -одна линза создает

на

»"шени л., ни:., или

штриховой фокус. Для фокуоиродки.пучка

в

двух плоскостях ч

получения т оче«: :иго .фокуса ;Прадовяли

так на-ывеемые «ублети, состоящие

из л зух линя., подя-^отй-

выбору

дзяны

электродов агш лолюсс^.. .потенциалов, на ьях

или

анпервиткоз,

чозс'уждаы'чх.дагклтвое поде,-.по э&дь^ному

фо­

кусному

расса-оп' Й Р . Для ««яределвн-аи. размело» э-екгроствтг-

чеекхгс

данз

s u . ^еьы.-пр«с^не"инр;гбл»аеаные формулы

—

• Т О

I

=

( З - З - П

где

8

• г

ц

-

длина

электродов

и расстояние от электро­

да

до

оси

U.

*

KB

-

потенциал

на электроде и на

оси.

Для

магнитных

квадрупольных ЛРНЗ

.

/ = л ! Х Е _ ш

сз - з - 4)

J

P.J.W

где

R

-

радиус

поверхности, на

которой юасполокены

сед-

лообраанье

катушгш,содержа ,ие w

витков.

Конструкции квадрупольных линз зависят от ст руктурч

элгктронно-огт/'ческой системы, от энеогии частиц и от

диаметра

подлежащего фокусировке пучга.

ллектрость.гические

квадиупольн-'е линзы обычно изготав­

редственно " вакуумном патрубке. Профиль

сучения стержней

согласно теории до^'Чв быть гиперболличе

кич. Одпко

при

^ост1.точни боои-шях ао сравнению о дьаметроы п у ч ы р а

с с т о я ­

ным ил" лоотиянным напряхением. В соответствии с этими

назначениями разработ ни oneiy "злкзированвые системы

откло­

нения, полнившие соотлетс .вующие названия. Отклоняющими

системами принято называтт системы, предназначенные

для

батываемому

контуру H I поверхности детали. Юстирующие

сис-

те

ы

полн

стью соответствуют своему назначению,

а

систе­

мы,

предназначенные для

сов^ания импульсного резина

путеи

пропускания

сканирующег

с веданной частотой луча черва ще­

левую диафрагму, называют

блаакирующими или иногда

отклоняю­

щими

системами.

Для оишонения пучка используются электрические и маг­

нитные п-ля, создаваемые с помощью электростатических,

электромагнитных систем

и комбинированные отклоняющие,

юс­

т и р у ю щ ие и бланкирующие

системы. Расчет этих систем

в

о б ­

ров

параметров полей

(электрических или

нагнисных)

по из ­

данному углу отклонения о достаточной для практика

точно­

стью, Угол ыоьет быть

определен по Р э в е з т Е ы м В электронной

оптике

соотношениям:

у =

: V - пт I-W't

(3-4-1)

где

д

- длина пластин и отклоняющих

катучек;

которой

они входят.

Как

отклоняющие, так

и юстирующие системы в бол^иннотве

случаов

устанавливаются

непосредственна л вакууме, и

только

в некоторых устьновках магнитные оистемы располагают

с н а р у ­

жи корпуса электронно-оптической системы. Отклоняющие

с и о -