Файл: Эрлер, В. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 57

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

9.8. Техника измерений

283

соображений стоимости применяют проволочные тензорезисторы, для которых чувствительность измерительных приборов, предна­

значенных для полупроводниковых тензорезисторов, не вполне достаточна.

Следует также отметить, что универсальное измерительное устройство типа UM111 в противоположность приборам для по­ лупроводниковых тензорезисторов содержит в измерительной цепи выпрямитель, благодаря которому имеется возможность измерять встроенным в него прибором как эффективные значе­ ния, так и отдельно положительные и отрицательные пиковые значения динамической составляющей измеряемой величины.

Взаключение следует подчеркнуть, что приборы в комплекте

сполупроводниковыми тензорезисторами предоставляют в рас­ поряжение потребителя стройную систему с широким диапазо­ ном применения. Эта система отличается хорошими возмож­ ностями комбинирования полупроводниковых ИП как со

специально предназначенными для них измерительными прибо­ рами, так и с другими приборами. Наличие большого числа конструктивных модификаций и вдвижных блоков у системы с полупроводниковыми тензорезисторами дает возможность ком­ поновать в короткий срок небольшие по габаритам измеритель­ ные установки для решения широкого круга измерительных задач.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие к русскому изданию

 

 

 

 

5

Предисловие авторов

 

 

 

 

 

П

Предисловие авторов к первому изданию

 

 

 

12

1.

Введение

 

 

 

 

 

 

 

15

2. Термины, единицы измерения и обозначения

 

 

18

3.

Погрешности измерений

 

 

 

 

31

 

3.1. Количественная оценка погрешностей и допустимые погрешности

31

 

3.2. Погрешность

нелинейности характеристики

преобразователя

. . 4 1

4.

М ост Уитстона — основная схема

для электрических

изме­

 

 

рений механических величин

 

 

 

 

49

 

4.1. Полупроводниковые

тензорезисторы

(ППТ)

в мостовых

схемах

 

 

постоянного

напряж ения.......................................................................

 

 

 

50

 

 

4.2. Нелинейность мостов постоянного напряжения и полупроводнико­

 

 

вых тензорезисторов

.............................................................................

 

 

 

. 5 3

 

4.3. Температурный дрейф н у л я ..................................................................

 

 

 

58

 

 

4.4. Схемы для температурной стабилизации коэффициента чувстви­

 

 

тельности м о с т а ......................................................................................

 

 

 

 

62

 

 

4.5. Влияние параметров кабеля между измерительным преобразова­

,70

 

телем

и

измерительным прибором на результат измерения

. .

5 . Техническое применение тензорезисторов для определе­

 

 

ния полей механических напряжений в элементах кон­

 

 

струкций

 

 

 

 

 

 

 

 

84

 

5.1. Области

применения .................................................................................

напряжением и деформацией

84

 

5.2. Зависимость

между

механическим

86

 

5.3. Источники

погрешностей при применении

тензометрических

из­

89

 

мерительных

м о с т о в ......................................................................................

 

 

 

 

 

5.4. Зависимость между механической нагрузкой и деформацией в про­

 

 

стейших

элементах

конструкций

(растяжение — сжатие,

изгиб,

94

 

к р уч ен и е ).........................................................................................................

 

включения и применения тензорезисторов .

 

5.5. Особые

случаи схем

102

6. Основы

измерительной техники на полупроводниковых

 

 

тензорезисторах

 

 

 

 

 

108

 

6.1. Пьезорезистивный эффект и его математическое описание

. . .

108

 

6.2. Характеристики полупроводниковых

тензорезисторов......................

 

 

113

6.3.Технология изготовления полупроводниковых тензорезисторов . . 122

6.4.Технические характеристики полупроводниковых тензорезисторов 128

6.5.Крепление полупроводниковых тензорезисторов на объекте изме­

рения ............................................................................................

. . . 128



 

 

 

Оглавление

 

 

285

7.

Полупроводниковые

измерительные

преобразова­

136

 

тели (ИП)

 

 

 

 

 

 

 

7.1. Акселерометры..............................................................................................

 

 

 

 

 

136

 

7.2. Измерительные

преобразователи

перемещения . . . . .

. .

143

 

7.3. Динамометры

преобразователи..............................................................................................

д авл е н и я

 

 

154

 

7.4. Измерительные

 

 

176

 

7.5. Устройства для измерения температуры ..................................................

 

 

186

8.

Вторичные электронные

измерительные

приборы

для

 

 

полупроводниковых резисторных ИП

 

 

196

 

8.1. Основные и дополнительные схемы уравновешивания......................

 

196

 

8.2. Безусилительные измерительные приборы для полупроводниковых

208

 

сопротивлений

...........................................................................................

 

 

 

 

 

 

8.3. Измерительные приборы с усилителями для полупроводниковых

222

 

тензорезисторов

.......................................................................................

 

 

 

 

. .

 

8.4. Приборы для отсчета и регистрации результатов измерений

235

 

8.5. Автоматические коммутаторы

измерительных к а н а л о в .....................

 

250

9.

Измерительные

системы

на

полупроводниковых ИП

 

257

 

9.1. Принципы построения измерительных систем с полупроводнико­

257

 

выми измерительными преобразователями.........................................

 

 

9.2.Измерительные преобразователи и вторичные электронные при­ боры системы измерения с полупроводниковыми тензорезисторами 258

9.3. Градуировка ..............................................................................................

260

9.4. Измерительные устройства с динамометрами на полупроводнико­

 

вых тензорезисторах .............................................................................

264

9.5.

Измерения

перемещений

полупроводниковыми измерительными

 

преобразователями ....................................................................................

271

9.6. Измерения

с акселерометрами на полупроводниковых тензорези­

 

сторах ............................................................................................................

 

275

9.7.

Измерительные системы с

ИП давления на полупроводниковых

 

тензорезисторах ......................................................................................

279


У В А Ж А Е М Ы Й Ч И Т А Т Е Л Ь !

Ваши замечания о содержании книги, ее оформлении, качестве перевода и другие просим присылать по адресу: 129820, Москва, И-110, ГСП, 1-й Рижский пер., 2, издательство «Мир».

в . Э Р Л Е Р , Л. В А Л Ь Т ЕР

Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами

Редактор В. Я« Фридман Художник В. Карпов

Художественный редактор В. К. Бисенгалиев Технический редактор Н. А. Иовлева Корректор В. И. Киселева

Сдано в набор 25/X 1973 г. Подписано к печати 5/V 1974 г.

Бумага тип. № 2 бОХЭО'/щ =

9 бум. л. 18 печ. л.

Уч.-изд. л. 17,10

Изд. № 20/7312

Цена 1 р. 38 к.

Зак. 843

ИЗДАТЕЛЬСТВО «МИР» Москва, 1-й Рижский пер., 2

Ордена Трудового Красного Знамени Ленинградская типография № 2

имени Евгении Соколовой Союзполиграфпрома при Государственном комитете

Совета Министров СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли

198052, Ленинград, Л-52, Измайловский проспект, 29

ИЗДАТЕЛЬСТВО «МИР»

в1975 г. вы п ускает книгу

Кр а у с М., В о ш н и Е. Измерительные информационные си­ стемы (Kraus М., Woschni Е. Messinformationssysteme), Берлин, 1972, пер. с нем., 16 л., ц. 1 р. 36 к.

Книга посвящена изучению характеристик измерительного тракта с позиций информационного и системного анализа; такая тематика представляет большой интерес для информационно-из­ мерительной техники, переживающей время бурного развития и не имеющей пока ни установившейся терминологии, ни общепри­ нятых теоретических приемов исследований.

Основную часть книги составляют оригинальные исследова­ ния авторов в области установления критериев качества инфор­ мационных измерительных систем — основы для оптимизации систем. В качестве важнейших рассматриваются критерии мини­ мума среднеквадратической погрешности и максимума потока информации. Интересны подходы к оценке достоверности резуль­ татов измерений, а также исследования пределов оптимизации информационного канала.

Книга будет с интересом встречена специалистами по измери­ тельной технике и телеметрии, по информационным системам, теории систем, преподавателями и аспирантами технических вузов.

Уважаемый читатель!

Заказ на эту книгу Вы можете оформить в мага­ зинах местного книготорга, торгующих научно-техни­ ческой литературой, или же послать в фирменную секцию издательства «Мир» при Московском доме книги по адресу: 121019, Москва, Г-19, Проспект Ка­ линина, 26, п/я № 42. Книга будет выслана наложен­ ным платежом.