ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 14.10.2024
Просмотров: 160
Скачиваний: 0
122 |
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
преобладает механизм образования зародышей и для роста не требуется существование самовоспроизводящегося источника ступеней. Однажды возникнув по рассмотренному механизму, спираль в дальнейшем действует как самовоспроизводящаяся ступень.
Образование дислокационных спиралей при низких пересы щениях может инициироваться микро- и макроскопическими примесями, например пылью. Джексон [23] отметил, что при обычном выращивании кристалла концентрация вакансий в нем недостаточна, чтобы инициировать зарождение дислокационных петель, петель частичных дислокаций или дискообразных скоп лений вакансий. Однако при закалке кристалла от температур, близких к температурам плавления, возникает пересыщение вакансий, достаточное для зарождения дислокаций.Таким обра зом, если действует дислокационный механизм роста и исполь зуются незакаленные затравки, то дислокации не могут возник нуть путем агрегирования вакансий.В ряде случаев образование дислокаций инициируется растворимыми примесями. Заметим, однако, что плотность дислокаций в кристаллах, выращиваемых в тщательно контролируемых условиях, практически не зави сит от концентрации в растворе растворимых примесей, в том числе при таких концентрациях последних, которые достаточны для возникновения концентрационного переохлаждения и даже ячеистой структуры (об образовании ячеистой структуры говорится в разд. 3.13). Возникновение дислокаций могут вызы вать термические напряжения, но опять-таки известен рост кри сталлов по дислокационному механизму даже при максимально низких температурных градиентах, так что, по-видимому, терми ческие напряжения нельзя считать единственной причиной воз
никновения |
дислокаций. Методом исключения |
Джексон пришел |
к выводу, |
что в отсутствие других факторов |
дислокации за |
рождаются скорее всего на инородных частичках, например ча стицах пыли. Поскольку практически невозможно полностью избежать загрязнения пылью кристаллизационной среды, гомо генное зарождение при росте кристалла встречается, по-види мому, крайне редко, а в большинстве случаев преобладает гете рогенное зарождение на частицах пыли.
3.9. ОБРАЗОВАНИЕ З А Р О Д Ы Ш Е Й
Без затравки рост кристалла начинается с образования заро дыша. Если зародыш образуется на чужой поверхности, напри мер на стенке сосуда, или на инородном теле, например на частачках д а р , зарожденд£__называется гетерогенным. Если подложка (поверхность, на которой происходит заро'дышеобразование) по своему строению и межатомным расстояниям по-
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
123 |
хожа на кристалл, то процесс роста будет напоминать рост на
собственной |
затравке. Такой |
процесс называется |
эпитаксиаль- |
ным ростом |
1 ) . Если же зарождение происходит не на |
поверхно |
|
сти, а в объеме жидкости, то оно называется гомогенным. |
|||
Известно, |
что давление |
пара над каплей малого |
размера |
выше, а растворимость таких капель больше, чем равновесное давление и растворимость для более крупных капель.
Если радиус сферической капли г возрастает с добавлением dn молей жидкости на бесконечно малую величину dr, то при
рост площади поверхности капли составит |
|
|
|
|
|||
4я (г + dr)2 |
— 4nr2 = 8nr dr. |
|
(3.32) |
||||
При этом прирост свободной поверхностной энергии равен |
|
||||||
|
AGs = |
8nrdra, |
|
|
(3.33) |
||
где о — поверхностное |
натяжение. Свободная |
энергия |
перехода |
||||
dn молекул в каплю составит |
|
|
|
|
|
|
|
AGT = |
RT\n^fdn, |
|
|
(3.34) |
|||
где Pd — давление пара |
над |
каплей, Рр— |
давление |
пара |
над |
||
плоской поверхностью. |
При |
равновесии |
AGs = A G T ; следова |
||||
тельно, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
dn = ^-dr, |
|
|
(3.35) |
|
где v — молярный объем. |
|
|
к |
|
|
|
|
Приравняв выражения (3.33) и (3.34) и подставив dn, полу |
|||||||
чим уравнение Кельвина [4], связывающее давление |
пара |
Pd |
|||||
над каплей с давлением пара |
Рр над плоской |
поверхностью |
за |
||||
висимостью |
|
|
|
|
|
|
|
|
RT\n-^-= |
— . |
|
|
(3.36) |
Такое же уравнение связывает растворимость частиц с их раз мером:
R T \ n 4 L |
= — . |
(3.37) |
O p |
Г |
|
Здесь Sd — растворимость мелкого кристаллика, Sp— раствори мость плоской поверхности, а — поверхностное натяжение, v — молярный объем, г — радиус кристаллика. При более строгом анализе уравнения (3.37) нужно учесть еще зависимость поверх ностного натяжения в кристалле от направления, а также внести поправки, учитывающие наличие углов и граней в кристалле
') Понятие «эпитаксия» применяется также к росту тонкой пленки на подложке собственного материала. В частности, под «эпитаксиальным ростом» часто понимают процессы выращивания тонких пленок посредством химиче ских транспортных реакций.
124 |
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
несферической |
формы. Эти эффекты становятся существенными |
лишь для очень малых кристалликов. Например, для воды [фор
мула |
(3.36)] при |
г = 10~4 |
см отношение |
PJPp |
~ 1,001, |
а при |
|
г= |
Ю~6 см имеем |
PdJPP |
« |
1,11. Из уравнений |
(3.36) и |
(3.37) |
|
следует, что кристаллики |
малого размера |
метастабильны |
и, если |
в системе имеются кристаллы крупнее, то они будут расти за счет мелких.
В некоторых случаях зарождение можно рассматривать как процесс слияния частиц в системе. Образования из таких частиц представляют собой предшественников достаточно крупного за родыша, способного в дальнейшем разрастаться. Таким образом, если в той или иной среде образуется зародыш вещества А, то существует семейство реакций
|
тА |
<=± Ат, |
(3.38) |
где т пробегает ряд значений. Когда |
т и константа равновесия |
||
реакции достаточно |
велики, зародыш |
станет разрастаться; в про |
|
тивном же случае |
он может |
вновь раствориться. Образования, |
слишком маленькие по своим размерам, чтобы разрастаться при
умеренных |
пересыщениях, иногда |
называются |
дозародышами. |
||
Большинство из них н и к ш д а _ . н е _ ^ ж и з |
|
|
но |
||
иногда, то ли благодаря"статистическим |
флуктуациям |
пересыще |
|||
ния, то ли |
благодаря локальному |
повышению" энергии, |
способ |
||
ствующему |
росту (например, царапание |
лабораторного |
стакана |
перемешивающей палочкой, исподьаодаййе. .ультразвука и т. д.), некоторые из них превращаются в_ зародыш. Чем выше пересыщение, тем больше средний размер дозародыша и тем выше ве роятность его превращения (благодаря статистическим флуктуа циям) в зародыш. При достаточной выдержке всегда существует
конечная вероятность того, |
что при данном пересыщении |
возник |
||
а е т зародыш. Естественно, |
что в |
присутствии |
пыли ^ар_ождение |
|
носит, как правило, гетерогенный |
характер F |
протекает |
сравни |
тельно легко. При царапании сосуда мешалкой в раствор могут попадать частички стекла, что делает вероятность образования центров кристаллизации больше. В действительности присут ствие тех или иных частиц при зародышеобразовании в большин стве случаев неизбежно.
3.10.В Л И Я Н И Е СКОРОСТИ РОСТА НА КОНСТАНТУ
РА С П Р Е Д Е Л Е Н И Я
Кристаллизация в присутствии активатора или примеси (или рост в любой многокомпонентной системе) сопровождается сег регацией (см. разд. 2.5), подчиняющейся уравнению
£ __. as |
(равн) _ |
cs |
(равн) |
^ gg^ |
а1 |
(равн) |
с1 |
(равн) |
|
3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
125 |
|
где kQ — константа (коэффициент) |
равновесного |
распределения, |
йг(равн) — равновесная активность |
примеси в |
жидкой фазе, |
йв(равн) — ее равновесная активность в кристалле. |
В большинстве |
случаев (особенно при низких концентрациях) активности можно заменить концентрациями. Даже при умеренных скоростях роста концентрация примеси у растущего кристалла, как правило, от
лична от ее концентрации в объеме. Поэтому |
целесообразно |
ввести эффективную константу (коэффициент) |
распределения |
&Э фф [24, 25] в виде отношения |
|
ь1 (ист)
Здесь cS (ncT ) и с ; ( И ст) — истинные концентрации примеси в кри сталле и жидкости. Бартон и др. [24] показали, что
^ * = M I + W ^ ' |
( 3 ' 4 1 ) |
где 5? — скорость роста рассматриваемой грани, |
t — толщина |
диффузионного слоя, D — коэффициент диффузии в текущий мо |
|
мент времени. Если заменить а^равн) активностью |
(или прибли |
женно концентрацией) примеси в жидкой фазе в непосредствен
ной близости от растущей поверхности, то уравнение (3.39) |
будет |
|||
справедливо даже при быстром росте кристалла ' ) . Для |
при |
|||
месей, отталкиваемых кристаллом (k0 < 1), концентрация |
С;(И ст) |
|||
непосредственно |
у растущей поверхности |
должна |
превышать |
|
концентрацию в |
объеме. Следовательно, |
&Э фф > k0, |
причем по |
мере ускорения роста концентрация примеси у поверхности воз растает, а /гЭ фф приближается к единице. Подобным же образом
легко |
показать, что в случае |
k0 > |
1 справедливо неравенство |
||
ko > |
&эфф > |
1, а коэффициент |
&Э фф |
стремится к единице |
по мере |
ускорения |
роста. В общем случае |
чем выше вязкость |
жидкой |
фазы, тем меньше коэффициент диффузии; чем интенсивнее пе ремешивание раствора, чем ниже содержание примесей в нем или чем выше коэффициент диффузии примеси и собственных ча стиц, тем меньше толщина диффузионного слоя и градиент кон центрации в таком слое.
Отметим, что если на растущей грани имеется адсорбирован ный слой активирующей или посторонней примеси, то концен трация с; (ист) вблизи межфазной границы будет больше, чем в
') ЭТО УТВЕРЖДЕНИЕ НЕПРАВИЛЬНОЕ, ТАК КАК ПРИ ДОСТАТОЧНО БЫСТРОМ РОСТЕ РАВНОВЕСИЕ ПО ОТНОШЕНИЮ К РАСПРЕДЕЛЕНИЮ ПРИМЕСЕЙ МЕЖДУ КРИСТАЛ ЛОМ И ПРИЛЕГАЮЩИМ К НЕМУ СЛОЕМ СРЕДЫ МОЖЕТ И НЕ ДОСТИГАТЬСЯ. СВИДЕ ТЕЛЬСТВО ТОМУ МОЖНО УСМОТРЕТЬ В СЕКТОРИАЛЬНОМ СТРОЕНИИ КРИСТАЛЛОВ, ВЫ РАСТАЮЩИХ В УСЛОВИЯХ СИЛЬНОГО ПЕРЕМЕШИВАНИЯ. В ОБЩЕМ СЛУЧАЕ ПОД k0 В ФОРМУЛЕ (3.41) СЛЕДУЕТ ПОНИМАТЬ НЕРАВНОВЕСНЫЙ КИНЕТИЧЕСКИЙ КОЭФФИЦИЕНТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ [49—52]. — Прим. ред.
126 |
Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ |
|
|
||
объеме |
жидкой массы, и £ Э ф ф |
будет |
больше k0 |
(k0 |
определяется |
без учета адсорбированного |
слоя) |
независимо |
от |
того, k0 <; 1 |
|
или k0 > |
11 ). При увеличении |
скорости появятся градиенты кон |
центрации, обусловленные диффузией, что может оказать влия ние на концентрацию в адсорбированном слое. В таких условиях зависимость &Э фф от скорости может быть весьма сложной.
3.11.К О Н Ц Е Н Т Р А Ц И О Н Н О Е П Е Р Е О Х Л А Ж Д Е Н И Е
Вмногокомпонентной системе растущий кристалл отталки вает посторонние компоненты, которые скапливаются перед рас тущей поверхностью. Если константа распределения данного компонента k меньше единицы, то его концентрация у растущей поверхности будет выше его концентрации в объеме. Наоборот,
при k > 1 компонент поглощается кристаллом и его концентра ция у растущей поверхности будет ниже концентрации в объеме.
Таким образом, при k > 1 диффузионный поток |
компонента на |
правлен из жидкой фазы к кристаллу, а при k < |
1 — в обратном |
направлении. Как правило, в многокомпонентной системе k больше единицы для частиц, формирующих кристалл, и меньше единицы для растворителя. Коэффициенты распределения других примесей могут иметь любые значения. При очень медленном росте, осуществляющемся в почти равновесных условиях, влия ние диффузии пренебрежимо мало. Однако во многих случаях диффузия очень важна. Представив в такой системе концентра цию примеси как функцию расстояния от поверхности кристалла (фиг. 3.11), легко видеть, что из-за отталкивания примеси ее концентрация с{ у поверхности раздела фаз выше ее концентра ции в объеме жидкой фазы сг. На фиг. 3.12 изображена диаграм
ма состояния |
системы кристалл — примесь. Сопоставляя кривую |
|||
ликвидуса на |
фиг. |
3.12 и |
состав из |
фиг. 3.11, легко построить, |
как на фиг. |
3.13, |
график |
изменения |
температуры плавления у |
растущей поверхности в зависимости от расстояния для разных составов. Как легко видеть, температура плавления уменьшается с приближением к поверхности кристалла. Пунктирные линии АВ
и А'В изображают два разных |
температурных градиента в |
рас |
|||
творе. При |
большем градиенте |
АВ |
нигде перед |
фронтом |
кри |
сталлизации |
нет переохлаждения; |
при меньшем |
градиенте |
А'В |
перед этим фронтом есть область переохлаждения СВ с тенден
цией к |
кристаллизации. |
В области СВ существует |
концентра |
ционное |
переохлаждение |
[26]2 ). Легко видеть, что большие тем |
|
пературные градиенты, легко достижимые, например, |
при вытя- |
') |
Подробнее об адсорбции говорится в разд. 2.5. |
2 ) |
Представления о концентрационном переохлаждении были сформули |
рованы Г. П. Иванцовым в 1951 г. [53]. — Прим. ред.