Файл: Лодиз, Р. Рост монокристаллов.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 160

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

122

Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ

преобладает механизм образования зародышей и для роста не требуется существование самовоспроизводящегося источника ступеней. Однажды возникнув по рассмотренному механизму, спираль в дальнейшем действует как самовоспроизводящаяся ступень.

Образование дислокационных спиралей при низких пересы­ щениях может инициироваться микро- и макроскопическими примесями, например пылью. Джексон [23] отметил, что при обычном выращивании кристалла концентрация вакансий в нем недостаточна, чтобы инициировать зарождение дислокационных петель, петель частичных дислокаций или дискообразных скоп­ лений вакансий. Однако при закалке кристалла от температур, близких к температурам плавления, возникает пересыщение вакансий, достаточное для зарождения дислокаций.Таким обра­ зом, если действует дислокационный механизм роста и исполь­ зуются незакаленные затравки, то дислокации не могут возник­ нуть путем агрегирования вакансий.В ряде случаев образование дислокаций инициируется растворимыми примесями. Заметим, однако, что плотность дислокаций в кристаллах, выращиваемых в тщательно контролируемых условиях, практически не зави­ сит от концентрации в растворе растворимых примесей, в том числе при таких концентрациях последних, которые достаточны для возникновения концентрационного переохлаждения и даже ячеистой структуры (об образовании ячеистой структуры говорится в разд. 3.13). Возникновение дислокаций могут вызы­ вать термические напряжения, но опять-таки известен рост кри­ сталлов по дислокационному механизму даже при максимально низких температурных градиентах, так что, по-видимому, терми­ ческие напряжения нельзя считать единственной причиной воз­

никновения

дислокаций. Методом исключения

Джексон пришел

к выводу,

что в отсутствие других факторов

дислокации за­

рождаются скорее всего на инородных частичках, например ча­ стицах пыли. Поскольку практически невозможно полностью избежать загрязнения пылью кристаллизационной среды, гомо­ генное зарождение при росте кристалла встречается, по-види­ мому, крайне редко, а в большинстве случаев преобладает гете­ рогенное зарождение на частицах пыли.

3.9. ОБРАЗОВАНИЕ З А Р О Д Ы Ш Е Й

Без затравки рост кристалла начинается с образования заро­ дыша. Если зародыш образуется на чужой поверхности, напри­ мер на стенке сосуда, или на инородном теле, например на частачках д а р , зарожденд£__называется гетерогенным. Если подложка (поверхность, на которой происходит заро'дышеобразование) по своему строению и межатомным расстояниям по-


3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ

123

хожа на кристалл, то процесс роста будет напоминать рост на

собственной

затравке. Такой

процесс называется

эпитаксиаль-

ным ростом

1 ) . Если же зарождение происходит не на

поверхно­

сти, а в объеме жидкости, то оно называется гомогенным.

Известно,

что давление

пара над каплей малого

размера

выше, а растворимость таких капель больше, чем равновесное давление и растворимость для более крупных капель.

Если радиус сферической капли г возрастает с добавлением dn молей жидкости на бесконечно малую величину dr, то при­

рост площади поверхности капли составит

 

 

 

 

4я (г + dr)2

— 4nr2 = 8nr dr.

 

(3.32)

При этом прирост свободной поверхностной энергии равен

 

 

AGs =

8nrdra,

 

 

(3.33)

где о — поверхностное

натяжение. Свободная

энергия

перехода

dn молекул в каплю составит

 

 

 

 

 

 

AGT =

RT\n^fdn,

 

 

(3.34)

где Pd — давление пара

над

каплей, Рр

давление

пара

над

плоской поверхностью.

При

равновесии

AGs = A G T ; следова­

тельно,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

dn = ^-dr,

 

 

(3.35)

где v — молярный объем.

 

 

к

 

 

 

Приравняв выражения (3.33) и (3.34) и подставив dn, полу­

чим уравнение Кельвина [4], связывающее давление

пара

Pd

над каплей с давлением пара

Рр над плоской

поверхностью

за­

висимостью

 

 

 

 

 

 

 

 

RT\n-^-=

.

 

 

(3.36)

Такое же уравнение связывает растворимость частиц с их раз­ мером:

R T \ n 4 L

= — .

(3.37)

O p

Г

 

Здесь Sd — растворимость мелкого кристаллика, Sp— раствори­ мость плоской поверхности, а — поверхностное натяжение, v — молярный объем, г — радиус кристаллика. При более строгом анализе уравнения (3.37) нужно учесть еще зависимость поверх­ ностного натяжения в кристалле от направления, а также внести поправки, учитывающие наличие углов и граней в кристалле

') Понятие «эпитаксия» применяется также к росту тонкой пленки на подложке собственного материала. В частности, под «эпитаксиальным ростом» часто понимают процессы выращивания тонких пленок посредством химиче­ ских транспортных реакций.


124

Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ

несферической

формы. Эти эффекты становятся существенными

лишь для очень малых кристалликов. Например, для воды [фор­

мула

(3.36)] при

г = 10~4

см отношение

PJPp

~ 1,001,

а при

г=

Ю~6 см имеем

PdJPP

«

1,11. Из уравнений

(3.36) и

(3.37)

следует, что кристаллики

малого размера

метастабильны

и, если

в системе имеются кристаллы крупнее, то они будут расти за счет мелких.

В некоторых случаях зарождение можно рассматривать как процесс слияния частиц в системе. Образования из таких частиц представляют собой предшественников достаточно крупного за­ родыша, способного в дальнейшем разрастаться. Таким образом, если в той или иной среде образуется зародыш вещества А, то существует семейство реакций

 

тА

<=± Ат,

(3.38)

где т пробегает ряд значений. Когда

т и константа равновесия

реакции достаточно

велики, зародыш

станет разрастаться; в про­

тивном же случае

он может

вновь раствориться. Образования,

слишком маленькие по своим размерам, чтобы разрастаться при

умеренных

пересыщениях, иногда

называются

дозародышами.

Большинство из них н и к ш д а _ . н е _ ^ ж и з

 

 

но

иногда, то ли благодаря"статистическим

флуктуациям

пересыще­

ния, то ли

благодаря локальному

повышению" энергии,

способ­

ствующему

росту (например, царапание

лабораторного

стакана

перемешивающей палочкой, исподьаодаййе. .ультразвука и т. д.), некоторые из них превращаются в_ зародыш. Чем выше пересыщение, тем больше средний размер дозародыша и тем выше ве­ роятность его превращения (благодаря статистическим флуктуа­ циям) в зародыш. При достаточной выдержке всегда существует

конечная вероятность того,

что при данном пересыщении

возник­

а е т зародыш. Естественно,

что в

присутствии

пыли ^ар_ождение

носит, как правило, гетерогенный

характер F

протекает

сравни­

тельно легко. При царапании сосуда мешалкой в раствор могут попадать частички стекла, что делает вероятность образования центров кристаллизации больше. В действительности присут­ ствие тех или иных частиц при зародышеобразовании в большин­ стве случаев неизбежно.

3.10.В Л И Я Н И Е СКОРОСТИ РОСТА НА КОНСТАНТУ

РА С П Р Е Д Е Л Е Н И Я

Кристаллизация в присутствии активатора или примеси (или рост в любой многокомпонентной системе) сопровождается сег­ регацией (см. разд. 2.5), подчиняющейся уравнению

£ __. as

(равн) _

cs

(равн)

^ gg^

а1

(равн)

с1

(равн)

 


3. КИНЕТИКА РОСТА КРИСТАЛЛОВ

125

где kQ — константа (коэффициент)

равновесного

распределения,

йг(равн) равновесная активность

примеси в

жидкой фазе,

йв(равн) ее равновесная активность в кристалле.

В большинстве

случаев (особенно при низких концентрациях) активности можно заменить концентрациями. Даже при умеренных скоростях роста концентрация примеси у растущего кристалла, как правило, от­

лична от ее концентрации в объеме. Поэтому

целесообразно

ввести эффективную константу (коэффициент)

распределения

&Э фф [24, 25] в виде отношения

 

ь1 (ист)

Здесь cS (ncT ) и с ; ( И ст) истинные концентрации примеси в кри­ сталле и жидкости. Бартон и др. [24] показали, что

^ * = M I + W ^ '

( 3 ' 4 1 )

где 5? — скорость роста рассматриваемой грани,

t — толщина

диффузионного слоя, D — коэффициент диффузии в текущий мо­

мент времени. Если заменить а^равн) активностью

(или прибли­

женно концентрацией) примеси в жидкой фазе в непосредствен­

ной близости от растущей поверхности, то уравнение (3.39)

будет

справедливо даже при быстром росте кристалла ' ) . Для

при­

месей, отталкиваемых кристаллом (k0 < 1), концентрация

С;(И ст)

непосредственно

у растущей поверхности

должна

превышать

концентрацию в

объеме. Следовательно,

&Э фф > k0,

причем по

мере ускорения роста концентрация примеси у поверхности воз­ растает, а /гЭ фф приближается к единице. Подобным же образом

легко

показать, что в случае

k0 >

1 справедливо неравенство

ko >

&эфф >

1, а коэффициент

&Э фф

стремится к единице

по мере

ускорения

роста. В общем случае

чем выше вязкость

жидкой

фазы, тем меньше коэффициент диффузии; чем интенсивнее пе­ ремешивание раствора, чем ниже содержание примесей в нем или чем выше коэффициент диффузии примеси и собственных ча­ стиц, тем меньше толщина диффузионного слоя и градиент кон­ центрации в таком слое.

Отметим, что если на растущей грани имеется адсорбирован­ ный слой активирующей или посторонней примеси, то концен­ трация с; (ист) вблизи межфазной границы будет больше, чем в

') ЭТО УТВЕРЖДЕНИЕ НЕПРАВИЛЬНОЕ, ТАК КАК ПРИ ДОСТАТОЧНО БЫСТРОМ РОСТЕ РАВНОВЕСИЕ ПО ОТНОШЕНИЮ К РАСПРЕДЕЛЕНИЮ ПРИМЕСЕЙ МЕЖДУ КРИСТАЛ­ ЛОМ И ПРИЛЕГАЮЩИМ К НЕМУ СЛОЕМ СРЕДЫ МОЖЕТ И НЕ ДОСТИГАТЬСЯ. СВИДЕ­ ТЕЛЬСТВО ТОМУ МОЖНО УСМОТРЕТЬ В СЕКТОРИАЛЬНОМ СТРОЕНИИ КРИСТАЛЛОВ, ВЫ­ РАСТАЮЩИХ В УСЛОВИЯХ СИЛЬНОГО ПЕРЕМЕШИВАНИЯ. В ОБЩЕМ СЛУЧАЕ ПОД k0 В ФОРМУЛЕ (3.41) СЛЕДУЕТ ПОНИМАТЬ НЕРАВНОВЕСНЫЙ КИНЕТИЧЕСКИЙ КОЭФФИЦИЕНТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ [49—52]. — Прим. ред.


126

Р. ЛОДИЗ. РОСТ МОНОКРИСТАЛЛОВ

 

 

объеме

жидкой массы, и £ Э ф ф

будет

больше k0

(k0

определяется

без учета адсорбированного

слоя)

независимо

от

того, k0 <; 1

или k0 >

11 ). При увеличении

скорости появятся градиенты кон­

центрации, обусловленные диффузией, что может оказать влия­ ние на концентрацию в адсорбированном слое. В таких условиях зависимость &Э фф от скорости может быть весьма сложной.

3.11.К О Н Ц Е Н Т Р А Ц И О Н Н О Е П Е Р Е О Х Л А Ж Д Е Н И Е

Вмногокомпонентной системе растущий кристалл отталки­ вает посторонние компоненты, которые скапливаются перед рас­ тущей поверхностью. Если константа распределения данного компонента k меньше единицы, то его концентрация у растущей поверхности будет выше его концентрации в объеме. Наоборот,

при k > 1 компонент поглощается кристаллом и его концентра­ ция у растущей поверхности будет ниже концентрации в объеме.

Таким образом, при k > 1 диффузионный поток

компонента на­

правлен из жидкой фазы к кристаллу, а при k <

1 — в обратном

направлении. Как правило, в многокомпонентной системе k больше единицы для частиц, формирующих кристалл, и меньше единицы для растворителя. Коэффициенты распределения других примесей могут иметь любые значения. При очень медленном росте, осуществляющемся в почти равновесных условиях, влия­ ние диффузии пренебрежимо мало. Однако во многих случаях диффузия очень важна. Представив в такой системе концентра­ цию примеси как функцию расстояния от поверхности кристалла (фиг. 3.11), легко видеть, что из-за отталкивания примеси ее концентрация с{ у поверхности раздела фаз выше ее концентра­ ции в объеме жидкой фазы сг. На фиг. 3.12 изображена диаграм­

ма состояния

системы кристалл — примесь. Сопоставляя кривую

ликвидуса на

фиг.

3.12 и

состав из

фиг. 3.11, легко построить,

как на фиг.

3.13,

график

изменения

температуры плавления у

растущей поверхности в зависимости от расстояния для разных составов. Как легко видеть, температура плавления уменьшается с приближением к поверхности кристалла. Пунктирные линии АВ

и А'В изображают два разных

температурных градиента в

рас­

творе. При

большем градиенте

АВ

нигде перед

фронтом

кри­

сталлизации

нет переохлаждения;

при меньшем

градиенте

А'В

перед этим фронтом есть область переохлаждения СВ с тенден­

цией к

кристаллизации.

В области СВ существует

концентра­

ционное

переохлаждение

[26]2 ). Легко видеть, что большие тем­

пературные градиенты, легко достижимые, например,

при вытя-

')

Подробнее об адсорбции говорится в разд. 2.5.

2 )

Представления о концентрационном переохлаждении были сформули­

рованы Г. П. Иванцовым в 1951 г. [53]. — Прим. ред.