Файл: Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов учеб. пособие.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 14.10.2024

Просмотров: 107

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

I Электрические параметры

s

1> «5.

- as- kJ ^

o t

w

О

о

о

Ю

ОО

со

ю

СО <N

 

 

оч

LC

со 1_С

о

'I CNLOИЭ +1

со со t—Г сгТ оо"

см

о" О) см -Н о

тг

ю

^

m

см

о"

сГ

о"

о

с

 

 

оо

о

t'-

 

 

 

о

о

о

 

, мм

те

+1

+1

О

 

Размеры

ГГ о

Ю

 

 

 

СМ оо

 

 

 

 

 

 

 

I

»-

I

I

I

 

см

се

со"

со

ос

 

 

со*

со*

 

LO

 

ю

оо

 

со

 

 

Tf"

 

 

M i

l

 

СЭ.{ц

 

 

cd

О _

 

CMсо

со

^

-don unj.

ф

СО

СО СО

 

Эта конструкция имеет восемь или двенадцать выводов. Один из выво­ дов может быть базовым, но имеют­ ся конструкции, у которых все вы­ воды изолированы от корпуса. Тех­ нологический процесс изготовления корпуса типовой и одинаков с тех­ нологией изготовления корпуса транзисторов и тиристоров малой и средней мощности. Для качествен­

ной напайки кристалла на

ножку,

термокомпрессионной сварки

выво­

дов кристалла к выводам

ножки

и окончательной герметизации электроконтактной сваркой ножку и бал­ лон покрывают золотом. Фланец ножки 1, стеклотаблетка 2 и выво­ ды 3 образуют герметичный метал­ лостеклянный спай. Окончательную герметизацию производят, применяя баллон 4. Фланец изготавливают из тонколистового ковара, а выводы— из коваровой проволоки. Стеклотаблетку выполняют из стекла С48-2 литьем под давлением или прессо­ ванием. На ножку напаивают кри­ сталл с помощью эвтектики золото-

кремний, а соединение

кристалла

с выводами производят

термокомп­

рессионной сваркой, используя зо­ лотую проволоку на стандартном оборудовании. Конструкция облада­ ет значительным термосопротивле­ нием при отсутствии специального теплоотвода.

Для монтажа прямоугольных по­

лупроводниковых

кристаллов

6,5Х

Х6,5 и 6X14 мм2 применяют

кон­

струкцию 6—За

и

6—36

(см.

табл. 11.9).

 

герметиза­

Наряду с корпусной

цией диодных матриц, интегральных и гибридных схем применяют и бескорпусную герметизацию пластмас­ сой. Внедрение технологии изготов­ ления приборов на ленте с группо­ вой герметизацией методов транс­ ферного литья под давлением позво­ ляет сократить затраты на изготов­

340


ление приборов, упростить конструкцию оснастки и увеличить про­ изводительность. На рис. 11.27 приведена конструкция микросхемы или диодной сборки 6—4 с герметизацией пластмассой на ленте. Ленту 1 из никеля, сплава 29НК или трехслойных композиций ко- вар-медь-ковар, никель-ковар-никель штампуют в виде непрерыв­ ной полосы и разрезают на отрезки оптимальной длины из расчета 20—25 приборов на каждом отрезке ленты. Число приборов опре­ деляют согласно оптимальным размерам пресс-формы для транс-

Рис. 11.27. Конструкция микросхемы или диодной сборки с гер­ метизацией пластмассой на ленте

ферного литья. Лента при этом имеет технологические перемычки, так что измерение параметров прибора в процессе производства невозможно. Лента 1 имеет на поверхности золотую полосу для напайки кристалла 2 эвтектикой золото-кремний и термокомпрес­ сионной сварки выводов с помощью золотой проволоки 3. Для уве­ личения устойчивости сборки к воздействию жесткой пластмассы при полимеризации после заливки структуру с проволочными выво­ дами предварительно покрывают эластичным компаундом. Оконча­ тельную герметизацию приборов, как уже отмечалось, производят компаундом 4 на основе эпоксидной смолы трансферным литьем. Число выводов в зависимости от типа приборов может меняться от трех до четырнадцати. Конструкция рассчитана на печатный мон­ таж приборов на плате.

ГЛАВА ДВЕНАДЦАТАЯ

МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ И ИСПЫТАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

§ 12.1. Категории испытаний

Испытания подразделяют на технологические испытания в про­ цессе изготовления приборов и проверку соответствия параметров готовых приборов требованиям технических условий (ГОСТ 11630—70). Испытания позволяют отбраковывать ненадежные при­ боры и способствуют отработке технологических процессов.

Технологическим испытаниям в процессе изготовления подвер­ гают как заготовки полупроводниковых кристаллов с р-я-перехо- дами, так и сборочные конструкции после соответствующих техно­ логических операций.

Проведение испытаний определяется методикой и требования­ ми, оговоренными в технических условиях (ГОСТ 11630—70).

Существуют два вида технических условий: общие (ОТУ), со­ держащие требования для всех полупроводниковых приборов,

ичастные (ЧТУ), содержащие нормы на электрические параметры

испецифические требования, относящиеся к конкретному типу

прибора.

 

и дополнительные докумен­

Общие технические условия (ОТУ)

ты (нормали) устанавливают:

и

климатические требования,

а)

электрические, механические

а также требования к конструкции и к производству приборов;

б)

методы проведения испытаний на надежность;

в)

требования к конструкторской и технологической документа­

ции, используемой в производстве приборов;

г)

требования к применяемым материалам;

д)

методы контроля технологических процессов и меры, приме­

няемые в случае увеличения производственного брака;

е)

правила приемки и контроля

качества полупроводниковых

приборов;

 

 

ж)

требования к испытательному оборудованию;

з)

требования к маркировке и упаковке;

и)

гарантии завода-изготовителя приборов.

Частные технические условия (ЧТУ) устанавливают:

а)

основное назначение прибора;

 

 

б) нормы на значения параметров при нормальной и предель­ ных температурах окружающей среды;

в) режимы различных видов испытаний; г) нормы на параметры-критерии годности;

342


д) предельно допустимые значения электрических режимов и их зависимость от температуры.

В ЧТУ содержатся указания и рекомендации по применению и эксплуатации приборов, а также справочные данные в виде ти­ повых зависимостей важнейших параметров от рабочего режима и температуры.

Совокупность и последовательность испытаний, которым подвер­ гают приборы, выпускаемые заводами-изготовителями, осуществля­ ют по трем категориям:

1)приемо-сдаточные испытания;

2)периодические испытания;

3)испытания на гарантийную наработку (надежность).

Приемо-сдаточные испытания включают два параллельных эта­ па: проверку габаритных размеров и внешнего вида (состояние за­ щитных покрытий, расположение выводов относительно корпуса прибора, качество маркировки и др.) и проверку основных элект­ рических параметров приборов.

Приемо-сдаточные испытания проводит Отдел технического контроля завода-изготовителя не менее чем через трое суток после получения готовых приборов.

На приемку предъявляют партии, скомплектованные из прибо­ ров одного типа и изготовленные в течение последних трех меся­ цев в количестве до 22 000 шт.

Приемо-сдаточные испытания осуществляют путем двукратной выборки или методом сплошного контроля, если партия не превы­ шает 300 приборов.

Для проведения испытаний из большой партии приборов N со­ ставляют выборку с количеством приборов, равным шт., и под­ вергают ее испытаниям. При этом устанавливают приемочное чис­ ло — ci шт. и браковочное число— г\ шт. Если после испытаний окажется, что количество дефектных (отказавших) приборов пх меньше или равно приемочному числу Ci («i<Ci), то партия счи­ тается выдержавшей испытания и принимается заказчиком. Если же количество дефектных приборов пх будет больше или равно бра­ ковочному числу г1 («i> ri), то партию не принимают и полностью бракуют. Когда количество дефектных приборов пх больше прие­

мочного числа сь но меньше браковочного rx

(сх< п х< гх), из той

же партии приборов N берут вторую выборку приборов, равную

и подвергают аналогичному испытанию в

тех

же режимах.

При этом устанавливают приемочное число

с2

и браковочное

число — Г2.

 

 

Если после проведения повторных испытаний суммарное коли­ чество дефектных приборов (rti + n2) будет меньше или равно прие­ мочному числу с2

( « 1 + n-i) < с2,

то партия считается выдержавшей испытания и принимается.

343


Если же суммарное количество дефектных приборов будет боль­ ше или равно браковочному числу г2,

(«!+ /г2) > г2,

то партию считают не выдержавшей испытания и бракуют.

В табл. 12.1 приведены объемы выборок приборов и значения параметров качества. Выборку приборов комплектуют методом слу­ чайного отбора из окончательно составленных партий. Приемлемый уровень качества установлен стандартами на каждый тип прибора и не превышает 2,5%.

Т а б л и ц а 12.1

Количество приборов

в партии, шт.

о т 1 д о 3 0 0

от 301

до 5 00

от 501

до 8 00

от 801

до 1300

от 1301

до 3 2 0 0

от 3201

до 8 0 0 0

от 8001

до 2 2 000

Выборка

1

2

1

2

1

2

1

2

1

2

1

2

.V

 

3 5

«

О

50

100

75

150

100

200

150

3 0 0

2 00

4 0 0

Приемочные и браковочные числа прибо­ ров, шт., для данного приемлемого уровня качества, %

 

0,65

 

1.00

|

 

1,50

 

2,50

С 1 Г

с \ г \ С 1 Г

 

Г

 

С п л о ш н о й (1 0 0 % -н ы й ) к о н т р о л ь

0

3

0

3

 

1

3

1

5

2

3

2

3

 

2

3

4

5

0

3

1

4

 

1

6

2

7

2

3

3

4

 

5

6

6

7

1

3

1

6

 

2

8

4

9

2

3

5

6

 

7

8

8

9

1

6

2

6

 

3

8

5

12

5

6

5

6

 

7

8

и

12

2

7

3

8

 

5

14

7

19

6

7

7

8

 

13

•14

18

19

3

8

4

10

 

6

17

9

2 5

7

8

9

10

 

16

17

2 4

2 5

Партию приборов, не выдержавшую приемо-сдаточные испыта­ ния, после браковки возвращают цеху-изготовителю для 100%-ной перепроверки и удаления всех негодных приборов. Годные приборы из забракованной партии могут быть включены в новые партии и вновь представлены на приемо-сдаточные испытания.

344


Если приборы, выдержавшие приемо-сдаточные испытания, на­ ходятся на складе завода-изготовителя более шести месяцев, то каждая партия этих приборов должна быть выборочно перепрове­ рена по нормам и правилам приемо-сдаточных испытаний. В пас­ порте партии приборов отмечают дату перепроверки.

Периодические испытания состоят из трех параллельных этапов: 1) проверка смачиваемости выводов припоем и испытание механи­ ческой прочности выводов; 2) последовательное проведение комп­ лекса операций — измерение электрических параметров приборов; проверка отсутствия коротких замыканий и обрывов; испытание на теплоустойчивость, холодоустойчивость, устойчивость к цикличе­ ским изменениям температуры, ударную прочность, вибропрочность, устойчивость к постоянным ускорениям, влагоустойчивость и герме­ тичность; 3) испытания на стабильность работы приборов.

Периодические испытания проводят один раз в три месяца, а также в случае изменений конструкции приборов, технологии их изготовления, применяемых материалов и других изменений, кото­ рые могут повлиять на качество и параметры приборов.

Для периодических испытаний отбирают 20 приборов любого типа, выпускаемых по одному стандарту в течение периода, за ко­ торый проводят периодические испытания, и прошедших приемо­ сдаточные испытания. При высокой стоимости количество проверяе­ мых приборов может быть меньше. По каждому виду испытаний допускается не более одного прибора, неудовлетворяющего требо­ ваниям стандартов.

В случае неудовлетворительных результатов периодических ис­ пытаний повторяют на удвоенном количестве приборов те испыта-. ния, по которым были получены неудовлетворительные результаты.

Испытания на гарантийную наработку (надежность) представ­ ляют собой длительные электрические и тепловые испытания при­ боров в условиях, близких к эксплуатационным.

Этим испытаниям один раз в год подвергают 100 приборов лю­ бого типа, выпускаемых по одному стандарту и прошедших приемо­ сдаточные испытания. Мощные и дорогостоящие приборы можно испытывать в меньшем количестве.

Гарантийная наработка приборов в режимах и условиях, уста­ новленных на каждый тип прибора, не должна быть менее 10000 ч, а интенсивность отказов приборов — не более Ы О -5 ч-1. (Более, подробно об этом виде испытаний см. § 12.4.)

Параметры-критерии годности -различных классов приборов при испытаниях

Маломощные транзисторы . Низкошумящие транзисторы Мощные транзисторы . .

Выпрямительные и импульсные диоды . .

Стабилитроны ...................................

Туннельные диоды Тиристоры . .