Файл: Слободенюк, Г. И. Квадрупольные масс-спектрометры.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 15.10.2024

Просмотров: 134

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

где

vn-1

ех = 5,з-10—7

^макс

П.макс

, ч (

X exp 10,175 (п — 1)

А/ V

о,

ff,,r/yk-(t/B9y - 0 ,3 ) X

1

L2

 

 

)

 

 

 

^ВЭУ '■ Юз

25

0 , 4 4 6

(4.68)

 

п

 

 

 

коэффициент,

не зависящий от массы анализируемого

компонента.

16

изображена зависимость величины

На рис.

[(^(д г^макС)/ (0ia»)]

от Mi, построенная по формуле (4.67)

а — в присутствии ВЭУ; б — в отсутствие ВЭУ; в — в присутствии ВЭУ ПРИ м макс<м гр-

96

Для случаев Л4гр, равного 5 и 50 а. е. м. (сплошные ли­ нии). Величина Мгр, как известно, определяется выра­ жением (2.33).

 

Если при отсутствии ВЭУ в датчике приемником

ионов служит коллектор

(цилиндр Фарадея), те же за­

висимости определим следующим образом:

 

 

2 -10~7

«г

 

°и ^уск

при Ml < Мгр;

 

 

 

L2 м'!‘

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1,5-10-

 

 

 

^О^уск

 

при

м Гр <

(4.69)

 

j макс

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

17п.макс

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Mf ^ ^мцкс»

или, приводя к виду, аналогичному (4.67),

 

 

 

02

при

М. <

Л4гр;

 

 

 

 

'

м'1г

 

 

 

 

 

 

 

К д/

 

 

макс

 

 

 

 

 

 

(4.70)

 

02

а;Мгр,

при

Л4гр <

Aft- <

Л4макс,

 

без ВЭУ

 

М.мЧж

 

 

 

 

 

 

 

 

 

т 1т макс

 

 

 

 

 

 

где 02 — коэффициент,

не

зависящий

от

массы

анали-

зируемого компонента:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

U3!г

 

 

 

 

02£ё2-10~7-

 

 

■^уск

 

(4.71)

 

 

Рмакс

 

L2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

/п.макс

 

 

 

 

На

том

же

рис.

 

16

изображена

зависимость

(•Ммакс Кдг1 и $ 2)

от Mj

(пунктир), построенная по форму­

ле

(4.70)

для случаев

Мгр, равного 5 и 50 а. е.

м.

Г л а в а 5.

ДИАПАЗОН АНАЛИЗИРУЕМЫХ МАСС

 

 

§16. Причины, способные ограничить верхнюю границу диапазона анализируемых масс

Диапазон анализируемых масс является важной ха­ рактеристикой любого, в том числе и квадрупольного, масс-спектрометра, в значительной мере определяющей область его применения.

Из выражений (1.15) для коэффициентов а и q, вхо­ дящих в уравнения Матье (1.12) и (1.13), можно найти

7 Г. И. Слободенюк

97


зависимость номера анализируемой массы (М, а. е. м.) от амплитуды и частоты ВЧ-напряжения, подаваемого на полеобразующие стержни анализатора КМ, а также от радиуса поля г0:

М = 0,139К//2г2_

(5.1)

Из формулы (5.1) следует, что диапазон анализируемых масс можно расширить, увеличивая V и уменьшая f и го. Однако увеличение V ограничивает электрическая проч­ ность вакуума. Уменьшение / связано с увеличением длины анализатора L, которое не может быть беспре­ дельным, и с уменьшением энергии влетающих в анали­ затор ионов, что снижает чувствительность КМ. Умень­ шение г0 связано с необходимостью увеличения абсо­ лютной точности изготовления квадрупольного анализа­ тора, которая тоже имеет свои пределы.

Еще одной причиной, способной ограничить верхнюю границу диапазрна масс, является ухудшение суммарной

трансмиссии датчика КМ

(всех его составных частей

в совокупности — ионного

источника, анализатора и

ВЭУ) с ростом номера массы при сохранении неизмен­ ной по диапазону масс абсолютной разрешающей спо­ собности.

Далее будут рассмотрены все перечисленные причи­ ны,способные ограничить диапазонанализируемых масс, и определена степень влияния каждой из них на Ммакс-

§ 17. Влияние трансмиссии датчика на МмакС

Из выражений (4.67) и (4.70) следует, что мини­ мальное значение коэффициентов передачи датчиков с ВЭУ и без ВЭУ наблюдается вблизи верхней границы диапазона масс, т. е. при М*= МмаксДля датчика с ВЭУ

^Сд.МИН/(0ЕЛ-) = Мгр/М>^с

(5.2)

и для датчика без ВЭУ

 

-^Сд.мин/(02аг) = MIV/M3Ja2KC.

(5.3)

Напомним, что, согласно (2.33),

 

Мгр = 0,16 (r0/R0f AM = 2,4Лгн3 (r0/R0f UyCKl(f2L>).

(5.4)

98


Для дальнейших рассуждений воспользуемся поня­ тием динамического диапазона КМ, т. е. отношения максимального регистрируемого прибором парциального давления Pi макс на массе Mi к чувствительности КМ на этой массе:

Ш ИН»

(5.5)

Из формул (5.2) и (5.3) следует, что с ростом Ммакс ко­ эффициент передачи датчика убывает. Может случиться так, что с ростом М{ при максимальном давлении г-го компонента анализируемой смеси сигнал от данного компонента окажется на уровне чувствительности при­ бора. При этом дальнейшее увеличение массы молекул анализируемых компонентов не имеет смысла, так как сигнал от них на выходе прибора в допустимом для КМ диапазоне давлений от Piмин до Рыто будет ниже уров­ ня чувствительности прибора. Это фактически означает, что теоретическим пределом для верхней границы диа­ пазона масс в КМ должна служить величина, удовлет­ воряющая условию, при котором ослабление сигнала на массе Ммакс по сравнению с сигналом на массе М, рав­ ном 1 а. е. м., не превышает величины, обратной динами­ ческому диапазону, т. е.

 

К д . м и н / ( 0 1 , 2 О С ,) > 1 / D .

 

(5.6)

Для случая датчика КМ с ВЭУ, учитывая

(5.2), нахо­

дим, что

 

 

 

 

 

М м а к с , <

( М Гр О ) 8 /Ш

 

(5.7)

и для случая датчика КМ без ВЭУ

 

 

 

МмакС2 <

 

(5.8)

Ясно, что при достижении одинаковых Мгр и D в обоих

случаях

Ммакс, < М маКс2-

Так, при

Мгр= 50

а. е. м. и

О = 10б

получим MMaKCl =13 000 а.

е. м. и

МмакСг =

= 136 000 а. е. м. Следует, однако, отметить, что предель­ но достижимый динамический диапазон в КМ с датчи­ ком без ВЭУ, как это будет показано в гл. 6, меньше,

чем в

КМ с

датчиком, содержащим

ВЭУ,

поэтому*

* В

данной

формуле Ргмакс = Рмакс, т. е.

рассмотрен

предель­

ный случай, когда общее, максимально допустимое для КМ рабо­ чее давление (определение Рмакс см. в гл. 6) создается одним г-м компонентом, а все прочие компоненты в среде практически отсут­ ствуют.

99



М.макс* будет меньше, чем получилось при расчете. Уве­ личение динамического диапазона на порядок (т. е. при D=107), что уже близко к пределу (см. гл. 6), даст при Мтр, равном 50 а.е.м., МмакС1 =44 400 а.е.м. Такой результат получится при D = 106 и увеличении Мгр на по­ рядок (500 а. е. м.), что достигается ухудшением абсо­ лютной разрешающей способности на порядок [см. вы­ ражение (5.4)] или уменьшением в три с лишним раза впускного отверстия в анализаторе КМ.

§ 18. Влияние электрической прочности вакуума и точности изготовления анализатора на М макс

Из выражения (5.1) следует, что диапазон анализи­ руемых масс можно расширить увеличением напряже­ ния, подаваемого на полеобразующие электроды анали­ затора КМ. Однако увеличение V(U) при сохранении не­ изменной геометрии анализатора не беспредельно. Оно ограничено некоторым критическим значением напряжен­ ности электрического поля, вызывающим пробой между соседними электродами. Несложный расчет показывает, что напряженность поля в квадрупольном конденсаторе, образованном четырьмя цилиндрическими электродами, максимальна вблизи той части поверхности электродов, которая расположена в месте кратчайшего расстояния между разнополярными электродами:

Е =

V Е\ + Е2у =■- 2[(U + V cos (£>t)lrV\ V х2 +

f , (5.9)

где х =

l,16r0/ [ / 2 и у = 2,16r0 — l,16r0/j/2 .

Подстав­

ляя значения x и у в выражение (5.9) и полагая в чис­ лителе cos u>t= 1, получаем

£

= £ Макс = 3,14(£/ + К)/г0.

(5.10)

Подставляя в формулу (5.10) значение V из

(5.1) и имея

в виду, что U ^

0,167 V, находим:

 

 

£ макс > 26,5М/%.

(5.11)

Поскольку не вполне ясно, до какой степени можно довести уменьшение значений f и г0, чтобы обеспечить получение М м а К с , исключим из (5.11) величину f с по­ мощью выражения (2.69), а величину г0 — с помощью соотношения, определяющего допустимые с точки зрения

100