Файл: Прикладная спектрометрия с полупроводниковыми детекторами..pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 15.10.2024
Просмотров: 140
Скачиваний: 0
Определенный интерес представляет ППД с конфигурацией, близкой к полусфере (рпс. 5.3, з). Такие детекторы, по-видимо му, имеют определенные перспективы для использования в спектрометрии у-излучения в диапазоне энергий 100— 1000 кэВ. Емкость такого ППД определяется выражением
|
С = еЯ /2(Д -г), |
(5.5) |
|
где R — радиус внешней сферы, |
ограничивающей |
/-область; |
|
г — радиус внутренней |
сферы, ограничивающей /-область. |
||
Нетрудно заметить, |
что эффект |
«схлопываиия» |
маловероя |
тен для полусферического ППД, поэтому /7-область может быть достаточно малой. Это приводит к тому, что такие детекторы могут иметь электрическую емкость, определяемую в основном распределенной емкостью самого ППД и токоподводящпх цепей.
Совершенствование технологии изготовления полупроводни ковых материалов неизбежно привело к созданию так называе мого сверхчистого, или «гнперчпстого», германия. Практически это германий собственной проводимости, у которого разност ная концентрация примесей проводимости не превышает 1010— 10“ см-3. Из такого материала легко изготовить детекторы пла нарной п—р-структуры [24—28]. За счет диффузии или ионной имплантации на противоположных сторонах заготовки ППД создаются контакты из соответствующих материалов, легирую щих исходный материал.
При известных значениях разностной концентрации приме сей в исходном материале и рабочего напряжения можно легкооценить толщину обедненной (для данного ППД — чувствитель ной) области при использовании номограммы, приведенной па рис. 5.4 [29]. Электрическую емкость такого детектора можнорассчитать по формуле (5.1).
Как видно из номограммы, толщина чувствительной области ППД из гиперчнстого германия в существенной мере зависит от того, насколько хорошо очищен материал от примесей.
Другой фактор, определяющий толщину чувствительной об ласти,-— рабочее напряжение ППД. К идеальному детектору можно приложить сколь угодно большое рабочее напряжениедля увеличения толщины его чувствительной области. На са мом же деле это не так, объясняется это несколькими причи нами. Одна из них—-в том, что у реального детектора нередко образуются проводящие каналы на боковой поверхности элек тронно-дырочного перехода. Поэтому предельно допустимое рабочее напряжение ППД определяется не пробоем его п—р- перехода, а избыточным шумом, резко снижающим спектромет рические качества ППД. Детекторы из суперчистого материала имеют обнадеживающие перспективы их широкого использова
ния в спектрометрии |
у из-'1Учепня- Обусловлено |
это многими |
причинами [24—29]. |
Кратко суммируя выводы |
этих работ, |
188
можно заключить, что основные преимущества ППД из герма ния собственной проводимости следуют пз отсутствия процесса компенсации исходного полупроводникового материала литием, что обеспечивает практическую возможность создания чувстви тельной области ППД требуемой толщины.
Экспериментатор при обращении с таким ППД может не заботиться об их охлаждении в нерабочем состоянии. В этом
|
|
Зффектидная |
|
|
То/найма |
оазноотная |
|
Обратное |
концентрация |
||
обедненной |
|||
напряжение, В |
обрасти, .«/•/ |
—\Ю5 |
|
10000с |
101 |
|
W10
W00
W"
I
^ w'Z
ГТ
•'? '
Рис. 5.4. Номограмма для определения параметров детекто ров из германия собственной проводимости.
случае не наолюдается преципитация лития, которая приводит к необратимым ухудшениям измерительных параметров герма ниевых диффузионно-дрейфовых ППД. У детекторов, изготов ленных из германия собственной проводимости, практически от сутствует явление захвата носителей заряда, приводящее к. ушнрению спектральной линии и появлению «хвоста» («затя гивание») .
В зависимости от технологии нанесения контактных легиро ванных слоев и их пространственного расположения детекторы из германия собственной проводимости могут быть по конфи гурации и планарными, и коаксиальными.
Другой тип детектора, широко используемый в спектромет рии у-излучения, — ППД из германия я-типа, ко.мпенсирован-
189-
ного глубокими акцепторными уровнями [30—34]. Этот способ компенсации обеспечивается облучением заготовки ППД жест
кими |
у квантами |
(интегральный поток около 10й |
квант/см2). |
||
Такие |
детекторы |
нередко |
называют |
«радиационными» ППД. |
|
В технической литературе |
их иногда |
сокращенно |
обозначают |
Ое(у)-ППД. Конфигурация чувствительной области у радиа ционных ППД — планарная, толщина чувствительной области их лежит в пределах 1—5 мм и зависит от параметров исход ного материала и режима облучения. Отличительная особен ность этих детекторов в том, что толщина мертвого слоя у них минимальна и не превышает 20—50 мкг/см2 золота, используе мого для создания поверхностно-барьерного перехода на гер мании.
Радиационные ППД, как и детекторы из гиперчпстого гер мания, не требуют охлаждения при хранении. Недостаток «радиационных» ППД — в довольно острой зависимости опти мальных измерительных параметров (энергетического разреше ния, формы аппаратурной липни и др.) от температуры, при которой эксплуатируется электронно-дырочный переход ППД. ■Опыт работы с отечественными радиационными детекторами промышленного изготовления типа ДГР показал, что измери тельные параметры большинства детекторов заметно не изме няются в диапазоне температур 77—88 К, некоторые образцы детекторов имеют наилучшие значения своих измерительных параметров только при температуре кипения жидкого азота
(78 К).
Завершая данный раздел, следует отметить, что Советский Союз — первая страна, в которой были созданы радиационные ППД на основе германия н-типа, компенсированного глубокими акцепторными уровнями [35], и освоено их промышленное про изводство.
§ 5.2. БЛОКИ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ С ИНД
Способы обеспечения рабочих температур ППД. Существен ное уменьшение обратных токов ППД и, следовательно, шумов ППД с одновременным резким улучшением энергетического разрешения обеспечивается в результате снижения температу ры, при которой эксплуатируются ППД. Широкие всесторонние исследования, проведенные с германиевыми ППД различных типов, позволили выявить температурный диапазон, в пределах которого обеспечиваются иаилучшие измерительные характери стики этих детекторов. Нижняя граница этого диапазона со ставляет примерно 20—30 К, а верхняя лежит в пределах 90— 100 К [36—40]. Отсутствие четких границ этого температурно го интервала обусловлено тем, что оптимизация температурных условий эксплуатации германиевых ППД достигается при эк стремуме конкурирующих процессов, лежащих в основе принци
190
па работы полупроводникового детектора. Действительно, по нижение температуры детектора, с одной стороны, приводит к: снижению обратных токов ППД и увеличению подвижности но сителей заряда, что благоприятно влияет на энергетическое раз решение ППД, с другой стороны, приводит к увеличению энер гии образования пары носителей заряда, к уменьшению вре мени их жизни, к увеличению сечения захвата носителей ло вушками, а это оказывает отрицательное влияние на форму ап паратурной линии спектрометра с ППД и на его разрешение.
Индивидуальность каждого экземпляра ППД в какой-то мере, по-виднмому, связана с неконтролируемыми пока на со временном уровне процессами, протекающими при подготовке полупроводникового сырья, выращивании монокристаллов полу проводникового материала и при изготовлении самого ППД. Этими причинами, в частности, объясняют тот факт, что каждый экземпляр ППД имеет свою оптимальную температурную ра бочую точку: в диапазоне 40—60 К-
В результате изучения теплового равновесия реального ППД можно точно определить возможные источники тепла и пути, подвода тепла к нему. Основные из них, определяющие нагрев
ППД при его работе, следующие: |
1) лучепоглощение |
6 Qi;. |
|
2) |
нагрев ППД за счет теплопроводности окружающей |
среды |
|
6 Q2 |
и токопроводящих цепей 6 Q3 ; 3) |
выделение тепла в самом- |
|
ППД 6 Q/,. |
|
|
Для обеспечения постоянной температуры ППД в указанном1 температурном диапазоне нужно, чтобы при требуемой темпе
ратуре эксплуатации от детектора |
отводилось количество тепла |
|
6 Q5 , равное сумме компонентов |
тепла, подводимых |
к детек |
тору, т. е.: |
|
|
SQ5 = g |
V |
(5.6)'- |
В гл. 6 проанализированы пути снижения вкладов компонен |
||
тов, подводящих тепло к детектору. |
создание, |
|
Существует несколько методов, обеспечивающих |
а затем п поддержание постоянной требуемой температуры на электронно-дырочном переходе ППД. Рассмотрим только не сколько основных, применяемых для обеспечения работы ППД. Наиболее широко в практике физического эксперимента приме няется метод отвода тепла от ППД криогену (хладагенту). В качестве криогеиов можно использовать газы, жидкости илгг твердые тела. При этом ППД может либо помещаться (погру жаться) в криогеи, либо только его касаться, либо иметь тепло вой контакт с криогеном через хладопровод.
Газообразные криогены имеют малую теплоемкость и тепло проводность, поэтому для охлаждения ППД необходимо осу ществлять интенсивный газообмен. Это обстоятельство требуег прнменения специальных устройств для создания и поддержания
19Г
такого газообмена. Сам газообмен должен поддерживаться строго постоянным для обеспечения стабильности температуры охлаждаемого ППД, так как изменять температуру ППД в про цессе его эксплуатации в физическом эксперименте крайне не желательно.
Исходя из приведенных выше причин, чаще всего в качестве крногена используют жидкости с гораздо большей теплоемкостью и теплопроводностью по сравнению с этими параметрами газо образных крногенов. К тому же отличительное свойство жид костей, как известно, — постоянная температура их кипения при определенном внешнем давлении над поверхностью жидкости. Поэтому, выбрав криоген с точкой кипения в требуемом темпе ратурном диапазоне, достаточно осуществить его надежный тепловой контакт с охлаждаемым ППД, чтобы обеспечить вы полненне условия (5.6). В этом случае тепло, передаваемое ППД и выделяемое в нем, будет в свою очередь передаваться крио гену в соответствии со вторым началом термодинамики. Коли чество передаваемого криогену тепла будет определять интен сивность его кипения (парообразования).
При выборе жидких крногенов (кроме требований создания необходимой рабочей температуры ППД) они должны быть
доступны, дешевы и безопасны в работе. |
Наиболее часто |
при |
меняют в качестве криогена жидкий азот |
с температурой |
кипе |
ния около 78 К* при нормальном атмосферном давлении. |
Жид |
кий |
азот доступен, |
его производство |
сравнительно |
недорого, |
|
к тому же он безопасен в обращении. |
Гораздо реже в качестве |
||||
криогена применяют сжиженные кислород или |
водород из-за |
||||
их |
потенциальной |
взрывоопасности; |
аргон, |
неон, |
криптон, |
гелий — из-за их сравнительной дороговизны.
Использование жидкого крногена для охлаждения ППД позволяет осуществлять наилучшие условия для охлаждения ППД при погружении его непосредственно в криоген. При этом следует помнить, что конструкция ППД должна быть рассчи тана па значительные и резкие изменения температур — от ком натной до температуры кипения жидкого крногена. При погру жении ППД в жидкий криоген следует учитывать неизбежное увеличение емкости ППД, подключаемой ко входу усилитель ного тракта, обмерзание контактных сигнальных проводов ППД вследствие конденсации' паров воды из окружающего воздуха, а также возможный эффект нестационарного изменения емкости ППД и соединительных сигнальных проводов из-за сотрясений, вызываемых всплывающими пузырьками пара (барботажем) крногена. Кипение крногена, вызывающее механические пере мещения ППД и его токовыводов, приводит к нежелательным
* Температура технического жидкого азота может отличаться от ука занной на несколько градусов пз-за разбавления азота кислородом воздуха и другими газами.
192