Файл: Вигдорович, В. Н. Совершенствование зонной перекристаллизации.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 19.10.2024

Просмотров: 54

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

сти в пограничном слое, способствующая переносу атомов примеси в глубь расплава. Турбулентный пограничный слой состоит из ла­ минарного подслоя, области развитого турбулентного движения и лежащей между ними переходной области с переменным характером движения временами ламинарным, временами турбулентным. В турбулентной и в меньшей степени в переходной области происхо­ дит быстрое осреднение концентрации и температуры расплава, вызванное смешением частиц жидкости, характерным для турбулент­ ного режима. Поэтому при турбулентном характере пограничного слоя определяющими являются параметры ламинарного подслоя. Ламинарный подслой в большей степени зависит от режима движения жидкости, характеризуемого числом Рейнольдса, чем турбулентный пограничный слой в целом [140].

Исходя из этого, характер изменения эффективного коэффи­ циента распределения примеси от интенсивности перемешивания [136] может трактоваться как переход характера пограничного слоя от ламинарного до турбулентного. Достижение области малого из­ менения эффективности коэффициента распределения примеси от интенсивности перемешивания объяснимо достижением устойчивого турбулентного характера пограничного слоя. При дальнейшей ин­ тенсификации движения металлического расплава ламинарный под­ слой, вероятно, уменьшается до размеров, сравнимых со ступенями роста кристалла. Одновременно уменьшается величина переходной области. Это делает возможным проникновение вихревых потоков расплава к фронту кристаллизации, растворению его и к последующей кристаллизации из расплава с большим содержанием примеси.

Недостаточная величина ламинарного подслоя также может привести к нарушению теплообмена на фронте кристаллизации и вызвать ступенчатый механизм кристаллизации, аналогичный рас­ смотренному в работе [141 ]. Ступенчатый механизм при зонной пе­ рекристаллизации может быть представлен в виде следующих этапов: переохлаждения расплава, вызванного растворением перекристаллизованной и преимущественно расплавляемой части загрузки; быст­ рой кристаллизации (при k —> 1) расплава на фронте плавления и преимущественно на фронте кристаллизации с выделением большого количества скрытой теплоты плавления; медленной кристаллизации при малом переохлаждении; повышения температуры расплава и подавления кристаллизации. Затем следует повторение цикла.

Все это должно привести к ухудшению условий кристаллизаци­ онной очистки, т. е. к увеличению эффективного коэффициента рас­

пределения

примеси (при k < 1).

В работе

[142] при зонной перекристаллизации стеариновой ки­

слоты обнаружено наличие оптимальной интенсивности перемешива­ ния, при которой эффективный коэффициент распределения примеси наиболее близок к равновесному.

Таким образом, для получения наилучших условий кристалли­ зационной очистки необходимо создание турбулентного пограничного слоя. При этом характер движения в основной массе расплава не имеет определяющего значения.

13 В . Н . В и г д о р о в и ч

193


Теорию электромагнитного перемешивания расплава при зонной перекристаллизации разрабатывали на примерах совмещения в од­ ном устройстве функций нагрева для создания расплавленной зоны и воздействия на расплав зоны для ее перемешивания [143—145]. В качестве такого устройства могут служить многосекционные спи­ ральные нагреватели сопротивления, секции которого питаются сдвинутыми по фазе токами.

Для изучения перемешивания бегущим электромагнитным полем расплавов металлов и полупроводниковых материалов при кристал­ лизации использовали метод приближенного моделирования.

При точном' моделировании необходимо совпадение всех крите­ риев подобия и граничных условий [146 ]. Однако при точном модели­ ровании магнитогидродинамических процессов в «металлических» жидкостях существуют два критерия —■критерий относительной электропроводности и критерий Прандтля, которые зависят только

от

параметров

жидкости

[147, 148]. Совпадение этих критериев

для

различных

расплавов

может быть только случайным.

При приближенном моделировании требуется совпадение гранич­ ных условий и некоторых определяющих критериев подобия, кото­ рые при данном процессе наиболее существенны [149]. Это делает возможным приближенное моделирование одной «металлической» жидкости другой при перемешивании расплава в процессах кристал­ лизационной очистки, потому что теплопередача в кристаллиза­ ционных процессах определяется условиями роста кристаллов. При этом критерий Нуссельта — автомоделей, т. е. характеризует тепло­ обмен расплава с кристаллом и контейнером, но от него не зависит.

Для исследования методом приближенного моделирования усло­ вий перемешивания бегущим электромагнитным полем расплава ме­ таллов и полупроводников в процессах кристаллизационной очистки

А.

С. Жеребович [28,

с. 158— 161 ] разработал специальный стенд.

для

Расплавы металлов и полупроводников электропроводны, поэтому

их перемешивания

все большее применение

находит электро­

магнитное воздействие

на расплав [28, с. 92—99;

150; 151]. В связи

с этим были исследованы различные устройства [150—153] (см. также ссылки на изобретения 1_6.

1 Б а с о в Ю. П., К о з л о в В. П. и К о н о в а л о в Э. Е. Авт. свид.

298369, 1969 (кл. ВО 1j, 17/08).— «Открытия, изобретения, пром. образцы», 1971,

И, с. 31.

2

Р о з и н К- М. Авт.

свид. №

165311, 1963 (кл. В0 1j, 17/08). — «Бюл.

изобр.

итов. знаков», 1964, №

18,

с. 54; №

167305, 1963 (кл. BOlj, 01/00). — «Бюл.

изобр.

и тов. знаков», 1965,

№ 1,

с. 38.

 

 

 

 

3

Пат. (США), № 3401021, 1965 (кл. 23—273).

[кл. 2 lh, 25 (Н 05 в) ]. —

4

П у р ч и н с к и й М . С. Авт. свид. № 238032, 1969

«Открытия, изобретения, пром. образцы», 1969, № 9, с. 57.

 

5

В и г д о р о в и ч В. Н.,

Ж е р е б о в и ч А. С.,

Ч а п л ы г и н Д . А . Авт.

свид.

№ 232213, 1967 (кл. BOlj,

17/08).— «Открытия, изобретения, пром. образцы»,

1969,

№ 1, с. 19.

 

 

 

 

 

 

 

6 Г о л о в и н Б . И . , Б а н к о в Л. М., И в л е в а В. С., К а н е в с к и й Б . М .

Авт. свид. № 210105, 1966

(кл. BOlj,

17/08; Н05, в. 3/10). — «Изобретения, пром.

образцы и тов. знаки», 1968, №

6,

с.

16.

 

 

194


Сравнение характерных результатов, полученных на устрой­ ствах с перемешиванием и без перемешивания, позволяет для совер­ шенствования и интенсификации процессов кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов для промышленного приме­ нения выбрать метод бесконтактного (индукционного) бегущего электромагнитного перемешивания расплава. Основными преиму­ ществами этого способа являются следующие [154]:

управляемость режима перемешивания; стерильность процесса, поскольку перемешивание осуществляется

бесконтактным силовым воздействием на расплав, что полностью исключает опасность дополнительного загрязнения материалом пере­ мешивающего устройства и позволяет использовать данный способ для зонной перекристаллизации веществ, находящихся в запаянных ампулах, например полупроводниковых соединений;

увеличение размеров установки, а следовательно, и повышение ее производительности;

более высокая эффективность очистки и стабильность состава кристалла по его поперечному сечению вследствие усреднения пере­ мешиванием расплава;

турбулентное движение вследствие интенсивного перемешивания расплава, для которого свойственны малая толщина (—1СГ3 см) пограничного слоя у омываемой поверхности, что позволяет умень­ шить температурные градиенты, а также увеличить скорости и умень­ шить число проходов.

Таким образом, применение индукционного электромагнитного перемешивания для интенсификации процессов кристаллизационной очистки полупроводниковых материалов и выращивания монокри­ сталлов и осуществление автоматического контроля и управления этими процессами позволят не только достичь прогресса при решении технологических задач по совершенствованию и интенсификации, но упростить и значительно удешевить процессы очистки и производство полупроводниковых материалов, а также добиться получения вос­ производимых результатов.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1.

Б а к л и

Г.

Рост

кристаллов. М.,

ИЛ, 1954. 407 с. с ил.

 

 

 

1954.

2.

К у з н е ц о в

В.

Д.

Кристаллы

и кристаллизация.

Гостехтеориздат,

3.

412 с. с ил.

 

 

Кристаллизация.

М., «Металлургия»,

1965,

342

с. с ил.

М а л л и н Дж.

4.

Ч а л м е р с

Б. Теория затвердевания. М., «Металлургия»,

1968.

288

с.

с ил.

5.

Б а н н Ч.

Кристаллы,

их роль в природе и науке. М.,

«Мир», 1970. 312

с. с ил.

6.

В и л ь к е К-

-Т. Методы выращивания кристаллов. Л., «Недра»,

1968.

423 с.

с ил.

7.Л ю б о е Б. Я. Кинетическая теория фазовых превращений. М., «Металлур­ гия», 1969. 263 с. с ил.

8.Технология полупроводниковых материалов. Пер. с англ. Под ред. М. И. Иглицина. М., Оборонгиз, 1961, 314 с. с ил.

9. Процессы роста и выращивание кристаллов. М., ИЛ, 1963. 530 с. с« ил.

10.Кристаллизация и фазовые переходы. Под ред. Н. Н. Сироты. М., «Мир», 1965. 445 с. с ил.

11.П а л а т н и к Л. С., П а п и р о в И. И. Ориентированная кристаллизация. М., «Металлургия», 1964. 408 с. с ил.

12.Проблемы роста кристаллов. Избранные доклады на международном симпо­ зиуме. М., «Мир». 1968. 392 с. с ил.

13.Кристаллизация. Сборник статей (ВНИИ химических реактивов и особо чистых химических веществ). Л ., «Химия», 1970.

14.С а ж и н Н. П. Развитие в СССР металлургии редких металлов и полупровод­ никовых материалов. М., ВНИИ «Цветметинформация», 1967. 136 с. с ил.

15.Б е л я е в А. И. Физико-химические основы очистки металлов и полупровод­ никовых материалов. М., «Металлургия», 1973. 288 с. с ил.

16.Методы получения особочистых неорганических веществ. Л., «Химия», 1969.

480 с.

с ил. Авт.: Б.

Д. С т е п и н , И. Г. Г о р ш т е й н, Г. 3. Б л ю м ,

Г. М.

К у р д ю м о в ,

И. П. О г л о б л и н а .

17. Металлургия и технология полупроводниковых материалов. М., «Металлур­

гия», 1972. 544 с.

с ил. Авт.: Б. А. С а х а

р о в , В. Н. В и г д о р о в и ч,

В. Н. М а с л о в ,

А. Я- Н а ш е л ь с к и й,

Е. Б. С о к о л о в , В. И. Ф и -

с т у л ь, Ю. М. Ш а ш к о в .

18.Полупроводниковые соединения An iBv . Пер. с англ. М., «Металлургия», 1967. 728 с. с ил.

19.Physics and chemistry of II—III compaunds. Ed. Aven. M. and Prener J. S., Amsterdam, 1967, 844 p.

20. Г л а з о в В. M.,

З е м с к о в В.

С. Физико-химические основы легирования

полупроводников.

М., «Наука»,

1967, 372 с. с ил.

21.Н а ш е л ь с к и й А. Я- Технология полупроводниковых материалов. М., «Металлургия», 1972. 432 с. с ил.

22.П ф а н н В. Зонная плавка. М., Металлургиздат, 1960. 272 с. с ил.; М., «Мир», 1970. 368 с. с ил.

23.П а р р Н. Зонная очистка и ее техника. М., Металлургиздат, 1963. 210 с. с ил.

24. Х е р и н г т о н

Е. Зонная плавка

органических веществ. Пер. с

англ. М.,

«Мир», 1965. 260

с. с ил.

однородных полупроводниковых

кристал­

25. Р о м а н е н к о

В. Н. Получение

лов. М., «Металлургия», 1966. 183

с. с ил.

 

26.В и г д о р о в и ч В. Н. Очистка металлов и полупроводников кристаллиза­ цией. М., «Металлургия», 1969. 296 с. с ил.

27.Зонная плавка. Сборник переводных статей. М., «Металлургия», 1966.

28.Физико-химические основы кристаллизационных процессов глубокой очистки

металлов. Сборник статей. М., «Наука», 1970.

29. Symposium fiber Zonenschmelzen und Kolonenkristallisieren. Karlsruhe, 1963,

477 S.

30.Л о з о в с к и й В. H. Зонная плавка с градиентом температуры. М., «Метал­ лургия», 1972. 240 с. с ил.

196


31.

К р е с т о в н и к о в

А. Н., В и г д о р о в и ч

В. Н. Химическая термодина­

 

мика. М., Металлургиздат,

1961—1962. 280 с. с ил.; «Металлургия», 1973. 256 с.

32.

с ил.

 

 

 

теории сплавов алюминия. Металлургиздат,

1951.

П е т р о в Д. А. Вопросы

 

256 с. с ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

33.

В u г t о п J. А., Р г i гп

R. С., S 1 i с h t е г W. Р. — «J. Chem. Phys.»,

1953,

 

v. 21, N 11,

р. 1987—1991.

[ Б а р т о н А . , П р и м Р . С., Ш л и х т е р В . Р .—

34.

В кн.: Германий. М., ИЛ, 1955, с. 74—81].

 

 

№ 4, с. 1030—

М е р ж а н о в И. А.,

А н и к и н А. Г. — ЖФХ, 1968, т. 42,

35.

1034 с ил.

 

 

В о л ь п я н

А. Е., К у р д ю м о в

Г. М. — «Завод­

В и г д о р о в и ч В. Н.,

36.

ская лаборатория», 1969,

т. 35, № И,

с. 1350—1356 с ил.

 

 

К и р г и н ц е в А. Н. Математическая теория процессов зонной плавки. Ново­

37.

сибирск, Изд-во АН СССР, 1960. 72 с. с ил.

№ 2,

p. 381—388.

 

M a t z G .— «Chem. Inh. Techn.», 1964, v. 36,

химия

38.

К р е с т о в н и к о в

A.

H., В и г д о р о в и ч

В.

H. — «Физическая

v металлургических процессов и систем». М., «Металлургия»,

1965 (МИСиС.

\

Сб. № 41,

с. 205—216 с

ил.

 

 

 

 

 

39.' В и г д о р о в и ч В. Н., В о л ь п я н А. Е. — ЖФХ, 1968, т. 42, № 7, с. 1631— 1634.

40.

P f a n n W. G. — «Trans.

AIME»,

1952,

v. 194, № 2, р. 747 ] [П ф а н н В. —

41.

В кн.: Германий. М.,

ИЛ,

1955,

с. 92— 109].

 

 

 

В и г д о р о в и ч В. Н., М а р ы ч е в В . В. — ЖФХ, 1965. т. 39, № 8, с. 2068—

42.

2070.

В. В. — Научные

 

труды

(Гиредмет). Т. XIII. М., «Ме­

Д о б р о в е н с к и й

 

43.

таллургия», 1964, с. 237—245.

 

 

 

 

по физико-химическим основам

Ш а ш к о в Ю. М. — «Труды V конференции

44.

выплавки стали». Т. II, М., Изд-во АН

 

СССР, 1961, с. 315—319 с ил.

В о л ь п я н А. Е., А в е р ь я н о в а

В. А.,

Г и н з б у р г М. И. — ТОХТ,

45.

1969, т. 3, № 6, с. 926—930.

 

В.

И.,

Г и н з б у р г

М. И.,

В о л ь ­

С а х а р о в Б. А., А в е р ь я н о в а

46.

п я н А. Е. — «Цветные, металлы», 1970,

№ 7, с. 52—55.

И. М.,

С т е п а ­

А л е к с а н д р о в Б.

Н., В е р к и н

 

Б. И.,

Л и в ш и ц

47.

н о в а Г. И. — ФММ,

1956, т. 2, № 1,

с. 105—119.

И. М.,

С т е п а ­

А л е к с а н д р о в Б.

Н., В е р к и н

1,

Б. И.,

Л и в ш и ц

 

н о в а Г. М. — ФММ,

1958, т. 6,

 

с. 167—168.

 

 

48.С л у ц к и й Е. Е. Таблицы для вычисления неполной Г-функции и функции вероятности у?. Под ред. А. Н. Колмогорова М., Изд-во АН СССР, 1950. 72 с.

сил.

49.

П е й з у л а е в Ш. И. — «Изв. АН СССР. Неорганические материалы», 1967,

50.

т. 3, №

9, с. 1523—1532

с ил.

G o u l d

G. R. — «Trans. АШЕ», 1961, v. 221, № 3, р. 1154—1158.

51.

М и л ь в и д с к и й М.

Г. — «Кристаллография», 1961, т. 6, № 5, с. 803—

 

804 с ил.

 

52.Проблемы современной физики. Сборник переводных статей. № 2. М., ИЛ, 1955, с. 9—15.

53.Методы получения чистых металлов. Сборник переводных статей. М., ИЛ, 1957.

54.

384 с. с ил.

 

S. — «J. Metals», 1955, v. 7,

7,

p. 838—840.

М i 1 1 i k е п К-

55.

B i r m a n

J. L. — «J. Appl. Phys.»,

1955,

v. 26,

Ю, p. 1195—1196.

56.

R e i s H.,

H e l f a n d E . - d .

Appl. Phys.»,

1961,

v. 32, №

2, p. 228—232.

57.

E c k s c h l a g e r

K-, E t t e l

V.,

S t o p k a

P.,

K o d e j s

Z. — «Collect.

58.

Czech. Chem. Communs»,. 1971, v. 36,

№ 12,

p. 3900—3915.

 

В о л ч о к

Б. A. — ФТТ, 1962,

t . 4,

№ 4,

c. 1071— 1073 с ил.

 

59.

К р е с т о в н и к о в A. H., Р о з и н

К- M. — «Изв. вуз. Цветная металлур­

60.

гия», 1965, № 2, с. 105—112 с ил.

 

 

 

 

 

А. Н .'— «Фи­

Р о з и н К-

М., В и г д о р о в и ч В. Н., К р е с т о в н и к о в

 

зическая химия металлургических процессов и систем». М., «Металлургия»,

61.

1965 (МИСиС. Сб. № 41), с. 217—226 .с ил.

 

 

 

 

 

В и г д о р о в и ч

В. Н., В о л ь п я н

А. Е. — ТОХТ, 1967, т. 1, № 4, с. 474—

 

480 с ил.

 

 

 

 

 

 

 

197


62.В и г д о р о в и ч В . Н., В о л ь п я н А . Е. — ТОХТ, 1968, т. 2, № 2, с. 210— 219 с ил.

63.В о л ь п я н А . Е. — В кн.: Физико-химические основы кристаллизационных

64.

процессов глубокой очистки металлов. М.,

«Наука», 1970, с. 7—16.

 

В и г д о р о в и ч

В. Н.,

В о л ь п я н

А.

Е., Ф е р ш т е р Л.

 

М. — ТОХТ,

65.

1969, т. 3, № 4, с. 529—535 с ил.

 

 

 

№ 2,

с. 281 —

В о л ь п я н А .

Е., К у р д ю м о в Г. М. — ТОХТ, 1970, т. 4,

 

285 с ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

66.

В о л ь п я н А . Е. — ТОХТ, 1971, т. 5,

№ 5, с. 737—743 с ил.

№ 6,

с. 814—

67.

В и г д о р о в и ч

В. Н.,

С е л и н

А. А. — ТОХТ, 1971, т. 5,

68.

822 с ил.

 

 

 

1959, v. 14, № 3, p. 386; G o 1 d L., J о h n -

G о 1 d L. — «J. Phys. Soc. Japan»,

69.

s t o n V . — «J.

Franklin

Inst.»,

1960,

v. 170, № 5 , p .367—381.

 

 

D a v i e s L. — «Trans. А1МЕ»,

1959, v. 215, № 4, p. 672—675.

т.

37,

№ 10,

70.

В и г д о р о в и ч

В. H.,

В о л ь п я н

А. Е. — ЖФХ, 1963,

71.

с. 2168—2173 с ил.

В и г д о р о в и ч

В. Н. — «Материалы

Всесоюзного

Н и с е л ь с о н

Л. А.,

 

совещания по методам получения особо

чистых веществ». НИИТЭХИМ, 1967,

72.

с. 48—54.

Л. А. — Научные, труды

(Гиредмет). Т. X. М.,

Металлург-

Н и с е л ь с о н

издат, 1963, с. 127—149.

73.В и г д о р о в и ч В. Н. — «Заводская лаборатория», 1965, т. 31, № 5, с. 568— 573 с ил.

74. Н а г г i s о n J. D., Т i 1 1 е г W. А. — «Trans. А1МЕ», 1961, v. 221, № 6, р. 649.

75.П е й з у л а е в Ш . И., К о н о в а л о в Э. Е. — «Изв. АН СССР, Металлы», 1967, № 2, с. 79—83 с ил.

76.

К о н о в а л о в

Э. Е., П е й з у л а е в Ш .

И. — ЖАХ, 1967, т. 22; с. 736—

77.

740 с ил.

Э. Е., П е й з у л а е в Ш .

И., М и н а ш и н а Л . Я- — ЖПХ,

К о н о в а л о в

1967, т. 40, с. 1242—1245 с ил.

78.В и г д о р о в и ч В . Н., В о л ь п я н А . Е., Ш у л е ш к о Г . И. — «Цветные металлы», 1968, № 7, с. 63—65 с ил.

79.Ш а в г а В. А., С е л и н А. А., В и г д о р о в и ч В. Н., М а р ы ч е в а В. В. — «Изв. АН СССР. Металлы», 1971, № 5, с. 68—74 с ил.

80.

В и г д о р о в и ч В. Н., С е л и н

А. А. — «Изв. АН

СССР, Металлы»,

1971,

 

№ 5, с. 106—108 с ил.

 

 

 

81.

Му н и ц

И. Н. — «Производство

алюминия». Л .,

изд-во ВАМИ,

1970

 

(Труды

ВАМИ. Сб. № 68), с. 122—129 с ил.

 

 

82.Н и к и т и н а Г. В . . Р о м а н е н к о В. Н. — ТОХТ, 1970, т. 4, № 6, с. 839— 844.

83.

Н и к и т и н а Г.

В.,

Р о м а н е н к о

В. Н. — Доклады АН СССР,

1966,

84.

т. 170,

1, с. 107— 109 с

ил.

 

Г. В., Р о м а н е н к о В . Н.,

О р ­

А б д у к а р и м о в Э .

Т.,

Н и к и т и н а

 

л о в

А. Г. — «Изв. АН Узбекской ССР. Серия физико-математических наук»,

85.

1971, № 5, с. 43—46 с ил.

 

 

В. П. — ТОХТ, 1972, т. 6, № 1, с.

131 —

В и г д о р о в и ч В . Н., Ш у м и л о в

 

134 с

ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

86.

В и г д о р о в и ч

В. Н. Я ф а р о в

Р. К- — ТОХТ,

1974, т. 8, № 8, с. 677.

87.

М а р а е в

С. Е.,

Е л и н а

Н. И.,

Му д р о в а

Е.

И. — В кн.: Получе­

88.

ние и анализ веществ особой чистоты. М., «Наука»,

1966, с. 67—70 с ил.

 

М а р а е в

С. Е . — В

кн.: Физико-химические основы кристаллизационных

 

процессов

глубокой очистки

металлов. М., «Наука»,

1970, с. 105—110

с ил.

89.

Б а й м а к о в А. Ю.,

С е л и в а н о в а

И. Н. — «Цветные металлы»,

1959,

 

№ 3, с. 32—37 с ил.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

90.

S c h i l d k n e c h t

Н.,

V e t t e r Н. — «Angew. Chemie»,

1959, v. 71, р. 723—

 

726.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

91.

J o h n s o n L. R.,

Z i m m e r m a n

W. — «Rev. Scient.

Instr.», 1960,

v. 31,

№ 2, p. 203—204.

92.Technique of organie chemistry. Ed. J. Weissberger L., Interscience publisher, LTD, 1956, v. Ill, p. 395—562.

198