Файл: Вигдорович, В. Н. Совершенствование зонной перекристаллизации.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 19.10.2024
Просмотров: 54
Скачиваний: 0
сти в пограничном слое, способствующая переносу атомов примеси в глубь расплава. Турбулентный пограничный слой состоит из ла минарного подслоя, области развитого турбулентного движения и лежащей между ними переходной области с переменным характером движения временами ламинарным, временами турбулентным. В турбулентной и в меньшей степени в переходной области происхо дит быстрое осреднение концентрации и температуры расплава, вызванное смешением частиц жидкости, характерным для турбулент ного режима. Поэтому при турбулентном характере пограничного слоя определяющими являются параметры ламинарного подслоя. Ламинарный подслой в большей степени зависит от режима движения жидкости, характеризуемого числом Рейнольдса, чем турбулентный пограничный слой в целом [140].
Исходя из этого, характер изменения эффективного коэффи циента распределения примеси от интенсивности перемешивания [136] может трактоваться как переход характера пограничного слоя от ламинарного до турбулентного. Достижение области малого из менения эффективности коэффициента распределения примеси от интенсивности перемешивания объяснимо достижением устойчивого турбулентного характера пограничного слоя. При дальнейшей ин тенсификации движения металлического расплава ламинарный под слой, вероятно, уменьшается до размеров, сравнимых со ступенями роста кристалла. Одновременно уменьшается величина переходной области. Это делает возможным проникновение вихревых потоков расплава к фронту кристаллизации, растворению его и к последующей кристаллизации из расплава с большим содержанием примеси.
Недостаточная величина ламинарного подслоя также может привести к нарушению теплообмена на фронте кристаллизации и вызвать ступенчатый механизм кристаллизации, аналогичный рас смотренному в работе [141 ]. Ступенчатый механизм при зонной пе рекристаллизации может быть представлен в виде следующих этапов: переохлаждения расплава, вызванного растворением перекристаллизованной и преимущественно расплавляемой части загрузки; быст рой кристаллизации (при k —> 1) расплава на фронте плавления и преимущественно на фронте кристаллизации с выделением большого количества скрытой теплоты плавления; медленной кристаллизации при малом переохлаждении; повышения температуры расплава и подавления кристаллизации. Затем следует повторение цикла.
Все это должно привести к ухудшению условий кристаллизаци онной очистки, т. е. к увеличению эффективного коэффициента рас
пределения |
примеси (при k < 1). |
В работе |
[142] при зонной перекристаллизации стеариновой ки |
слоты обнаружено наличие оптимальной интенсивности перемешива ния, при которой эффективный коэффициент распределения примеси наиболее близок к равновесному.
Таким образом, для получения наилучших условий кристалли зационной очистки необходимо создание турбулентного пограничного слоя. При этом характер движения в основной массе расплава не имеет определяющего значения.
13 В . Н . В и г д о р о в и ч |
193 |
Теорию электромагнитного перемешивания расплава при зонной перекристаллизации разрабатывали на примерах совмещения в од ном устройстве функций нагрева для создания расплавленной зоны и воздействия на расплав зоны для ее перемешивания [143—145]. В качестве такого устройства могут служить многосекционные спи ральные нагреватели сопротивления, секции которого питаются сдвинутыми по фазе токами.
Для изучения перемешивания бегущим электромагнитным полем расплавов металлов и полупроводниковых материалов при кристал лизации использовали метод приближенного моделирования.
При точном' моделировании необходимо совпадение всех крите риев подобия и граничных условий [146 ]. Однако при точном модели ровании магнитогидродинамических процессов в «металлических» жидкостях существуют два критерия —■критерий относительной электропроводности и критерий Прандтля, которые зависят только
от |
параметров |
жидкости |
[147, 148]. Совпадение этих критериев |
для |
различных |
расплавов |
может быть только случайным. |
При приближенном моделировании требуется совпадение гранич ных условий и некоторых определяющих критериев подобия, кото рые при данном процессе наиболее существенны [149]. Это делает возможным приближенное моделирование одной «металлической» жидкости другой при перемешивании расплава в процессах кристал лизационной очистки, потому что теплопередача в кристаллиза ционных процессах определяется условиями роста кристаллов. При этом критерий Нуссельта — автомоделей, т. е. характеризует тепло обмен расплава с кристаллом и контейнером, но от него не зависит.
Для исследования методом приближенного моделирования усло вий перемешивания бегущим электромагнитным полем расплава ме таллов и полупроводников в процессах кристаллизационной очистки
А. |
С. Жеребович [28, |
с. 158— 161 ] разработал специальный стенд. |
|
для |
Расплавы металлов и полупроводников электропроводны, поэтому |
||
их перемешивания |
все большее применение |
находит электро |
|
магнитное воздействие |
на расплав [28, с. 92—99; |
150; 151]. В связи |
с этим были исследованы различные устройства [150—153] (см. также ссылки на изобретения 1_6.
1 Б а с о в Ю. П., К о з л о в В. П. и К о н о в а л о в Э. Е. Авт. свид.
№298369, 1969 (кл. ВО 1j, 17/08).— «Открытия, изобретения, пром. образцы», 1971,
№И, с. 31.
2 |
Р о з и н К- М. Авт. |
свид. № |
165311, 1963 (кл. В0 1j, 17/08). — «Бюл. |
изобр. |
||||
итов. знаков», 1964, № |
18, |
с. 54; № |
167305, 1963 (кл. BOlj, 01/00). — «Бюл. |
изобр. |
||||
и тов. знаков», 1965, |
№ 1, |
с. 38. |
|
|
|
|
||
3 |
Пат. (США), № 3401021, 1965 (кл. 23—273). |
[кл. 2 lh, 25 (Н 05 в) ]. — |
||||||
4 |
П у р ч и н с к и й М . С. Авт. свид. № 238032, 1969 |
|||||||
«Открытия, изобретения, пром. образцы», 1969, № 9, с. 57. |
|
|||||||
5 |
В и г д о р о в и ч В. Н., |
Ж е р е б о в и ч А. С., |
Ч а п л ы г и н Д . А . Авт. |
|||||
свид. |
№ 232213, 1967 (кл. BOlj, |
17/08).— «Открытия, изобретения, пром. образцы», |
||||||
1969, |
№ 1, с. 19. |
|
|
|
|
|
|
|
6 Г о л о в и н Б . И . , Б а н к о в Л. М., И в л е в а В. С., К а н е в с к и й Б . М . |
||||||||
Авт. свид. № 210105, 1966 |
(кл. BOlj, |
17/08; Н05, в. 3/10). — «Изобретения, пром. |
||||||
образцы и тов. знаки», 1968, № |
6, |
с. |
16. |
|
|
194
Сравнение характерных результатов, полученных на устрой ствах с перемешиванием и без перемешивания, позволяет для совер шенствования и интенсификации процессов кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов для промышленного приме нения выбрать метод бесконтактного (индукционного) бегущего электромагнитного перемешивания расплава. Основными преиму ществами этого способа являются следующие [154]:
управляемость режима перемешивания; стерильность процесса, поскольку перемешивание осуществляется
бесконтактным силовым воздействием на расплав, что полностью исключает опасность дополнительного загрязнения материалом пере мешивающего устройства и позволяет использовать данный способ для зонной перекристаллизации веществ, находящихся в запаянных ампулах, например полупроводниковых соединений;
увеличение размеров установки, а следовательно, и повышение ее производительности;
более высокая эффективность очистки и стабильность состава кристалла по его поперечному сечению вследствие усреднения пере мешиванием расплава;
турбулентное движение вследствие интенсивного перемешивания расплава, для которого свойственны малая толщина (—1СГ3 см) пограничного слоя у омываемой поверхности, что позволяет умень шить температурные градиенты, а также увеличить скорости и умень шить число проходов.
Таким образом, применение индукционного электромагнитного перемешивания для интенсификации процессов кристаллизационной очистки полупроводниковых материалов и выращивания монокри сталлов и осуществление автоматического контроля и управления этими процессами позволят не только достичь прогресса при решении технологических задач по совершенствованию и интенсификации, но упростить и значительно удешевить процессы очистки и производство полупроводниковых материалов, а также добиться получения вос производимых результатов.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. |
Б а к л и |
Г. |
Рост |
кристаллов. М., |
ИЛ, 1954. 407 с. с ил. |
|
|
|
1954. |
|||
2. |
К у з н е ц о в |
В. |
Д. |
Кристаллы |
и кристаллизация. |
Гостехтеориздат, |
||||||
3. |
412 с. с ил. |
|
|
Кристаллизация. |
М., «Металлургия», |
1965, |
342 |
с. с ил. |
||||
М а л л и н Дж. |
||||||||||||
4. |
Ч а л м е р с |
Б. Теория затвердевания. М., «Металлургия», |
1968. |
288 |
с. |
с ил. |
||||||
5. |
Б а н н Ч. |
Кристаллы, |
их роль в природе и науке. М., |
«Мир», 1970. 312 |
с. с ил. |
|||||||
6. |
В и л ь к е К- |
-Т. Методы выращивания кристаллов. Л., «Недра», |
1968. |
423 с. |
с ил.
7.Л ю б о е Б. Я. Кинетическая теория фазовых превращений. М., «Металлур гия», 1969. 263 с. с ил.
8.Технология полупроводниковых материалов. Пер. с англ. Под ред. М. И. Иглицина. М., Оборонгиз, 1961, 314 с. с ил.
9. Процессы роста и выращивание кристаллов. М., ИЛ, 1963. 530 с. с« ил.
10.Кристаллизация и фазовые переходы. Под ред. Н. Н. Сироты. М., «Мир», 1965. 445 с. с ил.
11.П а л а т н и к Л. С., П а п и р о в И. И. Ориентированная кристаллизация. М., «Металлургия», 1964. 408 с. с ил.
12.Проблемы роста кристаллов. Избранные доклады на международном симпо зиуме. М., «Мир». 1968. 392 с. с ил.
13.Кристаллизация. Сборник статей (ВНИИ химических реактивов и особо чистых химических веществ). Л ., «Химия», 1970.
14.С а ж и н Н. П. Развитие в СССР металлургии редких металлов и полупровод никовых материалов. М., ВНИИ «Цветметинформация», 1967. 136 с. с ил.
15.Б е л я е в А. И. Физико-химические основы очистки металлов и полупровод никовых материалов. М., «Металлургия», 1973. 288 с. с ил.
16.Методы получения особочистых неорганических веществ. Л., «Химия», 1969.
480 с. |
с ил. Авт.: Б. |
Д. С т е п и н , И. Г. Г о р ш т е й н, Г. 3. Б л ю м , |
Г. М. |
К у р д ю м о в , |
И. П. О г л о б л и н а . |
17. Металлургия и технология полупроводниковых материалов. М., «Металлур
гия», 1972. 544 с. |
с ил. Авт.: Б. А. С а х а |
р о в , В. Н. В и г д о р о в и ч, |
В. Н. М а с л о в , |
А. Я- Н а ш е л ь с к и й, |
Е. Б. С о к о л о в , В. И. Ф и - |
с т у л ь, Ю. М. Ш а ш к о в .
18.Полупроводниковые соединения An iBv . Пер. с англ. М., «Металлургия», 1967. 728 с. с ил.
19.Physics and chemistry of II—III compaunds. Ed. Aven. M. and Prener J. S., Amsterdam, 1967, 844 p.
20. Г л а з о в В. M., |
З е м с к о в В. |
С. Физико-химические основы легирования |
полупроводников. |
М., «Наука», |
1967, 372 с. с ил. |
21.Н а ш е л ь с к и й А. Я- Технология полупроводниковых материалов. М., «Металлургия», 1972. 432 с. с ил.
22.П ф а н н В. Зонная плавка. М., Металлургиздат, 1960. 272 с. с ил.; М., «Мир», 1970. 368 с. с ил.
23.П а р р Н. Зонная очистка и ее техника. М., Металлургиздат, 1963. 210 с. с ил.
24. Х е р и н г т о н |
Е. Зонная плавка |
органических веществ. Пер. с |
англ. М., |
«Мир», 1965. 260 |
с. с ил. |
однородных полупроводниковых |
кристал |
25. Р о м а н е н к о |
В. Н. Получение |
||
лов. М., «Металлургия», 1966. 183 |
с. с ил. |
|
26.В и г д о р о в и ч В. Н. Очистка металлов и полупроводников кристаллиза цией. М., «Металлургия», 1969. 296 с. с ил.
27.Зонная плавка. Сборник переводных статей. М., «Металлургия», 1966.
28.Физико-химические основы кристаллизационных процессов глубокой очистки
металлов. Сборник статей. М., «Наука», 1970.
29. Symposium fiber Zonenschmelzen und Kolonenkristallisieren. Karlsruhe, 1963,
477 S.
30.Л о з о в с к и й В. H. Зонная плавка с градиентом температуры. М., «Метал лургия», 1972. 240 с. с ил.
196
31. |
К р е с т о в н и к о в |
А. Н., В и г д о р о в и ч |
В. Н. Химическая термодина |
|||||||
|
мика. М., Металлургиздат, |
1961—1962. 280 с. с ил.; «Металлургия», 1973. 256 с. |
||||||||
32. |
с ил. |
|
|
|
теории сплавов алюминия. Металлургиздат, |
1951. |
||||
П е т р о в Д. А. Вопросы |
||||||||||
|
256 с. с ил. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
33. |
В u г t о п J. А., Р г i гп |
R. С., S 1 i с h t е г W. Р. — «J. Chem. Phys.», |
1953, |
|||||||
|
v. 21, N 11, |
р. 1987—1991. |
[ Б а р т о н А . , П р и м Р . С., Ш л и х т е р В . Р .— |
|||||||
34. |
В кн.: Германий. М., ИЛ, 1955, с. 74—81]. |
|
|
№ 4, с. 1030— |
||||||
М е р ж а н о в И. А., |
А н и к и н А. Г. — ЖФХ, 1968, т. 42, |
|||||||||
35. |
1034 с ил. |
|
|
В о л ь п я н |
А. Е., К у р д ю м о в |
Г. М. — «Завод |
||||
В и г д о р о в и ч В. Н., |
||||||||||
36. |
ская лаборатория», 1969, |
т. 35, № И, |
с. 1350—1356 с ил. |
|
|
|||||
К и р г и н ц е в А. Н. Математическая теория процессов зонной плавки. Ново |
||||||||||
37. |
сибирск, Изд-во АН СССР, 1960. 72 с. с ил. |
№ 2, |
p. 381—388. |
|
||||||
M a t z G .— «Chem. Inh. Techn.», 1964, v. 36, |
химия |
|||||||||
38. |
К р е с т о в н и к о в |
A. |
H., В и г д о р о в и ч |
В. |
H. — «Физическая |
|||||
v металлургических процессов и систем». М., «Металлургия», |
1965 (МИСиС. |
|||||||||
\ |
Сб. № 41, |
с. 205—216 с |
ил. |
|
|
|
|
|
39.' В и г д о р о в и ч В. Н., В о л ь п я н А. Е. — ЖФХ, 1968, т. 42, № 7, с. 1631— 1634.
40. |
P f a n n W. G. — «Trans. |
AIME», |
1952, |
v. 194, № 2, р. 747 ] [П ф а н н В. — |
||||||
41. |
В кн.: Германий. М., |
ИЛ, |
1955, |
с. 92— 109]. |
|
|
|
|||
В и г д о р о в и ч В. Н., М а р ы ч е в В . В. — ЖФХ, 1965. т. 39, № 8, с. 2068— |
||||||||||
42. |
2070. |
В. В. — Научные |
|
труды |
(Гиредмет). Т. XIII. М., «Ме |
|||||
Д о б р о в е н с к и й |
|
|||||||||
43. |
таллургия», 1964, с. 237—245. |
|
|
|
|
по физико-химическим основам |
||||
Ш а ш к о в Ю. М. — «Труды V конференции |
||||||||||
44. |
выплавки стали». Т. II, М., Изд-во АН |
|
СССР, 1961, с. 315—319 с ил. |
|||||||
В о л ь п я н А. Е., А в е р ь я н о в а |
В. А., |
Г и н з б у р г М. И. — ТОХТ, |
||||||||
45. |
1969, т. 3, № 6, с. 926—930. |
|
В. |
И., |
Г и н з б у р г |
М. И., |
В о л ь |
|||
С а х а р о в Б. А., А в е р ь я н о в а |
||||||||||
46. |
п я н А. Е. — «Цветные, металлы», 1970, |
№ 7, с. 52—55. |
И. М., |
С т е п а |
||||||
А л е к с а н д р о в Б. |
Н., В е р к и н |
|
Б. И., |
Л и в ш и ц |
||||||
47. |
н о в а Г. И. — ФММ, |
1956, т. 2, № 1, |
с. 105—119. |
И. М., |
С т е п а |
|||||
А л е к с а н д р о в Б. |
Н., В е р к и н |
1, |
Б. И., |
Л и в ш и ц |
||||||
|
н о в а Г. М. — ФММ, |
1958, т. 6, |
№ |
|
с. 167—168. |
|
|
48.С л у ц к и й Е. Е. Таблицы для вычисления неполной Г-функции и функции вероятности у?. Под ред. А. Н. Колмогорова М., Изд-во АН СССР, 1950. 72 с.
сил.
49. |
П е й з у л а е в Ш. И. — «Изв. АН СССР. Неорганические материалы», 1967, |
||
50. |
т. 3, № |
9, с. 1523—1532 |
с ил. |
G o u l d |
G. R. — «Trans. АШЕ», 1961, v. 221, № 3, р. 1154—1158. |
||
51. |
М и л ь в и д с к и й М. |
Г. — «Кристаллография», 1961, т. 6, № 5, с. 803— |
|
|
804 с ил. |
|
52.Проблемы современной физики. Сборник переводных статей. № 2. М., ИЛ, 1955, с. 9—15.
53.Методы получения чистых металлов. Сборник переводных статей. М., ИЛ, 1957.
54. |
384 с. с ил. |
|
S. — «J. Metals», 1955, v. 7, |
№ |
7, |
p. 838—840. |
||||
М i 1 1 i k е п К- |
||||||||||
55. |
B i r m a n |
J. L. — «J. Appl. Phys.», |
1955, |
v. 26, |
№ |
Ю, p. 1195—1196. |
||||
56. |
R e i s H., |
H e l f a n d E . - d . |
Appl. Phys.», |
1961, |
v. 32, № |
2, p. 228—232. |
||||
57. |
E c k s c h l a g e r |
K-, E t t e l |
V., |
S t o p k a |
P., |
K o d e j s |
Z. — «Collect. |
|||
58. |
Czech. Chem. Communs»,. 1971, v. 36, |
№ 12, |
p. 3900—3915. |
|
||||||
В о л ч о к |
Б. A. — ФТТ, 1962, |
t . 4, |
№ 4, |
c. 1071— 1073 с ил. |
|
|||||
59. |
К р е с т о в н и к о в A. H., Р о з и н |
К- M. — «Изв. вуз. Цветная металлур |
||||||||
60. |
гия», 1965, № 2, с. 105—112 с ил. |
|
|
|
|
|
А. Н .'— «Фи |
|||
Р о з и н К- |
М., В и г д о р о в и ч В. Н., К р е с т о в н и к о в |
|||||||||
|
зическая химия металлургических процессов и систем». М., «Металлургия», |
|||||||||
61. |
1965 (МИСиС. Сб. № 41), с. 217—226 .с ил. |
|
|
|
|
|
||||
В и г д о р о в и ч |
В. Н., В о л ь п я н |
А. Е. — ТОХТ, 1967, т. 1, № 4, с. 474— |
||||||||
|
480 с ил. |
|
|
|
• |
|
|
|
|
197
62.В и г д о р о в и ч В . Н., В о л ь п я н А . Е. — ТОХТ, 1968, т. 2, № 2, с. 210— 219 с ил.
63.В о л ь п я н А . Е. — В кн.: Физико-химические основы кристаллизационных
64. |
процессов глубокой очистки металлов. М., |
«Наука», 1970, с. 7—16. |
|
|||||||
В и г д о р о в и ч |
В. Н., |
В о л ь п я н |
А. |
Е., Ф е р ш т е р Л. |
|
М. — ТОХТ, |
||||
65. |
1969, т. 3, № 4, с. 529—535 с ил. |
|
|
|
№ 2, |
с. 281 — |
||||
В о л ь п я н А . |
Е., К у р д ю м о в Г. М. — ТОХТ, 1970, т. 4, |
|||||||||
|
285 с ил. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
66. |
В о л ь п я н А . Е. — ТОХТ, 1971, т. 5, |
№ 5, с. 737—743 с ил. |
№ 6, |
с. 814— |
||||||
67. |
В и г д о р о в и ч |
В. Н., |
С е л и н |
А. А. — ТОХТ, 1971, т. 5, |
||||||
68. |
822 с ил. |
|
|
|
1959, v. 14, № 3, p. 386; G o 1 d L., J о h n - |
|||||
G о 1 d L. — «J. Phys. Soc. Japan», |
||||||||||
69. |
s t o n V . — «J. |
Franklin |
Inst.», |
1960, |
v. 170, № 5 , p .367—381. |
|
|
|||
D a v i e s L. — «Trans. А1МЕ», |
1959, v. 215, № 4, p. 672—675. |
т. |
37, |
№ 10, |
||||||
70. |
В и г д о р о в и ч |
В. H., |
В о л ь п я н |
А. Е. — ЖФХ, 1963, |
||||||
71. |
с. 2168—2173 с ил. |
В и г д о р о в и ч |
В. Н. — «Материалы |
Всесоюзного |
||||||
Н и с е л ь с о н |
Л. А., |
|||||||||
|
совещания по методам получения особо |
чистых веществ». НИИТЭХИМ, 1967, |
||||||||
72. |
с. 48—54. |
Л. А. — Научные, труды |
(Гиредмет). Т. X. М., |
Металлург- |
||||||
Н и с е л ь с о н |
издат, 1963, с. 127—149.
73.В и г д о р о в и ч В. Н. — «Заводская лаборатория», 1965, т. 31, № 5, с. 568— 573 с ил.
74. Н а г г i s о n J. D., Т i 1 1 е г W. А. — «Trans. А1МЕ», 1961, v. 221, № 6, р. 649.
75.П е й з у л а е в Ш . И., К о н о в а л о в Э. Е. — «Изв. АН СССР, Металлы», 1967, № 2, с. 79—83 с ил.
76. |
К о н о в а л о в |
Э. Е., П е й з у л а е в Ш . |
И. — ЖАХ, 1967, т. 22; с. 736— |
77. |
740 с ил. |
Э. Е., П е й з у л а е в Ш . |
И., М и н а ш и н а Л . Я- — ЖПХ, |
К о н о в а л о в |
1967, т. 40, с. 1242—1245 с ил.
78.В и г д о р о в и ч В . Н., В о л ь п я н А . Е., Ш у л е ш к о Г . И. — «Цветные металлы», 1968, № 7, с. 63—65 с ил.
79.Ш а в г а В. А., С е л и н А. А., В и г д о р о в и ч В. Н., М а р ы ч е в а В. В. — «Изв. АН СССР. Металлы», 1971, № 5, с. 68—74 с ил.
80. |
В и г д о р о в и ч В. Н., С е л и н |
А. А. — «Изв. АН |
СССР, Металлы», |
1971, |
|
|
№ 5, с. 106—108 с ил. |
|
|
|
|
81. |
Му н и ц |
И. Н. — «Производство |
алюминия». Л ., |
изд-во ВАМИ, |
1970 |
|
(Труды |
ВАМИ. Сб. № 68), с. 122—129 с ил. |
|
|
82.Н и к и т и н а Г. В . . Р о м а н е н к о В. Н. — ТОХТ, 1970, т. 4, № 6, с. 839— 844.
83. |
Н и к и т и н а Г. |
В., |
Р о м а н е н к о |
В. Н. — Доклады АН СССР, |
1966, |
||||||||
84. |
т. 170, |
№ |
1, с. 107— 109 с |
ил. |
|
Г. В., Р о м а н е н к о В . Н., |
О р |
||||||
А б д у к а р и м о в Э . |
Т., |
Н и к и т и н а |
|||||||||||
|
л о в |
А. Г. — «Изв. АН Узбекской ССР. Серия физико-математических наук», |
|||||||||||
85. |
1971, № 5, с. 43—46 с ил. |
|
|
В. П. — ТОХТ, 1972, т. 6, № 1, с. |
131 — |
||||||||
В и г д о р о в и ч В . Н., Ш у м и л о в |
|||||||||||||
|
134 с |
ил. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
86. |
В и г д о р о в и ч |
В. Н. Я ф а р о в |
Р. К- — ТОХТ, |
1974, т. 8, № 8, с. 677. |
|||||||||
87. |
М а р а е в |
С. Е., |
Е л и н а |
Н. И., |
Му д р о в а |
Е. |
И. — В кн.: Получе |
||||||
88. |
ние и анализ веществ особой чистоты. М., «Наука», |
1966, с. 67—70 с ил. |
|
||||||||||
М а р а е в |
С. Е . — В |
кн.: Физико-химические основы кристаллизационных |
|||||||||||
|
процессов |
глубокой очистки |
металлов. М., «Наука», |
1970, с. 105—110 |
с ил. |
||||||||
89. |
Б а й м а к о в А. Ю., |
С е л и в а н о в а |
И. Н. — «Цветные металлы», |
1959, |
|||||||||
|
№ 3, с. 32—37 с ил. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
90. |
S c h i l d k n e c h t |
Н., |
V e t t e r Н. — «Angew. Chemie», |
1959, v. 71, р. 723— |
|||||||||
|
726. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
91. |
J o h n s o n L. R., |
Z i m m e r m a n |
W. — «Rev. Scient. |
Instr.», 1960, |
v. 31, |
№ 2, p. 203—204.
92.Technique of organie chemistry. Ed. J. Weissberger L., Interscience publisher, LTD, 1956, v. Ill, p. 395—562.
198