Файл: Комов, А. Н. Физические основы микроэлектроники учеб. пособие.pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 29.10.2024
Просмотров: 78
Скачиваний: 0
|
D |
I ßl I |
/А. - Ä, ' 2 |
|
|
|
|
|
|
||
и |
A |
I л, |
I2“Ч А! +А* j |
~\i + утг-ё Г |
|
(1 -5 1 ) |
|
||||
г д е ^ — £ - . |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В таблице № 1 приведена величина /? для различных значений |
|
||||||||||
ІГ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
1,11 |
1,25 |
|
2,0 |
10 |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
R |
|
1,0 |
0,27 |
0,146 |
0,03 |
0,0007 |
|
|||
Из приведенных табличных данных видно, что даже в том слу |
< |
||||||||||
чае, когда энергия электрона превышает высоту барьера, коэффи- |
|||||||||||
циент' отражения не равен нулю; микрочастица имеет |
некоторую |
|
|||||||||
вероятность отразиться от такого барьера. Классическая частица в |
|
||||||||||
этом случае беспрепятственно прошла |
бы из первой |
области во |
|
||||||||
вторую, изменив лишь свою энергию. |
|
|
во вторую об |
|
|||||||
При E = U, R = 1 и проникновение микрочастицы |
|
||||||||||
ласть невозможно; классическая же частица с энергией E = U прой |
> |
||||||||||
дет во вторую область, только ее кинетическая энергия в этой об- |
|||||||||||
ласти будет равна нулю. |
|
|
|
|
|
|
|
||||
Для высокого барьера, для которого Ѵ>Е, волновое число kn |
|
||||||||||
является мнимым: k2>ik, где |
к* |
‘/У] |
2m(Ü—Е ) —действительное |
|
|||||||
число. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Волновые функции і[ц и і)-2 приобретают в этом случае следую |
|
||||||||||
щий вид: |
|
|
фі ^Ахеік^-\-В хе -ікіх, |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
ф2 = А 2еік*х. |
|
|
|
|
|
|
||
Условия непрерывности ф(;к) и ее производной приводят к урав |
|
||||||||||
нениям вида (1—50). Вычисляя R по формуле (1—51), |
получим |
|
|||||||||
|
|
|
п _Ад |
ik 12 |
I |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ai + ik |
|
|
|
|
|
||
Поскольку R |
— величина |
комплексная, |
найдем |
модуль \R\-. |
|
||||||
|
|
|
R r R • R* |
I- |
|
|
|
|
|
||
Отсюда D = 0, T. |
e. |
при E<^U отражение |
является |
полным и |
|
||||||
частица не может проникнуть во вторую область. Но так как А2 не |
|
||||||||||
равно нулю, то имеется вероятность проникновения микрочастицы |
|
||||||||||
на некоторую глубину X в эту область. Эта вероятность пропорцио |
|
||||||||||
нальна квадрату модуля волновой функции ф2 |
|
|
|
|
|||||||
|
w = | |
|
. „ |
- |
2"1(U—ЕУх |
|
|
(1 -5 2 ) |
|
||
|
2 Л22 е h |
|
|
|
|
|
25
Наличие этой вероятности делает возможным прохождение (просачивание) микрочастицы сквозь барьер конечной толщины. Такое просачивание получило название туннельного эффекта.
В соответствии с (1—52) коэффициент прозрачности такого ба рьера должен быть равен:
D ^ D 0 e - ^ ^ 5=E)\ |
0 - 5 3 ) |
где Da — коэффициент пропорциональности. |
толщины |
В табл. 2 приведена величина D для барьера разной |
|
d, но одной и той же высоты U—Е = 5 эв. |
|
Таблица 2
d(A°) |
|
V |
1,5 |
2 |
5 |
|
|
||||
D |
1 |
0,1 |
0,03 |
0,008 |
5,5107 |
Из данной таблицы следует, что барьеры атомных толщин име ют достаточно высокую прозрачность.
ПОТЕНЦИАЛЬНЫЙ ЯЩИК КОНЕЧНОЙ ВЫСОТЫ
Рассмотрим случай движения электрона в областях I, II и III (рис. 8), когда E>U (слабая связь), т. е. уадбарьерное движение электронов.
Рис. 8. Потенциальный ящик конечной высоты (слабая связь).
Волновые числа частицы имеют следующие значения: для об ластн I, III х ^ О и х > а, 1
V 2т ( £ = 77);
26
до области II
О < X < а,
k . ^ - ^ V 2mË.
Решение задач для потенциальной ямы в случае слабой связи и низкого барьера аналогичны.
В случае E<cU — сильной связи (рис. 9), волновые числа име-
'ют следующие значения: для области I, III
|
|
и х > а |
ki = ik, |
где |
k = ~ - V ' 2m (U— E); |
||
для области II 0<лг<а |
|
|
|
|
ka |
ѴГ2ІпЁ. |
|
|
Л 1 |
\л а |
Я |
|
, г |
,, |
I |
-( |
ш |
а |
оа
Рис. 9. Потенциальный ящик конечной высоты (сильная связь).
В отличие от случая высокого барьера, для глубокой потенциаль ной ямы волновая функция изображается бегущими волнами толь ко в области II, тогда как в областях I и III волновая функция изображается экспоненциальными функциями:
ф2 ^ Azeik2x+ B2e -ik2X\ ty3= B se -kx.
§ 8. Линейный гармонический вибратор (осциллятор). Классический вибратор
Атомы в молекулах и кристаллах находятся в связанном состоя нии. При смещении атомов из положения равновесия на них дейст вуют силы, стремящиеся вернуть их в это положение. При неболь ших смещениях х возвращающую силу F можно считать пропор циональной смещению:
F (х) = —fx,
27
где / — коэффициент возвращающей силы.
Потенциальная энергия квазиупругого вибратора и==-г>і’х': из меняется по параболическому закону (рис. 10).
I, Е 'U
Рис. 10. Энергетический спек і р классическое вибратора.
Рассматриваемая задача является задачей о движении частицы г параболической потенциальной яме. Классическая частица совер шает в этом случае гармонические колебания:
|
|
|
X ==А ■cos 2тМ, |
|
||
где |
|
|
|
|
|
|
Кинетическая |
и потенциальная |
энергии |
вибраторов |
меняются гн) |
||
закону: |
|
|
|
|
|
|
|
T = - j - m |
v2= ~ fA 2?,\n22rM\ |
|
|||
|
U |
fx2 |
fA 2 cos2 2Ы ; |
|
||
полная энергия’: |
Е = Т + U |
- - fA 2. |
|
|
||
Из этого выражения и рис. 10 видно, что классический вибратор |
||||||
имеет непрерывный энергетический спектр. |
|
|||||
|
|
КВАНТОВЫЙ ВИБРАТОР |
|
|||
Уравнение |
Шредингера для |
гармонического вибратора имеет |
||||
вид |
|
|
|
|
|
|
|
d4 |
8!t2m |
[Е ---- { - f x 2, Ф |
0. |
(1 -5 4 ) |
|
|
dx2 |
А* |
28
Обозначим через |
|
2к Y m f |
(1 -55) |
|
’ |
h |
|||
ft2 |
|
|||
и введем новую переменную |
? = |
V ? х. |
|
Подставляя новую переменную в (1—54) и вводя обозначения (1— 55), получим:
-j{r + ( f - 6 !)4>=0. |
(1-56) |
Подстановка показывает, что решение этого уравнения можно представить о виде
если U {%) в свою очередь удовлетворяет следующему уравнению
т р - * т г + ( і - 1) £' - ° -
Введем обозначения:-^— 1= 2 п, тогда
U"—21,11' -\-2nU =0.
Последнее уравнение представляет собой уравнение |
Эрмита, |
|
для которого физический смысл имеют решения только |
при цело |
|
численных значениях параметра п: п —1,2,... |
|
|
Так кдк в а входит энергия Е, то формула-g---- |
1=2п содержит |
|
условие квантования полной энергии вибратора. |
Подставляя зна |
|
чения а и р из (1—55) в эту формулу, получим |
|
|
|
|
(1 -57) |
Е U
Рис. !1. Энергетический спектр квантового гар монического вибратора.
29
Формула (1—57) показывает, что энергия квантового вибратора меняется прерывно. Энергетический спектр такого вибратора пока зан на рис. 11.
§ 9. Атом водорода
Уравнение Шредингера позволяет успешно решить целый ряд важнейших задач, относящихся не только к отдельным микроча стицам, но и к строению атомов, а также к теории твердого тела. С помощью этого уравнения рассмотрим вопрос об электронной обо лочке атомов.
Начнем с простейшего случая — с атома водорода. Атом водо рода состоит из ядра-протона с зарядом Zq = + q и одного электро на с зарядом —q. Если принять ядро за центр координатной систе мы, то электрическое ноле будет определяться потенциалом U, рав ным
U , (1 -5 8 )
где Z — номер элемента в периодической таблице.
Зависимость потенциальной энергии взаимодействия электрона с ядром показана на рис. 12.
|
Рис. 12. Зависимость потенциальной энергии от |
|||
|
расстояния . f i , |
f 2, ... — энергетические |
уровни |
|
|
|
атома водорода. |
|
|
|
г = |/ х 2 -f-у 2-{-Z2. |
|
||
Подставляя |
выражение |
(1—58) в уравнение |
Шредингера при |
|
тр = \|і(Зс, у, г), |
получим |
|
|
|
|
ѴЧ + ^ |
( Е |
+ ^ - ) Ч ’ --=0. |
(1 -5 9 ) |
30
.Некоторое занимаемое электроном квантовое состояние харак теризуется как волновой функцией, так и энергией электрона Е. Значение волновой функции и уровень энергии, соответствующие различным квантовым состоянием, можно найти, решая волновое уравнение Шредингера. Решения этого уравнения удовлетворяют заданным граничным условиям только в том случае, если энергия имеет одно из вполне определенных значений. Это значение Е на зывают собственным значением энергии волнового уравнения; вол новую функцию, соответствующую такому выбору Е, называют собственным .значением волновой функции.
Таким образом, каждое квантовое состояние электрона харак теризуется определенным собственным значением энергии и опреде ленным собственным значением волновой функции. Для нахожде ния ф и Ь из уравнения (1—59) целесообразно использовать сфери ческую систему координат г, Ѳ и q>, т. к. в него входит г.
Для того, чтобы применить метод разделения переменных, при мем
Ф (г, Ѳ, 'i) =■■]/ (г) ■Y (Ѳ, cp). |
(1—60) |
При преобразовании (1—59) воспользуемся известным выраже нием для V2 в случае сферической системы координат:
|
|
Ѵ2Ф — |
+ |
|
+ |
|
-Ф. |
' |
(1 -61) |
|||
где у — является оператором |
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
1 |
|
д |
|
|
|
1 |
Л |
|
(1 -62) |
|
7 |
sin в |
|
-т>, sin W—— |
sin2 Ѳ |
|
||||||
|
|
дѲ |
|
оѲ |
ді- |
|
||||||
Тогда с учетом (1—60) и (1—61) вместо |
(1—59) будем иіметь |
|||||||||||
■■- Л |
_l _£_ . |
|
+ JüL ■£ |
I |
Л -г \ у I |
у + |
Г- |
■Y —0 |
(1 -63) |
|||
1_ |
' Г |
|
дг ^ |
t>ä.2 \ |
+ Гг |
}/ Ч |
+ |
- U- |
|
|||
n |
|
|
|
|
VY |
, получим |
|
|
|
|||
Разделив это выражение на-^- |
|
|
|
|||||||||
r- |
d*V |
I |
2 |
дѴ , 2m i r , , |
Zq2 |
|
|
Л Y_ |
(1 -64) |
|||
|
L |
|
|
+ |
|
+ ±3L\ у |
|
Y |
||||
~v dr•2 |
+ r |
dr ^ Л* Vе ^ |
г |
I |
|
|
В последнем уравнении переменные Ѵ=Ѵ(г) и У—К(Ѳ, ф) раз делены. Для того, чтобы (1—64) выполнялось при любых значе ниях г, Ö и ф, необходимо, чтобы правая и левая части равнялись некоторой постоянной к —1(1+ 1). Тогда (1—64) распадается на два уравнения
(Е + |
- - V |
= 0, |
(1 -6 5 ) |
—уУ ,,-/(/ + 1) |
У / |
|
(1 -6 6 ) |
Решение уравнения (1—66) имеет физический смысл только з том случае, если 1—0, 1. 2, ... Поэтому в (1—65) и (1—66) будем полагать, что / принимает указанные значения. Не останавливаясь подробно на уравнении (1—66), отметим лишь, что его решение может быть представлено как
31