Файл: Волчкевич, А. И. Высоковакуумные адсорбционные насосы.pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 29.10.2024

Просмотров: 58

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

Gases on Molecular Sieves of Low Pressures and Temperatures. The

Effect of Preadsorbed Watter. "Journal of Vacuum

Science and

Tech­

nology". 1967, v, 4, N 6, p. 347—355.

 

 

 

 

 

 

75. Stern

S. A. and Dipaolo

F. S. Griosorption

pumping

of air

on molecular Sieves at 77°K — the ulimate achievable

vacuum. "Jour­

nal of Vacuum Science and Technology". 1969,

v. 6,

N

6,

p. 941—

950.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

76. Stern

S. A., Hensteet

R. A. and Rutterbur

D. M. Cryosorp-

tion Pumping of Hydrogen at 20°K. I I . Development

and

Performance

of Cryosorption Panels. "Journal

of Vacuum Science

and

Technolo­

gy". 1966, v. 3, N 3, p. 59—66.

 

 

 

 

 

 

 

 

77. Stern

S. A., Millhaupt

I . Т., Hemstreet

R. A. and

Dipaolo

F. S. Cryosorption Pumping of Hydrogen and Helium at 20°K 'Jour­

nal of Vacuum

science and Technology", 1965, v.. 2, N 4, p. 165—167.

78. Venema A. Ein snell kryopump-opstelling reoor ultrahoog va­

cuum. "Philips

techmk tijdschrift",

1967, v. 28, N 12,

p. 365—371.

79. Venema A. Le role des

basses temperatures

dans

la

technique

du vide. "Stats

matiere effets tres

basses press",

Paris,

1968,

p. 517—

528.

 

 

 

 

 

 

 

 

 


ОГЛАВЛЕНИЕ

Введение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3

Г л а в а

I . Адсорбция газов

 

 

 

 

 

 

 

 

5

Природа

адсорбционных

сил

 

 

 

 

 

 

5

Количественные

характеристики

адсорбции

. . . .

 

9

Основные

уравнения

изотерм

адсорбции

 

 

 

10

Краткая

характеристика

адсорбентов

 

 

 

 

21

Г л а в а

I I . Кинетика

адсорбции

. . . . . . . .

 

28

Кинетика

адсорбции

на

плоской поверхности

 

. . .

 

29

Кинетика

адсорбции

микропористыми

адсорбентами

 

 

при

постоянном

давлении

и постоянном

объеме

 

. . .

 

30

Кинетика

адсорбции

при

постоянном натекании

газа .

.

37

Установление

 

равновесного

 

давления

 

 

 

 

49

Г л а в а

I I I . Экспериментальные

методы

 

 

 

 

52

Изучение

изотерм

адсорбции

 

 

 

 

 

 

52

Исследование

 

кинетики

адсорбции

 

 

 

 

56

Измерение теплоты

адсорбции

 

 

 

 

 

63

Г л а в а

IV. Предельное давление

 

 

 

 

 

 

66

Активные

угли

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

67

Цеолиты

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

73

Силикагели

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

79

Равновесие

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

81

Теплота

адсорбции

 

 

 

 

 

 

 

 

 

86

Г л а в а

V. Скорость

откачки

 

 

 

 

 

 

 

 

91

Давление

на

входе

насоса

при

постоянном натекании .

91

Длина адсорбционного патрона

 

 

 

 

 

97

Эффективность

 

охлаждения

адсорбента

 

 

 

 

99

Толщина

слоя

адсорбента

 

 

 

 

 

 

 

 

102

Переохлаждение

 

адсорбционного

насоса

 

 

 

104

Статическая

и

 

динамическая

адсорбируемость

газа . .

107

Стабильность

 

скоростной

характеристики насоса

.

.

110

Скорость

откачки

углекислоты

 

 

 

 

 

114

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

157


Г л а в а

V I . Откачка

водорода

.

 

 

117

Адсорбция водорода при низких температурах

. . •

.

119

Специальные

адсорбенты

водорода

 

 

121

Г л а в а

V I I . Конструкция

и эксплуатация адсорбционных.

 

насосов

 

 

 

 

 

 

128

Конструкция

 

 

 

 

 

 

128

Охлаждение

адсорбента

 

 

 

 

135

Определение

негерметичности

 

 

 

138

Предварительная откачка

 

 

 

 

140

Расчет динамического давления в вакуумной

системе

с

 

 

адсорбционным

насосом

 

 

 

145

Применение

высоковакуумных

насосов

 

 

149

Список

литературы

 

 

 

 

 

15J


В о л ч к е в н ч Анатолий Иванович

ВЫ С О К О В А К У У М Н Ы Е

АД С О Р Б Ц И О Н Н Ы Е НАСОСЫ Редактор издательства О. В. Маргулис Технический редактор Е. П. Смирнова

Корректор

А.

А.

Снастина

 

Обложка

художника

В.

Б.

Торгашова

Сдано в

набор

27/VIII

1973 г.

Подписано

к печати

 

2/Х

1973

г.

Т-17825

Формат

84Х108Уз2 .

 

Бумага

2 Усл.-печ.

л. 8,4

Уч.-изд. л. 8,1 Тираж

4000 экз. Заказ

Ш 1547

 

 

 

Цена

42 коп.

 

 

Издательство

«Машиностроение»

107885, Москва, Б-78, 1-й Басманный

пер., 3

Московская

типография

№ 32

 

 

«Союзполиграфпрома»

 

при

 

Государственном

комитете

Совета

Министров СССР по д е л а м

 

издательств,

полиграфин

 

 

 

и книжной

торговли.

 

Москва, К-51, Цветной бульвар, д . 26


Волчкевич А. И.

В68 Высоковакуумные адсорбционные насосы. М., «Машиностро­ ение», 1973.

158с.

Вкниге рассмотрена природа адсорбционного взаимодействия и обобщены уравнения кинетики характерных адсорбционных процес­ сов. Дана методика расчета предельного давления и скоростной ха­ рактеристики насоса. Приведены наиболее рациональные конструк­ ции насосов и даны рекомендации по их эксплуатации.

3312—278

-278—73

6П5.7

038(01)—73