ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 29.10.2024
Просмотров: 59
Скачиваний: 0
через прежнюю оптическую ось кристалла и составляет угол
—рад -с кристаллографическими осями. После приложения
4
напряжения к пластине проходящий через нее свет претерпе вает двойное лучепреломление. Возникающая при этом раз ность фаз прямо пропорциональна 'величине приложенного на пряжения и не зависит от толщины пластинки.
При изменении полярности электрического поля, приложен ного к пластине, положение осей меняется так, что плоскость,
Рис. 65. Схема эллнпсометра с компенсатором Сенармона
проходящая через них, поворачивается на угол — рад относи
тельно своего первого положения вокруг прежней оптической оси и 'направления быстрой и медленной составляющих меня ются местами. Пластину в приборе располагают так, что одно
из новых ее главных направлений составляет угол — рад
4
с направлениями колебаний, выходящих из поляризатора. Поток излучения (рис. 65) из источника света 1 (ртутной
лампы сверхвысокого давления) проходит через интерферен ционный светофильтр 2, поляризатор 3, исследуемый объект 4, ориентированный так, что его главные направления состав
ляют углы — с направлением колебаний в свете, выходящем
4
из поляризатора, и падает на пластину 5 из кристалла ADP, к которой приложено переменное электрическое напряжение. После прохождения объекта 4 свет становится эллиптически поляризованным. Пройдя пластину 5, вследствие колебаний приложенного к ней напряжения эллиптически поляризован-
1Д9-2590 |
129 |
ный свет периодически меняет форму эллипса. Поэтому у вы ходящего из компенсатора 6 линейно поляризованного света
плоскость поляризации совершает |
колебательные |
движения |
|
относительно среднего положения. |
В результате из анализа |
||
тора 11 выходит модулированный |
поток излучения, падаю |
||
щий на фотоумножитель 10. |
|
|
|
Если плоскость колебаний, пропускаемых |
анализатором, |
||
находится под углом, отличным от |
рад, |
по |
отношению |
к среднему положению колебаний, выходящих из компенсато ра, то частота изменения потока излучения равна основной частоте тока, питающего пластину. Из фотоумножителя ток с основной частотой, соответствующей первой гармонике [фор мула (42)], поступает в усилитель 8 и приводит в действие сервомотор 9, поворачивающий анализатор до тех пор, пока в сигнале имеется первая гармоника. Остановка соответст вует положению анализатора, при котором на фотоумножи тель падает минимальный поток излучения. Самописец 7 реги стрирует углы поворота анализатора. Измеряемая разность фаз равна-удвоенному углу поворота анализатора.
Воспроизводимость результатов измерений порядка 6 -10 1 рад. Погрешность измерения зависит от скорости изменения разности фаз и в среднем составляет около 6 - 10~3 рад.
Для определения параметров Стокса [141] и разности фаз эллиптически поляризованного света разработан метод, в ко тором при измерениях применяют анализатор и устройство, регистрирующее интенсивность света, выходящего из анализа тора. Обозначим для эллиптически поляризованного света ам плитуды колебаний электрического вектора вдоль взаимно перпендикулярных осей х и у через а и Ь. Рассмотрение зави симостей между характеристиками эллипса для полностью поляризованного света (см. рис. 2 1 ) позволяет установить сле дующие выражения для параметров Стокса:
/ = а2 + 62,
М = а? — Ь2,
С = 2ab cos 8,
5 = 2аЪ sin о.
При этом /2=Л42+ С 2+ 5 2. Интенсивность эллиптически поля ризованного света, прошедшего через анализатор, равна квад рату светового вектора [см. формулу (4)]. Если направление колебаний, пропускаемых анализатором А, расположено под углом q к положительному направлению оси х (ом. рис. 24),
130
то амплитуды колебаний, проходящих через анализатор, со ставят. acosg и b sing. Интенсивность света /ь выходящего из анализатора, определяется в соответствии с формулой (5) следующим выражением:
1г — |
(a2 cos2p 4- b2sin2 р -f ab sin 2pcos о). |
||
Если у — угол между большой |
осью эллипса |
и осью х, |
|
и &] — полуоси эллипса, то из формул (18) следует, что |
|||
a2 -J- Ь2 = a2 -f b2, а\ — b2 = (а2— b2) cos 2у 4- |
|||
+ |
2ab sin 2у cos о и |
flA = absino. |
|
Тогда 11 можно выразить так |
|
|
|
где |
h = Ci + C2cos2 (р — г), |
(59) |
|
|
|
|
А = у (а?+ 6?) и С2 = -± -(а 2- 62).
Если анализатор устанавливать последовательно в не сколько положений так, чтобы ось х составляла некоторые углы Q], q2 и рз с направлением колебаний, пропускаемых ана лизатором, то, измеряя соответствующие, интенсивности, мож но определить Ci, С2 и у, с помощью которых параметры Стокса вычисляются следующим образом:
/ = 2Сх; М = 2С2cos2 у; С = 2С2sin 2у
иS = 2 (С2 — С?,)2 .
Для точного определения параметров Стокса предпочти тельно измерять интенсивность Д для ряда углов g и обраба тывать результаты измерений по методу наименьших квадра тов. С этой целью выражение (59) преобразуют:
|
h |
= k0 -f /гх cos 2р -+- k2sin 2р, |
|
где |
к0 = Са; |
lh ~ C „ cos2y; |
&2 = C,sin2y |
или |
|
|
|
|
Сх = /г0; Q = [Щ + |
tg 2 T = ^ . |
|
|
|
|
«1 |
Чг10—2500 |
131 |
Рассматривая уравнение (60) как ряд Фурье, где q меняет ся от 0 до 180°, вычисляют коэффициенты ряда следующим образом:
К = — 2 |
Л; К = — 2 |
Л cos 2р; |
Я . , |
Г"*. |
|
/г., = — У, /i sin 2р.
я
Затем вычисляют параметры Стокса:
|
|
|
_i_ |
I = 2/е0; М = |
2/гх; С = |
2А’„; 5 = |
2 (Ag — Щ— А2)2 , |
а также разность фаз cos о = |
k„ |
|
|
.— ---- -и тангенсы углов p?iv: |
|||
|
|
( Л5 |
k\ |
tg? |
|
tgv = |
kB— кх |
/ |
ч Ч » ! |
|
|
|
|
Перед измерениями на угломерном устройстве следует от метить деление, через которое проходит направление колеба ний, пропускаемых анализатором. Поворачивая анализатор, отсчитывают углы q относительно данного деления.
Проверка этого метода была проведена путем регистрации интенсивности при последовательных поворотах анализатора на 5°. При 36 измерениях погрешности измерений kQ, /г, и k2 составили величины порядка 0,05—0,5%. Для угла 6 около 60° погрешность измерения не превысила 3'.
Этот метод представляет интерес своей универсальностью, но точность его невысока. Однако получение более достовер ных значений параметров Стокса связано с применением точ ных энергетических фотометров. Параметры Стокса опреде ляют также при фотоэлектрическом анализе поляризованного света [142, 143].
Для точного измерения разности фаз двупреломляющих объектов применяют метод заданного угла [144, 145], в кото ром предусмотрено использование электромеханического мо дулятора — поляризатора, анализатора, приемного и регист рирующего устройств.
Если объект в виде плоскопараллельной пластины установ лен между поляризатором и анализатором, то поток монохро матического излучения Ф, выходящий из анализатора, зависит от разности фаз, возникающей в объекте, и от углов между
132
главным направлением объекта и направлением -колебаний, пропускаемых поляризатором (угол г|) и анализатором
(угол g) |
(см. рис. 24), и определяется формулой (20). |
|
Минимальный поток излучения выходит из анализатора, |
||
<1Ф . |
|
|
если — |
= 0, и в этом случае |
|
|
cos 8= tg2v)ctg2p. |
(61) |
Если поляризатор совершает качательные движения отно сительно оптической оси прибора, то поток
(62)
где т]о — угол между направлением колебаний, пропускаемых поляризатором, находящимся в среднем положении, и глав ным направлением объекта; То — амплитуда угловых колеба ний поляризатора.
Выражение (62) отличается от формулы (39), но его ана лиз приводит к тому же результату, что и анализ форму лы (39), т. е. минимум сигнала соответствует моменту исчез новения первой гармоники. Поэтому анализатор устанавли вают в положение, соответствующее 'минимуму выходящего потока 'излучения (под углом g), путем определения момента исчезновения первой гармоники.
Разность фаз определяют следующим образом. Устанав ливают поляризатор и анализатор в окрещенное положение, при котором индикатор регистрирует исчезновение первой гармоники. Располагают между ними объект так, чтобы егоглавные направления совпадали с направлениями колебаний* -пропускаемых поляризатором и анализатором. Затем повора чивают объект на произвольный угол т] (вместо объекта мож но повернуть систему поляризатор — анализатор относительно, объекта на угол ц). Оптимальное значение угла т] составляет 1—2°. Вращая анализатор, устанавливают его в положение, при котором исчезает первая гармоника, и отсчитывают угол g. При этом направление колебаний, пропускаемых анализато ром, совпадает с одной из осей эллипса эллиптически поляри зованного света, выходящего из объекта. По уравнению (61) вычисляют угол б.
Исследование описанного метода было выполнено на уста новке, в которой источником света служила ртутная лампа низкого давления со светофильтром, выделяющим зеленуюлинию. Поляризатор и анализатор— призмы конструкции
V210* |
m |