ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 29.10.2024
Просмотров: 54
Скачиваний: 0
Что касается эллипсометрии, то для поверки приборов не высокой точности этой области измерений, работающих в про ходящем свете, можно применять фазовые пластинки из квар ца или слюды. Если слюдяные пластинки заклеены, то сроки их применения после поверки должны быть ограничены. Пла стинки следует аттестовывать на объективной образцовой установке, которую надлежит разработать и изготовить.
Для эллипоометров высокой точности, работающих в от раженном и проходящем свете, создание образцовых 'мер и средств их аттестации потребует значительно большего объ ема работ.
Подлежат также разработке методы и средства поверки дихрографов.
Перспективы метрологических работ в области поляримет рических измерений, изложенные выше, только намечены. Можно надеяться, что в этой важной для народного хозяйства области измерений метрологические исследования в дальней шем опередят запросы науки и промышленности.
ПРИЛОЖЕНИЕ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ЛИНЕЙНЫХ ПОЛЯРИЗАТОРОВ ПРИЗМ И ПОЛЯРОИДОВ
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а I |
|||
Конструктивные характеристики поляризационных призм |
|
|||||||
|
из исландского шпата |
|
|
|
|
|||
Наименование |
Разделяющий |
Апертур |
Отношение |
Примечание |
|
|||
призмы |
слой |
ный угол, |
длины |
|
||||
|
|
|
градус |
к ширине |
|
|
|
|
Глаи — Томп |
Воздушный |
8,6 |
0,83 |
Для |
|
ультрафио |
||
сона |
|
|
|
|
летовой |
области |
||
Томпсона |
Канадский баль |
27,5 |
4,15 |
|
|
|
|
|
Томпсона |
зам |
|
41 |
4,15 |
Для |
|
ультрафио |
|
Льняное масло |
|
|||||||
|
|
|
|
|
летовой |
области |
||
Аренса |
Канадский баль |
35 |
2,32 |
спектра |
|
|
||
|
|
|
|
|||||
Глазебрука |
зам |
|
35 |
4,65 |
|
|
|
|
То же |
|
|
|
|
|
|||
Франка — |
» |
|
19 |
3,17 |
|
|
|
|
Риттера |
|
|
26,5 |
|
|
|
|
|
Осипова — |
Тонкая |
плоская |
2,35 |
Ориентировка |
||||
Кинга |
пластинка |
из плав |
|
|
составляющих |
|
||
|
леного кварца на |
|
|
призм |
|
такая |
же, |
|
|
оптическом |
кон |
|
|
как |
в |
призмах |
|
|
такте |
|
|
|
Глазебрука |
или |
||
|
|
|
|
|
Франка — Ритте |
|||
|
|
|
|
|
ра для ультрафио |
|||
|
|
|
|
|
летовой |
области |
||
|
|
|
|
|
спектра |
|
|
|
11— 2590 |
141 |
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а II |
|
|
Спектральные характеристики поляроидов |
|
||||
|
|
|
Полпропды |
|
|
|
Длина волны, |
нодно-полнвнннловые для ульт |
|
полпвпииленоиые |
|||
рафиолетовой области спектра |
|
|
|
|||
нм |
|
|
|
|
|
|
|
« |
я 0, к |
|
% я 0. % я м, % |
||
250 |
22 |
12 |
1,5 |
|
|
|
350 |
32 |
20 |
0* |
— |
— |
— |
400 |
37 |
29 |
0 |
23 |
16 |
0* |
450 |
38 |
29 |
0 |
28,5 |
22 |
0 |
500 |
37 |
27 |
0 |
33 |
26 |
0 |
550 |
35 |
24 |
0 |
36 |
31 |
0 |
600 |
34 |
22,5 |
0 |
40 |
35 |
0 |
650 |
37,5 |
24,5 |
0 |
45 |
37 |
0 |
700 |
40 |
29 |
0 |
48 |
41 |
12 |
750 |
42,5 |
34 |
0 |
— |
|
— |
П р и м е ч а й и е. |
— коэффициент пропускания |
одиночным |
поляро |
|||
идом света с указанной |
длиной |
волны; Я0 |
и # 90 — коэффициенты про |
|||
пускания двух последовательно установленных поляроидов при параллель ном и взаимно перпендикулярном положениях плоскостей поляризации.
* В этих случаях Я 90 определено с помощью прибора с низкой чувстви тельностью. Согласно данным, приведенным в [41], Я 90 для разных типов поляроидов и разных участков спектра лежит в пределах I—10-1 %.
142
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а III |
|
|
Технические характеристики отечественных |
|
|
|
|
|
поляризационных приборов |
|
|
|
|
Тип |
Пределы |
Погрешность |
|
Область |
Наименование прибора |
измерения (по |
Источник света |
|||
прибора |
измерения |
данным разработ- |
спектра или длина |
||
|
|
|
чика) |
|
ьолны, нм |
Для измерения угла вращения плоскости поляризации
Сахариметр |
|
|
СУ-3 |
От —40 до |
Поляриметр портативный |
|
+100° S |
||
Г1-161 |
От —20 до |
|||
Поляриметр |
|
|
СМ |
+ 20° |
|
|
От 0 до |
||
Поляриметр |
фотоэлектри |
ЕПЛ |
+360° |
|
От —25 до |
||||
ческий |
|
|
|
+25° |
Поляриметр |
фотоэлектри |
|
От —40 до |
|
ческий [101] |
|
|
|
+40° |
Спектрополяриметр |
авто |
СПУ-2 |
От 0 до 80° |
|
матический |
(регистрирую |
|
|
|
щий) [113] |
|
|
|
|
Спектрополяриметр |
авто |
— |
От 0 до |
|
матический |
|
|
|
360° |
Спектрополяриметр |
фото |
|
От 0 до 360° |
|
электрический |
|
|
|
|
0,1° S
0,1°
0,05°
|
2 £ |
О о |
0,001°
0,0025°
0,0025°
0,0025°
Лампа |
накаливания |
со |
585 |
||
светофильтром |
|
|
|
|
|
То же |
|
|
|
|
589 |
У> |
|
|
|
|
589 |
Натриевая лампа со све |
589 |
||||
тофильтром |
|
|
|
|
|
Ртутная |
лампа |
низкого |
546 |
||
давления |
с двойным моно |
|
|||
хроматором |
|
|
|
|
|
Ртутная |
лампа |
сверхвы |
240—700 |
||
сокого давления |
или лампа |
|
|||
накаливания с двойным мо |
|
||||
нохроматором |
|
|
|
|
|
Ртутная |
лампа |
|
высокого |
230—640 |
|
давления |
с монохроматором |
|
|||
Лампа |
накаливания |
или |
400—700 |
||
ртутная высокого |
давления, |
|
|||
или ксеноновая |
с |
монохро |
|
||
матором |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Продолокение табл. III |
|
|
|
Пределы |
|
Погрешность |
|
Область |
|
|
Тип |
|
измерения (по |
|
|||
Наименование прибора |
|
Источник света |
спектра или длина |
||||
прибора |
измерения |
данным разработ |
|||||
|
|
|
|
чика) |
|
|
волны, нм |
Измеритель магнитоопти |
МОАЖ-4 |
10~4 мин/А |
5 или 2% |
от |
Лампа накаливания |
со 400—600 |
|
ческого вращения |
|
или 10-2 мин/А диапазона |
из |
светофильтром |
|
||
|
|
при длине про мерения |
|
|
|
||
|
|
ходимого |
све |
|
|
|
|
|
|
том слоя 1 |
м |
|
|
|
|
Для измерения разности хода при двойном лучепреломлении
Полярископ |
|
(измерение |
ПКС-250 |
Около |
20—40 нм |
|
путем оценки цвета) |
|
|
3000 нм |
|
||
Полярископ |
(с |
компенса |
ПКС-125 |
До 550 нм |
5 нм |
|
тором Сенармона) [168] |
|
|
|
|
||
Поляризационно-проекци ППУ-7 |
20—40 по |
1 нм |
||||
онная установка |
(метод по |
|
рядков, т. е. |
|
||
лос) [169, 170] |
|
|
|
|
10000—20000 нм |
|
Поляриметр |
координатно |
КСП-7 |
4200 нм |
4 нм |
||
синхронный (с |
компенсато |
|
|
|
||
ром Сенармона) |
[171] |
|
|
|
|
|
Поляризационная |
уста |
БПУ |
Около |
10 нм |
||
новка (с компенсатором Се |
|
3000 нм |
|
|||
нармона) |
|
|
|
|
|
|
Лампа накаливания |
Белый свет |
Лампа накаливания со 550 светофильтром
Лампа накаливания или Белый свет ртутная лампа высокого или 436, 546, давления, или кадмиевая 578, или 644 лампа со светофильтром
Лампа |
накаливания |
или |
Белый |
свет |
ртутная лампа низкого дав или 546, |
или |
|||
ления со светофильтром |
|
578 |
|
|
Лампа |
накаливания |
или |
Белый |
свет |
ртутная лампа сверхвысоко или 436, 546 го давления или спектраль ная с узкими линиями и со светофильтрами
|
|
|
|
|
|
Т а б л и ц а IV |
|
|
Технические характеристики зарубежных |
поляризационных приборов |
|
||||
Наименование, |
|
|
Погрешность |
|
Область |
|
|
|
Пределы |
измерения |
|
|
|||
Модель |
Источник света |
спектра, |
Примечание |
||||
страна, фирма |
измерения |
по данным |
|||||
|
|
|
фирмы |
|
нм |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Для измерения угла вращения плоскости поляризации
Поляриметр |
(мик- |
М-412 |
От 0 до |
0,01° |
|
|
|
|
|
|
|
|||
рооптик), |
Англия, |
|
360°, |
|
|
|
Натриевая |
лампа |
589 |
|||||
Хпльгер |
|
|
|
От — 150 |
|
|
||||||||
Поляриметр |
(авто- |
М-500 |
до ■+' 150° S |
0,05° S |
|
со светофильтром |
со |
546 |
||||||
14° S |
|
|
Ртутная |
лампа |
||||||||||
матпческий), |
Англия, |
|
|
|
|
|
|
светофильтром |
|
|
|
|||
Хильгер |
|
|
|
|
|
|
0,002° |
|
Ртутная |
или |
на- |
546—589 |
||
Поляриметр |
фото- |
— |
От —2 до |
|
||||||||||
электрический, |
Япо- |
|
+ 2° |
|
|
|
|
триевая |
лампа |
со |
|
|||
ния, Джаско |
|
|
|
|
|
|
|
светофильтрами |
|
|
||||
Поляриметр |
фото- |
100 |
От — 10 до |
0,002° |
|
Ртутная, |
натрие- |
546—589 |
||||||
электрический, |
Япо- |
|
+ 10° |
|
|
|
вая |
или лампа |
нака- |
|
||||
ния, Янагимото |
|
|
|
|
|
|
ливания |
со |
свето- |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
фильтрами |
|
|
|
546—589 |
|
Поляриметр |
фото- |
141 |
От —90 |
0,002° |
|
Ртутная |
или натри- |
|||||||
электрический, |
США, |
|
до +90° |
|
|
евая лампа со свето- |
|
|||||||
Перкин |
Эльмер |
|
|
|
|
|
|
фильтрами |
|
|
|
200—600 |
||
Спектрополяриметр |
— |
0,01; |
0,05; |
0,2% |
от |
Ксеноновая |
|
или |
||||||
(регистрирующий), |
|
0,1; |
0,2; |
0,5; |
диапазона |
|
ртутная лампа сдвой- |
|
||||||
Англия, |
Беллингам |
|
1,0; |
2 или 5° |
измерения |
|
ным |
монохромато- |
|
|||||
Стенли |
|
|
|
|
|
|
|
|
ром |
|
|
|
|
|
-
Максимальная онтическая плотность 2
Максимальная оптическая плотность 2 при Х=240 нм. Возможно измерение кругового дихроизма с помощью ромба Френеля