Файл: Методы стабилизации параметров полупроводниковых приборов [сборник статей]..pdf

ВУЗ: Не указан

Категория: Не указан

Дисциплина: Не указана

Добавлен: 30.10.2024

Просмотров: 31

Скачиваний: 0

ВНИМАНИЕ! Если данный файл нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам.

МИНИСТЕРСТВО ВЫСШЕГО И СРЕДНЕГО

СПЕЦИАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ РСФСР

!

ВОРОНЕЖСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

МЕТОДЫ

СТАБИЛИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

К

ВОРОНЕЖ—1974

УДК 621. 315. 592+54

Методы стабилизации параметров

полупроводниковых приборов, Во­

ронеж, ВТИ, 1974, с. 86.

'

Сборник объединяет результаты научно-исследовательских работ, вы­ полненных на кафедре основного органического синтеза Воронежского технологического института, во Всесоюзном научно-исследовательском ин статуте синтетических смол (г. Владимир), Институте химии Академии наук Молдавской ССР (г. Кишинев), Томском ордена Трудового Красно­ го Знамени политехническом^ институте. Рассматриваются вопросы примене­

ния полимерных

материалов для полупроводниковых

приборов и неко­

торые другие методы стабилизации их параметров.

Сборник рассчитан

на специалистов,

работающих

в области химии, полупроводниковой и

смежных областях.

54,

 

Табл. 19, илл.

34, библ. ссыл.

 

головного

Печатается по решению

 

 

совета по химической технологии

 

и ученого совета

от 13 ноября 1973 г.

института

 

Воронежского

технологического

 

 

 

от 27 июня 1974 г.

 

 

Р е д а к ц и о н н а я

 

ко л л е г и я :

проф. Юкельсон

И. И.

(научн.

ред.), к. т. н. Толстых

Б. Л. (зам. научн. ред.), к. т. н.

Легачева

В. В.,

к. х. н. Якубенок Э. Ф.. Пархоменко Л, А. (отв. секретарь), к. т. н, Квашнина С. П.

;g) Воронежский технологический институт, 1974 г,


J

ОПРЕДЕЛЕНИЕ МИКРОПРИМЕСЕЙ В ВЕЩЕСТВАХ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ МЕТОДОМ АМАЛЬГАМНОЙ ПОЛЯРОГРАФИИ С НАКОПЛЕНИЕМ

А, А. КАПЛИН, Б. Л. ТОЛСТЫХ, Н. И. НАУМЕНКО, В. С. РАХМАНИНА

Новые отрасли техники требуют создания методов конт­ роля в материалах высокой чистоты почти всех элементов (при их содержании 10~5 и 10~8 и мейее процентов). Особен­ но высоки требования к определению примесей в рерктивах, используемых в производстве полупроводниковых приборов. Самым перспективным с точки зрения повышения чувстви­ тельности считается нейтронно-радиоактивационный метод анализа [1], несмотря на то, что он длителен, сложен и тре­ бует облучения образца мощным потоком нейтронов, что возможно только в атомном реакторе. Высокой чувствительнрстью, широким диапазоном одновременно определяемых элементов, сравнительно хорошей точностью получаемых ре­ зультатов и универсальностью обладает масс-спектральный метод. Но поскольку аппаратура его дбстаточно сложна, шире используется химико-спектральный метод, в котором спектральному анализу предшествует химическое обогаще­ ние. Однако при химико-бпектральном методе ряд элемен­ тов (цинк, сера, кремний, селен и др.) определяется лишь с низкой чувствительностью, что дает плохо воспроизводи­ мые результаты.

Перспективен в отношении повышения чувствительности метод амальгамной полярографии с накоплением (АПН), развитие которого в стране начато в 1959 г. по инициативе академика И. П. Алимарина, д. т. н. А. Г. Стромберга и др. Сущность метода АПН заключается в предварительном кон­ центрировании определяемых примесей на электроде в виде амальгамы из разбавленных растворов при постоянном по­ тенциале и последующем. анодном окислении амальгамы с регистрацией кривых анодный ток - потенциал. Анодные тттт-

i

ки своим положением на оси потенциалов характеризуют природу анализируемого элемента, а высотой — его кон­ центрацию в амальгаме и, следовательно, растворе. Значи­ тельные перспективы этого метода заключаются в его боль­ шой чувствительности и простоте используемой аппаратуры. К недостатку метода АПН необходимо отнести малое число определяемых элементов (до'30).

Чтобы выбрать оптимальные условия проведения ана­ лиза методом АПН, необходимо знать влияние некоторых факторов на высоту и форму анодного пика. Среди них су­

щественными являются: концентрация примесей

в раство­

ре С, г-ион/л; время электролиза т, мцн;

скорость

переме­

шивания раствора, характеризуемая

константой электроли­

за раствора К, радиус ртутной капли

г.

см; потенциал элек­

тролиза 1ЭЛ и др.

При увеличении времени электролиза высота анодного пика сначала растет, а по истощении раствора зависимости'

от т при выделении всего вещества

не

наблюдается.

Влия­

ние объема раствора и поверхности

электрода

на

глубину

анодного пика рассмотрено в [2, 3].

С

ростом

поверхности

электрода диффузионный ток усиливается, но при этом воз­ растает остаточный ток, что ограничивает чувствительность

определения. Выбор объема раствора связан

с увеличени­

ем оптимальных поверхностей [3].

 

Необходимо также отметить влияние перечисленных вы­

ше факторов на разрешающую способность

метода АГ1Н.'

от которой зависит число определяемых из.одной полярограммы элементов. Характеристикой разрешающей способнос­ ти служит ширина определяемого анодного иолупика:

сг

Ч- " W :

где q — площадь под анодным пиком, который с известной ошибкой можно считать треугольником; '

. а — ширина анодного иолупика; Тп — ток пика; ■

W скорость изменения потенциала.

Нами совместно с Томским политехническим институтом был разработан -амальгамно-полярографический метод конт­

роля

ряда примесей

тяжелых металлов (сурьма, висмут,

медь,

железо,

кадмий) в растворах комплексообразователей.

Прежде всего

была

исследована возможность определения

4


примесей с проведением нолярографирования непосредствен­ но в растворах морина и хинализарина.

Морин (3, 5, 7; 2', 4'-пентаоксифлавон) - желтое крис­ таллическое вещество с температурой плавления 290°С. Раст­ ворим в воде, спирте, разбавленных кислотах и щелочах Ею структурная формула:

Iri

Хинализарин (1, 2, 5, 8-тетраоксиантрахинон) имеет структурное строение:

Он Он

ОН

Хинализарин кристаллизуется в красных ромбических иг­ лах (температура плавления 275°С), легко возгоняется. В воде хинализарин нерастворим, слабо растворим в спирте. С атомами тяжелых металлов хинализарин образует ком­ плексные соединения, в которых атом металла входит в структуру пятиили шестичленных циклов, например-

Он 0—Me О

В работе был использован полярограф тина ОН-101. Ана­ лизируемый раствор наливали в кварцевый стаканчик объ емом 5—8 мл; стаканчик, делительные воронки и другую хи­ мическую посуду помещали в чистую емкость с дистиллиро­

ванной водой и кипятили с добавлением небольшого коли­ чества азотной кислоты. Затем шла промывка посуды триж­ ды перегнанной дистиллированной водой. В качестве ртут­ ного пленочного электрода брали серебряную проволоку диаметром 0,5—1 мм, длиной 2—7 мм и стеклянную трубкуоправу. Серебро с помощью эпоксидной смолы вклеивали в стекло. Длину электрода выбирали в зависимости от вели­ чины остаточного тока и необходимой степени' истощения анализируемого раствора.

Стандартные растворы цинка, меди, кадмия, свинца, вис­ мута готовили растворением навески соответствующих ме­ таллов (0,1 г) в концентрированной азотной кислоте при нагревании. Для предупреждения гидролиза исходные раст­ воры подкисляли до концентрации 1,0—0,5 М HNO3. Полярографйровали в интервале потенциалов —1,8—0 в относи­ тельно каломельного электрода сравнения. При этом на са­ мописце полярографа регистрировались вольтамперные кри­ вые с характерными пиками, положение которых по оси по­ тенциалов характеризует природу иона, а величина анодно­ го пика — его концентрацию.

В чистый стаканчик наливали 5—7 мл фонового раство­ ра (НС1 или КОН) и снимали полярограмму. Если при этом не появлялись пики, то вся система считалась чистой и при­ ступали к проведению анализов.

Хинализарин приготавливали растворением навески (0,1а) кристаллического вещества в 1 л деионизованной во­ ды в щелочной среде. При переходе к нейтральной среде хин­ ализарин приобретает буроватую окраску и выпадает в осадок в виде красных хлопьев. В кислой среде хинализа­ рин находится в растворенном состоянии и имеет оранже­ вую окраску. В связи с тем, что в щелочной среде хинали­ зарин сам дает анодный пик в интервале потенциалов —1,00—0,3 в, определение примесей делается невозможным. Поэтому проводили предварительное выпаривание хинализарина досуха и полярографировали на фоне 0,25 н. соля­ ной кислоты.

Морин получали растворением навески 0,1 г в 100 мл изопропилового спирта и добавлением к полученному раст­ вору 900 мл горячей воды при легком перемешивании. По­ скольку производственный раствор морина содержит пере­ кись водорода в значительной концентрации (которая мешает непосредственному полярографированию в растворе мори­ на), необходимо предварительно разложить Н2О2, для чего

6


проводили выпаривание морина досуха при температуре 70—80°С. Полярографирование вели на 0.025 н. NH4F и 0,25 н, HCL

Содержание примесей в исследуемом растворе определя­ ли методом добавки стандартного раствора и рассчитывали но формуле:

 

а

Сдоб V п;;об h ntJ

100 % вес.,

 

 

ЬдОб Vпр

^пр

где Сд0б

концентрация стандартного раствора;

УДОб — объем добавки стандартного раствора; hnp — высота пика примесей из пробы;

Ьдоб — высота пика от добавки стандартного раствора; Упр — объем жидкости, выпариваемой для анализа; с1пр — удельный вес жидкости, взятой для анализа.

Чувствительность метода 1,5хЮ~8 г/мл.

 

Результаты

анализов хинализарина

и морина на содер­

жание

меди,

свинца

и кадмия

представлены

в таблице.

 

 

 

 

 

 

 

 

I а б л н ц а

Содержание

меди, свинца и кадмия в раствора у

комплексонов

 

 

Концентрация металлов в растворах комплексонов, г/мл

 

 

лнналнзарнн

 

 

морян

 

до

промывки

1 после

промывки

до промывки ' после промывки

Си

5,1X10-»

7

Х10-8

8X10-8

8Х10-8

РЬ

2

X10

»

4X10-8

2X10

»

6Х 10-8

Cd

6

Х10

»

9

Х10-»

.5X10

8

7Х 10-8

Операцию иоляротрафирования повторяли 2-3 раза на вос­ производимость.

ВЫВОДЫ ч

1. Разработаны методики определения примесей тяжелых металлов (Sb, Вi, Си, Pb, Cd, Zn) в растворах комплексо­ образователен методом амальгамной полярографии с накоп­ лением.

2. Определены микропримеси меди, свинца, кадмия в растворах морина и хинализарина до и после промывки пластин кремния.

7


 

 

 

Л И.Т Е Р А Т У Р А

 

 

1.

Методы анализа

веществ высокой

чистоты.

(Сборник

статей).

Отв, ред. И. П. Алимарин. М., «Наука», 1965.

 

 

2.

С т р о м б е р г

А. Г. Зав. лаб., 10,

31

(1965).

анал, хим,,

10, 20

3.

С т р о м б е р г

А.

Г., К ап ли н

А.

А, Жури,

(1965)

 

 

 

 

 

 

 

ИЗУЧЕНИЕ АДСОРБЦИИ И ДЕСОРБЦИИ ИОНОВ ПОТЕНЦИОМЕТРИЧЕСКИМ МЕТОДОМ

Ю. С. ЛЯЛИКОВ, С. В. КАШКИНА

Среди физико-химических методов анализа особое место занимает потенциометрический, дающий возможность с удо­ влетворительной точностью определять малые количества ве­ ществ, анализировать сложные смеси, проводить исследова­ ния в неводных средах. Этот метод широко используется при изучении мутных, окрашенных растворов, когда нельзя подобрать индикатор для соответствующего объемного опре­ деления, а также провести анализ без предварительного раз­ деления сложной смеси на компоненты.

Окислительно-восстановительная спесобнбсть исследуемой системы может быть охарактеризована величиной ее равно­ весного потенциала. Основы потенциометрии заложены Нернстом [1], описавшим динамическое состояние равновесия потенциалообразующей системы. Значение потенциала нахо­ дится по уравнению:

E = E 0 + J g -

lgC,

(1)

где Е0 — нормальный потенциал,

 

 

С — концентрация ионов в растворе,

 

п — число §лектронов, участвующих в реакции.

 

Скорость передачи электронов

при нормальном окисли­

тельно-восстановительном потенциале Е0 для данной

кон­

центрации электроактивных форм

характеризуется

плот­

ностью тока обмена или величиной константы скорости. Эти величины, а также механизм процесса обмена электронов зависят от природы окисленной и восстановленной форм ве­ щества.

Посторонние ионы, не участвуя непосредственно в окисли­ тельно-восстановительной реакции, также оказывают влпя-

9