Файл: Методы стабилизации параметров полупроводниковых приборов [сборник статей]..pdf
ВУЗ: Не указан
Категория: Не указан
Дисциплина: Не указана
Добавлен: 30.10.2024
Просмотров: 31
Скачиваний: 0
МИНИСТЕРСТВО ВЫСШЕГО И СРЕДНЕГО
СПЕЦИАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ РСФСР
!
ВОРОНЕЖСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
МЕТОДЫ
СТАБИЛИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
'Т
К
ВОРОНЕЖ—1974
УДК 621. 315. 592+54
Методы стабилизации параметров |
полупроводниковых приборов, Во |
ронеж, ВТИ, 1974, с. 86. |
' |
Сборник объединяет результаты научно-исследовательских работ, вы полненных на кафедре основного органического синтеза Воронежского технологического института, во Всесоюзном научно-исследовательском ин статуте синтетических смол (г. Владимир), Институте химии Академии наук Молдавской ССР (г. Кишинев), Томском ордена Трудового Красно го Знамени политехническом^ институте. Рассматриваются вопросы примене
ния полимерных |
материалов для полупроводниковых |
приборов и неко |
|
торые другие методы стабилизации их параметров. |
Сборник рассчитан |
||
на специалистов, |
работающих |
в области химии, полупроводниковой и |
|
смежных областях. |
54, |
|
|
Табл. 19, илл. |
34, библ. ссыл. |
|
головного |
Печатается по решению |
|
|
||
совета по химической технологии |
|
||||
и ученого совета |
от 13 ноября 1973 г. |
института |
|
||
Воронежского |
технологического |
|
|||
|
|
от 27 июня 1974 г. |
|
|
|
Р е д а к ц и о н н а я |
|
ко л л е г и я : |
проф. Юкельсон |
И. И. |
(научн. |
ред.), к. т. н. Толстых |
Б. Л. (зам. научн. ред.), к. т. н. |
Легачева |
В. В., |
к. х. н. Якубенок Э. Ф.. Пархоменко Л, А. (отв. секретарь), к. т. н, Квашнина С. П.
;g) Воронежский технологический институт, 1974 г,
J
ОПРЕДЕЛЕНИЕ МИКРОПРИМЕСЕЙ В ВЕЩЕСТВАХ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ МЕТОДОМ АМАЛЬГАМНОЙ ПОЛЯРОГРАФИИ С НАКОПЛЕНИЕМ
А, А. КАПЛИН, Б. Л. ТОЛСТЫХ, Н. И. НАУМЕНКО, В. С. РАХМАНИНА
Новые отрасли техники требуют создания методов конт роля в материалах высокой чистоты почти всех элементов (при их содержании 10~5 и 10~8 и мейее процентов). Особен но высоки требования к определению примесей в рерктивах, используемых в производстве полупроводниковых приборов. Самым перспективным с точки зрения повышения чувстви тельности считается нейтронно-радиоактивационный метод анализа [1], несмотря на то, что он длителен, сложен и тре бует облучения образца мощным потоком нейтронов, что возможно только в атомном реакторе. Высокой чувствительнрстью, широким диапазоном одновременно определяемых элементов, сравнительно хорошей точностью получаемых ре зультатов и универсальностью обладает масс-спектральный метод. Но поскольку аппаратура его дбстаточно сложна, шире используется химико-спектральный метод, в котором спектральному анализу предшествует химическое обогаще ние. Однако при химико-бпектральном методе ряд элемен тов (цинк, сера, кремний, селен и др.) определяется лишь с низкой чувствительностью, что дает плохо воспроизводи мые результаты.
Перспективен в отношении повышения чувствительности метод амальгамной полярографии с накоплением (АПН), развитие которого в стране начато в 1959 г. по инициативе академика И. П. Алимарина, д. т. н. А. Г. Стромберга и др. Сущность метода АПН заключается в предварительном кон центрировании определяемых примесей на электроде в виде амальгамы из разбавленных растворов при постоянном по тенциале и последующем. анодном окислении амальгамы с регистрацией кривых анодный ток - потенциал. Анодные тттт-
i
ки своим положением на оси потенциалов характеризуют природу анализируемого элемента, а высотой — его кон центрацию в амальгаме и, следовательно, растворе. Значи тельные перспективы этого метода заключаются в его боль шой чувствительности и простоте используемой аппаратуры. К недостатку метода АПН необходимо отнести малое число определяемых элементов (до'30).
Чтобы выбрать оптимальные условия проведения ана лиза методом АПН, необходимо знать влияние некоторых факторов на высоту и форму анодного пика. Среди них су
щественными являются: концентрация примесей |
в раство |
||
ре С, г-ион/л; время электролиза т, мцн; |
скорость |
переме |
|
шивания раствора, характеризуемая |
константой электроли |
||
за раствора К, радиус ртутной капли |
г. |
см; потенциал элек |
тролиза 1ЭЛ и др.
При увеличении времени электролиза высота анодного пика сначала растет, а по истощении раствора зависимости'
от т при выделении всего вещества |
не |
наблюдается. |
Влия |
|
ние объема раствора и поверхности |
электрода |
на |
глубину |
|
анодного пика рассмотрено в [2, 3]. |
С |
ростом |
поверхности |
электрода диффузионный ток усиливается, но при этом воз растает остаточный ток, что ограничивает чувствительность
определения. Выбор объема раствора связан |
с увеличени |
ем оптимальных поверхностей [3]. |
|
Необходимо также отметить влияние перечисленных вы |
|
ше факторов на разрешающую способность |
метода АГ1Н.' |
от которой зависит число определяемых из.одной полярограммы элементов. Характеристикой разрешающей способнос ти служит ширина определяемого анодного иолупика:
сг
Ч- " W :
где q — площадь под анодным пиком, который с известной ошибкой можно считать треугольником; '
. а — ширина анодного иолупика; Тп — ток пика; ■
W скорость изменения потенциала.
Нами совместно с Томским политехническим институтом был разработан -амальгамно-полярографический метод конт
роля |
ряда примесей |
тяжелых металлов (сурьма, висмут, |
|
медь, |
железо, |
кадмий) в растворах комплексообразователей. |
|
Прежде всего |
была |
исследована возможность определения |
4
примесей с проведением нолярографирования непосредствен но в растворах морина и хинализарина.
Морин (3, 5, 7; 2', 4'-пентаоксифлавон) - желтое крис таллическое вещество с температурой плавления 290°С. Раст ворим в воде, спирте, разбавленных кислотах и щелочах Ею структурная формула:
Iri
Хинализарин (1, 2, 5, 8-тетраоксиантрахинон) имеет структурное строение:
Он Он
ОН
Хинализарин кристаллизуется в красных ромбических иг лах (температура плавления 275°С), легко возгоняется. В воде хинализарин нерастворим, слабо растворим в спирте. С атомами тяжелых металлов хинализарин образует ком плексные соединения, в которых атом металла входит в структуру пятиили шестичленных циклов, например-
Он 0—Me О
В работе был использован полярограф тина ОН-101. Ана лизируемый раствор наливали в кварцевый стаканчик объ емом 5—8 мл; стаканчик, делительные воронки и другую хи мическую посуду помещали в чистую емкость с дистиллиро
ванной водой и кипятили с добавлением небольшого коли чества азотной кислоты. Затем шла промывка посуды триж ды перегнанной дистиллированной водой. В качестве ртут ного пленочного электрода брали серебряную проволоку диаметром 0,5—1 мм, длиной 2—7 мм и стеклянную трубкуоправу. Серебро с помощью эпоксидной смолы вклеивали в стекло. Длину электрода выбирали в зависимости от вели чины остаточного тока и необходимой степени' истощения анализируемого раствора.
Стандартные растворы цинка, меди, кадмия, свинца, вис мута готовили растворением навески соответствующих ме таллов (0,1 г) в концентрированной азотной кислоте при нагревании. Для предупреждения гидролиза исходные раст воры подкисляли до концентрации 1,0—0,5 М HNO3. Полярографйровали в интервале потенциалов —1,8—0 в относи тельно каломельного электрода сравнения. При этом на са мописце полярографа регистрировались вольтамперные кри вые с характерными пиками, положение которых по оси по тенциалов характеризует природу иона, а величина анодно го пика — его концентрацию.
В чистый стаканчик наливали 5—7 мл фонового раство ра (НС1 или КОН) и снимали полярограмму. Если при этом не появлялись пики, то вся система считалась чистой и при ступали к проведению анализов.
Хинализарин приготавливали растворением навески (0,1а) кристаллического вещества в 1 л деионизованной во ды в щелочной среде. При переходе к нейтральной среде хин ализарин приобретает буроватую окраску и выпадает в осадок в виде красных хлопьев. В кислой среде хинализа рин находится в растворенном состоянии и имеет оранже вую окраску. В связи с тем, что в щелочной среде хинали зарин сам дает анодный пик в интервале потенциалов —1,00—0,3 в, определение примесей делается невозможным. Поэтому проводили предварительное выпаривание хинализарина досуха и полярографировали на фоне 0,25 н. соля ной кислоты.
Морин получали растворением навески 0,1 г в 100 мл изопропилового спирта и добавлением к полученному раст вору 900 мл горячей воды при легком перемешивании. По скольку производственный раствор морина содержит пере кись водорода в значительной концентрации (которая мешает непосредственному полярографированию в растворе мори на), необходимо предварительно разложить Н2О2, для чего
6
проводили выпаривание морина досуха при температуре 70—80°С. Полярографирование вели на 0.025 н. NH4F и 0,25 н, HCL
Содержание примесей в исследуемом растворе определя ли методом добавки стандартного раствора и рассчитывали но формуле:
|
а |
Сдоб V п;;об h ntJ |
100 % вес., |
|
|
ЬдОб Vпр■ |
^пр |
где Сд0б |
концентрация стандартного раствора; |
УДОб — объем добавки стандартного раствора; hnp — высота пика примесей из пробы;
Ьдоб — высота пика от добавки стандартного раствора; Упр — объем жидкости, выпариваемой для анализа; с1пр — удельный вес жидкости, взятой для анализа.
Чувствительность метода 1,5хЮ~8 г/мл. |
|
|||||||
Результаты |
анализов хинализарина |
и морина на содер |
||||||
жание |
меди, |
свинца |
и кадмия |
представлены |
в таблице. |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
I а б л н ц а |
Содержание |
меди, свинца и кадмия в раствора у |
комплексонов |
||||||
|
|
Концентрация металлов в растворах комплексонов, г/мл |
||||||
|
|
лнналнзарнн |
|
|
морян |
|
||
до |
промывки |
1 после |
промывки |
до промывки ' после промывки |
||||
Си |
5,1X10-» |
7 |
Х10-8 |
8X10-8 |
8Х10-8 |
|||
РЬ |
2 |
X10 |
» |
4X10-8 |
2X10 |
» |
6Х 10-8 |
|
Cd |
6 |
Х10 |
» |
9 |
Х10-» |
.5X10 |
8 |
7Х 10-8 |
Операцию иоляротрафирования повторяли 2-3 раза на вос производимость.
ВЫВОДЫ ч
1. Разработаны методики определения примесей тяжелых металлов (Sb, Вi, Си, Pb, Cd, Zn) в растворах комплексо образователен методом амальгамной полярографии с накоп лением.
2. Определены микропримеси меди, свинца, кадмия в растворах морина и хинализарина до и после промывки пластин кремния.
7
|
|
|
Л И.Т Е Р А Т У Р А |
|
|
||
1. |
Методы анализа |
веществ высокой |
чистоты. |
(Сборник |
статей). |
||
Отв, ред. И. П. Алимарин. М., «Наука», 1965. |
|
|
|||||
2. |
С т р о м б е р г |
А. Г. Зав. лаб., 10, |
31 |
(1965). |
анал, хим,, |
10, 20 |
|
3. |
С т р о м б е р г |
А. |
Г., К ап ли н |
А. |
А, Жури, |
||
(1965) |
|
|
|
|
|
|
|
ИЗУЧЕНИЕ АДСОРБЦИИ И ДЕСОРБЦИИ ИОНОВ ПОТЕНЦИОМЕТРИЧЕСКИМ МЕТОДОМ
Ю. С. ЛЯЛИКОВ, С. В. КАШКИНА
Среди физико-химических методов анализа особое место занимает потенциометрический, дающий возможность с удо влетворительной точностью определять малые количества ве ществ, анализировать сложные смеси, проводить исследова ния в неводных средах. Этот метод широко используется при изучении мутных, окрашенных растворов, когда нельзя подобрать индикатор для соответствующего объемного опре деления, а также провести анализ без предварительного раз деления сложной смеси на компоненты.
Окислительно-восстановительная спесобнбсть исследуемой системы может быть охарактеризована величиной ее равно весного потенциала. Основы потенциометрии заложены Нернстом [1], описавшим динамическое состояние равновесия потенциалообразующей системы. Значение потенциала нахо дится по уравнению:
E = E 0 + J g - |
lgC, |
(1) |
где Е0 — нормальный потенциал, |
|
|
С — концентрация ионов в растворе, |
|
|
п — число §лектронов, участвующих в реакции. |
|
|
Скорость передачи электронов |
при нормальном окисли |
|
тельно-восстановительном потенциале Е0 для данной |
кон |
|
центрации электроактивных форм |
характеризуется |
плот |
ностью тока обмена или величиной константы скорости. Эти величины, а также механизм процесса обмена электронов зависят от природы окисленной и восстановленной форм ве щества.
Посторонние ионы, не участвуя непосредственно в окисли тельно-восстановительной реакции, также оказывают влпя-
9